【課題】１つの光源で複数の赤外線検出部に簡易な構成の凹面反射鏡で集光させることができ、構造が簡単な非分散型赤外ガスセンサを提供する。
【解決手段】１つの光源２と、光源を取り囲み、光源からの赤外線を反射させる凹曲面を有する反射部１４と、それぞれ異なる位置に配置され、反射部で反射された赤外線を検出する複数の赤外線検出部６と、を備えた非分散型赤外ガスセンサであって、光源を頂点とし、複数の赤外線検出部を結んで形成される仮想円Ｃを底面とした仮想円錐が形成されるように、光源及び赤外線検出部が配置されており、凹曲面は、仮想円の外周上に設定される第１焦点Ｆ_１と、光源を第２焦点Ｆ_２とする楕円体を、第１焦点と第２焦点とを結ぶ直線を軸として回転させることで形成される回転楕円体ＥＬ_１、ＥＬ_２であって、第１焦点を仮想円の外周に沿って移動させた際に得られる全ての回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げて形成される。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサにおいて、低濃度域を高速高精度に安定して測定できるようにする。
【解決手段】ＮＯ_２ガスの濃度センサＳ１，Ｓ２において、ガス流路として相互に並列に配置された第１の流路Ｈ０および複数の第２の流路Ｈ１〜Ｈ４を設ける。第１の流路Ｈ０には光センサからなる高濃度ガスセンサＳＰを、第２の流路Ｈ１〜Ｈ４には半導体からなる低濃度ガスセンサＳＳ１〜ＳＳ４をそれぞれ設け、低濃度ガスセンサＳＳ１〜ＳＳ４の上流側には電磁弁ＶＳ１〜ＶＳ４を設ける。そして、制御装置Ｃの弁制御回路Ｃ１は、光センサ回路Ｃ２でセンサＳＰの測定値が充分下がってから、電磁弁ＶＳ１〜ＶＳ４を択一的に「開」として、半導体センサ回路Ｃ３に測定を行わせる。したがって、高感度なセンサＳＳ１〜ＳＳ４を、非測定時にむやみにＮＯ_２ガスに曝露することなく、劣化や破損を防止し、高濃度域から低濃度域までの広いレンジにおいて安定して使用できる。 （もっと読む）

【課題】メンブレン構造を有するマイクロヒータ素子の耐久性低下を抑制すること。
【解決手段】マイクロヒータ素子１は、両方の表面に複数の凹凸を有する支持膜２と、支持膜２の一方の表面に設けられる発熱体４と、支持膜２の周囲を支持し、かつ発熱体４と対向する部分が取り除かれた基板３と、含む。発熱体４は、所定の配線パターンが繰り返された構造である。発熱体４は、凹部２Ｖに形成される。このように、支持膜２は、凹部２Ｖに発熱体４を有し凸部２Ｍには発熱体４を有していない。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置構成で、高感度かつ迅速に結露の発生を検出する結露センサーを提供する。
【解決手段】結露センサー１００は、局在型表面プラズモン共鳴を発生させるナノコンポジット１０と、ナノコンポジット１０に対向して配置された光源・受光部４０と、この光源・受光部４０で受光された反射光の検出を行う分光器（又は光検出器）５０と、光源・受光部４０及び分光器（又は光検出器）５０に接続されこれらを統括して制御する制御部６０と、制御部６０に接続された表示部７０とを備えている。ナノコンポジット１０は、マトリックス樹脂１と、該マトリックス樹脂１に固定された金属微粒子３と、金属微粒子３に固定された金属微粒子９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】セル内でサンプルガスを発生させることでサンプルガスの損失を防止する。
【解決手段】測定光が通過する光透過窓２Ａ、２Ｂを有しており、サンプルＷが配置されるセル本体２１と、前記セル本体２１内に配置されたサンプルＷからサンプルガスを生成させるサンプルガス生成手段２２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】エネルギーロスの少ない光ファイバセンサシステム、及び屈折率の検出方法を提供する。
【解決手段】入射されたレーザ光を回折させることにより生じさせた回折光を全反射させながら導く導波体を、被検体内に配設して、全反射にともなって回折光に生じる位相変化に基づいて屈折率を検出する。光ファイバセンサシステムは、レーザ光を出射する投光器と、投光器に一端を接続してレーザ光を導く第１の光ファイバと、第１の光ファイバの他端を接続した長手状の導波体と、第１の光ファイバと対向させて導波体に一端を接続した第２の光ファイバと、第２の光ファイバの他端を接続した受光器と、受光器から出力された信号を解析する解析器で構成する。 （もっと読む）

