【課題】 繰り返しパターンを含む２つの検査画像の対応する画素同士のグレイレベル差を検出し、グレイレベル差が欠陥検出条件を満たすとき２つの検査画像のうちいずれかの画素が欠陥であると判定する画像欠陥検査において、様々な繰り返しパターンに対して、検査画像の各部に応じて欠陥検出条件の変更を容易に行うことを可能にする。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、検査画像を繰り返し周期の整数倍毎に分割した画素ブロックのいずれかについて、その各画素を複数グループに分類する分類部２１と、この分類結果をこの画素ブロック内における各画素のそれぞれのブロック内位置に対応して記憶する記憶部２２と、他の画素ブロック内の各画素についてのそれぞれの分類結果を、各画素のブロック内位置に対応して記憶部２２から読み出して決定する決定部２３と、を備えて構成し、各画素について決定した分類結果に応じて欠陥検出条件を変更する。 （もっと読む）

【課題】 ２画像の対応する各画素同士の画素値の差分を検出して、この差分が検出閾値を超えるとき画素部分を欠陥として検出する画像欠陥検査において、検出された真欠陥と疑似欠陥とを区別する。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、２つの検査画像の対応する画素同士のグレイレベル差を検出する差分検出部６と、そのグレイレベル差が検出閾値を超えるとき２つの検査画像のうちいずれか一方の上記画素の部分が欠陥として検出する欠陥検出部８と、グレイレベル差が検出された画素の座標値の分散値をその画素のグレイレベル差によって重み付けして算出する分散値算出部２１と、分散値の増大に応じて欠陥の検出を抑制する検出抑制部２２、２５と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【目的】 適正な精度で試料検査を行う方法および装置を提供することを目的とする。
【構成】 パターン形成された被検査試料の光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、前記被検査試料のパターン形成の基となる設計パターンに基づいて設計画像データを生成する展開回路１１１と、前記光学画像データと前記設計画像データとの比較を行なう比較回路１０８と、を備え、比較回路１０８において、所定の領域を示す、前記設計パターンの情報と同一フォーマットに作成された領域パターンの情報に基づいて生成される領域画像データを入力し、前記光学画像データと前記設計画像データとの比較を行なう場合に、前記領域画像データに基づいて判定条件を変更することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 付加情報を用いたパターン検査を行う方法および装置を提供することを目的とする。
【構成】 フォトマスク１０１の光学画像と参照画像とを比較検査する試料検査方法において、前記検査領域中に予め設定された１つ以上の領域を示す領域データ（付加情報）を入力する領域データ入力工程（２２２）と、画素領域ごとに含まれている領域種別を判定する判定工程（Ｓ２２４）と、領域種別ごとにそれぞれ予め設定された占有率を、含まれる画素ごとに加算する加算工程（Ｓ２２６）と、合計値に基づくデータをｎビットデータに変換する展開工程（Ｓ２３０）と、変換された前記ｎビットデータに基づいて、前記参照画像と前記光学画像とを比較する比較工程（Ｓ２４０）と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ローラに付着してシート上にしわや凹凸状の欠陥を発生させる異物を確実かつ容易に検出可能な異物検出装置及び異物検出方法を提供する。
【解決手段】 異物検出装置（１０）は、ローラ（３）に光を照射する光源（７）と、ローラ（３）からの反射光を受光して当該ローラ（３）の画像を撮像する撮像手段（８）と、撮像手段（８）により撮像された撮像画像の輝度の変化を輝度データとして抽出する輝度データ抽出手段（１３）と、前記撮像画像の輝度データが予め設定された閾値内か否かを判定し、その閾値外の場合にローラ（３）に付着した異物と判定する判定手段（１４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 検査画像に含まれるノイズレベルの検査画像に対する依存性が大きい場合にも、最適な欠陥検出条件で欠陥を検出可能な画像欠陥検査装置、欠陥検査分類、及び画像欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 ２つの検査画像の対応する部分画像のグレイレベル差から欠陥を検出するための欠陥検出条件のパラメータを変えて、複数の欠陥検出条件で検出した検出結果を求めておき、これら複数の検査結果のうちから選んで最適な検出結果を得る。 （もっと読む）

【課題】一旦設定された基板検査パラメータを簡単な処理で調整可能な技術を提供する。
【解決手段】情報処理装置（パラメータ調整装置）が、まず、検査により検出されるべき部品を撮像して得られる１以上の対象画像と、検査により除外されるべき部品を撮像して得られる１以上の除外画像とを取得する。次に、情報処理装置が、対象画像の各画素の色を対象点として、除外画像の各画素の色を除外点として、それぞれ色空間にマッピングする。そして、情報処理装置が、対象点および除外点の分布範囲と現在の色条件とを比較する。このとき、前記現在の色条件から外れる対象点または前記現在の色条件を満たす除外点が存在した場合に、情報処理装置は、パラメータの調整が必要と判断し、色条件から外れる対象点の数および色条件を満たす除外点の数が少なくなる方向に、色条件を調整する。 （もっと読む）

