【課題】目的ガスの濃度測定の測定可能範囲を広くすることのできるTDLAS法によるガス分析装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るガス分析装置では、吸収線判定部８２で今回用いた吸収線がその目的ガスの濃度測定に適していないと判定された場合、情報記憶部８１に保持されている複数の吸収線の中から別の吸収線の情報を1つ選択する。情報記憶部８１には、各々の吸収線に対応するＬＤ１の駆動電流及び温調温度の設定値が保持されている。制御部２はこの設定値に基づいてＬＤ駆動部３とＬＤ温調部５を制御し、次の測定を開始する。一方、その吸収線が測定に適していると判定された場合、濃度算出部８３は、情報記憶部８１に保持されている、その吸収線に対応する吸収線強度及び吸収特性関数の情報を参照しつつ、透過光強度、ガス温度、圧力の各測定値に基づいて濃度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 植物の水分ストレス状態を緑葉からの蒸散量あるいは蒸散速度から読み取る方法において、その測定を高感度かつ迅速に行うことにある。
【解決手段】 植物緑葉の裏面から蒸散する水分をガラス板上に強制的に連続して結露させる。そして、ガラス板を長手方向に全反射しながら透過する光量の変化と、ガラス板表面の結露によって散乱して表面に飛び出す光量の変化から、その結露量の時間変化を読みとる。このことにより、植物緑葉の裏面に多く存在する気孔からの蒸散量あるいは蒸散速度を測定する。 （もっと読む）

【課題】 コークス炉ガスの脱硫に使用する吸収液中のピクリン酸還元生成物濃度をより正確に測定すること。
【解決手段】 コークス炉ガスの脱硫に使用する吸収液中のピクリン酸還元生成物濃度の測定方法であって、サンプリングした吸収液に対して紫外線吸光分析を行なう工程Ａと、紫外線吸光分析を行なった後の吸収液から有機物を抽出する工程Ｂと、抽出後の吸収液に対して紫外線吸光分析を行なう工程Ｃと、抽出物に対して元素分析を行う工程Ｄと、抽出物に対して赤外分光分析を行う工程Ｅと、紫外線吸光分析の結果に基づいて、有機物中のピクリン酸還元生成物の抽出率を得る工程Ｆと、元素分析と赤外分光分析の結果とに基づいて抽出率換算前のピクリン酸還元生成物濃度を得る工程Ｇと、抽出率換算前のピクリン酸還元生成物濃度と抽出率から、ピクリン酸還元生成物濃度を求める工程Ｈとを含むピクリン酸濃度の測定方法。 （もっと読む）

【課題】本発明はエッチング処理装置で循環使用、あるいは、エッチング処理後、珪素除去装置で珪素成分を除去した燐酸溶液中の珪素濃度を弗化水素酸で分解し、発生した四弗化珪素（ＳｉＦ₄）を赤外吸収測定器で簡易に迅速かつ精度よく測定し、安定した珪素濃度管理が可能とする測定装置及び測定方法を提供すること。
【解決手段】稼働中の半導体基板処理装置においてエッチング液として循環使用されている燐酸溶液中の珪素濃度の測定方法であって、前記半導体基板処理装置から１００〜１８０℃に加熱された一定量の燐酸溶液を抜き出し、これを急速に５〜５０℃に冷却し、しかる後、急速に５〜５０℃に冷却された該一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を添加して両者間の反応により四弗化珪素を生じさせ、更に、生成した四弗化珪素をキャリアガスにより気化させ、気化した四弗化珪素ガスの濃度を赤外吸収測定器により測定することを特徴とする燐酸溶液中の珪素濃度の測定装置及び測定方法。 （もっと読む）

【課題】脱水試薬を使用することなく金属試料中における炭素成分及び硫黄成分の含有量を同時に、且つ、精度良く分析すること。
【解決手段】金属試料６を酸素中で燃焼させ、金属試料６中の炭素成分と硫黄成分とをガス化させることにより、金属試料６中の炭素成分及び硫黄成分の含有率を分析する分析装置１において、ガス化した炭素成分と硫黄成分とを含む分析ガスに赤外線を照射し、赤外線の吸収量を測定することによって、金属試料６中における炭素成分の含有量を測定する非分散型赤外線ガス分析計５と、分析ガスに紫外線を照射し、紫外線の照射に伴い発生する蛍光の強度を測定することによって、金属試料６中における硫黄成分の含有量を測定する紫外蛍光ガス分析計４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】天然ガスの水分を検出するように構成された、光スペクトル法による水分分析器を提供する。
【解決手段】水分分析器１０は、天然ガスを封入し、案内する吸収セル２０を含む。水分分析器はまた、吸収セル内の天然ガスの圧力を減少させることができる圧力制御装置３８を含む。水分分析器は、吸収セル内の天然ガスを通って光を透過することができる発光装置１２、ならびに天然ガスを通って透過され、吸収セルを出る光の強度を検出することができる光検出器２６を備える。 （もっと読む）

