【課題】半導体ウェハを検査するための方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明は半導体ウェハを検査するための方法に関する。半導体ウェハのエッジをイメージング方法を用いて検査し、エッジ上の欠陥の位置および形状をこのようにして求める。加えて、その外縁がエッジから１０ｍｍ以下である、半導体ウェハの平坦領域上の環状領域を、光弾性応力測定によって検査し、上記環状領域の中で応力を受けた領域の位置をこのようにして求める。欠陥の位置および応力を受けた領域の位置を互いに比較し、欠陥をその形状および光弾性応力測定の結果に基づいてクラスに分類する。本発明はまたこの方法の実施に適した装置に関する。 （もっと読む）

【課題】処理装置によって基板上に成膜する処理を含む製造プロセスによって製造される又は製造された製造品について、上記基板上に異常が生じたか否かを検査するマクロ検査方法であって、マクロレベルの異常を客観的に検出することができるものを提供すること。
【解決手段】或る処理装置による処理を受けた後の製造品を撮像して検査対象マクロ画像を取得する一方、その製造品がその処理装置による処理を受ける以前に、その処理装置による処理を受けた同種の製造品を撮像して得られたマクロ画像の中から、比較の基準となる比較基準マクロ画像を用意する（Ｓ１０１，Ｓ１０２）。検査対象マクロ画像と比較基準マクロ画像との間で、互いに類似している程度を定量的に表す類似度を算出する（Ｓ１０３）。類似度が予め決められた管理範囲から外れたかどうかを判断する（Ｓ１０４）。 （もっと読む）

【課題】参照画像と光学画像との高精度な位置合わせを行う方法および装置を提供することを目的とする。
【解決手段】パターン検査装置は、残差２乗和演算による光学画像と参照画像との位置ずれ量を取得するＳＳＤアライメント演算部３１０と、最小二乗法により、前記光学画像と前記補正された参照画像との合わせ位置からの位置ずれ量を演算する最小二乗法アライメント演算部３２０と、前記光学画像と前記残差２乗和および前記最小二乗法を用いて補正された参照画像とを比較する比較回路１０８と、を備え、前記ＳＳＤアライメント演算部３１０による演算を最初として、前記ＳＳＤアライメント演算部３１０と前記最小二乗法アライメント演算部３２０は、交互に同回数だけ複数回演算を繰り返し、比較回路１０８は、複数回演算が繰り返された結果得られた位置に補正された参照画像と前記光学画像とを比較することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】焦点位置の異なる検査画像を取得することでマスクの高精度な欠陥検出を実現するマスク欠陥検査装置を提供する。
【構成】光源と、光源から出射された光を第１および第２の検査光に分岐してマスクの同一面の異なる領域に照射する照明光学系と、マスクに照射された第１および第２の検査光を、第１および第２の像として同一像面に結像する結像光学系と、第１の像と第２の像を、それぞれ拡大する第１および第２の拡大光学系と、第１および第２の拡大光学系で拡大された第１および第２の像をそれぞれ撮像する第１および第２の画像センサと、第１および第２の画像センサで撮像された第１および第２の像の画像である、第１および第２の検査画像と、基準画像とを比較して前記マスクの欠陥を検出する比較部と、を備え、第１の拡大光学系の像面に対する焦点位置と、第２の拡大光学系の像面に対する焦点位置とを所定の量だけずらす機構を有することを特徴とするマスク欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】個々の需要家に設置する自動検針装置で計測する需要家の負荷（電力消費量）情報と、配電設備を撮影した画像情報を利用して、柱上変圧器など配電設備の劣化状態を診断する配電設備劣化診断装置を提供する。
【解決手段】各需要家に設置する自動検針装置で電力負荷データを計測し、計測した複数の需要家の負荷データから、前記需要家と同じ配電系統につながる柱上変圧器の負荷を演算する。同時に前記柱上変圧器の負荷データから過負荷となるデータを逐次抽出し、前記過負荷の積算値が所定の閾値を超えた場合に、撮像装置で柱上変圧器の外観を自動撮影する。撮影した画像データと前記負荷データを同期させ、画像データを用いて外観の錆を検出し、負荷データを用いて内部の絶縁性能を推定し、錆の検出結果もしくは絶縁性能推定結果のうち少なくとも一方を用いて、柱上変圧器の劣化診断を実施する。 （もっと読む）