【課題】 異物起因、原料カス起因、ゲル起因のフィッシュアイを確実に区別し、個数管理することができるフィッシュアイ検出判定方法を提供する。
【解決手段】 走行する樹脂フィルムに見られるフィッシュアイの検出判定方法で、拡散板を透過させて得た拡散光を照明光として樹脂フィルムを透過して撮影して第１の撮影画像データを得て、また、拡散反射板を用いて反射した反射光を照明光として樹脂フィルムを透過して撮影して第２の撮影画像データを得て、得られた各撮影画像データから、フィルム地よりも明るい箇所を明欠陥として、暗い箇所を暗欠陥として、それぞれ、レベル分けして、各レベル毎に検出し、また、同一の欠陥であるものを認識し、各欠陥について、各撮影画像データからレベル分けして得られた欠陥レベルの組み合わせにより、欠陥の種別（カテゴリー）を割り振った、欠陥種別情報をもとに、欠陥の種別を特定し、更に、特定された欠陥の種別によってはその数を把握して、欠陥の種別あるいは欠陥の種別の数に応じて判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 他の板状部材に保持された被検査物に対して、正確な検査を行うことのできる外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】 外観検査装置の保持部は、被検査物を少なくとも３つの先端で支持して載置する。駆動部は、保持部の先端をそれぞれ上下動させる。撮像手段は、保持部に載置された被検査物を撮像する。相対移動手段は、保持部および撮像手段の少なくとも一方を相対的に移動させる。検出手段は、撮像手段から保持部に載置された被検査物までのその撮像手段の視線方向距離を、その被検査物の複数位置に対して検出する。制御部は、検出手段が検出した各距離に基づいて駆動部の動作を制御し、それら距離が所定の条件を満たすように保持部の先端をそれぞれ上下動させる。オートフォーカス手段は、撮像手段の上下位置を制御してその撮像手段の焦点を保持部に載置された被検査物に合わせる。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出の安定性を向上させる。
【解決手段】第一の閾値と、それより低い第二の閾値を用いる。ダイ比較の場合には、閾値処理部５２ａ，５２ｂにおいて、検査チップの画像と左右のチップの画像との差画像をそれぞれ第二の閾値で閾値判定し、検査チップの欠陥候補を求める。さらに、閾値処理部５１ａ、５１ｂにおいて、検査チップの画像と左右のチップの画像との差画像をそれぞれ第一の閾値で閾値判定し、先の第二の閾値による処理で欠陥候補となったもののうち、少なくとも左右どちらかのチップとの差画像で第一の閾値以上の信号がでているものを欠陥として検出する。セル比較の場合にも、差画像を、まず第二の閾値で処理して欠陥候補を求め、さらに、差画像を第一の閾値でも処理し、先の第二の閾値による処理で欠陥候補となったもののうち、２つのピークのうち少なくとも一方で第一の閾値以上の信号がでているものを欠陥として検出する。 （もっと読む）

【課題】高い検査性能を得るための撮像系の自動調整を短時間で行う検査装置を提供する。
【解決手段】移送される光拡散シートにおける欠点の有無を検査する検査装置であって、ラインセンサカメラと、ライン状光源と、光源位置調整手段を具備し、ラインセンサカメラは、光拡散シートの移送方向と直角方向に走査することにより光拡散シートを撮像し、ライン状光源は光拡散シートの非撮像側の位置に移動停止可能に設けられ、光拡散シートにおけるラインセンサカメラの撮像領域を透過照明し、光源位置調整手段は光拡散シートにおける光拡散特性によって決まる所定位置にライン状光源を移動停止する位置調整を行うようにした検査装置。 （もっと読む）

【課題】 選別性能を向上させる。
【解決手段】 色彩選別機１０では、繰出ロール２６によって繰り出されて自由落下される穀粒Ｇをカメラ２８が撮影し、カメラ２８によって撮影された画像に基づいて不良粒と判断されかつカメラ２８による被撮影位置の下方へ自由落下される穀粒Ｇを、エジェクタ４０によって自由落下軌道から弾き出すことで、穀粒Ｇを良粒と不良粒とに選別する。ここで、繰出ロール２６周面の案内溝２６Ａによって穀粒Ｇが案内されることで、穀粒Ｇが繰出ロール２６の周方向に沿わないで繰り出されることを抑制でき、繰出ロール２６からの穀粒Ｇの自由落下方向が左右方向へずれることを抑制できる。これにより、不良粒と判断された穀粒Ｇを自由落下軌道から確実に弾き出すことができ、選別性能を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】目視検査装置での確認とリンクして、第１の検査装置の判断の閾値データ閾値を変更し、不良検査の精度と、迅速で確実なプリント基板の外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物体の外観状態を検査して不良状態を判定する第１の検査装置４と、第１の検査装置４より被検査物体を検査した外観状態を示すデータをデータ処理する第１のコンピューター２１と、第１の検査装置４の検査後の被検査物体を目視検査する目視検査装置３１とを備え、第１の検査装置４で外観状態が不良と判断された被検査物体を目視検査装置３１にて目視検査しその外観状態の良、不良の判断結果データを第１のコンピューター２１に送信し、当該判断結果データに基づいて第１のコンピュータ２１により前記第１の検査装置４の外観不良状態の判断を行うための正常状態を示す教示データの閾値を変更する。 （もっと読む）

