【課題】 基板上に形成された膜厚が巨視的に見てなだらかに傾斜している場合でも、光の波長帯に依存せず、検出感度の良いムラ検査装置、およびムラ検査方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 基板９の上面に形成された膜９２に対して異なる波長帯の光を照射し、それぞれの波長帯の光により膜９２の膜厚の変動を示すムラ画像を取得する。ムラ画像からムラを含む領域を選択し、それぞれの領域を合成することにより、基板全面において膜厚ムラが高感度に検出されたムラ画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】膜種、膜厚、表面粗さ、結晶方位などの異なる多種多様なウェーハに対応できる欠陥検出精度が向上可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】ウェーハ１００からの反射光が光検出器２０７により検出され、Ａ／Ｄ変換１１２を介してローパスフィルタ１１４、減算器１１５に供給され、低周波数成分が減算された信号が非線形フィルタ処理部１１８に供給される。処理部１１８にて信号時間幅を用いたノイズ除去が行われ、異物・欠陥判定部１０８で、予め定められた検出しきい値と比較され、散乱光強度値がしきい値以上であれば、異物・欠陥判定部１０８は異物・欠陥判定情報を発生する。処理部１１８にて、信号幅を用いたノイズ除去を行っているので、小さな異物を検出可能なしきい値に基づいて、異物・欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】表面検査における検出感度の低下、及び熱ダメージの増加を抑制しつつ、検査時間を短縮することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物を主走査として回転移動させると共に副走査として並進移動させ、半導体ウエハ１００の表面に照明光２１を照射して、その照明光２１の照射範囲である照明スポット３を形成し、照明スポットからの散乱・回折・反射光を検出し、その検出結果に基づいて半導体ウエハ１００の表面上または表面近傍内部に存在する異物を検出する表面検査装置において、副走査の並進移動速度を、半導体ウエハ１００の主走査における回転中心から照明スポットまでの距離に応じて制御する。 （もっと読む）

【課題】カラーライン撮像装置のライン撮像部の傾きと回転ドラムの軸方向とを容易且つ正確に調整することができる粉粒体異物検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体を搬送しながら平準化する粉粒体搬送機構３と、該粉粒体搬送機構から落下する粉粒体を外周面で受けて滑落位置まで搬送する透光性の回転ドラム１１と、回転ドラム１１の粉粒体落下位置から前記滑落位置までの間で、少なくとも回転ドラムを軸方向に延長するライン状照明領域１２で照明する照明機構１３と、ライン状照明領域１２を撮像するカラーライン撮像装置１４と、回転ドラム１１の外周面に着脱自在に載置する傾き検出用パターンを表示した校正部材と、前記校正部材を回転ドラムに載置した状態で、カラーライン撮像装置１４で撮像したカラー画像情報に基づいて少なくともカラーライン撮像装置１４の傾きを検出する撮像装置傾き検出部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】紡糸口金に穿設された複数個の吐出孔を同時に検査して孔中に残留する異物の有無を多数の吐出孔に対して一度に孔内異物が検出でき、且つ、紡糸口金を傷付けることなく安全に孔内異物を除去することができる機能が付いた紡糸口金検査装置を提供する。
【解決手段】スキャンカメラ１を用いて、紡糸口金Ｃａを走査することにより、高解像度の複数の画像データ群を取得し、これら画像データ群を合成して作成した合成画像データから紡糸口金に穿設された多数の吐出孔群Ｈのそれぞれに対して孔内異物の存在の有無を画像処理を用いて一度に検出し、孔内異物が検出された吐出孔に関しては、イオンを含んだ圧空を吹き付ける、孔内異物除去機能４付き紡糸口金検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】試料に付着した異物の存否のみならず、異物の種類をも簡易に識別できる異物の識別方法を提供する。
【解決手段】既知の物質に異なる励起波長の紫外線を照射し、各励起波長における試料からの蛍光強度と波長を分析して、蛍光強度がピークとなるときの励起波長を基準励起波長とし、蛍光強度がピークとなった蛍光波長を基準蛍光波長とするとき、次の過程を含む。（Ａ）試料に前記基準励起波長の紫外線を照射して、試料からの蛍光波長を分析する過程。（Ｂ）その試料からの蛍光波長が前記基準蛍光波長と合致すれば、試料に前記既知の物質が異物として存在すると判定し、合致しなければ試料に既知の物質がないと判定する過程。 （もっと読む）

