【課題】短い検査時間で被検査物の外観の状態を検査することが可能な外観検査装置およびその画像処理方法を提供する。
【解決手段】ボトルＢの被検査面にあるラベルの状態を検査するラベル検査装置１において、ボトルＢを自転させる検査テーブル５１２と、この検査テーブルを公転させるインデックステーブル５１１と、ボトルＢの１周分以上を順次撮像してそれぞれを走査画像として出力するラインカメラ５２と、ラインカメラ５２により走査画像を１周分より多く結合した画像を元画像とし、この元画像から１周分を切り出した切出画像を被検査面画像とし、被検査面画像に含まれる検査対象画像が分断されているか否かを判定し、検査対象画像が分断されていると判定されると、被検査面画像を前記被検査面の基準位置に対応する位置から２分割し、２分割した被検査面画像のそれぞれの位置を入れ替えて結合して検査画像とする画像処理部を有する制御部５３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の端部の状態を効率良く検査するとともに、被検査体に生じる欠陥部分の画像を容易に取得する。
【解決手段】 薄膜が形成された円板状の被検査体を回転させながら前記被検査体の端部を撮像することで、前記被検査体の端部の状態を検査する端部検査装置において、被検査体の表面は、平坦部と、平坦部の周縁に設けられ、被検査体の周面に向けて下り傾斜する傾斜部とから構成されており、被検査体の上方から、傾斜部と平坦部の一部を含む被検査体の端部の画像を取得する第１の画像取得手段と、薄膜が形成されていない被検査体の表面の端部を示す基本画像と、第１の画像取得手段により取得された画像とを比較することで、薄膜が傾斜部に形成されているか否かを認識する画像比較手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査の高速化が可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】画像処理部１３の光源特性測定部１３５において、光量制御量と基準明るさとの対応を光源特性として求め、光厳情報保存部１３６に光源特性データとして保存する。検査時は、正解パターン登録時の明るさ換算値及び光源特性データに基づいて、光量制御量を演算することで、光量調整の手間を要することなく、迅速に検査が実行可能である。 （もっと読む）

【課題】パターン画像検出部１１０の特性変動や被検査ウェーハ６の表面特性の個体ばらつきに応じて、欠陥判定のしきい値を自動的に調整する。
【解決手段】画像処理部１２０は、被検査ウェーハ６表面のある領域の検出画像とその領域と同じパターンを有する他の領域の検出画像との差分画像に基づき、欠陥信号を抽出する欠陥信号抽出部２１、前記差分画像の全画素について、その各画素の欠陥信号量を累積して、その頻度分布および分散を算出する欠陥信号累積部２３、その算出した分散を、基準の被検査ウェーハ６から得られた基準の頻度分布の分散と比較して、頻度分布のオフセット量を算出するオフセット算出部２４、あらかじめ設定された基準の欠陥判定しきい値を前記オフセット量により修正し、その修正した欠陥判定しきい値に基づき、前記欠陥画像についての欠陥信号の欠陥判定を行う欠陥判定部２５、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】検査対象であるフォトマスクに所定波長の光束を照射し、このフォトマスクを経た光束を撮像手段によって撮像して、光強度データを求めるフォトマスクの検査方法において、実際の露光を行う露光装置との条件整合を良好に行うことができるようにする。
【解決手段】テストマスクを用いて露光、現像してテスト用レジストパターンを得て、これを測定して実露光テストパターンデータを得る。また、テストマスクに対して所定の光学的条件で光照射を行い光透過パターンを撮像手段により取得し得られた光透過パターンに基づいて光透過テストパターンデータを得る。実露光テストパターンデータと光透過テストパターンデータとを比較し、この比較結果に基づき、光学的条件を設定し、検査対象となるフォトマスクに対して光照射を行って得られた光透過パターンに基づいて、フォトマスクの検査を行う。 （もっと読む）

【課題】複数層に形成された検査対象物の各形成状態を検査する場合において、品質上問題の生じる可能性の低い領域や検査不可能な領域について、虚報の出やすい領域を除外したり、あるいは閾値を緩くしたり、判定アルゴリズムを変更したりすることで虚報を抑えられるようにする。
【解決手段】配線パターン２１やパッド２２、レジスト２３、シルク２４を形成したプリント基板２を検査する場合、配線パターン２１やパッド２２、レジスト２３、シルク２４の設計データで囲まれた領域を膨張処理し、これによって生成された配線パターン２１やパッド２２の設計データに対する膨張領域と、レジスト２３の設計データに対する膨張領域とを重ね合わせる。そして、その重ね合わさった重複領域４３を他の内側領域４１や外側境界領域４２における検査方法と異なる判定アルゴリズムで検査する。あるいは、その重複領域４３については、検査を行わないようにする。 （もっと読む）

