【課題】
プリント配線基板等、特に光透過型電子基板の欠陥を、基板のずれを気にせずに光学的処理により高精度、迅速、かつ、自動的に検出することができる形状欠陥等の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】
可干渉性レーザ光源、可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズと、そのレンズの前方に設置された検査物体の回転を抑えるためのガイド溝を通して搬送する検査物体の導入手段または検査物体形状写出手段と、前記レンズの光軸中心の後焦点面または光軸中心の後焦点面付近に設置された形状識別手段としての光差分または排他的論理和を行う光学フィルタ(光差分フィルタまたは光相関フィルタ)を含む光差分器や光相関器と、光学フィルタを前焦点面として設置された逆フーリエ変換レンズと、逆フーリエ変換レンズからの画像を撮り込む電子カメラ、とで構成される画像の差異や画像欠陥を検査する方法および装置。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン薄膜の表面の状態を光学的に観察して、多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査することを可能にする。
【解決手段】本発明では、表面に多結晶シリコン薄膜が形成された基板に光を照射し、光が照射された多結晶シリコン薄膜の表面から発生する１次回折光の像を撮像し、撮像して得た１次回折光の像の画像を処理して多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査し、画像を処理して検査した１次回折光の像を検査した結果の情報と共に画面上に表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】反射光学系を併用した場合に撮像光学系のみを用いた場合と同じ像を得ることが可能なビデオマイクロスコープを提供する。
【解決手段】複数のレンズ２１Ａ〜２１Ｅよりなる撮像光学系２０の光軸ＯＡを、載置面の上方斜めから載置面上の被写体に向ける。撮像光学系２０の下端には、第１ミラー３１および第２ミラー３２よりなる反射光学系３０を、反射光学系支持機構４０により支持させると共に、撮像光学系２０の光軸ＯＡの回りに回転可能とする。撮像光学系２０の上端には、ＣＣＤなどの撮像素子５０を配置する。第１ミラー３１の回転方向位置に応じて撮像素子５０を撮像光学系２０の光軸ＯＡの回りに回転させることにより、反射光学系３０の回転によって生じた被写体２の像の傾きを低減ないし解消させる。 （もっと読む）

【課題】 孔内の上下左右いずれの面においても正確なひび割れ幅等の情報を得ることができ、注入材の注入状況も正確に検査することができる検査具を提供する。
【解決手段】 この検査具は、棒状レンズ１０と伝送路１１とミラー１３を収納し、ミラー１３からの光を出射させ、ミラー１３へ反射光を入射させるための窓１４を有し、孔２０内の１つの壁面からの距離と該１つの壁面に対向する他の壁面からの距離が等しい中心線上にミラー１３が配置されるようにミラー１３を支持し、孔２０内へ挿入されるチューブ１５と、チューブ１５内に取り付けられ、その中心線上に棒状レンズ１０が配置されるように棒状レンズ１０および伝送路１１を支持する支持リング１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】
単一の統合条件においては複数の欠陥種を同時に検出することは困難であり、また、多次元の特徴量として扱って複数の欠陥を検出すると、信号処理にかかる計算コストが検出器の増加とともに増大するという問題が発生する。
【解決手段】
被検査対象物に照明光を照射する照明光学部と、前記照明光学部により照射され該被検査対象物から該被検査対象物の表面に対してそれぞれ異なる方位角方向および仰角方向に散乱する散乱光をそれぞれ検出する複数の検出器を備えた検出光学部と、前記複数の検出器により検出した該被検査対象物からの散乱光に基づく複数の信号のそれぞれについて、ゲイン調整および閾値判別に基づく欠陥判別を並列に行い、前記ゲイン調整および欠陥判別された結果に基づき欠陥を抽出する信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】異物の付着した面が被検物の２面のうちのいずれの面であるかを検出することが可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置は、被検物に検査光を投光する投光部と、検査光が投光されることによって被検物から生じる散乱光の強度を検出する検出器を含む受光部と、制御部とを備える。検出器は、偏光方向が第１の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第１の散乱光の強度と、偏光方向が第２の方向である検査光が投光されることによって被検物から生じる第２の散乱光の強度とを検出する。制御部は、検出器により検出された第１の散乱光の強度および第２の散乱光の強度の比が基準値より大きいか小さいかによって異物が付着した面が第１面および第２面のいずれであるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】鋼板表面に波長が１０．６μm以上の光を照射する光源４と、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の集束によって得られる明点に基づいて凹欠陥を、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の発散によって得られる暗点に基づいて凸欠陥を検出する検出系６，７とを有する。 （もっと読む）

【課題】表面に細かな凹凸を有する部材であってもその表面の欠陥を検出できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象Ｓの表面の欠陥を検査する装置であって、被検査対象Ｓに光を照射する投光手段１０と、被検査対象Ｓの表面において反射した光を受光する受光部とを備えた撮影手段２０とからなり、投光手段１０は、一列に並んで配置された複数の発光体１３を有する光源１１と、光源１１と被検査対象Ｓとの間に設けられた、各発光体１３から被検査対象Ｓに照射される光を制限する遮光部材１５を備えており、遮光部材１５は、各発光体１３から放出される光のうち、発光体１３が並んでいる方向において、各発光体１３の光軸から一定の範囲よりも内側の光を遮断し得る複数の遮断部15aを備えている。 （もっと読む）

