【課題】煩雑な計算を行うことなく欠陥画像に付与されたカテゴリが当該欠陥画像が属すべきカテゴリか否かを判定する。
【解決手段】作業者により予め対象欠陥画像７２に一のカテゴリが付与され、３つのカテゴリ毎に属する欠陥画像の種類ｘ，ｙの特徴量の平均値および標準偏差に基づいて特徴量範囲Ｅ_ｘ１〜Ｅ_ｘ３，Ｅ_ｙ１〜Ｅ_ｙ３が設定されている。対象欠陥画像７２の一の種類ｘの特徴量Ｕ_ｘ２は特徴量範囲Ｅ_ｘ２にのみ含まれるため、平均位置７０２１を中心とするカテゴリに１票が投票される。同様の投票が特徴量の他の種類ｙについても行われ、平均位置７０２１を中心とするカテゴリに１票が投票される。そして、得票数の最も多いカテゴリが対象欠陥画像に与えられたカテゴリと異なる場合、その旨が作業者に通知される。投票を利用することにより、カテゴリの判定の煩雑な計算が不要とされる。 （もっと読む）

【課題】欠陥部分を拡大するなどして詳細に検査する時に、ステージの移動量をできるだけ少なくして、画像取得時間を短縮し、効率よく欠陥を観察することができる資料の観察方法及びその装置を提供する。
【解決手段】検査装置で検出した試料の欠陥の情報に基づいて試料を撮像して試料の欠陥を含まない参照画像を得、検査装置で検出した試料の欠陥の情報に基づいて欠陥が撮像の視野に入るように試料の位置を調整し、この位置を調整した試料を撮像して試料の欠陥を含む欠陥画像を得、参照画像と欠陥画像とを比較してこの欠陥画像中の欠陥を検出し、撮像の視野内の検出した欠陥を含む一部の領域を撮像して欠陥の拡大画像を得、この欠陥の拡大画像を画面上に表示することを特徴とする試料の観察方法。 （もっと読む）

【課題】画像内に被検査物の端部領域が含まれている場合において、たとえ機械的に画像を複数の領域に分割して検査を行ったとしても、誤認識を招くことがない技術を提供する。
【解決手段】被検査物の画像を複数のブロックに分割し、その中で任意の注目ブロックＢ（ｍ，ｎ）を設定する。この注目ブロックＢ（ｍ，ｎ）に対し、各方向Ａ１〜Ａ４について隣接する周辺ブロックとの間で濃度を比較する。このとき、例えば左右方向でみて一方の周辺ブロックＢ（ｍ−１，ｎ）から注目ブロックＢ（ｍ，ｎ）への濃度変化量が負の値となり、かつ、注目ブロックＢ（ｍ，ｎ）から他方の周辺ブロックＢ（ｍ＋１，ｎ）への濃度変化量が正の値となった場合にのみ、各変化量の合算値を欠陥度として扱う。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法により不要の有無を精度良く判別できるようにする。
【解決手段】検査対象物のモデル５０の画像が表示されている状態下で検査領域６１の指定を受け付けると、この検査領域６１内の画像を基準画像に設定する。さらに基準画像を複数の領域Ｒに分割し、領域Ｒ毎に、検査領域６１内でその領域Ｒの範囲を特定するための情報（領域特定情報）を作成し、基準画像とともにメモリに登録する。検査の際には、登録された領域Ｒ毎に、基準画像からその領域の画像を切り出すとともに、領域特定情報に基づき検査対象画像の当該領域に対応する範囲より拡張された範囲を処理対象領域として設定する。そして、領域毎に画像間の最大の一致度を特定して、特定された一致度により不良の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】基板上の欠陥を分類する分類器の学習に使用される教師データの作成において、教師データに利用される欠陥画像のカテゴリの決定を高速かつ適切に行う。
【解決手段】カテゴリが未決定の対象欠陥画像７から一の種類の特徴量Ｕ_ｘおよび２つのカテゴリ８１，８２の典型的な欠陥を示す典型画像８１１，８１２，８２１から当該一の種類の特徴量Ｔ_ｘ１１、Ｔ_ｘ１２、Ｔ_ｘ２１が取得される。次に、特徴量Ｕ_ｘと特徴量Ｔ_ｘ１１、Ｔ_ｘ１２、Ｔ_ｘ２１との３つの特徴量差が求められ、特徴量差が最も小さい典型画像８１１が属するカテゴリ８１に１票が投票される。同様の処理が特徴量の残りの種類についても行われ、カテゴリ８１，８２のうち得票数が多いカテゴリ８１が対象欠陥画像７が属するカテゴリとして決定される。このように、特徴量の種類毎に特徴量差を求めて投票を行うことにより、対象欠陥画像のカテゴリの決定が高速かつ適切に行われる。 （もっと読む）

