【課題】粉粒体中に混入した異物を高精度に検出することができる粉粒体検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体検査装置１は、粉粒体を供給する供給機構１０と、供給機構１０から供給された粉粒体を搬送するための搬送部材２２を備え、層厚を調整しつつ粉粒体を搬送方向下流側に搬送する搬送機構２０と、搬送される粉粒体内に異物が混入しているか否かを検査する検査機構３０と、異物を回収する第１回収機構５０と、搬送機構２０の搬送方向下流端まで搬送された粉粒体を回収する第２回収機構５５とからなる。検査機構３０は、搬送部材２２上の粉粒体に向けてレーザ光を走査しながら照射するとともに、粉粒体によって拡散反射されたレーザ光を受光して電気信号を生成し、生成した電気信号を基に異物混入の有無を判定する。搬送部材２２の下面には、上面側から下面にまで達したレーザ光を拡散反射させる光拡散部材２３が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 量産にも対応した高速、高精度にディスクを検査する光ディスク検査方法および装置を提供する。
【解決手段】 照射のステップと受光のステップと判定のステップで構成し、照射
のステップで、検査対象となるディスク１に検査照明光３を光源２から照射し、受光のステップで、検査照明光３の入射角度と検査対象となるディスク１の溝ピッチとから決まる１次回折光６が出射する角度に対し、この１次回折光６の出射する角度とは異なる角度に出射するムラ欠陥７に起因する１次回折光と乱反射光と散乱光８を受光レンズ９およびＣＣＤセンサ１０で検出し、判定のステップで、ＣＣＤセンサ１０で得られるグレースケール画像の各領域の明るさを上限の閾値および下限の閾値と比較し、上限の閾値以上の明るさの領域と下限の閾値以下の明るさの領域とを欠陥として判定し検出する。 （もっと読む）

基板上に堆積された物質の画像を分析する方法であって、画像は複数の画素を含み、この方法は、画像内で興味の対象となる領域を規定するステップと、第１および第２の垂直な軸に、興味の対象となる領域を関連付けるステップとを含み、画像内の１組の画素は、第１の軸に沿って位置し、この方法はさらに、興味の対象となる領域内の画素を、第１の軸にアライメントされかつ第２の軸に沿って突出する一次元アレイに変換するステップと、一次元アレイに少なくとも１つのしきい値を適用するステップとを含み、しきい値は、予め定められた限度に少なくとも部分的に基づく。
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【課題】 管引きされるガラス管を管引き成形ライン上で連続して異物等の検査を行う。
【解決手段】 連続成形を行う管引き成形ライン３に設置され、管軸方向に連続移送されるガラス管１５を撮影する撮像装置２０と、この撮像装置２０に対しガラス管軸を挟み対向配置された光源１９と、この光源１９で光照射されたガラス管１５の撮像装置２０による撮影画像を画像処理し異物不良等を検出する画像処理装置２３を備えた装置で、画像処理装置２３は、検査枠５３が、撮影画像５０のガラス管１５肉厚部の肉厚遮光部分５１よりも内方側の透光部分５２に、肉厚遮光部分５１から所定距離Ｒだけ離して設定されていて、該検査枠５３内にある異物等の遮光画像５８を画像処理して不良検出するものであり、検査枠５３が、該ガラス管１５蛇行時の肉厚遮光部分５１の位置変動に追随して所定距離Ｒを維持するよう設定されている。 （もっと読む）