本発明は、基体３０が、流体または流体に含まれる成分の流れが第一面から第二面に通ることを防ぐように適合されている第一面および第二面を有する基体３０中の漏れの位置を捜しあてる方法、およびこの方法に有用なシステム１０を対象とし、ここで方法はａ）第一面を第二面から離し；ｂ）第一面と第二面との間に圧力差をつくり、ここで第一面上の圧力は第二面上の圧力より高く；ｃ）第二面または基体３０を含むデバイス１１の出口３２をバッフル２３と接触させ、ここでバッフル２３はパターンを形成する複数の相互連結部を有し、そしてバッフル２３は基体３０の第二面または基体３０が配置されたデバイスの流体出口３２を覆うために十分なサイズであり、そしてバッフル２３のパーツは粒子３３が通過できる開口を作成し；ｄ）バッフル２３の表面を拡散光源２４からの光に暴露し；ｅ）基体３０の第一側を、基体３０が基体３０の第一面に保持するように設計されている粒子サイズの粒子３３を含有する運搬流体と接触させ；ｆ）基体３０を通過した粒子３３により散乱された光について、バッフル２３の表面上の空間をモニタリングすることを含んでなる。
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【課題】基板と屈折率が同等もしくは近い異物を高感度に検出できる基板の検査方法及び基板の検査装置を提供する。
【解決手段】プリズム１６の表面１６ａに形成された金属膜１５に対して基板２０に形成された凹凸パターンを近接させた状態で、プリズム１６の表面１６ａと金属膜１５との界面側から金属膜１５に光を照射して光の反射特性を取得する工程を複数の基板２０について行い、複数の基板２０間で反射特性を比較する。 （もっと読む）

【課題】
検出画素ずれおよび画素割れによる影響を回避し、概略同一の領域から発生する散乱光同士を加算可能にする欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
被検査対象物の所定の領域に照明光を照射する照明光学系と、前記照明光学系の照明光による該被検査対象物の所定の領域からの散乱光を複数画素で検出可能な検出器を備えた検出光学系と、前記検出光学系の検出器により検出した散乱光に基づく検出信号について、該被検査対象物の表面に対して垂直な方向の変動に起因する画素ずれを補正する補正部と前記補正部により補正された検出信号に基づいて該被検査対象物の表面の欠陥を判定する欠陥判定部とを備えた信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】透明カプセル等の透光性を有する容器内における透光性を有する液体の有無を容易且つ確実に検査する。
【解決手段】複数のＬＥＤ２１及び複数のＬＥＤ２１からの光を拡散させる拡散板２２を有する面光源２と、面光源２からの光を集光して複数の容器Ｗに照射する集光レンズ３と、複数の容器Ｗを通過した光により撮像する撮像部４と、を備え、面光源２の光射出面２ａのサイズを、撮像部４により容器Ｗを撮像可能である撮像領域４ｘのサイズよりも小さく、集光レンズ３が、面光源２における光の拡散角度を狭めて容器Ｗに照射し、撮像部４により得られる画像が、容器Ｗ内に透光性を有する液体がある場合及び透光性を有する液体が無い場合で異なるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】１つ以上の空間光変調器（ＳＬＭ）を用いて検査システム内の光学ビームの位相および／または振幅を変える方法を提供する。
【解決手段】試料を光学的に検査する装置１００は、入射光ビーム１１５を試料１１６上に導くビーム発生器１０２を含む。試料からの出力ビーム１２５は、結像光学系１２０、１２４を通して検出器１２６に向けて導かれる。この装置はさらに出力ビームまたは入射ビームのいずれかの光路内に配置されるプログラム可能な空間光変調器（ＳＬＭ）を含む。空間光変調器は、照射開口１０８と共に第１ＳＬＭを、視野開口（field aperture）１１２と共に第２ＳＬＭを含み、入射ビームまたは出力ビームの位相または振幅プロファイルを調節するよう構成される。空間光変調器は、異なる検査モードを達成するために入射ビームの照射プロファイルを変えるよう構成されえる。 （もっと読む）