【課題】擬似欠陥の発生を抑えて、高精度な欠陥検出を行う。
【解決手段】本発明の欠陥検出装置１は、比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値（Ｐ１〜Ｐ８）と、被検査画素の輝度値（Ｐ０）との差分を算出する第１差分演算回路２３ａと、比較対象画素群に含まれる各比較対象画素の輝度値（Ｐ１’〜Ｐ８’）と、被検査画素の輝度値（Ｐ０）との差分を算出する第２差分演算回路２３ｂと、上記算出された差分のうち、絶対値が最も小さい差分を欠陥検出用指標として選択する比較／選択回路２４と、該比較／選択回路２４が選択した欠陥検出用指標と、予め定めた閾値との大小関係から、上記検査対象物の上記被検査画素に対応する位置における欠陥の有無を判定する欠陥判定部１３とを備えているので、擬似欠陥の発生を抑えて高精度に欠陥検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
近年、半導体製造工程においては、製造時間の短縮および歩留まり低下要因の早期発見のため、ウェハの検査時間を短くすることが要求されている。これは、実際に検査する時間のみならず、検査の条件設定時の時間も短縮する必要がある。
【解決手段】
搬送系２の速度または位置の変動情報を用いて、検出器の蓄積時間や動作速度の制御もしくは取得画像の補正により、搬送系２の加減速時にも検査を行う。また、検出部の観察画像の表示を一定時間で切り替えることにより、検出部の視認性を向上させ、欠陥の有無を短時間で確認する。 （もっと読む）

【課題】媒体の選別精度を向上させつつ生産性の低減を抑制すること。
【解決手段】元画像（６）に基づいて画像を媒体（Ｓ）に記録する画像記録部（ＵＹ〜ＵＫ＋Ｔ１＋Ｂ＋Ｔ２＋Ｆ）と、分岐路（３）が接続される検査路（ＳＨ６）と、搬送先を切り替える排出切替部材（Ｇ３）と、媒体（Ｓ）を撮像する撮像部材（４）と、媒体（Ｓ）を搬送する搬送部材（Ｒａ１，Ｒａ２）と、元画像（６）と撮像された画像（７）とに基づいて欠陥があるか判別する画像欠陥判別手段（Ｃ２ｅ）と、搬送部材（Ｒａ１，Ｒａ２）による搬送速度を制御して媒体（Ｓ）を搬送させる搬送速度制御手段（Ｃ２ｇ）と、欠陥があると判別された場合に搬送先を分岐路（３）に切り替える排出切替部材制御手段（Ｃ２ｆ）と、分岐路（３）に搬送された媒体（Ｓ）が排出される欠陥媒体排出部（ＴＲｈｐ）と、を備えた画像形成装置（Ｕ）。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の検出、過検出を防止して、正確に良否判定を行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 正反射光のため及び乱反射光などのための複数の光学系から入力された撮像画像を画像処理装置によって処理し、各撮像画像より明暗検出で、抽出された欠陥候補及び欠陥候補特徴量を複合処理することによって、欠陥種の分類を行い、あらかじめ設定された欠陥種毎に異なる良否判定パラメータを適用して、適切な良否判定を行うことができるようにした欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置のメモリマット部の最周辺部や、繰り返し性の無い周辺回路まで高感度に欠陥判定できる検査技術を提供する。
【解決手段】
繰り返しパターンを有する複数のダイで構成された回路パターンの画像を取得する画像検出部、取得した検出画像について、繰り返しパターンの領域とそれ以外の領域とに応じて加算対象を切り替えて参照画像を合成し、検出画像と比較して欠陥を検出する欠陥判定部、検出された欠陥の画像を表示する表示装置を備える。 （もっと読む）

