本発明は、ガス試料のスペクトル分析に適合する測定セル（１）を包含し、この測定セルは、ＩＲ光生成手段（４）から放出される収束および／または発散光ビームを、測定セルの内部キャビティに割当てられた多数の反射面（Ｍ１〜Ｍ６）からの放出される光ビームの複数回の反射によって、ＩＲ光受信手段（５）に向かう方向に調整するように設計され適合され、それにより、ＩＲ光生成手段（４）からＩＲ光受信手段（５）までの、測定セル（１）の内部キャビティ（１ｃ）内での所定の測定距離（「Ｌ」）を生成することを可能にする。前記測定セルのキャビティ（１ｃ）は、スペクトル分析吸収測定を意図されるガス試料（「Ｇ」）を含むようになされており、それに加えて、ＩＲ光生成手段（４）からの光ビームは、反射面（Ｍ７）を介して、第１の反射面（Ｍ１）に収束的に送られる、かつ／または、第１の反射面（Ｍ１）で反射可能であるようになされており、それにより、反射されると、第１の焦点（「Ｆ１」）を介して発散光として、凹状反射面として形作られる第２の反射面（Ｍ２）に送られると共に、第３の反射面（Ｍ３）および第４の反射面（Ｍ４、Ｍ５、およびＭ６）を介して、光受信手段（５）内のまたは前記光受信手段（５）に近接する焦点（「Ｆ１」）に収束される。
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【課題】測定ガス中に汚れが混在している状態でも長期にわたって安定した測定が可能なガス分析装置を提供する。
【解決手段】内周が鏡面加工された外管と、所定の箇所に複数の貫通孔が形成され前記外管の内周との間に等間隔の空間を保って配置された内管と、前記外管に形成されたパージガス導入口及びパージガス排出口と、前記内管内にレーザ光を出射するレーザ出射手段と、前記内管内に出射されたレーザ光が前記鏡面加工された面で反射した光を受光する受光手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】汎用性を有し、光路長を無段階に可変できるマルチパスセルを提供する。
【解決手段】マルチパスセル１０は、ガイドレール２５上を移動する互いに対向する第１鏡面ユニット１１と第２鏡面ユニット１２とからなり、該鏡面ユニット１１，１２は、反射部１３，１８とベース１４，１９とから構成される。反射部は複数枚の鏡１５，２０からなり、該鏡１５，２０はロッド１６，２１で支持されている。該ロッド１６，２１は、ガイドスリット１７，２２に係合され、ロッドの基端はガイドスリット内で自在に移動し、またロッドは各個独立に回動する。そして、制御部３０によって、鏡１５，２０の間隔と回転角が調整され、投光レンズユニット４０からの入射光束を所定の回数で反射させることができる。 （もっと読む）

【課題】腐食性ガスによる反射鏡の劣化を防止してガスセルの寿命を２倍に伸ばす。
【解決手段】反射鏡面上の未使用の領域に被覆を施して汚染・腐食から保護し、使用されている領域が汚染・腐食によって使用に耐えなくなったとき、上記の未使用領域の被覆を除去して、この領域を新しい反射面として使用する。凹面鏡２の表面には、金属板あるいはＰＴＦＥなどの耐薬品性に優れたプラスチックの薄板を用いて作られた保護カバー１４が着脱自在に取り付けられている。多数の試料ガスの測定後に保護カバー１４を取り外し、劣化していない新しい鏡面を露出させる。凹面鏡２を２０度回転させることによって、劣化していない部分に光束スポット１３がくる。 （もっと読む）

