【課題】複数の散乱光検出器のしきい値設定を容易化し、個々の散乱光検出器の検出データを適切に取得することができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】ウエハ１を載置するステージ装置５０と、ステージ装置５０上の上は１に検査光３１を照射するレーザ光照射装置３０と、ウエハ１からの散乱光１１０〜１１２を検出し画像信号１４０ａ〜１４２ａを出力する散乱光検出器１３０〜１３２と、散乱光検出器１３０〜１３２の個々の画像信号１４０ａ〜１４２ａ又は画像信号１４０ａ〜１４２ａを基に演算された画像信号１５１ａのうちから選択された画像信号１５１ａに対し欠陥の有無を判定するための対応のしきい値を設定するしきい値設定器５３０と、画像信号１５１ａがしきい値設定器５３０に設定されたしきい値を超えた場合にのみ個々の画像信号１４０ａ〜１４２ａを取得するしきい値回路１６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】外観検査方法及び外観検査装置において、検査対象物の周縁部分が曲面である場合でも、周縁部分を含めて精度の良い欠陥検出を可能とする。
【解決手段】曲面部を含んだ検査対象画像Ｐ０を得て（Ｓ１０１）、これから微分画像Ｐ１を得る（Ｓ１０２）。この微分画像Ｐ１上の各画素から所定の微分値以上となる端部画素を抽出した２値化画像Ｐ２を得る（Ｓ１０３）。各端部画素により連結される領域を端部領域とし（Ｓ１０４）、端部領域において、検査対象物の端側の画素からなる第１の境界線と、対象物の内側の画素からなる第２の境界線を決定する（Ｓ１０５）。各境界線に基づき、端部側の第１の検査領域Ａ１と、内部側の第２の検査領域Ａ２とを決定する（Ｓ１０６）。これら各検査領域Ａ１、Ａ２とにおいてそれぞれ異なる検査条件で欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】外観検査方法及び外観検査装置において、検査対象物の周縁部分が曲面である場合でも、周縁部分を含めて精度の良い欠陥検出を可能とする。
【解決手段】曲面部を含んだ検査対象画像Ｐ０を得て（Ｓ１０１）、これから微分画像Ｐ１を得る（Ｓ１０２）。この微分画像Ｐ１上の各画素から所定の微分値以上となる端部画素を抽出した２値化画像Ｐ２を得る（Ｓ１０３）。各端部画素により連結される領域を端部領域とし（Ｓ１０４）、端部領域において、検査対象物の端側の画素からなる第１の境界線と、対象物の内側の画素からなる第２の境界線を決定する（Ｓ１０５）。各境界線に基づき、端部側の第１の検査領域Ａ１と、内部側の第２の検査領域Ａ２とを決定する（Ｓ１０６）。これら各検査領域Ａ１、Ａ２とにおいてそれぞれ異なる検査条件で欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】撮像画像に基づいてパターンに接する異物を精度よく検出することができる異物検出方法および異物検出装置を提供すること。
【解決手段】異物検出方法は、撮像画像に対して検査対象パターンを検出するパターン検出フィルタを適用して、撮像画像におけるパターン部分を検出するパターン検出工程Ｓ２３と、パターン検出工程Ｓ２３で検出されたパターンのエッジ間の距離を検出するエッジ間距離検出工程Ｓ２５と、エッジ間距離検出工程Ｓ２５で検出したエッジ間距離の変化に基づいてパターンのエッジ部分の異物の有無を判定する異物判定工程Ｓ２６とを備える。パターン検出フィルタを用いてパターン部分を検出するため、基準画像を作成して比較する場合に比べて、様々なパターン部分を容易に検出できる。 （もっと読む）

【課題】ディスクブレーキ用のキャリパボディに形成されたシリンダ孔内に設けられる溝部のように、切削加工後に切粉等の異物が残存する等の問題が生じる可能性が高い被検査物に対して、画像データを用いる検査によって異物検出を確実に行うことができるとともに、誤検出を防止できる製品検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る製品検査方法は、画像処理装置により較正用ダミー品を検査して装置較正を行うステップと、画像処理装置に予め入力されている判定用画像データを当該装置内で読み出してデータ処理により検査を行うことで閾値を調整するステップと、次いで製品の表面状態を検出し、閾値に