【課題】外部（大気）圧力が変化しても、測定対象ガスを正確に測定及び分析できるようにする。
【解決手段】測定対象ガスを流入出するためのガスセル１と、ガスセル１内の測定対象ガスの成分濃度を検出するためのガス検出器２と、測定対象ガスをガスセル１へ供給するための第１ポンプ３と、測定対象ガスをガスセル１から排気するための第２ポンプ４と、ガスセル１内の測定対象ガスの圧力を一定に保持するためのガスセル圧力保持手段５と、ガスセル内の測定対象ガスの流量を一定に保持するためのガスセル流量保持手段６と、外部（大気）圧力を検出するための外部圧力検出器７と、外部圧力検出器７により検出された検出値に基づいて、第１ポンプ３が供給する測定対象ガスの流量が一定になるように調整するための流入量調整手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガス導入管入口およびガス排出管出口付近の外部（大気）圧力が変化しても、ガスセル内の圧力を一定に維持し得るガス分析装置を提供する。
【解決手段】ガスセル１と、ガスセルに接続されたガス導入管２およびガス排出管３と、ガス導入管に設けられた第１のポンプ４と、ガス導入管の第１のポンプの下流側に接続された分岐管５と、分岐管に設けられた第１の背圧弁７と、ガス排出管に設けられた第２のポンプ８と、ガス排出管の第２のポンプの上流側に設けられた第２の背圧弁９と、ガスセル内を流れるサンプルガスに含まれる特定のガス成分の濃度を検出するための検出ユニットを備える。第１の背圧弁が、ガス導入管内の分岐点より下流側の圧力がガスセル上流側圧力設定値に維持されるように動作し、第２の背圧弁が、ガスセル内の圧力またはガス排出管内の第２の背圧弁の上流側の圧力がガスセル内圧力設定値に維持されるように動作する。 （もっと読む）

【課題】センサー材料とその製造方法、および、検出方法を提供する。
【解決手段】分子汚染物質を検出するセンサー材料の製造方法は、金属酸化物前駆体の水溶液を準備する工程と、二酸化チタンナノチューブと金属酸化物の水溶液を混合して、混合物を形成する工程と、弱塩基で、混合物のｐＨ値を中性に調整する工程と、混合物を水に分散させて、加熱する工程と、混合物をろ過して、固体部分を残し、酸素の連続流下で、固体部分を焼成して、金属酸化物を担持した二酸化チタンナノチューブを形成する工程とを有している。本発明は、センサー材料およびセンサー材料を用いた検出方法も提供し、分子汚染物質のｐｐｍ〜ｐｐｔレベルの濃度を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定に要する時間が長くなることや測定精度の低下を招くことなく、呼気を吹き込むためのハンディユニットの小型軽量化を図ることのできる呼気中のガス濃度検出装置を提供する。
【解決手段】光源と、光源からの光を受光する受光センサと、受光センサからの信号に基づいて特定ガスの濃度を算出するガス濃度算出部とを具備した制御ユニットと、制御ユニットとは別体に構成され、呼気を吹き込むための測定空間と、光を測定空間内に射出する光射出部と、測定空間内の光射出部とは異なる位置に配置され光射出部から射出された光が入射される受光部とを有するハンディユニットと、光源からの光を光射出部まで伝送する第１光ファイバと、受光部で受光した光を受光センサまで伝送する第２光ファイバとを具備し、測定空間に吹き込まれた呼気中の特定ガスの濃度を、受光センサで受光した光の強度に基づいてガス濃度算出部にて算出する呼気中のガス濃度検出装置。 （もっと読む）