【課題】基板外観検査において、不良見落としの確率を低くするとともに、虚報を低減する。
【解決手段】撮像手段1110、データ読出手段1120、対象領域抽出手段1310、領域辞書作成手段1340、領域位置合わせ手段1330、検査領域設定手段1350、密度辞書作成手段1360及び検査手段1370を備えて構成される。対象領域抽出手段は、CADデータ1510及び色基本データ1520から計算された対象領域の色と、撮像手段が取得した撮像画像データ1112の色との比較を行って、パッド画像データ1412を抽出する。領域位置合わせ手段は、撮像画像データとCADデータの位置合わせを行って、合わせ画像データ1432を作成する。密度辞書作成手段は、隣り合う対象領域の間隔が閾値以下の場合は高密度領域と判定し、閾値よりも大きい場合は低密度領域と判定する。検査領域設定手段は、高密度領域における非検査領域を、低密度領域における非検査領域よりも小さく設定して、検査画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】基板上のパターンの欠陥の誤検出を防止する。
【解決手段】画像処理部７の画像入力部１１は、ラインセンサカメラ５がガラス基板１の蛍光体ストライプを撮影して得た画像データを複数のブロックに分割する。境界判別部１２は、分割された各ブロックが蛍光体ストライプの端部を含む画像であるか否かを判別するために、各ブロックの画素の投影加算処理を行なう。領域判別部１３は、各画像データを、蛍光体ストライプ２１の境界より内側の長方形領域に属する画像、および当該内側の領域の外側に属する画像に区分する。差画像検出部１４は、分割されたブロックのうち第１領域内の隣接画像の差画像検出、および第２領域内の隣接画像の差画像検出を個別に行なう。欠陥検出部１５は、それぞれの差画像検出結果をもとに、パターン欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】吸着孔を有する載置面とこの載置面に載置された基板とが同時に撮影された画像から、正確に基板画像のみを抜き出すこと
【解決手段】区画線により区画された模様を有する載置面１６ａとともに、載置面上に配置された基板Ｓが撮影された原画像から、基板に対応する画像部分である基板画像を抽出する基板画像抽出装置１０であって、基板の非存在下で撮影された載置面のみの画像であって、区画線の色を載置面の色に変換し、かつ、区画線以外の領域の色を透明化した画像を背景画像として記憶する背景画像記憶部４４と、背景画像原画像とを重ね合わせて重畳画像を生成する重畳部３４と、重畳画像において、載置面及び模様の双方と色が異なる領域の外縁を定める点を基板輪郭候補点として抜き出し、さらに、基板輪郭候補点の中から重畳画像と原画像とで同色の点を基板輪郭点として抜き出す解析部３６とを有する。 （もっと読む）

【課題】パターン検査において、膜厚の違いやパターンの太さの違いなどから生じる比較画像間の明るさむらを低減し、ノイズや検出する必要のない欠陥に埋没した、ユーザが所望する欠陥を高感度、かつ高速に検出するパターン検査技術を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成されたパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、並列に動作する複数のＣＰＵを実装した処理システムを用いて構成される画像比較処理部１８を備えて、膜厚の違いやパターンの太さの違いなどから生じる比較画像間の明るさむらの影響を低減し、高感度なパターン検査をパラメータ設定なしで行えるようにした。また、比較画像間で各画素の特徴量を算出し、複数の特徴量を比較することにより、輝度値からでは不可能は欠陥とノイズの判別を高精度に行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】判定方法や表示方法などが変更された場合であっても、大きくプログラムを作り直す必要がなく、また、複数のプロセッサーを有する検査装置で検査する場合であっても大きくプログラムを作り直す必要のないシステムを提供する。
【解決手段】プリント基板３の形成状態を検査する外観検査システム１において、まず、基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを格納しておき、コア処理手段２１は、この基準画像データの読み出しを行う。そして、プリント基板３の形成状態を判定する複数の判定手段２２から基準画像データの読み出し要求があると、判定手段２２ａ、２２ｂは、独自の判定プログラムに基づいて対応基準データを生成し、その対応基準データと被検査画像を用いて形成状態の良否の判定を行う。そして、その判定結果を、コア処理手段２１に送信し、判定結果記憶手段１７ｂに格納する。 （もっと読む）

【課題】
検査対象基板において不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する課題があった。
【解決手段】
光源から出射した光を検査対象基板上の所定の領域に所定の複数の光学条件をもって導く照明工程と、前記所定領域において、前記複数の光学条件に対応して生じる複数の散乱光分布の各々につき、所定の方位角範囲および所定の仰角範囲に伝播する散乱光成分を受光器に導き電気信号を得る検出工程と、該検出工程において得られる複数の電気信号に基づいて欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】部品本体の複数箇所から突出する基板電極に対し、突出部位毎に検査ウィンドウの設定用データを自動で作成する。
【解決手段】ＣＡＤデータから検出されたパッド情報と、良品基板の画像から検出した部品本体枠Ｓとを用いて、各パッドＰ_１〜Ｐ_３について、それぞれ部品本体枠Ｓから突出する部位を検出する。さらに、複数の突出部位が検出されたパッドＰ_２について、突出部位２１，２２毎に、その突出部位から部品本体枠Ｓ内の所定位置Ａ，Ｂまでの範囲を部分電極Ｐ_２１，Ｐ_２２としてパッド全体から分離する。この後は、分離対象外のパッドＰ_１，Ｐ_３および突出部位２１，２２について、それぞれ検査ウィンドウの設定範囲を定め、設定用データとして登録する。 （もっと読む）