【課題】ユーザの意図を反映可能な分類条件設定機能を有する二分木構造を用いて欠陥を分類する装置の提供。
【解決手段】欠陥検査装置から取得される検出信号を基に抽出される欠陥の特徴量に基づいて二分木構造の分類器を用いて欠陥を分類する欠陥分類方法であって、予め欠陥クラスと対応付けられた特徴量データとの教示に基づいて、二分木構造の分岐点毎に、分岐の両側のグループにそれぞれ属する欠陥クラス、分岐に使用する特徴量および判別基準からなる分岐条件を設定することにより前記二分木構造の分類器を構築する分類器構築過程を有し、該分類器構築過程において、さらに予め欠陥クラス毎並びに全体および最悪のピュリティおよびアキュラシーの目標分類性能について優先順位をつけて指定しておく優先順位指定過程と、前記設定した分岐条件による前記指定した目標分類性能を満足するか否かを項目毎に評価して該項目毎の評価結果を表示する。 （もっと読む）

【課題】低い検査頻度で高精度のパターン検査を実現する。
【解決手段】実施形態によれば、経時的に変化するパターンを検査する方法が提供される。該方法は、同一の検査対象パターンについて任意の時期における輪郭形状を予測する工程と、上記検査対象パターンの要求仕様に応じた閾値を設定する工程と、上記予測された輪郭形状と上記閾値とから上記検査対象パターンが上記要求仕様を満たさなくなる時期を予測する工程と、を備える。上記検査方法は、上記同一の検査対象パターンについて異なる時期に撮像して画像を得る工程と、得られた複数の画像の輪郭をそれぞれ検出する工程と、検出された、異なる撮像時期の輪郭同士でマッチングを実行する工程と、該マッチング後に、対応する輪郭同士の差を求めて差分ベクトルを生成する工程とをさらに備え、上記輪郭形状は、生成された該差分ベクトルと上記撮像時期の間隔とに基づいて予測される。 （もっと読む）

【課題】ブレード上の欠陥の有無、量及び大きさを簡単に認識できるとともに、複数のブレード上に存在する複数の欠陥を簡単に認識することができる内視鏡装置を提供する。
【解決手段】内視鏡装置３は、１の条件に基づいて、画像から複数の被写体のうち少なくとも２つの被写体の第１の特徴部を検出する特徴検出部と、少なくとも２つの被写体の第１の特徴部に基づいて、第１の被写体の第１の特徴部と第２の被写体の第１の特徴部とを判別する特徴判別部と、第１の被写体の第１の特徴部、及び第２の被写体の第１の特徴部に基づいて、第１の被写体の第１の欠陥部、及び第２の被写体の第１の欠陥部を検出する欠陥検出部と、第１の被写体の第１の欠陥部を示す情報、及び第２の被写体の第１の欠陥部を示す情報を、画像と共に表示する表示部とを有する。 （もっと読む）

【課題】タイヤの外観検査において、マスター画像を用意することなくパターンマッチングによりタイヤの外観を検査する外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ表面を撮像した撮像画像の中から複数のモデル画像を設定するモデル画像設定ステップと、複数のモデル画像と撮像画像とを繰り返しパターンマッチングし、所定のマッチング率以上の撮像画像の領域をマッチング画像として抽出するマッチング画像抽出ステップと、モデル画像とマッチング画像との差分を演算し、差分画像を作成する差分画像作成ステップと、差分画像を閾値と比較して欠陥画像を抽出する欠陥画像抽出ステップとを含むようにした。 （もっと読む）