基づき良否を判定するステップと、その判定が妥当であるか否かを目視により検証するステップと、判定が妥当でない場合に、製品の表面状態を判定用画像データとして画像処理装置に記憶させるステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、レーザービームを照射する被検査物の表面の平面領域とエッジ部に該当する所定領域との境界位置を正確に判別して検査する被検査物の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の被検査物の検査装置は、レーザービームを被検査物１の表面に照射するレーザー光源３１と、被検査物１を載置して回転させる回転テーブル２１と、回転テーブルを被検査物１の移送方向に移動させる移動機構２２と、被検査物１の表面に照射されたレーザービームが該被検査物の表面で散乱した散乱光を受光する複数個の受光器３７１〜３７４、３８１〜３８６と、前記複数個の受光器で受光した散乱光の受光信号に基づいて演算処理し、被検査物１の表面の平坦な平面領域と該平面領域から外れたエッジ部に該当する所定領域１０との境界位置Ｅｐを判別するデータ処理装置５２とを備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】放射状に生じる直線状の欠陥を検出できる画像処理検査装置を提供する。
【解決手段】画像処理検査装置の演算部１４３は、検査領域に対応する画像データを取得する取得部２０３と、画像データを直交座標系から極座標系のデータに変換する極座標変換部２０４と、半径方向の直線を強調するフィルタ処理を実行するフィルタ処理部２０６と、半径方向に表示される直線の平滑化を行なう平滑化処理部２０８と、２値化基準に基づいて平滑化された画像データの２値化処理を行なう２値化処理部２１０と、２値化処理された画像データから、抽出基準を満足する画像データを欠陥の候補として抽出する抽出部２１２と、極座標系のデータを直交座標系に変換する直交座標変換部２１４と、直交座標系のデータに基づいて欠陥の候補の特徴量を算出する算出部２１６と、判定基準と特徴量とに基づいて欠陥の候補が欠陥であるか否かを判定する欠陥判定部２１８とを含む。 （もっと読む）

【課題】微細な疵と大きな疵との双方を従来よりも精度良く検出できるようにする。
【解決手段】鋼板１の表面に形成された疵の形状を可及的に正確に表す画像信号を第３の２値化部２４及び孤立点除去部２５で生成し、相対的に小さな１つの疵領域を可及的に確実に１つの領域として表す画像信号を、第１の２値化部２６及び膨張部２７で生成し、相対的に大きな１つの疵領域を可及的に確実に１つの領域として表す画像信号を、低分解能化部２８、第２の２値化部２９、膨張部３０、及び伸張部３１で生成する。従って、第３の２値化部２４及び孤立点除去部２５で、本来１つの疵領域であるべきものが、複数の疵として検出されても、それら複数の疵が１つの疵領域に属するものであることを、第１の２値化部２６、膨張部２７、低分解能化部２８、第２の２値化部２９、膨張部３０、及び伸張部３１における検出結果により判別できる。 （もっと読む）

【課題】高い検出感度で、高速に欠陥検査をすることができる検査装置提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る欠陥検査装置１０は、光ビームを発生するレーザー光源１１と、レーザー光源１１から出射された光ビームを集光して試料Ｗの表面に光スポットを形成する対物レンズ１３と、試料Ｗで反射した光ビームを２つの光ビームに分岐するプリズム１５と、プリズム１５によって分岐された光ビームをそれぞれ受光し、受光した光の光量に基づく出力信号を出力する受光素子１７ａ、１７ｂと、受光素子１７ａからの出力信号と受光素子１７ｂからの出力信号とが略同時に検出されたときに、実欠陥と判定する実欠陥判定部２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査パラメータや検査領域を細かに設定することなく、検査精度の向上と虚報の低減とを容易に両立させる。