【課題】回折次数の重なりを防止しつつ基板の特性を精度良く求める技術を提供する。
【解決手段】角度分解分光法に対しては、４つのクアドラントを有する照明プロファイルを有する放射ビームが使用される。第１および第３クアドラントが照明される一方、第２および第４クアドラントは照明されない。したがって、結果として生じる瞳面は４つのクアドラントに分けられ、ゼロ次回折パターンのみが第１および第３クアドラントに現れて一次回折パターンのみが第２および第３クアドラントに現れる。 （もっと読む）

基板の欠陥を検出するシステム及び方法が提供される。システムは、基板（１２０）の一方の側に配置され、基板（１２０）に拡散光を放射するように適合された第１照明部（１４０）と、基板（１２０）の他方の側に配置され、第１照明部（１４０）により放射されて基板（１２０）を透過した光を検知することによって、基板（１２０）を走査するように適合された第１画像化部（１６０）であって、第１照明部（１４０）及び第１画像化部（１６０）が第１検出チャネルを構成する第１照明部（１４０）と、基板（１２０）と第１照明部（１４０）及び第１画像化部（１６０）との間に相対運動を生成するように適合された移送モジュール（１３０）と、を備える。
（もっと読む）

【課題】 装置全体をコンパクトに保持しながら、複数の線状光源のＬＥＤからの光を効率良く集光することができるＬＥＤ照明装置を提供する。
【解決手段】 複数のＬＥＤ１１を線状に配置して線状光源４’となし、この線状光源４’の複数個を所定の間隔を置いて線状方向に配置して構成した面光源４と、面光源４の前方に配置され、各線状光源４’からの光を照射面２４に集光させる集光レンズ３と、を備える。集光レンズ３は、その表面に複数の線状光源４’のそれぞれに対応してシリンドリカル状のレンズ部２２が複数列並設されている。複数の線状光源４’と直交する断面において、複数列のレンズ部２２は、各列のレンズ部２２から射出される光とその光軸とのなす画角が、その中央列から左右外方列に行くに従って順次大きくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被検査物の光透過層における欠陥の有無を、極めて簡易な構成で高精度に検査することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置６４は、光透過層２２を有する被検査物１８に対して、入射角がブリュースター角Ｂに設定された照明光Ｌを照射する照明部７０と、前記被検査物１８によって反射された前記照明光ＬのＰ偏光成分のみを通過させる偏光子８２と、前記偏光子８２を通過した前記Ｐ偏光成分を受光する受光部８６とを備え、前記受光部８６により受光した前記Ｐ偏光成分の受光量に基づき、前記光透過層２２の状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】
分光検出手法を用いて検査対象表面に一様に形成された繰り返しパターンの形状を検出するには、分光検出する波長範囲が、短い波長領域に広いことが有利である。しかし、短い波長領域すなわち紫外領域を含む広い波長範囲で分光検出可能な光学系を比較的簡単な構成で実現することは容易ではない。
【解決手段】
パターン欠陥を検査する装置を、ハーフミラーとして空間的に部分的なミラーを用い、また検査対象へ光の照射および検査対象からの反射光の検出の角度及び方向を制限するための開口絞りを反射型対物レンズ内に設置することにより、深紫外から近赤外までの波長帯域で検出可能な分光検出光学系を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】撮像距離及びタイムタクトを短くした外観検査装置及び外観検査方法の提供。
【解決手段】走査線幅に比べて全画素幅が大きい複数のテレセントリックレンズのうち、任意のテレセントリックレンズ１８ｃ及び１８ｄを移動ステージの面に対して光軸が垂直になるように配置し、他のテレセントリックレンズ１８ａ及び１８ｂを移動ステージの面に対して光軸が移動ステージの面と平行になるように配置したことにより、移動ステージ上の被検査対象物に対する走査線を走査方向に対して密接して配置することができ、これによりラインセンサ１３の視野間隔を短くしたもの。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法。
【解決手段】 この方法は、基準画像を作り出すためのトレーニングプロセスを備える。トレーニングプロセスは、未知の品質の第１のウェーハの複数の画像を収集するステップを含み、第１のウェーハの複数の画像の各々が所定のコントラスト照明で収集され、および第１のウェーハの複数の画像の各々が複数の画素を備える。トレーニングプロセスはさらに、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々に対する複数の基準強度を決定するステップと、第１のウェーハの複数の画像の各々の複数の画素の各々の複数の基準強度に対する複数の統計的パラメータを算出するステップと、算出された複数の統計的パラメータに基づいて第１のウェーハの複数の画像から複数の基準画像を選ぶステップとを含む。ウェーハを検査するためのこの方法は、第２のウェーハの画像を収集するステップであって、第２のウェーハが未知の品質であるステップと、複数の基準画像から第１の基準画像を選ぶステップと、第２のウェーハ上の欠陥の存在およびタイプの少なくとも１つをそれによって決定するために第１の基準画像と第２のウェーハの収集画像を比較するステップとを更に含む。
（もっと読む）