【課題】正規品種の紙カップと異品種の紙カップとを区別し、異品種の紙カップを製造工程から排出可能にする。
【解決手段】検査装置１は、製造工程における隣り合う工程間を繋ぐシューター２０内を通過する紙カップを撮像するエリアカメラ３と、エリアカメラ３が撮像して得た画像データと予め用意した比較用の画像データとを比較して、紙カップが正規品種か否かを判定する判定部１１と、判定部１１が正規品種でないと判定した場合、正規品種でないことを報知する警告制御部１２及び警告装置５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子回路基板の製造と共にマスク欠陥検査装置自体の検査を実行可能なフォトマスクを製造するフォトマスク製造方法、そのフォトマスクを用いたフォトマスク欠陥検査装置判定方法、及びフォトマスク欠陥検査装置判定装置を提供する。
【解決手段】電子回路基板を製造する際に用いられるフォトマスクの欠陥を検査するフォトマスク欠陥検査装置の検査をするための欠陥検査用パターンを、前記電子回路基板における電子回路領域を避けて配置したマスクパターンを示すマスクパターンデータを作成する作成段階と、前記作成段階により作成されたマスクパターンデータが示すマスクパターンを、フォトマスクに転写する転写段階と、を有する。 （もっと読む）

【目的】予め歪ませたパターンが形成された被検査対象試料をダイーダイ検査する際に、高精度な検査が可能なパターン検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査装置１００は、複数の同一パターンが形成位置にそれぞれ歪みをもって形成された被検査試料の光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、前記光学画像データを複数の部分光学画像データに切り出す切り出し部７２と、前記被検査試料に形成されたパターンの歪み量を取得可能な歪情報を用いて、前記複数の部分光学画像データの位置を補正する補正部７４と、補正された前記複数の部分光学画像データ同士を画素毎に比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥を検査する際に、検査レシピを効率よく更新する。
【解決手段】ウェハを撮像して基準画像を取得し（工程Ｓ１）、当該基準画像を含む検査レシピを記憶部に記憶する（工程Ｓ３）。検査レシピに基づいてウェハを撮像して検査対象画像を取得し（工程Ｓ４）、検査レシピと検査対象画像に基づいてウェハの欠陥を検査する（工程Ｓ１０）。検査対象画像や検査結果等を含むレシピを記憶部に記憶する（工程Ｓ１１）。工程Ｓ４〜Ｓ１１を繰り返し行い、記憶部に所定の条件を満たす検査対象画像が記憶された際、当該検査対象画像を含むレシピに基づいて記憶部に記憶された前記検査レシピを更新する（工程Ｓ１２）。以後、更新された検査レシピに基づいて工程Ｓ４〜Ｓ１１が行われ、ウェハの欠陥が検される。 （もっと読む）

