【課題】 印刷半田の平行移動ずれと角度ずれを共に検出できる印刷半田検査装置を提供し、更に、印刷半田の平行移動ずれと角度ずれの推移を把握容易な形態で表示できる印刷半田検査装置を提供する。
【解決手段】 プリント基板１の部品実装面１ａに光照射して反射光量に応じた検出信号を出力する検出ヘッド１１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて部品実装面１ａにおける半田印刷領域の基準位置を検出する基準位置検出手段３１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて複数の印刷半田の平行移動ずれを検出する平行移動ずれ検出手段３３と、基準位置検出手段３１の検出情報に基づいて半田印刷領域における回転中心座標を設定する中心座標設定手段３２と、プリント基板１の設計値情報、平行移動ずれ検出手段３３の検出情報および中心座標設定手段３２の設定情報に基づいて複数の印刷半田の角度ずれを検出する回転ずれ検出手段３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】
厚みの薄いモールド樹脂剥がれ等の欠陥を精度よく検出できる外観検査装置及びその検査方法を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかる外観検査装置１００は、検査対象物（ワーク）１０中の擬似的な凹レンズの焦点付近にフォーカスを合わせて撮像を行って画像データを得るカメラ１Ａと、カメラ１Ａとワーク１０を結ぶ光軸に沿って照明光を測定対象物に照射する同軸照明３と、カメラ１Ａで得られた画像データから輝点を検出して欠陥の有無を判定する剥がれ検査部７とを有している。カメラ１Ａは、同軸照明３が照射した光がワーク１０に反射されて生じた拡散光を、ワーク１０内の欠陥による擬似的な凹レンズを介した虚像として撮像する。 （もっと読む）

連続運転中の製産ラインから演習画像が得られ、物体の実際の製造および検査の際、実質同様の状態を提供することができるビジョン検出器を設定するための、システムおよび方法が開示される。視覚検出器が物体の検査のためにトリガ信号を使用するか、しないかにかかわらず、演習画像はトリガ信号を必要としない。さらに、生産工程からの限られた枚数の画像を選択、保存、表示することによって、視覚検知器の試験を行うためのシステムと方法が開示され、それらの画像は誤った決定を示しがちな物体に対応する。
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検出または検査されるべき物体が位置する可能性のある二次元視野のデジタル画像を取得し、画像の分析と物体の状態の決定と記録を行う、物体の自動光電子検出および検査のための方法および装置を提供する。決定は、物体が視野に位置する複数の画像から得られる証拠に基づき、一般に複数の視点に対応して行われる。物体が視野に位置する証拠は、検出のために使われ、物体が適切な検査基準を満たす証拠は検査のために使われる。複数の視点が継続動作中の物体に対し得られるように高速で画像を取得し解析するための方法および装置が開示される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】試料の画像を、試料が欠陥を含むかを判断するために分析する画像処理システムを開示する。システムは、試料からの画像データを受領し、試料が欠陥を有するかを判断するために、こうした画像データの一つ以上の選択されたパッチ（群）を分析する、複数のプロセッサ（２０２、３０６）を含む。システムは、更に、プロセッサを共に結合し、仕様として、毎秒約５０ギガビット以上のデータレートおよび約１０^-16未満のエラーレートを有する複数のバス（２０６、４５０）を含む。一実施例において、バスは、低電圧差分信号バスであり、別の実施形態において、バスは、ハイパートランスポートバスである。 （もっと読む）

【課題】 処理速度が速く、カメラ台数を増やす際の対応が容易で、高い信頼性が得られる画像処理装置および画像処理方法を提供すること。
【解決手段】 検査対象物の欠陥を検出する画像処理装置１は、ＣＰＵ２、メインメモリ３およびＰＣＩバス４を備えたパーソナルコンピュータ５と、ＰＣＩバス４に接続された画像処理ボード６とを備える。画像処理ボード６は、大容量画像メモリ８を備え、４台のカメラ１１〜１４からの原画像データを大容量画像メモリ８に記憶させる処理、シェーディング補正処理、および原画像データを圧縮する画像圧縮処理等、原画像データの全てに関わる処理をハードウェアを使って行う。ＣＰＵ２は、画像処理ボード６からＰＣＩバス４を通じてメインメモリ３へ転送される圧縮画像データに対して、２値化処理、ラベリング処理等、欠陥検出のためのソフトウェア処理を行う。 （もっと読む）

【解決手段】 繊維機械に供給される縫い糸又は織り糸（Ｆ）の２次元分析を含む、光学式分析装置であって、少なくとも１個の発光素子（３、４）と、少なくとも１個の受光素子（５）とを備える。発光素子（３、４）は、受光素子（５）により検知される前に、糸（Ｆ）に当たる光信号を発生し、受光素子の検知に基づいて、発光素子（３、４）と受光素子（５）間での、移動、停止、寸法的な欠陥又はその他の寸法的な特徴等の、糸（Ｆ）の特徴を明らかにする。光信号が、糸（Ｆ）と関係を持った後で、光信号により照射を受け、糸ガイドとして機能する、光透過手段（６）を介在させる。 （もっと読む）