【課題】レーザービームをより効果的に終端させ、戻り光による迷光を著しく低減させることができるビームダンプを提供する。
【解決手段】本ビームダンプ１は、使用済みのレーザービームの終端処理を行うものであり、レーザービームの入射側の前段のレーザー吸収板５ａが、終端処理するレーザービームの入射方向に対して一定角度傾斜して設けられ、後段のレーザー吸収板５ｂが前段のレーザー吸収板５ａに対し前段のレーザー吸収板５ａとは反対の方向に一定角度傾斜するように設けられてなるレーザー吸収材４を複数枚、ヒートシンク３の上にレーザービーム入射方向とは直角な方向に一定間隔を隔てて、レーザービームの終端部がレーザービーム入射方向から見て隠れるように配設して構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い検出感度を得ることが可能なガス分析装置を提供する。
【解決手段】ガス分析装置は、その内部に分析対象のガスが導入された中空ファイバ４と、中空ファイバ４の一方端側に配置されて、中空ファイバ４の内部に光を照射する投光部１２と、中空ファイバ４の他方端側に配置されて、中空ファイバ４の内部を通過した光を検出する検出部１３と、検出部１３で検出された光に基づいて、分析対象のガスを分析するための点灯制御／信号検出部２１およびシステム制御部２２とを備える。投光部１２は、発光波長が異なる複数の赤外線ＬＥＤ２ａ〜２ｃを含む。 （もっと読む）

【課題】測定対象の物質の濃度を高い応答性かつ高い精度で検出することができる濃度計測装置を提供することにある。
【解決手段】流体が通過する中空ファイバと、対象配管と連結し、流体を中空ファイバの一方の端部に供給する流入管と、測定対象の物質に固有の吸収が生じる波長を含む波長域の測定光を出力する発光部と、中空ファイバの一方の端部に連結され、発光部から出力された測定光を案内し中空ファイバに入射させる第１光ファイバと、中空ファイバの他方の端部に連結され、中空ファイバを通過した測定光が入射する第２光ファイバと、第２光ファイバを案内される測定光を受光する受光部と、受光部が受光した受光信号に基づいて流体に含まれる測定対象の物質の濃度を算出する算出部と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】検査システムに搭載される金属グレーティング構造体を有するセンサは、半導体製造プロセスが不可欠であり、構造的に開口部から共鳴する入射光が基板に透過するため共鳴度合いに影響を与えており、さらに共鳴度合いの大きいセンサが要望されている。
【解決手段】検査システムは、光電変換素子の受光面上に光を透過するレジスト材料を用いて間隔を空けてストライプ状にパターン形成された表面プラズモンを誘起させるグレーティング構造体と、グレーティング構造体を含み波状に覆い被膜する光が不透過な導電体と、光電変換素子からの電圧信号を出力する出力電極と、で構成された光束の入射角度又は入射位置により出力値を変化するセンサからなるＳＰＲセンサを搭載する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガス圧力の変化およびに気圧変化に対して不変の、あるいは、少なくとも影響が少ない微量ガス濃度測定を可能にする方法に関するものである。
【解決手段】この方法は、圧力センサおよび圧力のキャリブレーションを必要としない。さらに、この方法は、背景ガス中に存在する他のガス種、あるいは、対象ガスに相互干渉する背景ガス自体にも適用可能である。これにより、他のガス種および／または背景ガスの相互干渉パラメータの圧力依存性を除去することができる。ガス濃度を正確に測定する新規の方法は、レーザーの波長変調振幅を圧力依存性が最小になるように最適化することに基づいている。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いて液体が充填された袋状容器内の酸素濃度を非破壊検査にて精度良く検査する際に、計測が容易な非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】搬送経路の検査領域の左右位置に配置されて、袋状容器１に対して接近離間自在に設けられて酸素濃度計測用のレーザ光を発信するレーザ発信部59Ａと、他方に設けられてレーザ光を受信するレーザ受信部59Ｂとを具備し、且つこれら各先端面にガス充填箱61が設けられて、袋状容器１の気相部の表面に接触させることにより、気相部の厚さを一定に維持するものにおいて、容器保持具16により鉛直面内で揺動可能に保持された袋状容器１を、容器押圧具88により両側から押圧（保持）して鉛直面内で傾動させる傾動装置81を具備し、検査領域にて酸素濃度を計測する際に、上記傾動装置81により袋状容器１を所定角度でもって傾斜させて、その上位の肩部の気相部を計測するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】対向する光学膜の貼り付きを防止する。
【解決手段】第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第１光学膜４０の最表面の誘電体膜４３は第１光学膜４０の周端部４３ａにおいて、第１光学膜４０に光が入射する光入射部４３ｂよりも厚みが厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】ガスセル内の圧力を制御しながら、流量をも制御可能なガス分析装置を供給する。
【解決手段】ガス分析装置は、測定対象ガスを流すガスセル５と、前記測定対象ガスへ赤外線を照射するための赤外線光源と、前記ガスセル５内を透過した光の強度を検出する強度検出手段と、前記ガスセル５内の圧力を検出する圧力検出手段４と、前記ガスセル５の上流に配設された第一のポンプ３と、前記ガスセル５の下流に配設された第二のポンプ９と、前記ガスセル５の上流に配設された第一のバルブ２と、前記ガスセル５の下流に配設された第二のバルブ８と、前記圧力検出手段４から検出された圧力を変換し前記第二のバルブへ信号を送る制御器７と、からなるガス分析装置であって、前記圧力検出手段４により検出された圧力に基づき、ガスセル５内の圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】ガスセル内の圧力を制御しながら、流量をも制御可能なガス分析装置を供給する。
【解決手段】ガス分析装置は、測定対象ガスを流すガスセル５と、前記測定対象ガスへ赤外線を照射するための赤外線光源と、前記ガスセル５内を透過した光の強度を検出する強度検出手段と、前記ガスセル５内の圧力を検出する圧力検出手段４と、前記ガスセル５の上流に配設された第一のポンプ３と、前記ガスセル５の下流に配設された第二のポンプ９と、前記ガスセル５の上流に配設されたバルブ２と、前記第二のポンプ９の回転数を制御する制御手段と、からなるガス分析装置であって、前記圧力検出手段４により検出された圧力に基づき、ガスセル５内の圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】薄型な外観形状であって、かつ、応答性の良い複合型の警報器を提供する。
【解決手段】被検知ガスの流入を許容すると共に、外周部からの煙の流入を許容するケースＣと、ケースＣの内部に流入した被検知ガスを検知可能なガスセンサ７と、発光部６１及び受光部６２を有し、ケースＣの内部に流入した煙を感知する光電式の煙センサ６と、電池を収容する電池収容部４２と、を備え、ガスセンサ７と煙センサ６と電池収容部４２とは、煙センサ６に対してガスセンサ７が、煙センサ６の中心を基準として、発光部６１の背後側及び受光部６２の背後側の何れか一方側に位置する状態、かつ、煙センサ６に対して電池収容部４２が、煙センサ６の中心を基準として、発光部６１の背後側及び受光部６２の背後側の何れか他方側に位置する状態で、ケースＣの厚み方向における夫々の占有範囲の少なくとも一部が互いに重複するように、ケースＣの内部に配設されている。 （もっと読む）