【課題】 ウェーハを検査するための方法およびシステム。
【解決手段】 このシステムは、光検査ヘッド、ウェーハテーブル、ウェーハスタック、ＸＹテーブルおよび振動絶縁装置を含む。光検査ヘッドは、複数の照明器、画像収集装置、対物レンズおよび他の光学部品を含む。このシステム及び方法は、明視野画像、暗視野画像、３Ｄ形状画像および検査画像の収集を可能にする。収集画像は、画像信号に変換され、かつ処理のためにプログラマブルコントローラに伝送される。ウェーハが動いている間、検査が実行される。収集画像は、ウェーハ上の欠陥を検出するための基準画像と比較される。基準画像を作り出すための例示的な基準作成プロセスおよび例示的な画像検査プロセスもまた、本発明によって提供される。基準画像作成プロセスは、自動プロセスである。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハを検査するための検査システム。
【解決手段】 この検査システムは、広帯域照明を供給するための照明設定を備える。広帯域照明は、異なるコントラスト、例えば明視野および暗視野広帯域照明であることができる。検査システムは、第１の画像収集装置および第２の画像収集装置を更に備え、半導体ウェーハが動く間、各々が半導体ウェーハの画像を収集するために広帯域照明を受け取るために構成される。システムは、広帯域照明の平行を可能にするための複数のチューブレンズを備える。システムはさらに、安定化メカニズムおよび対物レンズ組立体を備える。システムは、細線照明エミッタ、および半導体ウェーハの３次元画像をそれによって収集するために細線照明を受け取るための第３の画像収集装置を更に備える。システムは、第３の画像収集装置が、複数の方向に半導体ウェーハから反射される照明を受け取ることを可能にするための反射器組立体を備える。 （もっと読む）

【課題】照明装置、検査システム、および照明方法において、光学部材の光散乱系欠陥や光吸収系欠陥等を良好に観察することができるようにする。
【解決手段】検査システム１００は、光透過性の被検レンズ１を、被検レンズ１を保持する保持台と、被検レンズ１上の被検査領域上の各点を小さい開口数で透過照明する散乱光放射領域である面光源６ａと、保持台に保持された被検レンズ１と面光源６ａとの間の相対位置を少なくとも光軸Ｐに沿う方向に調整する相対移動機構とを備え、面光源６ａの中心Ｏを、被検レンズ１の前側焦点位置に略一致させて、被検レンズ１の被検査領域の全域を透過照明する。 （もっと読む）

