【課題】積層フィルムの擬似欠陥の有無の判定を簡単に行う。
【解決手段】偏光板１３とセパレータ１５を有する積層フィルム９上に、偏光フィルタ１９を配置する。偏光フィルタ１９の偏光軸を、偏光板１３の偏光軸と略直交させる。積層フィルム９の直下にライン光源１７を配置し、偏光フィルタ１９の直上にラインセンサカメラ２０を配置する。ライン光源１７から積層フィルム９に向けて検査光２４を照射する。積層フィルム９及び偏光フィルタ１９を透過した検査光２４をラインセンサカメラ２０で撮像する。撮像により得られた画像データ４１から、輝度が高くなる高輝度領域４０を欠陥画像データとして抽出する。欠陥画像データが２つの高輝度領域４０が並ぶ特定欠陥画像データである場合に、この欠陥画像データに対応するフィルム欠陥部分を、擬似欠陥であると判定する。 （もっと読む）

【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ６により砥石３の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部１２３により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部１２４の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石３の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石３の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 （もっと読む）

【課題】撮影されたコンクリート表面に、実際のひび割れと類似した汚れや染み、撮影ムラ、型枠跡などが存在する場合でも、高い精度で実際のひび割れのみを検出することのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】ウェーブレット画像を作成するステップ、注目画素のウェーブレット係数が閾値よりも大きな場合は注目画素をひび割れと判定し、小さな場合は注目画素をひび割れでないと判定し、局所領域および注目画素を変化させながら注目画素のウェーブレット係数と閾値との比較をおこない、ひび割れと判定された画素に対してひび割れとノイズの判別処理をおこない、さらに輪郭線追跡処理をおこなうことで二値化画像を作成するステップ、残りのノイズを除去してひび割れ画像を作成するステップ、細線化処理を実行して細線化画像を作成し、ひび割れ幅を推定するステップ、からなるひび割れ検出方法である。 （もっと読む）

【課題】印刷検査によって取得した印刷状態計測情報を印刷品質向上のために有効活用することができる印刷状態計測結果の表示装置および表示方法を提供することを目的とする。
【解決手段】印刷検査装置Ｍ２による印刷検査において基板３のランドに印刷されたペーストの平面形状における面積値の正規の印刷面積に対する比率を示す面積率を複数のランドのそれぞれについて求めた面積率計測データ２３ａを、表示用データ作成プログラム２３ｂに規定された所定の処理アルゴリズムにしたがってデータ処理して、基板に印刷されたペーストの印刷状態を視覚的に表示するための表示用データを作成し、作成された表示用データを表示フォーマットデータ２３ｃに規定される所定の表示フォーマットにしたがって表示パネル２６の表示画面に表示する。 （もっと読む）

【課題】ホワイトスポットを除去して検査精度を向上させることのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】複数の撮像素子が直線状に配列されたラインセンサによって取得された３ライン分の画像データを蓄積し（Ｓ２_１）、この内の中央ラインの各画素について、対象となる画素と、この周囲に隣接する８つの画素との階調値の差を求め、得られた８つの差の全てが第１の閾値を超える場合に対象となる画素を疑似欠陥と判定する（Ｓ２_２）。８つの画素について階調値の平均を算出し、得られた値を対象となる画素の階調値と置き換える（Ｓ２_３）。また、疑似欠陥の判定が行われたストライプと同じストライプについてラインセンサで光学画像を再度取得し、得られた画像データを前回得られた画像データと置き換えることもできる。 （もっと読む）