【課題】 複数種のガス成分が同時に検出可能とされた新規構造の多層型マルチパスセルおよび複数種のガス成分を同時に高精度で検出可能とされた小型のガス測定器の提供。
【解決手段】 多層型マルチパスセルは、セル本体内に互いに光軸が一致する状態で対向配置された、球面状または放物面状の反射面を有する２つの反射鏡の各々の反射面上においてレーザ光の反射点が反射鏡の光軸を中心とする円軌道または楕円軌道上に並ぶよう位置される多重反射光路を形成する基準光学測定系を具えてなり、当該多重反射光路は、反射鏡の光軸に沿って伸びる円環状空間領域内において形成されており、当該円環状空間領域内側の空間領域に、前記反射鏡の各々の反射面上におけるレーザ光の反射点が円軌道または楕円軌道上に並ぶよう位置される多重反射光路を形成する他の光学測定系が少なくとも一つ位置されている。ガス測定器は、上記多層型マルチパスセルを具えてなる。 （もっと読む）

【課題】複数種のガス成分を同時に検出可能とされた新規構造のマルチパスセルおよび複数種のガス成分を同時にかつ高精度で検出可能とされた小型化のガス測定器を提供する。
【解決手段】マルチパスセルは、セル本体内において、球面状または放物面状の反射面を有する２つの反射鏡が互いに光軸が一致する状態で対向配置され、各々の反射面上におけるレーザ光の反射点が反射鏡の光軸を中心とする円軌道または楕円軌道上に並ぶよう位置される多重反射光路を形成する少なくとも一の光学測定系を具えてなり、当該多重反射光路は、反射鏡の光軸に沿って伸びる円環状空間領域内において形成されており、セル本体に対するレーザ光の入射位置と、セル本体外部へのレーザ光の出射位置とが互いに異なる位置とされるよう構成されている。ガス測定器は、上記マルチパスセルを具えてなる。 （もっと読む）

【課題】プロセスチャンバーの内部で発生したパーティクルによって、ガスフローセルの両端にあるミラーや光学窓等の表面が汚染されることがなく、正確な高感度ガス分析を継続して行なうことが可能なガスフローセルを提供する。
【解決手段】 長軸方向のほぼ中心に試料ガス導入口１８を１個、長軸方向に直交する方向に沿って設けたＴ型のガスフローセル１ａと、ガスフローセル１ａからの光学的情報を電気信号に変換する光電変換室７５とを備える。 （もっと読む）

本明細書内においてアナライザ（10,10',10''）が開示されている。該アナライザ（10,10',10''）は、表面（S）内に形成された複数の異なるＶ字グルーブ（14）を有した該表面（S）を有する基板（12）を含む。入力フローチャンネル（16_I）が、それぞれの入力ポイント（P_I）において前記複数の異なるＶ字グルーブ（14）の各々と交差して液体連通するよう構成されており、及び、出力フローチャンネル（16_O）が、それぞれの出力ポイント（P_O）において前記複数の異なるＶ字グルーブ（14）の各々と交差して液体連通するよう構成されている。
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ガスの濃度、特にガスの成分の乾燥モル分率を測定するためのガス分析器システムおよび方法。前記システムおよび方法により、高速フラックス測定を含む多くの環境モニタリング用途のための、ガス密度および／またはガスの乾燥モル分率の迅速な測定を可能となる。新規の連結設計により、流路を内包するセルの工具不要の取り外しが可能となり、現場における光学要素の清掃が可能である。

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スペクトル解析に適合されたアレンジメント（”Ａ”）が、電磁放射（”Ｓ”）に適合された伝達手段（１０）と、測定セルになって光学測定距離（”Ｔ”）を定義するキャビティの形の区切られた空間（１１）と、前記伝達手段（１０）から光学測定距離（”Ｌ”）を通過する前記電磁放射（”Ｓ”，”Ｓａ１”，”Ｓａ２”）の感知手段（１２）と、少なくとも前記感知手段（１２）と接続されたスペクトル解析実行ユニット（１３）とを有している。電磁放射の前記感知手段（１２）が、スペクトルレンジ内に入る電磁放射（”Ｓｂ”，４ａ）に光電的に感受適合されている。当該スペクトルレンジの選択波長成分またはスペクトル要素が、スペクトル解析実行ユニット（１３）において解析対象となる。当該スペクトル解析実行ユニット（１３）が、このユニットにおいて、計算を通して、スペクトル要素の相対放射強度を測定する。前記電磁放射（”Ｓ”，”ＳａＴ１”Ｓａ２”）が、サンプル（Ｇ）のガスが存在する空間を通過するように適合されている。空間（１１）内の前記光学測定距離（”Ｌ”）が、少なくとも１５ｍｍよりも短く、非常に短く選択されている。このため、サンプル（Ｇ）のガスが評価されるガス部分に関して高濃度を示す。 （もっと読む）