実対象物の実際の画像を生成する光学結像系（５）と、光学結像系の既知の収差係数を考慮に入れた所望の形状の対象物の推定画像を計算する計算ユニット（１２）と、実際の画像と計算ユニット（１２）によって計算された画像との差を検出する画像解析ユニット（１３）とを備える、対象物の光学検査装置。
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【課題】 管引きされるガラス管を管引き成形ライン上で連続して異物等の検査を行う。
【解決手段】 連続成形を行う管引き成形ライン３に設置され、管軸方向に連続移送されるガラス管１５を撮影する撮像装置２０と、この撮像装置２０に対しガラス管軸を挟み対向配置された光源１９と、この光源１９で光照射されたガラス管１５の撮像装置２０による撮影画像を画像処理し異物不良等を検出する画像処理装置２３を備えた装置で、画像処理装置２３は、検査枠５３が、撮影画像５０のガラス管１５肉厚部の肉厚遮光部分５１よりも内方側の透光部分５２に、肉厚遮光部分５１から所定距離Ｒだけ離して設定されていて、該検査枠５３内にある異物等の遮光画像５８を画像処理して不良検出するものであり、検査枠５３が、該ガラス管１５蛇行時の肉厚遮光部分５１の位置変動に追随して所定距離Ｒを維持するよう設定されている。 （もっと読む）

光学スキャナからのマルチチャネル欠陥データのような、それぞれが３つ以上のパラメータを関連付けられる複数のデータ点から成る母集団が３次元でプロットされ、データ点のグループが特定される。データ点のグループを画定するために、３次元空間において境界面が定義される。異なるグループは異なるデータ分類又はタイプに対応する。境界面に基づいて分類アルゴリズムが定義される。欠陥分類に適用されるとき、そのアルゴリズムは、欠陥を実行時分類するために光学スキャナにエクスポートすることができる。データ点の特定のグループを特定するためのアルゴリズムを、２つ以上の異なるｎ次元表現からの分類規則のブール演算による組み合わせとして定義することができる。ただし、ｎは表現毎に２又は３にすることができる。
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【目的】被検体表面の塵埃，膜厚むら等の欠陥を単純な画像として観察することができ、従って画像処理装置と組合わせて自動欠陥検査装置を構成するのが容易になる表面欠陥検査装置を得ることにある。
【構成】表面に薄膜を有する被検体２１の直前に配置され、かつ２１の観察視野とほぼ等しい大きさであって、光源１からの光を略平行な光束として２１に照射するとともに、２１の表面からの正反射光を通過させるコリメータレンズ１２と、１２の焦点近傍に配置され、任意に選択可能な複数の中心波長を持ち、１２に光を入射する狭帯域光源２〜５と、この光源からの光を反射または透過により１２を通過させて２１に垂直に照射させるハーフミラー１１と、２１の表面からの正反射光を１２に通過させ、１１で透過または反射させ、光源２〜５と共役な位置に入射瞳を有し、２１の表面を観察する結像レンズ１３を具備したもの。 （もっと読む）

【課題】 鋼板の疵でない部分を疵と認定することを防止して、鋼板表面の画像の輝度を均一にする方法を提供すること。
【解決手段】 鋼板表面に照射した照明光の反射光をラインセンサーカメラにて撮像し、これに基づいて鋼板表面の画像を構成し、当該鋼板表面の画像を処理して疵検出をするにあたり、ラインセンサーカメラが時々刻々捉える線画像の対応する画素ごとに輝度の線画像の加算平均処理を実施して得られる画像輝度情報をつくり、対応する画素ごとに当該画像輝度で基準輝度値を割った値をラインセンサーカメラが時々刻々捉える線画像の対応する画素ごとに乗じた線画像情報を用いて鋼板表面の画像を構成する方法であって、対象鋼板の切り替え時においては、前記加算平均処理における加算回数を少なくし、鋼板中央部分においては、前記加算平均処理における加算回数を多くする。 （もっと読む）

【課題】目視検査員が表面欠陥検査装置の検査情報を参照する場合に視点の移動を少なくする。
【解決手段】連続的に搬送される帯状の被検査体の移動量を検出する移動信号発生器１０５と、前記被検査体の表面に存在する欠陥を検査すると共に、移動信号発生器１０５からの信号に基づいて検出された欠陥の位置を検出する表面検査部画像処理部２０１と、前記被検査体の近傍或いは表面に欠陥がある旨の表示を行うモニタ１２１，画面投射器１２２と、前記画像処理部２０１により検出された欠陥の位置情報、及び前記移動量センサからの移動量情報に基づいて、前記表示部に対して前記欠陥がある旨の表示出力を指令する結果出力部２０７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】遮光ブーツ等の薄肉ブーツに存在する欠陥を確実かつ効率的に検出することが可能な薄肉ブーツの検査装置を提供する。
【解決手段】蛇腹形状に成形された伸縮部１０２を備えた薄肉ブーツとしての遮光ブーツ１０１に存在する欠陥の有無を検査する検査装置であって、伸縮部１０２に照明光を照射する照明手段としての照明光源４１、導光ケーブル４２、光案内部材４３、プリズムブロック４４、反射板４５と、伸縮部１０１の照明光の非照射面側の画像を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ５２と、撮像した画像データに所定の処理を施して、当該画像データから前記伸縮部に存在する欠陥を抽出する画像処理手段としての画像処理装置５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】 受光素子の画素サイズと電極パターンの繰り返しピッチとの関係が整数倍でなく、位相ずれを有する場合でも、この位相ずれによる各画素データの信号品質の低下を抑制し、画素サイズに対して微小な異物を高精度に検出できるようにする。
【解決手段】 パターンピッチが３００［μｍ］で画素サイズが１４［μｍ］の場合には、パターンのピッチを画素サイズで除することによって得られるパターン相当の画素数は約２１．４である。この画素数に第１の整数として５を乗じると、その値は１０７となるので、５個のパターンで疑似パターンを形成することによって、疑似パターンと画素との間の相対的な位置関係がほぼ同位相となる。差分データ作成手段３０はこの疑似パターンの隣接するもの同士の画素を用いて、差分データＶを作成する。しきい値作成手段５０は、差分データＶから欠陥検出時のしきい値Ｔを作成する。欠陥検出手段８０，９０は差分データＶとしきい値Ｔとを比較して欠陥の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。 （もっと読む）