【課題】回路パターンが付された基板の検査ないし補修の工数及びコストの削減を図る。
【解決手段】基板９を配置するためのステージ１と、ステージ１上に配置された基板９を撮像する撮像手段２と、基板９に本来付される回路パターンのデータを記憶するパターン記憶手段８と、撮像手段２で得た画像データをパターン記憶手段８に記憶している回路パターンのデータと比較して基板９の不良部を検出しその位置座標を得る不良検出手段６と、ステージ１上に配置された基板９に対して相対移動可能かつ基板９に付された回路パターンを補修可能な補修手段３と、不良検出手段６で得た位置座標に対応する箇所に補修手段３を移動させて不良部の補修を実行させる制御手段７とを具備する検査・補修装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】従来、スポット溶接作業後の検査が、作業者による抜き取り検査で行われていたため、不具合品は発見できず検査に通ってしまうという課題や、ＣＡＤによる数値データ比較方法もあったが、作業が困難であった。
【解決手段】撮影機１によって予め正式打点指示図の通りにスポット溶接Ｓをしたサンプルとなる完全被検査物のスポット溶接打点ＳＰの全数の位置を撮影し、それらの画像を画像処理ユニット５に記録しておくとともに、撮影機１によって実際に製品となる被検査物Ｂのスポット溶接打点Ｓｎの全数の位置を撮影して、画像処理ユニット５にこれらの画像を記録し、これらの画像Ｓｎと予め記録してある完全被検査物のスポット溶接打点の全数の画像ＳＰとを比較し、その検査結果を自動的に判定する自動スポット溶接検査システムによる。 （もっと読む）

【課題】印刷されたドットパターン画像における欠陥検出を可能にすること。
【解決手段】本発明のいくつかの用途は印刷回路（ＰＣＢ）基板の検査用システムの各種
実施形態における使用にある。生成された歪みマップは再構築されたドットパターン画像
、シミュレートされた基準ビットマップ、および再構築されたドットパターン画像と基準
ビットマップとの差を表すエラーマップに基づいている。さらに歪みマップのピクセルは
比較の結果発見された異常の位置および種類を特定するために色分けされる。 （もっと読む）

【課題】作業性の向上を図り、かつ処理速度の高速化を図った画像処理検査方法及び画像処理検査システムを提供する。
【解決手段】連続的な模様に沿うように、検査対象品を連続的に撮影する撮影工程Ｓ１と、撮影工程Ｓ１により得られた複数の撮影画像のそれぞれに対応する良品画像を作成する良品画像作成工程Ｓ３と、各撮影画像とそれぞれに対応した良品画像との比較によって、欠陥部位の有無を検査する検査工程と、を有する画像処理検査方法であって、良品画像作成工程Ｓ３においては、作成する良品画像に対応する撮影画像を除き、当該撮影画像の近傍の複数の撮影画像同士で一致率の評価を行い、評価の高い複数の撮影画像から良品画像を作成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
半導体等の製造工程で用いられる欠陥検査において、欠陥から発生する散乱分布・光量は欠陥形状や材質に依存して大きくかつ非線形に変化するため、様々な形状・材質を含む複数の欠陥種に対する高精度分類、寸法計測は困難であった。
【解決手段】
試料上にて複数の方向に発生する光を複数の検出器を用いて一括で検出し、得た複数の検出器出力に基づいて散乱光分布の情報を含む多次元の特徴量を抽出し、その特徴量を散乱光分布ライブラリのデータと比較することで欠陥の種類および寸法を判定する。特徴量抽出工程においては、前記検出工程において得られる屈折率および形状が既知の散乱体の散乱光検出信号の大きさに基づいて出力する特徴量を補正することで、高精度な判定を実現する。 （もっと読む）