【課題】内周面での赤外線の乱反射を防いで、濃度測定の精度の悪化を防止できる気体セル、気体サンプル室、濃度測定装置を提供する。
【解決手段】筒状に形成されており、一端部６ｂに配置された光源７から放射される赤外線を、内部を通じて他端部６ｃに配置された赤外線センサに導く気体セル６であって、純アルミニウムからなり、内周面６ｄが鏡面状に研磨されている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化、ポンプやバッテリ電源の長寿命化が容易であり、しかも、検出対象ガスの検出精度を安定に確保できるリーク点検出器の提供。
【解決手段】赤外線ガスアナライザ１２のキュベット１２ａに１本のリーク点探索用ガスパイプ１１が接続されており、このリーク点探索用ガスパイプ１１の先端から前記キュベット１２ａへのガス導入を行うためのポンプ１３が予め設定した周期でオン・オフ切り換えされるようになっているリーク点検出器１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】内周面での赤外線の乱反射を防いで、濃度測定の精度の悪化を防止できる気体セル、気体サンプル室、及び、濃度測定装置を提供する。
【解決手段】筒状に形成されており、一端部６ｂに配置された光源７から放射される赤外線を、内部を通じて他端部６ｃに配置された赤外線センサに導く気体セル６であって、内周面６ｄに黒体処理が施されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象気体の濃度の変化に対する応答性の悪化を防ぐことができるとともに、測定対象気体の濃度を正確に測定できる気体サンプル室及び濃度測定装置を提供する。
【解決手段】筒状に形成された本体部６と、本体部６の一端部６ｂに配置され且つ赤外線を放射する光源７と、本体部６の他端部６ｃに配置され且つ光源７からの赤外線を検出する赤外線センサと、を備え、光源７からの赤外線を本体部６の内部を通じて前記赤外線センサに導く気体サンプル室２において、本体部６の一端部６ｂに配設され且つ本体部６の熱を雰囲気に放出する放熱部材９と、本体部６の他端部６ｃに配設され且つ雰囲気の熱を前記赤外線センサに伝える調温部材１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】雰囲気中の気体の濃度を十分な精度で測定することを可能とする気体サンプル室及びこの気体サンプル室を備えた濃度測定装置を提供する。
【解決手段】光源７からの光を受光器１２に導く気体サンプル室２において、筒状に形成された本体部６と、本体部の一端部に配置された光源と、本体部に収容され、かつ、本体部の他端部に配置されかつ光源からの光を受光する受光器と、本体部の周壁６ａを貫通しかつ雰囲気を本体部の内外に移動自在とする貫通孔１０と、を備え、貫通孔は、本体部の光の光軸に対し直交する断面において、貫通孔の一方の端部１０ａと本体部の中心Ｍを結ぶ線分Ｎａと、受光器の中心１２Ｒと本体部の中心を結ぶ直線Ｌとのなす角度θ１が、２０度以上で、かつ貫通孔の他方の端部１０ｂと本体部の中心を結ぶ線分Ｎｂと、受光器の中心１と本体部の中心を結ぶ直線とのなす角度θ２が、１６０度以下となる範囲に設けられている気体サンプル室。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で反射鏡の表面を清浄に保つことができ、測定精度を安定させた排ガス分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 エンジン２０の排ガスを排出する排気経路３中の排ガスにレーザ光を照射し、排ガスを透過したレーザ光を検出することで排ガス中の成分濃度を測定する測定部５を有する排ガス分析装置１において、測定部５は、排気経路３中の排ガスが通過する排ガス通過孔５０ａが穿設され、排ガス通過孔５０ａ内に向けて照射されたレーザ光を多重反射させる反射鏡５２が配設される本体部５０と、排ガス通過孔５０ａを通過する排ガスとは別に、排気経路３から排ガスを分流し、分流した排ガスを反射鏡５２の表面に向けて吹き付けるパージ経路５５とを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】雰囲気中の測定対象の気体の濃度を速やかに測定することを可能とするとともに侵入した異物が測定対象の気体の濃度の測定に妨げになることを防止できる気体サンプル室及びこの気体サンプル室を備えた濃度測定装置を提供する。
【解決手段】濃度測定装置１は気体サンプル室２とμｃｏｍとを備えている。気体サンプル室２は測定セル６と光源７と受光ユニット８を備えている。測定セル６には複数の貫通孔１０を備えた雰囲気移動許容部９が設けられている。貫通孔１０は上部に位置する外壁６ａと下部に位置する外壁６ａとに設けられて鉛直方向に相対している。光源７は測定セル６の赤外線を出射する。受光ユニット８は複数の受光器１２と集光部材１３を備えている。受光器１２は光源７からの赤外線を受光する。集光部材１３は赤外線を受光器１２に集光する。 （もっと読む）