【解決手段】基板の撮像画像を取得する撮像部1102と、パッドに施されているメッキ種類データ及びパッドの色及び輝度の双方またはいずれか一方に関するパラメータデータに基づいて、パッド切出閾値を決定するためのパッド切出閾値決定部1360と、パッド切出閾値に基づいて、基板の撮像画像の中からパッドの領域画像を切出すためのパッド切出部1385と、各領域の位置に関する領域データによって位置が特定された各領域に対して、パッドの領域画像に基づいて、位置合わせするための位置合わせ部1386と、基板の撮像画像の中から、位置合わせされた各領域を抽出し、抽出した各領域に対して、各領域の色及び輝度の双方またはいずれか一方に関する検査データに基づいて、各領域の外観の合否を判定するための検査部1394とを有する。 （もっと読む）

【課題】試料の被検査面を撮像した画像を検査することによりこの被検査面に存在する欠陥を検出する外観検査装置及び外観検査方法において、現在設定されている検査条件が、実際の試料に適した条件であるか否かを判定する。
【解決手段】外観検査装置１を、試料２の被検査面を撮像した画像を入力しこの画像に存在する欠陥を検出する欠陥検出部２０、２４と、検査対象である試料２の表面に予め設けられた既知の標準欠陥９の位置情報を記憶する標準欠陥データ記憶部６１と、標準欠陥９が設けられた試料２の表面を撮像した画像中の、標準欠陥データ記憶部６１に記憶された位置情報が示す位置に存在する標準欠陥９を欠陥検出部２０、２４が検出できるか否かを判定する検出感度判定部５０と、を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】カラーマッチングが不十分又は不可能であることによる検出エラーを、特に暗視野画像においても実質的に減少できる装置及び方法を提供すること。
【解決手段】第１及び第２の照明モード、特に明視野及び暗視野照明でウエハ６の表面の一領域８を照明するための１以上の落射光照明装置２、２’、照明された領域８の画像を検出するための１以上の検出装置４、各落射光照明モードでの最適化された強度及び色の数値を記憶するための装置を備える検査装置及びその検査方法である。 （もっと読む）

【課題】バンプ欠落を含む半田転写後の電極状態の良否を判定する電極状態判定装置および電極状態判定方法を提供する。
【解決手段】バンプ１６の形成箇所における輝度が第１の閾値ＴＨ１を上回っているときに半田不良状態であると判定し、第１の閾値ＴＨ１と第２の閾値ＴＨ２の間にあるときに半田良好状態であると判定し、第２の閾値ＴＨ２を下回っているときにバンプ欠落状態であると判定する。このように輝度に基づいてバンプ欠落を含むペースト転写の良否を判定することができるので、判定に係る装置や工程を簡略化することが可能となり、コストの低減と生産効率の向上を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ティーチングを行わなくとも、個々の基板に適した検査用ウィンドウを設定し、標準検査データを用いた検査を行えるようにする。
【解決手段】はんだ付け検査機２には、各種部品について、ランドの数および相対位置関係を示す情報を含む標準検査データが登録される。また前工程の部品実装機１から検査対象基板の部品実装データ（各部品の位置および部品種を示すもの）と検査対象基板のはんだ付け前の画像の提供を受ける。つぎに、自装置での撮像により生成したはんだ付け後の基板の画像とはんだ付け前の基板の画像との差画像を生成し、この差画像と部品実装データおよび標準検査データを用いて、各部品に適合するはんだ付け部位を抽出する。さらにこの抽出結果に基づき、はんだ付け後の基板の画像の各はんだ付け部位に検査用ウィンドウを設定し、対応する部品種の標準検査データを用いた検査を実行する。 （もっと読む）

【課題】クリームはんだ印刷の低廉なコストの３次元自動検査と３次元計測を実現する。
【解決手段】斜めの撮像角度で基板を撮像する１次元カラーイメージセンサカメラと、ほぼ真上からクリームはんだ上面を照明する第１色相光光源と、撮像角度よりも浅い斜め角度でクリームはんだ側面を照明する第２色相光光源とが構成する３次元撮像幾何光学配置において、カメラのピクセル配置に直交する方向に基板を移動することによって、基板全面の３次元画像を獲得し、検体クリームはんだ印刷基板の３次元画像と基準クリームはんだ印刷基板の３次元画像との差分画像処理を行い、設定閾値を超える差分のある画素を異同画素として検出し、異同画素が検出された領域の基準基板画像と検体基板画像に関して、第１色相光反射領域と第２色相光反射領域から、クリームはんだの３次元計測値を算出する。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示パネル等を構成する基板面に電子部品接続用のテープ部材（ＡＣＦ等）が適正に貼付されたか否かを判定する。
