【課題】ガスタービンエンジン内の排出物流路の苛酷な環境に耐えることのできる排気排出物用のリアルタイム計測ならびに検出可能な計測システムとセンサを提供する。
【解決手段】タービンエンジン１００の排出物流路１１０における排気排出物の濃度を計測するプローブ組立体１０は、光ビームを受動的に生成するよう構成され、かつ作動可能である第１のプローブ部材を備え、この光ビームの波長は、第１のプローブ部材の構成に従う。第２のプローブ部材は、第１のプローブ部材が生成する光ビームを受光するようにプローブ組立体内に配置され、この第２のプローブ部材は、タービンエンジンの排気排出物内に存在するガス状化学種に従って第１のプローブ部材から受動的に生成した光を減衰させるよう構成され、かつ作動可能である。 （もっと読む）

【課題】転炉で発生した排ガスを集塵し、非燃焼で可燃性ガスを回収する転炉排ガス回収装置において、集塵後の排ガス経路におけるガス中酸素分析の分析応答遅れを低減し、転炉排ガスの回収量を増大することのできる転炉排ガス回収装置及び転炉排ガス回収方法を提供する。
【解決手段】転炉炉頂の集塵前排ガス経路にガス中酸素濃度分析計（炉頂酸素分析計２１）とガス中ＣＯ濃度分析計（炉頂ＣＯ分析計２２）を有し、集塵後の排ガス経路にガス中酸素分析計（炉下酸素分析計２３）を有し、炉下酸素分析計２３として、煙道の排ガス中にレーザ光を照射し、そのレーザ光の光吸収による光量変化からガス濃度を測定するレーザ式ガス分析計２５を用いることを特徴とする転炉排ガス回収装置、及び、上記転炉排ガス回収装置を用いて行う転炉排ガス回収方法である。 （もっと読む）

【課題】 赤外線センサよりのセンサ出力信号に対して所定の信号処理を行うための新規な構成の信号処理回路を有し、信頼性の高いガス濃度測定を行うことのできる赤外線式ガス検知器を提供すること。
【解決手段】 この赤外線式ガス検知器は、赤外線センサと、当該赤外線センサよりの、交流成分に直流成分が重畳されたセンサ出力信号に対して所定の信号処理を行う信号処理回路とを具えてなり、前記信号処理回路は、各々、前記赤外線センサよりのセンサ出力信号の信号レベルを上昇させる信号レベル変換機能を有する前段回路および後段回路により構成されており、当該後段回路は、前段回路よりの出力信号を所定の増幅率で増幅する信号振幅増幅機能をさらに有しており、前段回路が赤外線センサに対して交流結合されていると共に後段回路が前段回路に対して交流結合された構成とされている。 （もっと読む）

【課題】ガスを識別するガス検知システムを提供する。
【解決手段】ガス検知システムは、チャンバハウジング１６によって密閉された中空チャンバ１４を有する検知モジュール１０を含む。また、検知モジュールは、中空チャンバ１４内に位置する検知光ファイバ１８を含む。検知光ファイバ１８に沿った格子位置に配置されたファイバブラッグ回折格子と、格子位置で検知光ファイバ１８の外表面に固着された検知層とを含む。検知層とガス１２とは、ガス１２が中空チャンバ１４内に向けられると、部分的にはガス１２の熱伝導率に基づいて熱エネルギを交換する。熱エネルギ交換は、検知に必要な閾値シフトを超えるファイバブラッグ回折格子のブラッグ共振波長シフトを誘発し、このシフトはガス１２を識別するために利用される。 （もっと読む）

【課題】分子程度の大きさの液化分子の凝縮を容易に検出することができる結露検出装置、結露促進装置および結露検出方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る結露検出装置は、光源と、結露促進部１２と、受光部と、液体凝縮解析部と、を有する。結露促進部１２は、基板４１と、基板４１の上面に形成され所定の金属に表面の少なくとも一部を覆われた周期構造４２と、所定の金属により構成され周期構造４２の周期より小さい直径を有し周期構造４２の表面に付着した複数の金属微粒子４３と、を有し、所定の金属の周期構造の表面プラズモン共鳴および複数の金属微粒子の表面プラズモン共鳴により光源が照射した光の一部をプラズモン吸収する。受光部は、結露促進部による反射光を受光する。液体凝縮解析部は、受光部により受光された反射光にもとづいて結露促進部１２の上面の液体の凝縮を解析する。 （もっと読む）