【課題】 マルチフォーカス検査装置及びマルチフォーカス検査方法に関し、１回のスキャンで高速且つ高精度の全面外観検査を可能にする。
【解決手段】 測定対象物を撮像する測定ヘッドと、前記測定対象物と前記測定ヘッドを平面内において互いに相対的に移動させる移動機構と、前記測定対象物に光を照射する光源とを備え、前記測定ヘッドは、前記測定対象物に対向して配置された撮像レンズと、前記撮像レンズの合焦面が、前記測定対象物の移動方向に対して直交する平面内或いは前記直交する平面から±４５°の範囲内で前記測定対象物の移動方向に傾斜させた平面内に存在するように調整する光学部材と、前記光学部材からの光の結像位置に焦点面が位置するよう配置したイメージセンサとを少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】最上層のパターン、特にホールパターンの検査を、高いＳ／Ｎ比で行うことができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】照明光Ｌ１によって照明されたウエハ２からは回折光Ｌ２が生じ、受光光学系４に導かれて集光され、回折光Ｌ２によるウエハ２の像を本発明の撮像手段としての撮像素子５上に結像する。画像処理装置６は、撮像素子５で取り込んだ画像の画像処理を行って、欠陥を検出する。偏光板７は、照明光Ｌ１がＳ偏光でウエハ２を照明するし、かつその振動面とウエハ２のとの交線がウエハ２に形成された配線パターンと平行、又は直交するようにされ、偏光板８はウエハ２からの回折光のうちＰ偏光の直線偏光を取り出すように調整されている。こうすることでホールパターンの検査を、その下に存在する配線パターンと区別して検査することが可能になり、表層の欠陥をＳ／Ｎ比の良い状態で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】光量の分布が均一化された照明光を確実に照射する。
【解決手段】コレクタレンズ１４は、光源１３からの照明光が平行な光束となるように屈折する。フライアイレンズ１８は、平行な光束とされた照明光の光軸に略直交する平面に沿って配列される複数のレンズ素子２３により、複数の光源像を形成する。コンデンサレンズ２０は、複数の光源像からの光束を平行光束にし、複数の光源像からの光束を、被検物の被照射面に重畳させる。そして、制御部３２は、被検物に向かう光学系から分離された測定光学系における測定結果に応じて、駆動部３３を制御して、コンデンサレンズ２０を構成するアフォーカル光学系２０ｂを移動させる。本発明は、例えば、撮像素子を検査する検査装置の照明装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物上に形成されるとともに各光源の並設方向と直交する方向に細長く延びる傷の検知精度を向上することのできる照明装置を提供する。
【解決手段】各レンズ１０，２０を通過した光のうち各ＬＥＤ２の並設方向における所定の照射角度範囲、例えば受入角θ１と等しい１５°の照射角度範囲外の光が各光ファイバー３０に入らず、換言すれば、所定の照射角度範囲外の光が各光ファイバー３０によって遮られるので、各ＬＥＤ２が中央から略５０°の光照射範囲に大部分の光を照射するように構成されており、各レンズ１０，２０を通過した光が各ＬＥＤ２の並設方向にＬＥＤの光照射範囲と同等の角度範囲内の様々な方向に向かって進む場合でも、所定の照射角度範囲である１５°の範囲以外の光が各光ファイバー３０によって遮られ、検査対象物Ｗの上面の所定の照射位置ＡＲに所定の照射角度範囲である１５°内の光だけが照射される。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に伴う誤検出を防止した対物レンズユニットを提供する。
【解決手段】非晶質の材料を用いたレンズを含む複数のレンズＧ１〜Ｇ１３からなる対物レンズ５１と、対物レンズ５１を保持する鏡筒部材とを備え、鏡筒部材の材料の線膨張係数をα１とし、複数のレンズＧ１〜Ｇ１３のうち非晶質の材料を用いたレンズの材料の線膨張係数をα２とし、非晶質の材料を用いたレンズの外径をＤとし、非晶質の材料を用いたレンズの材料の光弾性定数をβとし、非晶質の材料を用いたレンズ内の開口数が最大となる光路長をＬとしたとき、複数のレンズＧ１〜Ｇ１３における全ての非晶質の材料を用いたレンズが条件式｜（α１−α２）×Ｄ×β×Ｌ｜＜１２０００を満足している。 （もっと読む）

【課題】本発明は基板の内部欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
まず基板の側面に、少なくとも光源を提供する。光源は、側面に向かって基板を透過する光線を発する。さらに基板の上表面のイメージを取得するイメージセンサモジュールを提供する。光線が側面に相対する入射角度は、光線が基板内で全反射によって伝達される第１所定角度内に制限する。これにより、光線が基板内を伝わり内部欠陥に遭遇した場合、欠陥部分に明点が形成され、イメージセンサモジュールがこの欠陥の位置を検出する。この種の方法は、内部欠陥の好適なイメージ解像度を確実に向上させる。このほか、本発明はさらに、上述の基板の内部欠陥検査方法に基づいた、基板の内部欠陥検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の面積が広い場合にも能率的な表面検査が可能であり、また、特別な信号処理を施さなくとも長い表面欠陥を一つの欠陥と判断することができる新規の表面検査手段を提供する。
【解決手段】 被検査物Ｘの表面に光源１０から光を照射し、当該表面から反射する散乱光の強さにより被検査物の表面欠陥を検出する。被検査物Ｘの表面と光源１０との間に相対移動を与えて当該表面に光を走査させること、および、照射する光１１を、上記走査方向と直角の方向に長い線状のものとし、照射する光１１の全域からの散乱光の強さにより被検査物Ｘの表面欠陥を検出する。 （もっと読む）