【課題】 一対のミラーチップを対向配置した平行ミラーデバイスにおいて、平行度及び位置ずれを簡便、かつ、短時間で測定可能とする。
【解決手段】 一対のミラーチップ２間の平行度及び位置ずれを検出するための検査光を反射させる反射部２Ｄを各ミラーチップ２の対角の位置に設ける。これにより、一対の反射部２Ｄのうちいずれか一方の反射部２Ｄに照射された検査光を他方の反射部２Ｄに向かうように反射させるとともに、他方の反射部２Ｄで反射した光の光量及び光量分布を検出することにより、ミラーチップ２間の平行度と位置ずれを一度の測定で判断することができる。したがって、対向させたミラーチップ２間の平行度及び位置ずれを、簡便かつ短時間で測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】雰囲気中の測定対象の気体の濃度を測定する感度を向上させることができ且つ速やかに測定することができる気体サンプル室及びこの気体サンプル室を備えた濃度測定装置を提供する。
【解決手段】濃度測定装置１は、気体サンプル室２とμｃｏｍとを備えている。気体サンプル室２は、測定セル６と光源７と受光ユニット８を備えている。測定セル６は、筒状に形成されているとともに、側壁２２が、互いに間隔をあけ且つ一部が重なる第１の壁２４と第２の壁２５とで構成されて、当該測定セル６の内外を連通する連通部２６を備えている。光源７は測定セル６の一端部に設けられ赤外線を他端部に向かって照射する。受光ユニット８は測定セル６の他端部に設けられ且つ光源７からの赤外線を受光する受光器１２を複数備えている。 （もっと読む）

【課題】小型で、複数種類の気体の濃度測定を精度良く行うことができる濃度測定装置を提供する。
【解決手段】濃度測定装置は、雰囲気が充填されたセル内の一端部に赤外線を放射する光源を配し他端部に赤外線を受光する受光ユニット８を配した気体サンプル室を有している。受光ユニット８は、光源と相対する側に開口部１１ａが形成されたユニット本体１１と、前記一端部から前記他端部に向かう方向に沿って延びユニット本体１１の内部空間を複数の空間１０ａ，１０ｂに分割する分割部材１２と、空間１０ａ，１０ｂの開口部１１ａ側に夫々配され透過する赤外線の波長が互いに異なる複数のフィルタ１５ａ，１５ｂと、空間１０ａ，１０ｂ夫々に配されフィルタ１５ａ，１５ｂを透過した赤外線を受光する複数のセンサ１４ａ，１４ｂと、を有している。 （もっと読む）