【課題】発電機内で冷却剤として用いられる気体純度監視において、室温や気体温度による変動を受けにくい純度測定センサおよびシステムを提供する。
【解決手段】システムは、発電機（１２）であって、固定子、回転子、および発電機の内部を通る気体冷却剤経路（１８）を備える発電機と、気体冷却剤経路を通る気体冷却剤（５２）流の気体純度を感知するように構成された少なくとも１つの光ファイバ純度センサ（３４）とを含む。光ファイバ純度センサは、ファイバコアと、屈折率が周期的に変調される格子構造と、格子構造の周囲に位置決めされたファイバクラッドと、ファイバクラッドの周りに位置決めされた多層感知フィルムとを備えることができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマの状態を乱すことなく、粒子密度を正確に測定できるようにすること。
【解決手段】プラズマ雰囲気の原子又は分子密度を吸光分光により測定する粒子密度測定プローブである。プラズマ雰囲気に設けられる円柱状の導光体２０であって、その先端部１３に、導光体を伝搬した光を反射する反射板１４と、その反射板の手前に、導光体の長手方向に垂直な断面において一部の壁面が欠落した部分が長手方向に所定長だけ形成され、この部分を通過する光とプラズマ雰囲気の原子又は分子とが接触可能にしたプラズマ導入部１５を有する。光伝搬体３２は、プラズマ導入部１５の手前に位置し側壁による全反射により光を軸方向に案内する。 （もっと読む）

【課題】赤外線の影響によるノイズを十分に抑制する。
【解決手段】ガスは、取入通気孔（８）から入り、遮光板（１３）の微細孔（１３ａ，１３ｂ）を通り、上流通気孔（７ａ）を通り、下流通気孔（７ｂ）を通って出て行く。遮光板（１３）は、上流薄膜抵抗体（１ａ）や下流薄膜抵抗体（１ｂ）に赤外光が入射するのを防止する。
【効果】フローセンサ（１０１）の抵抗体（１ａ，１ｂ）に赤外線が当ると、抵抗体（１ａ，１ｂ）の温度が上昇して抵抗値が変動し、ノイズの原因になる。これを抑制することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 所望の分散特徴を有する光ファイバを設計する。
【解決手段】 本明細書において説明される多くの構造の中には、所望の分散スペクトルを提供するように設計されたフォトニック・バンドギャップ・ファイバが含まれる。さらに、広い伝送帯域およびより低い伝送損失を達成するための設計も議論される。たとえば、いくつかのファイバ設計では、クラッディングにおける高屈折率材料のより小さい寸法および大きなコアのサイズは、広いスペクトル範囲にわたって小さい平坦な分散を提供する。他の例では、コアに最も近い高屈折率リング形領域の厚さは、所望の波長において負の分散またはゼロの分散を提供するように、十分に大きな寸法を有する。さらに、同心状のリングまたは円に沿って分布した低屈折率クラッディングの特徴が、広いバンドギャップを達成するために使用されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によっても分光測定の精度を向上できる光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】入射光から特定の波長の光を透過させるエタロンと、入射光の入射方向におけるエタロンの前段側に配設される光学チョッパー６と、エタロンを透過した光の光量の変化量を検出する焦電センサーとを備える。光学チョッパー６は、入射光の入射方向に対して直交する直交平面内で回転軸６１を中心に回転可能な複数の遮光板６２を等間隔に備える。そして、複数の遮光板６２は、エタロンに対向する面が直交平面に対して傾斜する傾斜部６２２１を有し、傾斜部６２２１は、遮光板６２が回転する回転方向とは反対方向に向かうにしたがって、エタロンに近づくように傾斜している。 （もっと読む）

【課題】赤外線の影響によるノイズを十分に抑制する。
【解決手段】ガス流通路の上流側から下流側を見たとき、上流抵抗体（１ｂ）の各抵抗線と下流抵抗体（２ｂ）の各抵抗線とが同じ面積で見えるように、上流抵抗体（１ｂ）の各抵抗線および下流抵抗体（２ｂ）の各抵抗線が交互に配置されている。
【効果】赤外線がガス流通路の壁面などで反射して間接的に熱線式フローセンサ（１０）に入射してきても、上流抵抗体（１ｂ）に間接的に入射する赤外線と下流抵抗体（２ｂ）に間接的に入射する赤外線とに強さの差がほとんどなくなる。従って、赤外線の影響によるノイズを十分に抑制することが出来る。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザへの戻り光及びフリンジノイズを大幅に低減することができるガス濃度測定装置。
【解決手段】レーザ光を発生する波長可変型の半導体レーザ１と、半導体レーザからのレーザ光の内の特定の偏光方向を持つレーザ光を通過させる第１の偏光板６と、第１の偏光板からのレーザ光を円偏光させる第１の１／４波長板８と、ガスを封入し且つ第１の１／４波長板からのレーザ光を入射するサンプルセル２と、サンプルセルからのレーザ光を直線偏光させる第２の１／４波長板９と、第２の１／４波長板からのレーザ光の内の特定の偏光方向を持つレーザ光を通過させる第２の偏光板７と、第２の偏光板からのレーザ光を受光する受光素子３とを備える。 （もっと読む）

【課題】近接露光を利用したパターニング、凹凸を形成するエッチング、反射膜の膜厚コントロール、などにおいて広い許容幅で製作できる浅い溝の回折格子を利用して、鋭い波長選択性と共に特定波長を出射することができるエネルギー利用効率の高い赤外光源を提供する。
【解決手段】反射型回折格子と、発熱体によって昇温する素子を有し、前記反射型回折格子の一部のみが前記発熱体によって昇温する素子と向き合っていることを特徴とする赤外光源。 （もっと読む）