【課題】ＵＳＢカメラ３を用いて表面検査装置１００を安価に構成すると共に、ＵＳＢカメラ３を用いた際に生じる不具合を解決する。
【解決手段】検査対象物Ｗの表面を撮像するＵＳＢカメラ３と、ＵＳＢカメラ３から出力される画像データが、ＧＰＵ４２のＡＰＩにより随時上書き更新されるメモリ部４３と、検査対象物Ｗの画像データを前記メモリ部４３から取得して処理する画像処理部４４２と、を具備し、画像処理部４４２が、検査対象物Ｗの変化前後の画像データを取得するにあたり、その変化時間以後に前記メモリ部４３から画像データを複数回取得し、変化時刻後最初に取得した画像データと異なる画像データを取得した場合に、当該画像データを変化後の画像データとする。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルタの透過波長が変化せず安定した光量の照明光を出射することができる照明装置および該照明装置を備えた表面検査装置を提供する。
【解決手段】照明装置５０は、光源５１から放射された光を特定波長を含む照明用の光と該照明用に光以外の非照明光とに分割するダイクロイックミラー５３と、分割された照明用の光から前記特定波長を有する照明光を抽出する干渉フィルタと、干渉フィルタをウエハ照明光路Ｏｐ１とフィルタ加熱光路Ｏｐ２とに移動させることが可能な第１，第２フィルタ装置５６，５７と、第１，第２フィルタ装置５６，５７により干渉フィルタをフィルタ加熱光路Ｏｐ２に移動させて干渉フィルタに前記非照明光を照射して干渉フィルタを加熱させた後、第１，第２フィルタ装置５６，５７により干渉フィルタをウエハ照明光路Ｏｐ１に移動させて干渉フィルタに前記照明用の光を照射して前記照明光を抽出して出射させる制御を行う制御部とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】ノッチ部を精度良く検査できる周部検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る周部検査装置は、周部にノッチ部１４が形成されたウェハ１０を保持する保持部と、ウェハ１０の周部を撮像可能な撮像部９０とを備え、撮像部９０により撮像されたウェハ１０の周部の画像を用いてウェハ１０の表面検査を行うように構成され、保持部に保持されたウェハ１０と撮像部９０とを撮像部９０の光軸方向に沿って相対移動させる駆動部と、撮像部９０の光軸上にノッチ部１４を位置させた状態で、駆動部により相対移動させながら撮像部９０により撮像したノッチ部１４を含んだ複数の画像について、それぞれの画像の画素毎に信号強度を求めるとともに複数の画像における同じ画素同士の信号強度を比較して、信号強度が最大となる画素を抽出し、抽出された複数の画素の画像を対応する画素位置に並べて合成しノッチ部１４の検査用画像を生成する画像処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】チップ部品をキャリアテープの各収納溝内に装填する前に、吸着ノズルにより吸着保持された状態のチップ部品の側面の状態を検査し、不良チップ部品を装填しないようにすること。
【解決手段】ビームスプリッター６２により半分の量が反射して上昇した同軸照明灯６１からの照明光を吸着装填ノズル３８により吸着保持された状態のチップ部品ＡＡの底面に照射してチップ部品ＡＡの底面からの反射像をビームスプリッター６２で反射させてズームレンズ６８を介して撮像すると共に、各傾斜面６６Ａにより半分の量が透過したドーム照明灯６５からの照明光を同じくチップ部品ＡＡの側面に均一に照射して、チップ部品ＡＡの側面からの反射像を傾斜面６６Ａで下方へ反射させてビームスプリッター６２で反射させてレンズ６８を介して撮像し、その画像に基づいて、認識処理装置が認識処理してチップ部品ＡＡの各側面の状態を検査する。 （もっと読む）