【課題】光反射体の反射光像による真贋判別を正確に、かつ、容易に実施することができる光反射体の真贋判別方法及びその真贋判別装置を提供する。
【解決手段】光反射体の真贋判別方法は、所定の入射角度で入射した光を特定の出射角度で反射する光反射体（１００）に対して、特定の波長の光を前記所定の入射角度で入射する波長入射ステップと、前記光反射体（１００）で反射する特定の波長の反射光を撮像する撮像ステップと、前記撮像ステップで撮像した前記反射光の反射光像と、前記光反射体の反射光像サンプルとを比較する比較ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】アライメンに使用するテンプレート画像を最適な方法で登録し、パターンマッチングのエラー、及び評価に要する時間を低減する。
【解決手段】最適なテンプレートのアライメントマークとの選定や識別及び類比判断を、異物検査装置に配備した相関値の演算機能により実践する。すなわち、異物検査装置に、被検査物の表面に形成されるアライメントマークの特徴点を登録する装置と、前記被検査物の表面上に形成されたアライメントマークの画像データを採取する装置と、前記画像データから特徴点を抽出し双方の特徴点より相関値を算出するデータ演算処理装置とを備え、前記相関値の閾値に基いて前記アライメントマークの画像データを登録する。 （もっと読む）

【課題】モデルを利用した位置合わせにおいて、人間の関与を極力減らし、画像認識に資する部分を効率的にモデル化するための技術を提供する。
【解決手段】位置合わせを行う対象物と同じ種類の基準物に含まれる基準パターンである回路パターン２を撮像した撮像画像１から、特徴点抽出処理により特徴点３ａ〜３ｄなどの複数の特徴点が抽出される。そして、抽出された複数の特徴点それぞれの座標を含むモデル特徴箇所座標群５を含む基準モデルが記憶される。基準モデルは、各特徴点の周辺から切り出した画像を含むモデル特徴箇所画像群４をさらに含んでもよい。対象物を撮像して取得した対象撮像画像から抽出された複数の特徴点それぞれの座標と、基準モデル内のモデル特徴箇所画像群４とを利用して、基準パターンと対象パターンのずれを表すずれ量を算出して対象物に関する位置合わせ処理を行うことが可能である。 （もっと読む）

本発明は、同種の印刷物、より詳しくは搬送装置により移送される同種の印刷済み用紙を点検するための方法および装置に関連する。この目的のため、読込み段階中に、検査イメージが印刷物上の複数のポイントでデジタルカメラにより記録される。記録された検査イメージまたはその一部は、特徴情報に関して分析され、最も顕著な特徴情報を有する検査イメージが参照イメージとして選択される。同種の印刷物を点検するという目的のため、参照イメージに対応する位置の少なくとも一つのイメージを記録することにより、また参照イメージのイメージデータとこれを比較することにより、同種の後続の印刷物が点検される。このような点検は、印刷物の検査イメージを記録するためのデジタルカメラと、印刷物を照射するための照射デバイスと、位置信号を供給するための入力と、デジタルカメラおよび照射装置を制御するためとデジタルカメラにより生成されたイメージデータを分析するための制御評価ユニットとを包含する装置により実行される。本発明はさらに、コンピュータプログラムおよびコンピュータプログラム製品に関連する。
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【課題】検出精度を犠牲にすることなく、検査時間の短縮を図った欠陥検出装置、及び、欠陥検出方法を実現する。
【解決手段】
欠陥検出装置１００は、評価対象物２００を撮像して得られた複数の撮像画像を参照して高解像度化画像を生成する高解像度化処理部１２３と、高解像度化画像を参照して評価対象物２００における欠陥を検出する欠陥検出処理部１２４とに加え、記録部１２１に記録された欠陥形状情報に基づいて、高解像度化画像を生成するために高解像度化処理部１２３が参照する撮像画像の枚数を設定する光学系制御部１２２を備えている。 （もっと読む）