【課題】人間の視覚と同様の粒度や明度に応じた地合の違いを検査条件等の違いに拘わらず地合指数を用いて客観的に比較、評価することができる地合検査装置及び地合検査方法を提供する。
【解決手段】地合検査装置は、シート状の検査対象物を撮影して得られた画像の画像データＤ１に対してＦＦＴ演算を行って空間周波数毎のコントラストを示すコントラスト分布画像を求めるＦＦＴ演算部５５と、撮影された画像の明度とその画像に対する観察視野を考慮した空間周波数毎のコントラスト感度を求めるＭＴＦ演算部５６と、ＦＦＴ演算部５５で得られたコントラスト分布画像とＭＴＦ演算部５６で得られたコントラスト感度とを空間周波数毎に乗算して加算することにより地合指数ＤＸを算出する局所地合指数演算部５７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ表面の薄広凸欠陥を高精度に検出することができるタイヤの欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１を開始するまでに、予め連続的にスリット光像を含む２次元画像を取得しておく。ステップＳ１では、撮像された複数の２次元画像データから、スリット光像を抽出する。ステップＳ２では、抽出されたスリット光像から偏心によるぶれである偏心成分を除去する。ステップＳ３では、偏心成分を除去した光像に基づいて特徴量を算出し、ステップＳ４で、算出された特徴量に基づいて薄広凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】管内面のきずの検出精度が高く、かつ、手間とコストがかからない管内面検査方法、及び管内検査装置を提供する。
【解決手段】環状照明３を鋼管２の端面２１に対向させて環状照明３の中心軸３２と鋼管２の管軸２２とを略一致させ、照明光を鋼管２の内面２３に向けて出射し、かつ、カメラ４を鋼管２の端面２１に対向させてカメラ４の光軸と鋼管２の管軸２２とを略一致させ、端面２１及び内面２３を撮像する。撮像した画像から、内面画像を抽出し、内面画像を径方向に複数の環状領域に分割する。分割した環状領域毎に濃度の基準範囲を設け、濃度が該基準範囲から外れた画素群をきず候補画素群として抽出する。きず候補画素群を含む所定の画素領域の画素の濃度から環状領域毎に定めた所定の濃度を減算し、濃度を減算された画素領域を管内面の径方向から見た場合の画素領域に変換し、変換した画素領域からきずの有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】回折光や散乱光等の外乱による影響を受けにくく、パターンの微細化に十分対応できる基板検査装置及びマスク検査装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板検査装置は、検査データの取得と対物レンズ（８）の焦点データ信号の取得を並行して行う。検査中に対物レンズの光軸方向の位置を制御するオートフォーカス装置は、焦点誤差信号を出力する焦点誤差検出手段（４０）と、対物レンズ位置信号又は焦点誤差信号が加算された対物レンズ位置信号により構成される焦点データ信号を用いて対物レンズの光軸方向の位置を制御する焦点制御信号を走査ラインごとに生成する焦点制御信号生成手段（６０）とを有する。ｉを正の整数とした場合に、ｉ番目の走査ラインの走査により取得した焦点データ信号を用いて生成された焦点制御信号は、（ｉ＋２ｍ）番目の走査ラインを走査するときの焦点制御信号として用いられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属帯上の有害疵と、過検出とを弁別して検出することができる表面欠陥検出方法、および、該方法に使用される表面欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】走行する金属帯の表面欠陥を検出する表面欠陥検出方法において、疵候補領域の検出積算値、検出長さ、および検出幅を算出し、検出幅と検出積算値を検出長さで除して得られる密度幅（検出積算値／検出長さ）との比（検出幅／密度幅）を比較することにより、過検出と欠陥とを判定する。 （もっと読む）

【課題】化粧材１の色判別を簡単に精度よく行うことのできる塗装色検出方法を提供する。
【解決手段】縦横に延伸する目地２によって凸部３が基材表面に形成され、凸部３が塗装された化粧材１の塗装色を搬送しながら検出する。化粧材１の所定範囲をカメラ４で撮影するとともに目地２を含む削除領域を検出して設定する。撮影データから削除領域を除外して加工撮影データを作成し、この加工撮影データに基づいて色判別処理を行う。好ましい形態では、化粧材１を３次元計測し、表面高さが閾値以下の領域を低位領域２０として検出して削除領域に設定する。別の好ましい形態では、撮影データ５において幅方向に所定長さ以上で略同色が続く色領域を幅方向の目地色領域２１として検出して削除領域に設定する。 （もっと読む）