【課題】煙の流れ方向がどのような方向であっても、応答性の良い薄型の警報器を提供する。
【解決手段】正面形状がフラット形状であり、外周部からの煙の流入を許容するケースＣと、ケースＣの内部に配設されると共に複数の煙導入口６３を有し、ケースＣの内部に流入した煙を、煙導入口６３から内部に導入して感知する光電式の煙センサ６と、を備え、煙導入口６３を起端として外周部の側に向けて延び、ケースＣの内部に流入した煙を煙導入口６３まで案内する煙案内部２１，２２を複数備え、ケースＣの外周部の近傍において煙センサ６と外周部との間に設けられ、ケースＣの内部に流入した煙が流通できない閉じられた領域２４，２５，２６，２７を一以上備え、領域のうちの少なくとも一つ２４，２５について、その領域２４，２５の両隣のうちの少なくとも何れか一方側に、終端が外周部に達しない煙案内部２２を備えた。 （もっと読む）

【課題】４層以上で構成される赤外線放射素子と比較して、放射効率は維持しながらも薄型化を可能にし、熱容量を低減させて、応答性を向上させ、かつ消費電力を低減させる。
【解決手段】赤外線を放射する板状の赤外線放射体１の周部が支持基板２により支持される。赤外線放射体１は、目的波長の赤外線に対して透明かつ熱絶縁性を有し目的波長の赤外線に対する光路長が当該赤外線の４分の１波長の奇数倍となる厚み寸法に形成された熱絶縁層１１と、熱絶縁層１１の一方の面に形成され通電による温度上昇で赤外線を放射する機能と赤外線を透過させる機能とを有する放射層１２と、熱絶縁層１１の他方の面に形成され目的波長の赤外線を反射する反射層１３とからなる。支持基板２は、放射層１２と反射層１３とを空間に露出させるように熱絶縁層１１の周部を支持する。 （もっと読む）

【課題】波長フィルタの入射角依存性に起因した赤外線受光量の減少を抑制する。
【解決手段】光ファイバからなる導光体８によって赤外線の光路が弧状に変更され、波長フィルタ５の赤外線の入射角(波長フィルタ５表面の法線方向との為す角)がほぼ零度となっている。このため、従来例に比べて波長フィルタ５の入射角依存性の影響を受け難くすることができ、その結果、波長フィルタ５を通過して受光部４に到達する赤外線量を増やすことができて気体成分の検出精度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 検査の信頼性を高めてリアルタイム計測が可能な検出装置等を提供すること。
【解決手段】 検査装置は、光学デバイス２０と、流体試料を光学デバイスに吸引する吸引部４０と、光学デバイスに光を照射する光源５０と、光デバイスから出射される光を検出する光検出部６０と、吸引部を駆動制御する制御部７１と、を有する。光学デバイスは、吸着される流体試料を反映する光を出射する。制御部７１は、光検出部にて検出する期間を含む第１モードでは、光学デバイス上での流体試料の吸引流速をＶ１とし、第２モードでは、光学デバイス上での流体試料の吸引流速をＶ２（Ｖ２＞Ｖ１）とし、光検出部からの信号に基づいて第１，第２モードを切換える。 （もっと読む）