【解決手段】 ＡＣＦ４の明度レベルを間に上下に明度閾値レベルＳｕ，Ｓｄを設定する。ＣＰＵ７２は、その設定された明度閾値レベルＳｕ，Ｓｄに基づき、そのＡＣＦ４が適正に貼付されガラス基板２の撮像パターン（図４（ａａ））と貼付状態の良否判定対象基板２の撮像パターン（図４（ｂａ））から２値化信号（図４（ａｂ）、図４（ｂｂ））を抽出し、両者の形状の一致率（α）から、当該ガラス基板２におけるテープ部材（ＡＣＦ４）貼付の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】線状の欠陥を精度よく検出できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査方法は、画像データを読み込むステップ（Ｓ９２０）と、画像を分割するステップ（Ｓ９３０）と、分割画像ごとに濃淡を投影して１次元データを生成するステップ（Ｓ９４０）と、分割画像毎に線状欠陥候補Ａを決定するステップ（Ｓ９５０）と、欠陥候補強調１次元データを生成するステップ（Ｓ９６０）と、線状欠陥候補Ａの領域の欠陥候補強調１次元データを全分割画像について積算して平均値を算出するステップ（Ｓ９７０）と、その平均値から複数の分割画像にまたがる線状の欠陥候補の領域を算出するステップ（Ｓ９８０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥判別のための比較器におけるしきい値を効率良く求める。
【解決手段】バンドパスフィルタ３０を通した受光信号をＡ／Ｄ変換部４１により、デジタルデータに変換する。演算制御部４２により、演算タイミング信号、演算期間信号、検査幅設定回路３２からの検査幅信号などに基づき、Ａ／Ｄ変換部４１でのＡ／Ｄ変換対象を検査領域内のみに特定し、一定期間この特定信号をＡ／Ｄ変換部４１に送る。ノイズ値演算部４３は、Ａ／Ｄ変換されたデジタルデータを演算処理して、平均値、最大ピーク値、最小ピーク値、標準偏差をノイズ値として求める。しきい値演算部４５は、ノイズ値に基づきしきい値を求める。しきい値はしきい値設定器３４により、比較器３３のしきい値として設定される。自動的にしきい値が設定されるため、欠陥検出条件の最適化を効率良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】参照画像の保存量を低減することができる基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】記憶部８は、検査対象領域内の検査点で基板を撮像して得られた参照画像を記憶する。また、記憶部８は、第１の検査対象領域内の第１の検査点に対応した第２の検査対象領域内の第２の検査点における参照画像と第１の検査点とが関連付けられた検査情報（レシピ）を記憶する。制御部５は、第１の検査点で検査を行う場合に、検査情報に基づいて、第１の検査点に対応した第２の検査点における参照画像を選択する。表示部６はこの参照画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】簡易にして常に安定した外観検査を行うことができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】カメラにより被検査物の所定領域を撮影してその画像情報を得て所定階調値のグレースケール画像情報に処理し、階調値ごとの出現頻度を求めてそのヒストグラムを作成して複数のモードを求める。そして各モードにおける出現頻度を示す階調値の下限値に掛かる下限閾値およびその階調値の上限値に掛かる上限閾値をそれぞれ求め、各モードにそれぞれ掛かる構成部材の配置領域情報をそれぞれ得て、構成部材の配置領域におけるモードの下限閾値以下および上限閾値以上のグレースケール画像情報との論理和演算を実行して合成画像情報を得て、構成部材の配置領域情報との論理積演算により複合画像情報を得る。そうして得られた複合画像情報に特異点があるとき外観検査装置は、被検査物に異常があると判定する。 （もっと読む）