【課題】試料表面のパターン形状の良否を、環境温度変化の影響を受けることなく判定する表面検査方法を提供する。
【解決手段】偏光子７及び対物レンズ９を含み、ウェハ１０の表面を照明する照明光学系２１と、ウェハ１０の表面からの反射光を、対物レンズ９を介して集光し、偏光子７とクロスニコル条件を満たすように配置された検光子１２を通して対物レンズ９の瞳面の像を結像する検出光学系２２と、瞳面の像を検出する第１の撮像素子１７と、を有する表面検査装置１００による表面検査方法は、第１の基準像を取得する第１のステップと、検査像を取得する第２のステップと、第２の基準像を取得する第３のステップと、第１及び第２の基準像の階調値の差を求め、当該差が所定値を越えたときに、検査像の階調値を補正する第４のステップと、補正後の検査像及び第１若しくは第２の基準像の階調値を用いてウェハ１０の欠陥を検出する第５のステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】
検査対象の偏光特性を有効に利用し、より高い検査感度を得るには、照明の偏光を同じ方向と仰角、波長において、偏光のみが異なる光を照射し、偏光による検査対象からの反射、回折、散乱光の違いを見なければいけない。これを従来技術にて行うと、偏光を切り替えた複数回の測定が必要となり、検査装置の重要なスペックである検査時間の低下を招く。
【解決手段】
照明ビーム断面の微小面積内に複数の偏光状態を変調し、各微小面積からの散乱光をセンサの各画素に、個別かつ同時に結像させて複数偏光照明条件の画像を一括で取得することで、スループットを低下させること無く検査感度向上、分類・サイジング精度を向上させた。 （もっと読む）

【課題】複数の突起部を有する検査対象物を迅速に検査する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物Ａ載せる透明なテーブル１２と、テーブル１２の下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、光パターンが照射された検査対象物Ａを、テーブル１２の下面から撮影する撮像部２２と、検査対象物Ａの画像を処理して、検査対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部１０３と、表面形状データにより表される検査対象物Ａにおける複数の突起部それぞれにおいて、テーブル１２の上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部１０２と、複数の突起部それぞれにおける代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部１０１と備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑えることや、短時間で高精度に外観検査を行うこと、駆動モータに掛かる負荷を低くすることが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、２つの駆動ローラの先端部外周にそれぞれ形成された先細のテーパ面により球状のワークＷを保持する保持装置４０と、回転速度が周期的に且つ逆位相で変化するように各駆動ローラを同方向に回転させてワークＷを従動回転させる回転駆動装置と、ワークＷの回転によりレーザ光が走査される方向と交差する方向にビーム断面が細長いスリット光をワークＷの表面に向けて照射する投光部７１と、ワークＷの表面で反射したレーザ光を受光して受光量に応じた電気信号を生成する複数の受光素子が、反射したレーザ光のビーム断面の長手方向に沿って配置される受光部７４と、各受光素子によってそれぞれ生成された電気信号を基にワークＷの外観の良否を判定する判定部７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】管状の貫通穴、有底穴の被検査物の内周囲面、及び周囲の被検査物の外観検査を容易に行うことができる検査装置を提供することを課題としている。
【解決手段１】管状の貫通穴、有底穴の被検査物（２）の内周囲面（２ａ）または周囲の被検査物に光を照射する照射手段（４）と、照射された光を、内周囲面（２ａ）または周囲に反射拡散する反射拡散手段（６）と、内周囲面または周囲を撮像する撮像手段（７）を備え、
該撮像手段（７）の魚眼レンズまたは広角レンズ（９）同軸上前方に該反射拡散手段（６）を配置した構成とし、該撮像手段（７）により検査を行う。 （もっと読む）

オブジェクト検査のための、特に、リソグラフィプロセスで使用されるレチクルの検査のためのシステムおよび方法が開示される。当該方法は、基準放射ビームをプローブ放射ビームと干渉法により合成することと、それらの合成視野像を記憶することと、を含む。そして、１つのオブジェクトの合成視野像を、基準オブジェクトの合成視野像と比較して差を求める。これらのシステムおよび方法は、欠陥に関するレチクルの検査において特定の有用性を有する。 （もっと読む）

