【課題】撮像装置とキャリブレーションマークとの位置関係に係わらず、撮像装置をキャリブレーションするに十分な、キャリブレーションマークの撮像画像を取得する。
【解決手段】単一のキャリブレーションマークを複数回撮像することによって、複数の基準マークが配置されたキャリブレーションを撮像したときと同様の画像マークを取得し、この画像マークに基づいて撮像装置について中心位置、取り付け角度、分解能等のキャリブレーションを行う。単一のキャリブレーションマークを異なる撮像位置で複数回撮像して画像マークを取得する撮像工程と、複数回の撮像で取得したキャリブレーションマークの各画像マークを用いて、複数個の画像マークを有した撮像画像を形成する撮像画像形成工程と、撮像画像の画像マークの位置と撮像画像上の基準位置とに基づいて、撮像装置のキャリブレーション情報を算出するキャリブレーション情報算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】誤って検出される擬似欠陥の数を低減できるとともに、欠陥の検出感度を落とすことなく、本来検出されるべき真の欠陥を検出できる基板検査方法及びその基板検査用のフィルタ画像の画像作成方法を提供する。
【解決手段】
基板の欠陥の有無を検査するために擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成する画像作成方法において、登録された画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、フィルタ画像を作成するフィルタ画像作成工程Ｓ１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】クラックでない線状の領域の誤検出を招くことなく、高精度にクラックを検出する。
【解決手段】クラックの領域を映している可能性がある画素を選別する画素選別処理部４と、画素選別処理部４により選別された画素を繋ぎ合わせて線状の画像領域を形成し、その画像領域がクラックの一部を構成している線分であるか否かを判別する線分判別処理部５と、線分判別処理部５によりクラックの一部を構成していると判別された線分を繋ぎ合わせて折れ線を形成し、その折れ線がクラックに相当する折れ線であるか否かを判別する折れ線判別処理部６とを設け、折れ線判別処理部６によりクラックに相当すると判別された折れ線を表示する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物を測定しつつ画像を取得するとともに画像を所望の視線方向から観察できる撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１は、画像を取得する撮像素子１８と、測定対象物Ｗの被照射領域Ｗ１に光線を照射する発光部２６および光線を検出する受光部２８を有し、発光部から被照射領域までの距離を測定する測定部２０と、発光部の位置を測定する位置測定部２１と、発光部の向きを測定する姿勢測定部２２と、発光部の位置および向き並びに発光部から被照射領域まで距離に基づいて被照射領域の位置および向きを算出する領域状態算出部５５と、画像から抽出画像を作成する画像切出し部５４と、抽出画像を領域状態算出部により算出された位置および向きに対応付けて記憶する記憶部５６と、仮想空間に位置および向きに基づいて配置された抽出画像を視線方向に基づいて変換した視線変換全体画像を作成し表示部に表示させる画像処理部５７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】正確に、且つ効率的に劣化部分の抽出と劣化度評価を行うことができる鋼管内部腐食解析装置、及び解析方法を提供する。
【解決手段】鋼管内視鏡調査で得られた画像を解析することにより、該鋼管内の劣化部分の抽出及び劣化評価を行う鋼管内部腐食解析装置１００であって、様々な条件下で得られた画像から撮影条件の相違点を除去する前処理手段１０と、劣化部分を予備的に抽出する劣化部分予備抽出手段１１と、前処理手段１０により撮影条件を統一し、且つ劣化部分予備抽出手段１１により得られた方針に基づいて、画像に対して劣化度ごとの領域を抽出及び分類する劣化部分抽出分類手段１２と、実際にプロトタイプを作成して劣化領域の抽出結果の検証と評価を行う劣化領域検証評価手段１４と、劣化領域検証評価手段１４により検証評価された劣化領域を表示する表示処理手段１５と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】探傷中においても撮像装置の焦点ズレを検知することができ、判定精度の劣化による不良品の流出等を防止する焦点ズレ検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の焦点ズレ検出装置は、搬送される被検査体の表面を撮像装置により撮像した画像データに基づいて、表面欠陥を検査する表面欠陥検査装置において、撮像装置の焦点ズレを検出する。かかる焦点ズレ検出装置は、画像データの画像信号を２次元配列された周波数成分に変換する変換演算を行う演算部と、画像データの周波数成分の２次元配列を、所定の規則に基づいて、１次元配列に変換する配列変換部と、１次元配列に変換された周波数成分の一部によって形成される波形の傾きに基づいて、撮像装置の焦点ズレの有無を判定する焦点ズレ判定部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】舗装道路のひび割れ検出は、現場を撮影した画像を検査所に持ち帰り、分析機器を使って分析・評価しているが、全長が何百キロメータ以上にも及ぶ道路のひび割れ検出には処理画像の量が膨大で人的作業に適さず、評価も技術者の経験による主観的判断によっているため、客観的かつ定量的に行うことが不可能である。
【解決手段】本発明に係る舗装路面のクラックの抽出と損傷レベルの評価方法は、遺伝的プログラミングによる並列型画像フィルタ自動生成システムにサイズ依存型交叉を導入して複数の実舗装画像からクラック(1)の抽出が困難と思われる箇所をフィルタ構築の訓練データに選定採用することで様々なタイプの画像からクラックの抽出用画像フィルタ(4)を自動的に構築する。そして、評価対象舗装領域の画像全体を格子状に分割した個々のブロック(6)に該抽出用画像フィルタ(4)を適用して評価する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥を検査する際に、検査レシピを効率よく更新する。
【解決手段】ウェハを撮像して基準画像を取得し（工程Ｓ１）、当該基準画像を含む検査レシピを記憶部に記憶する（工程Ｓ３）。検査レシピに基づいてウェハを撮像して検査対象画像を取得し（工程Ｓ４）、検査レシピと検査対象画像に基づいてウェハの欠陥を検査する（工程Ｓ１０）。検査対象画像や検査結果等を含むレシピを記憶部に記憶する（工程Ｓ１１）。工程Ｓ４〜Ｓ１１を繰り返し行い、記憶部に所定の条件を満たす検査対象画像が記憶された際、当該検査対象画像を含むレシピに基づいて記憶部に記憶された前記検査レシピを更新する（工程Ｓ１２）。以後、更新された検査レシピに基づいて工程Ｓ４〜Ｓ１１が行われ、ウェハの欠陥が検される。 （もっと読む）