本発明は、所定のパターンが設けられた基板（１）、特に半田ペーストが設けられた回路基板の検査方法及び装置に関する。本発明によれば、印刷又は構築的方法（３、４）によって基板に形成された実際のパターン（１ａ）が光学的に検出され、光学的に検出された実際のパターンは目標とするパターンと比較され、比較と許容誤差を考慮して実際のパターンが設けられ観察された基板が次の過程へ進むかどうかが決定され、この場合、実際のパターンの光学的検出がデジタルデータの形式で実際のデータセットの生成が行われ、目標とするデータセットが基板へパターンを形成するための制御データから作成され、データ処理が目標とするデータセットと実際のデータセットとが許容誤差を考慮してデータ的に相互に比較されて実行される。
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【課題】目視検査員が表面欠陥検査装置の検査情報を参照する場合に視点の移動を少なくする。
【解決手段】連続的に搬送される帯状の被検査体の移動量を検出する移動信号発生器１０５と、前記被検査体の表面に存在する欠陥を検査すると共に、移動信号発生器１０５からの信号に基づいて検出された欠陥の位置を検出する表面検査部画像処理部２０１と、前記被検査体の近傍或いは表面に欠陥がある旨の表示を行うモニタ１２１，画面投射器１２２と、前記画像処理部２０１により検出された欠陥の位置情報、及び前記移動量センサからの移動量情報に基づいて、前記表示部に対して前記欠陥がある旨の表示出力を指令する結果出力部２０７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 被検査物２２をＴＶカメラ２４により撮影し、この撮影画像に対して画像処理を施すことにより被検査物２２の表面の欠陥を検出するようにした金属表面の欠陥検出方法において、面取り量の大きさに依存せず良好な検査が行えること、微小傷などの小さな欠陥も確実に検出できること、及び面粗さに依存せず良好な検査ができることを目的とする。
【解決手段】 被検査物２２の表面の検査領域を複数個の微小領域に分割し（ステップ３）、この微小領域のそれぞれにおいて輝度に関する標準偏差を測定し（ステップ５）、この標準偏差と予め測定し登録しておいた欠陥のないマスターワークにおける標準偏差との相関度を算出し（ステップ１２）、この相関度を予め設定しておいた欠陥検出用のしきい値と比較することにより（ステップ１４）、被検査物２２の表面の欠陥の有無を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 外光を遮ってＳ／Ｎ向上させ、高精度に卵の内部異常を検査することができる検卵装置を提供する。
【解決手段】 遮光筒15の両端開口16，16は、卵形の上側の部分に長方形を連結して卵形フラスコ状になしてあり、両端開口16，16の口端は遮光筒15の上面と面一になしてある。遮光筒15の上面には、前記両端開口16，16の口端の間を結ぶ帯状の上部開口17が設けてあり、上部開口17は、遮光シート18，18によって遮光されている。遮光筒15の中央、即ち前述した出光孔19a と入光孔19b との間に卵Ｅが搬送されたとき、投光器１から出射され出光孔19a を通過して前記卵Ｅに照射された光は、該卵Ｅを透過し、その透過光が入光孔19b を通過して受光器２に受光される。このとき、遮光筒15の両端開口16，16は前記卵Ｅの前後の卵Ｅ，Ｅ及びアーム26，26で閉塞される。 （もっと読む）

【課題】 欠陥のある検査対象の画像情報の保存件数を増やせ、かつ再現性の良い画像処理装置を提供する。
【解決手段】 検査対象である複数の部品４０を載置したトレイ３０をＣＣＤカメラ２で撮像し、Ａ／Ｄ変換して得られた画像データをフレームメモリ５に格納する。ＣＰＵ６は、パターンマッチングを行って欠陥の有無を判定する。欠陥有りと判定したときは、その欠陥有りとする一部分の部分的欠陥画像データ７０のみを切り出し、取り込み画像データ全領域１００での部分的欠陥画像データ７０の座標を示す付属情報８０を部分的欠陥画像データ７０に関連付けて複合データ９０としてＲＡＭ８やＥＥＰＲＯＭ１６などの記憶手段に保存する。再生するときは、正常全画像データ２００を読み出し、それに付属情報８０の座標データに基づいて部分的欠陥画像データ７０を画像合成し、表示する。 （もっと読む）

【課題】 どの検査項目についてどのような状況の欠陥があるのかを早く理解させることの支援となる画像処理装置を提供する。
【解決手段】 例えば搬送されている検査対象である容器をＣＣＤカメラ２で撮像し、Ａ／Ｄ変換して得られた画像データをフレームメモリ５に格納する。ＣＰＵ６は、パターンマッチングを行って欠陥の有無を判定する。そして、欠陥有りと判定したときは、その欠陥のある検査対象の画像データ１００とその欠陥に関連する付属情報２００とを関連付けて複合データ３００としてＲＡＭ８やＥＥＰＲＯＭ１６などの記憶手段に保存する。再生するときは、保存されている画像データ１００と付属情報２００とを読み出して同時的に表示し、表示された付属情報２００に基づいてどの検査項目についてどのような状況の欠陥があるのかを直ちに認識できる。 （もっと読む）

【課題】 回路パターンが形成されたウエハの欠陥の種類を分類するウエハ検査装置を提供する。
【解決手段】 検査の対象となるウエハがウエハ欠陥検査部11で検査され、該ウエハ欠陥検査部11から座標値データS11 が出力される。座標値データS11 は画像データ生成部12に入力され、該画像データ生成部12でウエハの欠陥を表す図形が各チップ毎に作成されて画像データS12 が生成される。画像データS12 はパターン重なり評価部13に入力され、該パターン重なり評価部13で該画像データS12 に対応した第１の画像と回路の配線情報に基づいた回路パターンを表す第２の画像との重なりの状態が解析されて解析データS13 が出力される。解析データS13 は欠陥種自動分類部14に入力され、該欠陥種自動分類部14で各チップの被検査面上に存在する欠陥の種類が分類される。 （もっと読む）

【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。 （もっと読む）