【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】オーバレイ測定を向上させる。
【解決手段】生成物マーカ格子の非対称性などの生成物マーカ格子の横プロファイルに関する情報が測定結果から判定される。オーバレイマーカ格子がレジスト膜に印刷された後、生成物マーカ格子に対するオーバレイマーカ格子の横オーバレイがスキャトロメータによって、且つ適宜の処理モデルと組み合わせた判定済みの非対称情報を使用して測定される。アライメントセンサの情報を使用して、先ず生成物格子を再構築してもよく、この情報はスキャトロメータに送られ、スキャトロメータは生成物とレジスト格子との積層を測定し、積層によって散乱された光は、オーバレイを計算するために積層のモデルを再構築するために利用される。 （もっと読む）

【課題】測定光による検査対象物の損傷等を抑制しながら高い精度で異状検査を行う。
【解決手段】異状検査装置１では、ベルトコンベア２が動くことにより、製造ラインに沿った載置面２ｂ上に載置された検査対象物３が製造ラインに沿って輸送される。検査対象物３が進行方向２ａに進むと同時に、検出ユニット２０の視野領域Ｌ１上に載置された検査対象物３に対してＳＣ（スーパーコンティニューム）光源１１から出射された近赤外光Ｌ１を照射部１２から照射し、検査対象物３からの拡散反射光Ｌ２を分光器２２で分光し受光部２３において検出し、分析部３０において分析を行うことにより、検査対象物３の異状検査が行われる。 （もっと読む）

【課題】
フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では検査範囲がレンズの大きさにより制限されていた。
【解決手段】
光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光または反射光を受光する拡散板と、拡散板に投影された光点を結像レンズを介して受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】エッジ破断部を検査するための、新規の改善された検査システム及び方法を提供すること。
【解決手段】検査システム（１０）が、光源（２０）と、回折格子（２３）と、位相シフトユニットと、イメージャ（３０）と、プロセッサ（１１）とを備える。光源（２０）は、光を発生するように構成される。回折格子（２３）は、発生した光の経路内にあり、光が通過した後に回折格子像を生成するように構成される。位相シフトユニットは、回折格子像の複数の位相シフトパターンを形成し、それを物体表面（１６）上に反射して、複数の投影位相シフトパターンを形成するように構成される。イメージャ（３０）は、投影位相シフトパターンの像データを取得するように構成される。プロセッサ（１１）は、像データから物体表面を再現するように構成される。検査方法についても開示する。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減するとともに、組み立て作業を簡単化しつつ、ＬＥＤの損傷を防止し、ＬＥＤとブラケット部材との位置決めを確実にする。
【解決手段】複数のＬＥＤ５２が列状に設けられたＬＥＤ基板５と、粘弾性を有する熱伝導部材６と、長手方向に延びるスライド溝７１が形成された放熱部材７と、スライド溝７１にスライド可能に係止する係止爪８２１を有するブラケット部材８と、を備え、放熱部材７、熱伝導部材６及びＬＥＤ基板５をこの順で重ね合わせた状態で、スライド溝７１に係止爪８２１が係止するように、ブラケット部材８及び放熱部材７をスライド移動させることによって、放熱部材７、熱伝導部材６、ＬＥＤ基板５及びブラケット部材８を互いに押圧接触させるように構成している。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上に存在する多種多様なパターン上においても欠陥を高感度且つ高捕捉率で検出する欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置において、照明光学系をレーザ５によるコヒーレント照明とＬＥＤ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄによるインコヒーレント照明の２系統とし、検出系ではそれぞれの照明光に対応した光路に分岐し、それぞれの検出光路に空間変調素子５５ａ、５５ｂを配置し、それぞれ空間変調素子５５ａ、５５ｂにて感度を阻害する散乱光を遮光し、空間変調素子５５ａ、５５ｂを透過した散乱光をそれぞれの光路に配置したイメージセンサ９０ａ、９０ｂにて検出し、これら、２つのイメージセンサ９０ａ、９０ｂにて検出した画像を比較処理して、欠陥候補を判定する。 （もっと読む）

【課題】ＴＤＩセンサ等のセンサのラインレート以上のスキャン速度で検査した場合、ＴＤＩセンサのラインレートとスキャン速度が非同期となり画像がボケてしまうため、ＴＤＩセンサのラインレート以上のスキャン速度では使えないという課題についての配慮がされていなかった。
【解決手段】ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度を非同期で制御し、且つＴＤＩセンサの電荷蓄積による画像加算ずれの課題を解決するため、被検査物に細線照明を照射し、ＴＤＩセンサの任意の画素ラインのみに被検査物の散乱光を受光させる。また、ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度の速度比によって、検出画素サイズの縦横比を制御する。 （もっと読む）