【課題】照明の輝度変化および検査対象物の構造による輝度変化による誤検出を低減し、安定して異物を検出可能な異物検出装置および異物検出方法を提供すること。
【解決手段】異物検出装置は、検査対象を撮像した撮像画像に対して各画素の輝度を検出し、この輝度に基づいて全画素から対象画素を抽出する対象画素抽出手段６２１と、前記対象画素と前記対象画素の周辺に位置する複数の周辺画素との輝度差を検出する輝度差検出手段（フィルター処理手段６２２）と、前記輝度差に基づいて異物の有無を判定する異物判定手段６２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】検査対象に異物がある場合でも光源装置の光源設定値を適切に調整可能な光源設定値調整方法、検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象は複数の検査領域を有し、各検査領域は複数の輝度検出領域を有する。検査領域に対して光源設定値の異なる複数の光を順次照射する光照射工程と、当該検査領域の１つの輝度検出領域を撮像する撮像工程と、撮像された画像データに基づいて異物の有無を判定する異物判定工程と、異物がないと判定された場合は当該輝度検出領域の輝度を測定し、異物があると判定された場合は他の輝度検出領域に対して光照射工程、撮像工程、および異物判定工程を、異物がないと判定されるまで繰り返し実施する輝度測定工程と、各光源設定値と各光源設定値における輝度との関係式を演算する関係式演算工程と、関係式に基づいて光源設定値を設定する光源設定値設定工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ検査装置及びそれを利用するＬＥＤ検査方法が提供される。
【解決手段】前記ＬＥＤ検査装置は、第１光を生成して、前記第１光によって励起されて前記第１光より長波長の光を放出する蛍光体を有する封止材が具備されたＬＥＤに照射する第１照明部と、前記第１光より長波長の第２光を生成して前記ＬＥＤに照射する第２照明部と、前記蛍光体から放出された光と前記ＬＥＤから反射した前記第２光を受信して、前記ＬＥＤの映像を獲得する映像獲得部と、前記映像獲得部から得られた前記ＬＥＤの映像を利用して、前記ＬＥＤの不良有無を判断するＬＥＤ状態判定部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】良否判定の精度を低下させることなく、層間の位置ずれによって生じる無駄はねを防止することができる外観検査システムおよび外観検査方法を提供する。
【解決手段】位置補正手段は、検査画像における第１層１０１の代表点Ｐａ１の位置座標から良品画像に対する第１層１０１の位置ずれ量を求め、第２層１０２の代表点Ｐｂ１の位置座標から良品画像に対する第２層１０２の位置ずれ量を求める。位置補正手段は、求めた第１層１０１と第２層１０２との各位置ずれ量に基づいて、検査画像における検査対象領域１１１およびマスク領域１１２の各位置を、それぞれ基準となる良品画像の検査対象領域１１１およびマスク領域１１２の各位置から平行移動させるように補正する。領域設定手段は、位置補正手段による補正後の検査対象領域１１１から同じく補正後のマスク領域１１２を除いた領域を、検査領域１１０として検査画像上に設定する。 （もっと読む）