【課題】 最上層を検査する装置条件（検査条件）を容易に設定可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る表面検査装置１は、ウェハ１００に照明光を照射する照明機構部１０と、照明光が照射されたウェハ１００の像を撮像する撮像機構部１９と、ウェハ１００の表面の一部を変化させる溶剤供給手段３０と、ウェハ１００において溶剤供給手段３０により変化した部分を撮像可能な条件で撮像したウェハ１００の画像からウェハ１００を検査する画像処理検査装置２５とを有している。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の分布形状及び位置を特定可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】 基板上のペーストを画像として撮影し、第１の画像データを得る工程（Ｓ１１）、基板の重心位置を算出する工程（Ｓ１２）、ノイズ除去（Ｓ１３）、第１の画像データを２値化する工程（Ｓ１４）、２値化された第２の画像データの塊の面積、最大及び最小のフィレ径、及び重心を算出する工程（Ｓ１５）、面積最大の塊を抽出（Ｓ１６）、この塊が第１の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ１７）、この塊のフィレ径比が第２の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ１８）、最大の塊の重心位置を算出する工程（Ｓ１９）、最大の塊の重心位置と基板の重心位置との距離が第３の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ２０）、及び最大の塊の重心位置を後続の工程に送出する工程（Ｓ２１）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被検査パターンが撮像装置の解像限界を超えて検査画像のコントラストが低下した場合において、実在する欠陥を表した真欠陥と、バックグラウンドノイズにより発生した疑似欠陥と、を区別することが可能な画像欠陥検査装置、外観検査装置及び画像欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 ２つの被検査画像のグレイレベル差信号から検出した欠陥が、真欠陥及び疑似欠陥のいずれであるかを、検出に使用した元の被検査画像のグレイレベル値信号のＳＮ比に応じて判別する。 （もっと読む）

【課題】木材の節及び皮を持つ死節を確実に検出できるようにすること。
【解決手段】撮影手段８で木材を撮影し、画像処理手段１で前記撮影した木材の画像から画像の円形度を計算し、該計算した円形度の大きいものを節として検出する。また、画像処理手段１で前記撮影した木材の画像から節の部分の画像を切り出し、該切り出した部分での各画素の色空間から所定の閾値で切り出した部分を黒変部とし、該黒変部の画素数の前記切り出した節の部分の画素数に対する割合が大きいものを死節と決定する。 （もっと読む）

【課題】 ダイアライザーの外観を高い検査精度で検査する。
【解決手段】 ダイアライザー検査装置は、外形が略円筒形状のダイアライザー１００の外観を検査する装置であって、円筒の中心軸と円筒の頂面とを接続した法線を含む平面上には、２台のラインセンサカメラ３１０，３２０と、２台のラインセンサカメラ３１０，３２０を挟むように設けられた３台の照明用ライトガイド３３０，３４０，３５０が設置されている。２台のラインセンサカメラ３１０，３２０は、法線に対して３０度ずつ左右に対称になるように配置される。また３台の照明用ライトガイド３３０，３４０，３５０は、その１台が法線上に、残りの２台が６０度ずつ法線を対称として配置される。 （もっと読む）

【課題】 試料を撮像した撮像画像と基準画像とを比較してそれらの画素値の差が検出閾値を超えるとき、欠陥を検出する外観検査装置及び外観検査方法において、検出閾値や基準画像を試料上の検査箇所に応じて適切に生成することを可能とし、また、この検出閾値や基準画像を生成する基となるサンプル画像に異常値が含まれていても、これらを不適切に生成することを防止することが可能とする外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】 外観検査装置１を、複数の試料２３を撮像した撮像画像の画素値の統計処理によって、前記試料２３上の各箇所毎に、前記検出閾値を生成する閾値生成手段３３を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体が進行方向と垂直な幅方向に変位してしまう場合に周期性欠陥を低負荷の計算で検出でき,また,周期性欠陥及びその周期性をより正確に検出することが可能な周期性欠陥検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 被検査体を撮像して得た画像データにおいて検出された欠陥を，欠陥の特性で分類し，前記画像データ全体に分割配置された各周期性判定領域に含まれる周期性欠陥の候補をそれぞれ計数し，前記周期性欠陥の候補の個数が第１の閾値を上回る場合に，当該周期性判定領域について，隣接する前記周期性欠陥の候補同士のヒストグラムを作成し，前記ヒストグラムの前記横軸の所定範囲内にある各値に，対応する前記横軸の値を重みを付けて加算し，得た加工ヒストグラムにおいて，第２の閾値を上回る頻度が存在する場合に，周期性欠陥を含むと判定する。 （もっと読む）