【課題】より安定して可動部を振動させることができる共振反射装置、それを用いる光学式ガス分析装置、画像スキャナ、及び、共振反射装置の制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】固定部、一方の端部が固定部と連結したトーションバー、トーションバーの他方の端部と連結し、トーションバーとの連結部分を回転軸として固定部に対して回動する板状部材であり、少なくとも一方の面で光を反射する可動部、及び、交流電流が供給されることで可動部を回動させる駆動部を備える反射手段と、反射手段の可動部の温度を非接触で検出する温度検出手段と、温度検出手段で検出した可動部の温度に基づいて、駆動部に供給する交流電流に付加するバイアス電流の大きさを調整する制御手段と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】１本のレーザ光に基づいて所望の空間内において発生する煙を検出することのできる煙検出装置を得る。
【解決手段】レーザ光を煙検出の対象領域に照射し、煙により散乱したレーザ光を画像として撮像し、画像処理を施すことで、対象領域内で煙が発生したことを検出する煙検出装置であって、レーザ光を照射するレーザ光源（１０）と、レーザ光源から照射されたレーザ光を、複数本のレーザ回折光に変換して対象領域に立体的に照射させる回折格子（１１）と、レーザ回折光が照射された対象領域を、レーザ回折光の照射方向とは異なる方向から撮像するカメラ（２０）と、カメラにより撮像された画像の中から、レーザ回折光が煙によって散乱することで生じる線状の回折パターンを抽出することで、対象領域内で煙が発生したことを検出する画像処理部（３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板をｙ方向に搬送しつつ蒸着によって成膜を行う際に、光源や受光器を成膜材料で汚染することなく、原子吸光法によって、ｙ方向と直交するｘ方向の蒸着フラックスを測定する。
【解決手段】測定光をｙ方向と直交するｘ方向に通過させ、かつ、測定光の光路より蒸発源側に配置される蒸着フラックスを遮蔽する遮蔽板を用い、測定光の光路と遮蔽板とを相対的に移動することにより、遮蔽板によって遮蔽されない蒸着フラックスに対する、測定光のｘ方向の通過位置を変更することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】分析対象の液体、気体４が分光器１から離れた場所にあっても赤外吸収シグナルの測定を行うことができるとともに、測定感度が非常に高い、赤外吸収シグナル測定用のファイバー用プローブを提供する。
【解決手段】赤外光を通すファイバー用プローブ材料表面に電磁場増強効果を発揮する金属ナノ構造膜を形成することで、このようなファイバー用プローブ３を構成する。プローブはファイバー形状に限らず、赤外ファイバー２から赤外光を受け、プローブ材料表面で赤外光を反射しながら再びファイバー２へと赤外光を返す着脱可能なものであれば良い。 （もっと読む）

【課題】温度補正の演算負荷が少なく誤差の小さい温度補正ができるガス濃度センサを提供する。
【解決手段】ガス濃度を測定する検出部１０１、実温度を測定する温度計１６、基準ガス濃度校正曲線を使ってガス濃度を算出する信号処理部１０２によってガス濃度センサを構成する。信号処理部１０２は、実温度における検出部１０１の出力信号からオフセット値を差し引いて第１補正出力値を得る第１補正部１１１、第１補正出力値と基準ガス濃度校正曲線上の参照出力値とを比較する比較部１１２、第１補正出力値が参照出力値より小さいと第１補正出力値を第２補正出力値とする第２補正部１１３ａ、第１補正出力値が参照出力値以上であればスパン値を算出するスパン値算出部１１４、第１補正出力値にスパン値を乗算する第２補正部１１３ｂを有し、基準ガス濃度校正曲線上の第２補正出力値に対応するガス濃度を実ガス濃度とする。 （もっと読む）

【課題】分光領域の変形を抑制して分解能を向上することができ、且つ、製品ごとの分解能のばらつきを低減することのできるファブリペロー干渉計の製造方法を提供する。
【解決手段】可動ミラー構造体を形成する工程として、第１高屈折率層を犠牲層上に形成する工程と、第１低屈折率層を、第１高屈折率層上における分光領域の可動ミラー形成位置及び周辺領域に形成する工程と、第２高屈折率層を、第１低屈折率層を含んで第１高屈折率層を覆うように形成する工程と、エッチングにより、周辺領域の第１低屈折率層上に位置する第２高屈折率層の少なくとも一部を、第１低屈折率層をエッチングストッパとして除去する工程と、エッチングにより、第２高屈折率層の除去された部分を介して、周辺領域の第１低屈折率層を除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】干渉成分を簡単な構成により精度良く補正できるようにする。
【解決手段】サンプルガスが供給されるセル２の一端側に赤外光源３を設け、セル２の他端側に赤外線検出部４を設けた赤外線ガス分析計１００において、赤外線検出部４が、測定成分の赤外吸収スペクトルに合わせた波長域の赤外線強度を検出する測定成分検出器４１と、干渉成分の赤外吸収スペクトルに合わせた波長域の赤外線強度を検出する干渉成分検出器４２とを有し、干渉成分検出器４２及び測定成分検出器４１が、セル２の他端側からこの順に光学的に直列配置されている。 （もっと読む）