【課題】 端子取付部の画像を撮影して端子圧着不良の検出を行うに当たって、画像の位置調整の処理を簡単化する。
【解決手段】 端子付き電線４を移動させたまま端子部の画像データをカメラ２で撮影し、取得した画像データについて、所定の枠内において、電線を横切る方向に、複数回平行に走査して各ライン毎に輝度の重心点を求め、各重心点に基づいて第１の座標軸を決定する。また、前記画像データ全体について、電線を横切る方向に、複数回平行に走査してライン毎に、隣接する画素間の輝度の差を積算して、積算値の変化パターンを生成し、該変化パターンを前記第１の座標軸方向に移動させながら、基準パターンと比較し、最も一致する位置に基づいて、前記第１の座標軸と直交する第２の座標軸を決定する。そして、両座標軸を基準として前記画像データの位置を調整し、端子圧着状態の良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】連続的に移動する検査対象を静止させることなく、光沢を除去して、より精度の高い画像処理を行うことのできる画像処理方法および画像処理システムを提供する。
【解決手段】画像処理装置は、所定位置に配置された撮像部を用いて、当該撮像部に対して一定の相対位置に配置された照明光源で当該撮像部の視野を照明した状態で、予め定められた方向に移動する検査対象を複数回撮像し、撮像部による一連の撮像により取得される複数の画像のうち２つの画像間で検査対象の少なくとも一部を示す領域を順次探索することで、検査対象を基準として、複数の画像を位置合わせし、当該位置合わせされた複数の画像から合成画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】半田の厚さに関係なくツノ不良及びブリッジ不良の判定を簡便かつ精度良く行う。
【解決手段】画像入力手段１２が、カメラ１の撮像したプリント基板の半田付け部位のＲＧＢカラー画像を取得し、画像変換手段１３がＨＳＶ色空間画像に変換する。半田領域抽出手段１４はＲＧＢカラー画像をＨＳＶ色空間画像と比較して半田領域を抽出し、ランド領域抽出手段１５はパターンマッチング用モデルデータ作成手段１１の作成したモデルデータでＲＧＢカラー画像をパターンマッチングしてランド領域を特定する。不良判定手段１６は、半田領域とランド領域の差領域に基づいて良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】印刷物の非印刷領域に光硬化型インキが付着しても、他の正常な印刷物に悪影響を及ぼすことが無い光源制御装置及びインキ乾燥装置を提供する。
【解決手段】光硬化型インキが紫外線硬化型インキの場合、枚葉紙Ｐに対して紫外線ＬＥＤ５１からＵＶ光を照射して、画像の印刷に使用された紫外線硬化型インキを硬化させるインキ乾燥装置５に対して、光源制御装置７を設ける。光源制御装置７は、撮影用光源７１と、カメラ７３と画像処理部７５を備えている。撮影用光源７１で枚葉紙Ｐに例えば可視光を照射してカメラ７３で印刷された画像を撮影する。そして、画像処理部７５で、紫外線硬化型インキが存在するインキ領域を抽出し、紫外線ＬＥＤ５１からインキ領域に対してＵＶ光を照射させる。これにより、インキが垂れたり飛んだりしてもインキ領域として検出されてインキは硬化されるので、インキによる汚染を防止できる。 （もっと読む）

【課題】車両ボデーとなるワーク等に行った塗装における塗装不良の検出を、簡易な構成の機器を用いて確実に行う。
【解決手段】光源２０３は、ワークＷＫの表面の撮像を行うカメラ２０２の光軸ＡＸを軸回りに取り囲むように、複数配置される。これらの光源２０３は、制御回路チップ２０４の制御によって一つずつ順次点灯し、ワークＷＫの表面に様々な方向から光を照射する。カメラ２０２は、光源２０３が一つずつ順次点灯するその都度に、ワークＷＫの表面を撮像する。画像処理装置１０４は、カメラ２０２から送信された画像データを受けて画像処理を行い、その処理結果をモニタ１０５に出力する。 （もっと読む）

印刷画像における不良を検出するための自動検査方法は、ラスタ画像を処理し、そのラスタ画像を印刷プロセスに送り、ラスタ画像に対応する印刷画像を媒体上に印刷し、印刷画像よりも低い解像度で少なくとも媒体移動方向において、印刷画像の少なくとも一部からターゲット画像をキャプチャし、ラスタ画像の少なくとも一部を基準画像に変換し、基準画像をターゲット画像と比較することを含む。 （もっと読む）

【課題】被覆が剥離された被覆電線端部の良否をより一層的確に検査することのできる被覆電線検査装置を提供する。
【解決手段】被覆が剥離された被覆電線Ｒの端部の状態を検査する被覆電線検査装置Ｂであって、前記被覆電線Ｒを搬送する搬送ユニットと、被覆が剥離された前記被覆電線Ｒの芯線Ｓを撮像する撮像手段３ａ、３ｂと、該撮像手段３ａ、３ｂにより撮像された画像に基づいて前記剥離の良否を判定する判定手段６と、該判定手段６による判定が不良であった場合に、前記剥離の良否を目視で判定すべく、前記被覆電線Ｒを前記搬送ユニットにより前記撮像手段３ａ、３ｂ側に搬送させて、該撮像手段３ａ、３ｂにより再度撮像される前記芯線Ｓの画像を表示する表示手段７とを備えている。 （もっと読む）