【課題】発光素子検査装置およびその検査方法が開示される。
【解決手段】本発明の実施形態に係る発光素子検査装置は光放出面上に蛍光体物質を含む少なくとも１つ以上の発光素子と、可視光線を発光素子に照射する第１照明ユニットと、紫外線を発光素子に照射する第２照明ユニットと、発光素子から反射された可視光線を撮像して少なくとも１つ以上の第１映像データを生成し、発光素子から反射された紫外線を撮像して少なくとも１つ以上の第２映像データを生成する映像撮像ユニットと、第１映像データおよび第２映像データを用いて発光素子の外観および発光特性に対する不良の有無を判断する判断ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥箇所に直接マーキングすることなく、検査官が長尺シート材における欠陥箇所をすみやかに特定することのできる欠陥位置情報生成装置等を提供する。
【解決手段】原点Ｍと、当該原点を識別するための記号との組合せが、長手方向に複数印字された長尺シート材Ｓを撮影した撮影画像において、原点Ｍ及び欠陥Ｄの位置を特定し、特定した原点Ｍのうち欠陥Ｄに１番目又は２番目に近い原点Ｍを基準として当該欠陥Ｄの位置を示す欠陥座標を算出する。基準となった原点Ｍと組合せをなす記号を示す記号情報と、算出した欠陥座標を示す欠陥座標情報とを含む欠陥位置情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート表面を撮像した元画像データを画像処理して閉合ひび割れを自動的に抽出する。
【解決手段】上下左右の矩形の処理領域を一般的に想定される閉合ひび割れのサイズをカバーする面積だけオーバーラップするように分割した複数の矩形の処理領域の元画像に対して画像処理を行い、撮影解像度以上のサブピクセル精度でひび割れ線分を抽出し、領域解析により一定以下の面積の微粒子を除去し、近接する線分同士を連結して閉合領域を生成する。全ての領域に対してラベル付けを行い、各領域の上下左右の端部の座標値が前記矩形の処理領域の範囲内にあるか否かを判定し、範囲内ならば閉合ひび割れと決定する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート表面を撮像した元画像データを画像処理し、当該コンクリート表面に発生したひび割れなどからの漏水を所定の形状と大きさの漏水領域として表示する。
【解決手段】不要物を取り除いたコンクリート表面画像に対して横方向に強い平滑化をかける工程、動的しきい値処理を施して背景に比べてより黒い領域を漏水候補領域として抽出する工程、微小領域を除去し穴埋めする工程、前記漏水候補領域の輝度値、面積、幅、高さを特定する工程、指定した条件の範囲内にある領域を漏水領域として抽出し、領域の穴埋め、周囲領域の閉合処理を行う工程、及び漏水領域を囲む座標軸と平行な最小矩形を画像上に描き、この最小矩形を最終的に表示する漏水領域として表示する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸を有する検査対象物の光沢を検査することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】傾斜面１２を有する凹凸が表面に形成された検査対象物Ｂの光沢を検査する外観検査方法である。前記検査対象物Ｂの表面から離間した位置に、光源３と受光器２とを前記検査対象物Ｂの表面からこの順で配置し、前記受光器２から前記検査対象物Ｂの表面に前記光源３を投影した位置を基準として前記検査対象物Ｂの表面の対称な位置を二つの検査領域Ｂ１、Ｂ２とし、前記光源３から前記検査対象物Ｂの表面に光Ｌ１、Ｌ２を照射し、前記二つの検査領域Ｂ１、Ｂ２からの反射光Ｌ３、Ｌ４を前記受光器２で受光し、前記受光器２で受光した反射光Ｌ３，Ｌ４から得られる前記各検査領域Ｂ１、Ｂ２の測定値を比較して前記測定値の差が所定の閾値以下か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】誤って検出される擬似欠陥の数を低減できるとともに、欠陥の検出感度を落とすことなく、本来検出されるべき真の欠陥を検出できる基板検査方法及びその基板検査用のフィルタ画像の画像作成方法を提供する。
【解決手段】
基板の欠陥の有無を検査するために擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成する画像作成方法において、登録された画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、フィルタ画像を作成するフィルタ画像作成工程Ｓ１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】被検査物が複雑な形状である場合でも、精度よく欠陥を検出することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像工程により被検査物を撮像し、エッジ検出工程により得られた画像データに基づいて、構造パターンの外周形状であるエッジを検出し、ライン検出工程により、エッジの最外周画素の集合であるラインを検出し、構造ライン取得工程によりエッジが境界となる複数の構造パターンに対してそれぞれに接するラインである構造ラインを取得し、エッジ幅取得工程により２つの異なる構造ライン間の距離をエッジ幅として取得し、平均エッジ幅算出工程により同じ構造ライン上の任意の２点を始点及び終点として設定し、始点から終点までの平均エッジ幅を取得する。そして、欠陥検出工程により、平均エッジ幅とエッジ幅とを比較し欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】異常の原因を特定することが可能な検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、加工によりウェハ１０の表面に設けられた構造体を照明する照明光学系２０と、当該構造体で反射した照明光を検出するＣＣＤカメラ４０と、それぞれ異なる加工条件で設けられた構造体を対象として、複数の照明条件若しくは反射条件で検出される検出値を加工条件ごとに記憶するデータベース部４６と、複数の照明条件若しくは反射条件に含まれる少なくとも２条件で被検物である構造体から検出される検出値と、データベース部４６に記憶された検出結果との関連性に基づいて、構造体に対する加工の条件を求める画像処理検査部４５とを有している。 （もっと読む）

【課題】部材表面に形成された皮膜の膜厚むらを、光の位相特性を認識することができない場合においても適切に検査することが可能な膜厚むらの検査装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された部材を所定の移動方向に移動させる移動手段と、部材を移動させながら皮膜の外観画像を繰り返し撮像する撮像手段と、外観画像中の一の画素を特定する画素番号と、前記一の画素にて撮像された皮膜部分の皮膜上における位置を特定する位置座標と、上記一の画素における外観画像部分の輝度とからなる多次元データを格納するデータ格納手段と、外観画像が移動方向に分割されてなる一の分割画像領域内の画素に対応する画素番号を有する多次元データを抽出して一の部分集合を形成する部分集合形成手段と、該部分集合に含まれる多次元データの輝度の分布に基づいて皮膜の膜厚むらの有無を検知する膜厚むら検知手段を備えたことを特徴とする膜厚むらの検査装置。 （もっと読む）