【課題】均一な照明をすることができるリング照明装置の提供。
【解決手段】リング照明装置１は、対物レンズ１０の光軸Ａの周囲にリング状に配列されるとともに、互いに異なる３種類の色光を射出する複数のＬＥＤ２と、各色光を合成するプリズム３と、プリズム３にて合成された光を交点Ｐに集光する反射鏡４とを備える。各ＬＥＤ２のうち、同一の種類の色光を射出するＬＥＤ群２Ｒ，２Ｇ，２Ｂは、光軸Ａと略直交する同一の平面内に光軸Ａの周囲に沿って所定の間隔で円環状に配列されている。プリズム３、及び反射鏡４は、光軸Ａの周囲に沿って円環状に形成されている。これによれば、反射鏡４は、ＬＥＤ群２Ｒ，２Ｇ，２Ｂから射出され、プリズム３にて合成された光を光軸Ａに向かう放射状に集光することができる。したがって、リング照明装置１は、均一な照明をすることができる。 （もっと読む）

【課題】構造を肥大化させることなく、良好な光伝達効率または光量ムラ軽減が可能な光伝達素子を提供する。
【解決手段】基端面を光導入面９ａ、先端面を光導出面９ｂ、側周面９ｃを内向きの反射面とし、前記光導入面９ａから内部に導入した光を前記光導出面９ｂから射出する光伝達素子９であって、前後の素材とは屈折率が異なる異屈折率層９３を、軸線Ｃ１を横切るように設け、その異屈折率層９３に接する互いに対向する端面を非平行に構成した。 （もっと読む）

【課題】搬送中の鋼板等の帯状体のエッジ部に発生する歪のような緩やかな形状欠陥及び表面疵を検査し、高い精度でトリム代を設定できるようにする。
【解決手段】搬送される帯状体エッジ部の形状を表す形状画像から、帯状体の幅方向各位置において、予め設定された間隔で帯状体の長手方向に沿っての急峻度最大値を求め、幅方向各位置と長手方向急峻度最大値との関係である最大急峻度プロフィールを生成し、該最大急峻度プロフィールから、該長手方向急峻度最大値が予め設定された閾値と等しくなる幅方向位置を形状欠陥幅として算出する形状欠陥幅算出部５０７と、エッジ部の輝度画像から有害表面疵を検出し、エッジからの幅方向距離の最大値である表面疵幅を算出する表面疵幅算出部５１１と、前記形状欠陥幅と前記表面疵幅とを比較して、エッジ欠陥切除位置を出力するエッジ欠陥切除位置出力部５１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】集光部材と照明ユニット、そしてそれを利用した光学検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、集光部材を利用して検査対象物に照射される光を集光することを特徴とする。この特徴によると、検査対象物（印刷回路基板）に照射される光の損失を最小化し、基板に形成されたパターン傾斜面の鮮明なイメージデータを獲得することが可能である。 （もっと読む）

【課題】検査対象が光のビーム径程度に薄く、曲がることが起こりうる場合および検査対象の厚みのばらつきが大きい場合においても安定した検査を行うことができる透明物体の欠陥検査方法および透明物体欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】光を透過可能な透過物体の欠陥を検査する透過物体の欠陥検査方法であって、透過物体の側面からなる平面に対し、透過物体の上面側から下面側にかけ複数の照射位置で、面垂直方向に光を照射し、平面に対し入射された複数の照射位置における各光が塵埃または欠陥により散乱された散乱光を受光し、複数の照射位置における各散乱光を信号にそれぞれ変換し、それぞれ変換した各信号における所定の値が第１閾値以上である各信号の数に基づいて、透過物体に欠陥があるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面の模様やツヤによらず、対象物表面の欠陥による凹凸を確実に検出する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】対象物１の検査面１０に対して検査面１０の法線方向と斜めに交差する方向から平行光束５を照射させた状態で、前記検査面１０を法線方向から撮像した検査画像６の明度を検出する処理と、前記表面画像６から閾値メモリ４３に記憶された第１の閾値Ｔｈ１よりも明度が低い部位を暗部６２、６３とし、第２の閾値Ｔｈ２よりも明度が高い部位を明部６１、６４として抽出する処理と、明部６１、６４及び暗部６２、６３が前記平行光束５の照射方向に沿って連続して存在する場合に、明部６１、暗部６２及び明部６４、暗部６３の組合わせを欠陥部６５，６６として検知する。 （もっと読む）