【課題】周期性のある有害疵を従来よりも高精度に検出することができるようにする。
【解決手段】ワークロール７ａの外周長を基にした長さで切り出された複数の画像データを加算して得られた加算平均画像データ４３ａ〜４３ｃの中から、ワークロール７ａの実際の外周長に合った加算平均画像データ４３を選択することを、複数のコイルについて行い記憶しておく。そして、疵検査対象の加算平均画像データ４３が求められると、過去に求めておいた複数のコイルにおける加算平均画像データ４３（Ｉ₁〜Ｉ_n-1）の平均画像データＩ₀と、それら加算平均画像データ４３（Ｉ₁〜Ｉ_n-1）の固有画像Ｊ_iとを用いて、疵検査対象である加算平均画像データ４３（Ｉ_n）を線形結合して、周期性のある外乱ノイズを抽出し、抽出した外乱のノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】複数の角度位置での試料画像に含まれる各欠陥を表す部分を単一の画像に集約させて表し、欠陥の属性（位置、形状、大きさ、数等）をより正確に判断することができるようにした検査装置及び方法を提供することである。
【解決手段】表面検査装置及び方法は、回転される半導体ウエーハ１０の表面を前記撮像カメラ３０にて撮影して得られる複数の角度位置での半導体ウエーハ画像のそれぞれから所定の基準画像を差し引いて差分画像を生成し、前記複数の角度位置での差分画像を角度位置の補正を行いつつ合成して合成画像を生成し、該合成画像から前記試料表面の欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】被検査試料のパターンの欠陥を検出する機能を高めること。
【解決手段】被検査試料のパターンの測定パターンデータを取得する測定パターンデータと、被検査試料の設計データから測定パターンデータに対応した展開パターンデータを生成する展開パターンデータとを比較して被検査試料のパターンの欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】再度精密検査行うという手間を省いて、製造物の欠陥の有無を高速に判別することができるようにすること。
【解決手段】製造物を画像撮影し、欠陥の有無を判定する装置において、製造物を設計したデータから製造物を撮影した際に欠陥がなければ得られるであろう製造所望画像１０１を作成し、その中から特に欠陥が発生しやすい検査部位１０２を選択させ、これに欠陥パターン１０３を上乗せして欠陥パターン付きテンプレート１０４を作成させる。製造物を画像撮影し、欠陥パターン付きテンプレート１０４をテンプレートとしてテンプレートマッチングを行い、マッチングさせた評価値から欠陥の有無を判定する。これにより、評価値から欠陥の有無を直接判定することができ、精密検査を行うことなく、素早く次の同じ型の製造物を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】検査表示部と隣接する表示部の光源から検査透過部への漏光検査を自動化できる漏光検査装置を提供する。
【解決手段】検査表示部４ａと隣接する表示部４ｂの光源５２から検査光透過部４１ａへの漏光を検査する漏光検査装置１０であって、検査光源５１を点燈している状態で検査表示部４ａを撮影して点燈画像情報Ａを取得し、検査光源５１を消燈し且つ光源５２を点燈している状態で検査表示部４ａを撮影して消燈画像情報Ｂを取得する撮像手段１２と、点燈画像情報Ａと消燈画像情報Ｂとを取り込んで、点燈画像情報Ａと消燈画像情報Ｂを位置合わせして重ねることによって消燈画像情報Ｂにおいて検査透過部４１ａを特定する特定手段１１と、消燈画像情報Ｂにおいて特定された検査透過部４１ａの明度情報を取り込んで、明度情報によって漏光の良否判定を行う判定手段１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 外観検査の精度を向上させることのできる技術を提供する。
【解決手段】 予め、基準となる製品を撮影して取得した画像データを分割し、所定の形式で変換したファイルのサイズを取得しておく。検査対象の製品を撮影した画像を分割し、おなじ形式で変換する。基準製品のファイルサイズと、検査対象製品のファイルサイズとを比較し、差分が所定値以上であれば、不合格の可能性有りと判定する。 （もっと読む）

【課題】複雑な構造を有する撮像手段や煩雑な作業を必要とすることなく、配管の内周面に生じた傷又は塗装剥離の発生状況を客観的に把握する。
【解決手段】配管Ｐの内周面に設定された検査領域Ｗの観察画像を、その検査領域Ｗの管軸方向外方から取得し、その観察画像内で傷又は塗装剥離の発生している特徴部Ｋを抽出して、その観察画像上における特徴部Ｋの面積を基に、前記検査領域Ｗ内に占める前記特徴部Ｋの面積比率Ｊを算出するようにした。検査領域Ｗの管軸方向外方から観察画像を取得すれば、撮像手段２等を周方向に回動させることなく検査領域Ｗ全体の観察画像を取得でき、複雑な構造を有する撮像手段２や煩雑な作業を必要としない。さらに、その取得した観察画像上における特徴部Ｋの面積を基に、前記検査領域Ｗ内に占める前記特徴部Ｋの面積比率Ｊが算出できれば、配管Ｐの内周面に生じた傷又は塗装剥離の発生状況を客観的に把握できる。 （もっと読む）