【課題】 光が正反射する被検体の表面欠陥を検査する際に、光源が映り込んで発生する光の影響を抑制できる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】
第１照明光を発生させる第１光源と、第２照明光を発生させる第２光源と、被検体が照らされるように第１照明光及び第２照明光を反射するハーフミラーと、第１照明光が被検体から反射した第１反射光を受光して得られた第１画像、及び第２照明光が被検体から反射した第２反射光を受光して得られた第２画像を撮像する撮像部と、第１画像、及び第２画像を分離する画像分離部と、第１画像及び第２画像のそれぞれに対し、閾値以上の光強度を有する画素を特定する画素特定部と、第１画像において特定された前記画素を、第２画像の対応画素で補完し、第２画像において特定された画素を、第１画素の対応画素で補完する画素補完部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】被検査画像中に特徴量の急峻な変化がある場合でも精度よく検査できる画像検査方法及び画像検査装置を提供すること。
【解決手段】予め良品画像を複数の良品分割画像に分割して、良品分割画像ごとのマハラノビス距離を算出して基準空間を作成して、被検査画像の良否判定を行うための良否判定基準値を設定する。被検査画像を取得して（Ｓ４１）、画像処理を施す（Ｓ４２）。次いで、その被検査画像を、複数の被検査分割画像に分割する（Ｓ４３）。次いで、個々の被検査分割画像の所定の特徴量を抽出する（Ｓ４４）。次いで、各被検査分割画像のマハラノビス距離を算出して信号空間を作成する（Ｓ４５）。被検査分割画像ごとに、対応する信号空間のマハラノビス距離を、同一位置にある良品分割画像における良否判定基準値と比較することによって、被検査画像の良否判定を行う（Ｓ４６〜Ｓ４８）。 （もっと読む）

【課題】ニーズに応じて複数の並列処理を選択的に実行可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】並列処理モード選択画面３００は、モード一覧表示３０２と、ＯＫボタン３０４と、キャンセルボタン３０６とを含む。モード一覧表示３０２には、画像処理装置において実行可能な５つの並列処理モードが選択可能に表示される。より具体的には、画像処理装置は、「最速フロー」、「高速トリガ」、「２ラインランダム」、「ノンストップ調整」、「高速ロギング」の５つの並列処理モードを実行可能である。ユーザは、キーボードなどを操作して希望する並列処理モードを選択した上で、ＯＫボタン３０４を押下すると、選択された並列処理モードの実行が開始される。 （もっと読む）

【課題】処理結果に重複や漏れが発生することを防止すること。
【解決手段】検出装置は、画像表示装置の撮像画像を取得する。また、検出装置は、取得した撮像画像から、該撮像画像から検出する点欠陥又は線欠陥の種別ごとに異なる検出条件を用いて種別ごとに欠陥画素候補を検出する。そして、検出装置は、種別ごとに検出された欠陥画素候補間で、所定の閾値よりも小さい点欠陥候補や所定の閾値よりも小さい線欠陥候補を、前記種別ごとの候補間で移動する。そして、検出装置は、移動後の前記種別ごとの欠陥画素候補から、点欠陥又は線欠陥を決定する。 （もっと読む）

【課題】生産を停止することなく新たな検査条件に基づいた良否判定のシミュレートを行うことで、生産速度を向上させることが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１０の検査対象面を撮像するカメラ３と、カメラ３に接続され、カメラ３からの映像信号に基づいて検査対象物１０の良否判定を行う画像処理装置１と、画像処理装置１に接続されたシミュレート装置２とを備える。画像処理装置１は、画像データを画像処理することで欠陥画素を検出し、欠陥画素数または位置の何れか一方に基づいて設定された第１の検査条件Ｃ１によって、検査対象物の良否判定を行う。シミュレート装置２は、画像処理装置１から画像データを受信し、検査条件Ｃ１とは異なる検査条件Ｃ２に基づいて検査対象物の良否判定をシミュレートする。 （もっと読む）

【課題】欠陥の発生数などの欠陥情報を分かり易く伝えることで、問題点の検知を迅速に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１０の検査対象面を撮像するカメラ２と、カメラ２に接続され、カメラ２からの映像信号に基づいて検査対象物１０の良否判定を行う画像処理装置１とを備える。画像処理装置１は、画像データを画像処理することで欠陥画素を検出して検査条件Ｃ１に基づいて良否判定を行うとともに、欠陥画素の位置情報、画像データ、及び、良否判定結果を記憶する。画像処理装置１は、装置本体１ｂ及びモニタ１ａを備え、記憶した欠陥がその位置情報に基づいて欠陥の発生頻度を装置本体１ｂが算出し、指定した欠陥発生頻度の画素領域を、画素の濃淡または色相のうち少なくともいずれか一方を変化させて、検査対象物１０の画像と重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】被検体を撮影する際に自動的に焦点を合せ、得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】撮影して得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法において、撮像手段２の焦点を合せる自動焦点調節ステップと、被検体における欠陥の有無を判断する画像解析ステップとを具備し、自動焦点調節ステップは、被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を複数回変更して撮影し、得られた各画像から被検体の輪郭を抽出処理し、各輪郭抽出画像に対して離散フーリエ変換処理を用いることで周波数領域に変換し、周波数領域における輝度値の総和を算出し、輝度値の総和が最大となる被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を特定し、特定された被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離に調節する、とした。 （もっと読む）

【課題】複数の突起部を有する検査対象物を迅速に検査する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物Ａ載せる透明なテーブル１２と、テーブル１２の下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、光パターンが照射された検査対象物Ａを、テーブル１２の下面から撮影する撮像部２２と、検査対象物Ａの画像を処理して、検査対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部１０３と、表面形状データにより表される検査対象物Ａにおける複数の突起部それぞれにおいて、テーブル１２の上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部１０２と、複数の突起部それぞれにおける代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部１０１と備える。 （もっと読む）