【課題】システム全体の遅延を測定し、その値に基づいてＣＰＵへ信号を取り込むことにより正確な分析が可能なレーザガス分析装置を実現する。
【解決手段】レーザガス分析装置において、前記タイミング生成回路から出力されたタイミング信号を入力しカウンタをスタートさせる遅延測定回路と、
前記ディテクタ回路で検出される測定信号のエッジ（測定のスタート点）を検出するエッジ検出回路と、を備え、前記タイミング生成回路は前記エッジ検出回路からのエッジ検出信号を入力し前記カウンタで前記レーザ掃引スタートパルスが送出されてからの時間遅れを検出し、その遅れに基づいて前記ＤＡＱ回路から前記ＣＰＵに取り込むデータ取り込み時間を遅延させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】短時間にかつ正確に高炉内ガスのガス利用率を計測することができる、高炉内ガスのガス利用率計測方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】高炉炉頂部に設置したガス導出管から高炉下部から吹き上がってくる高炉排出ガスを導出し、
前記ガス導出管で形成される流路途中において、一酸化炭素および二酸化炭素の吸収波長に一致する波長の電磁波を送受信し、
該送受信信号のスペクトル解析を行い、前記吸収波長に対応する周波数の信号強度の変化から一酸化炭素および二酸化炭素の濃度を算出し、
算出した一酸化炭素および二酸化炭素の濃度に基づき、高炉排出ガスのガス利用率を求める。 （もっと読む）

【課題】有毒な化学物質を求めて周囲空気を監視する分光検出システムを提供する。
【解決手段】このシステムは、１０億分の１（ｐｐｂ）以下のレベルの、様々な神経ガスおよびびらん剤、ならびに有毒工業用化学製品を含む広範囲の化学成分を検出しかつ識別し、小型で携帯型の複数気体分析器とすることができる。このシステムは、誤警報（たとえば、偽陽性または偽陰性）を最小限にし、高い特定性を特徴とし、適用分野に応じて、数秒〜数分程度の応答時間で動作することができる。システムは、フーリエ変換赤外（ＦＴＩＲ）分光計１０、気体試料セル２２、検出器３０、埋込み式処理装置３４、表示装置３８、電源、空気ポンプ、加熱要素、および他の構成部品が、試料を収集するための空気取入れ口と、外部装置と接続して機能するための電子通信開口とを備えるユニットに搭載された、完全に内蔵式の分析器とすることができる。 （もっと読む）

【課題】ガスを効率的に検出できるガスセンサを提供する。
【解決手段】 一態様に係るガスセンサは，１５００ｎｍ以上，１６００ｎｍ以下の少なくとも一部を含む第１の波長域の光を掃引発振する第１のレーザ光源と，１０００ｎｍ以上，１１００ｎｍ以下の第２の波長域の光を発振する第２のレーザ光源と，前記第１，第２のレーザ光源からの光を混合する混合器と，前記混合された光からの差周波発生により３２００ｎｍ以上，３４００ｎｍ以下の第３の波長域の光を生成する波長変換素子と，検査対象ガスが封入され，かつ前記生成された光が通過する内部空間を有する容器と，前記内部空間を通過した光を受光する光検出器と，前記光検出器からの信号に基づき，前記検査対象ガス中の所定のガスの量を算出する算出器と，を具備する。 （もっと読む）

【課題】感知精度の低下を招くことなく、煙感知室の小型化,薄型化を達成でき、コンパクトで高感度な煙感知器を提供する。
【解決手段】この煙感知器は、発光素子８からの出射光を直接受光しない第１の受光素子１３と、発光素子８からの出射光を直接受光する第２,第３の受光素子１７,１８を備える。第２の受光素子１７は、受光面１７Ａが地面側とは反対側に向いているが、第３の受光素子１８は、受光面１８Ａが地面側に向いている。受光面１７Ａは、受光面１８Ａに比べて、埃が堆積し易い。埃の堆積により受光面１７Ａが入射光量が減少しても、受光面１８Ａには埃が殆ど堆積せず入射光量が殆ど減少しない。よって、受光面１７Ａへの入射光量を表す第２の受光信号と受光面１８Ａへの入射光量を表す第３の受光信号とにより、煙による受光量の変動(信号成分)と埃による受光量の変動(雑音成分)とを判別することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】測定領域の上流側に位置する装置において所定の時刻に発生し、測定領域を流通する目的ガスの濃度等の時間変化を測定する際に、測定領域やその近傍の吸着ガスによる影響を排除し、目的ガスの濃度等の時間変化をリアルタイムで決定する。
【解決手段】予め測定領域１３の下流側で吸引しつつ測定領域１３の上流側で所定時刻に発生する目的ガスの濃度等を、測定領域１３に所定波長の光を入射し、測定領域１３を通過した光を検出することにより測定する装置において、目的ガスの発生前に参照範囲設定部２３が使用者に設定させた参照範囲内の時系列データに基づいて、ベースライン演算部２４がベースラインを作成する。 （もっと読む）

【課題】光学ビームの周波数を安定化する分光器アセンブリを提供する。
【解決手段】分光器アセンブリ７は熱分離プラットフォーム４００、ガス４１を囲い、熱分離プラットフォームに取り付けられるガス参照セル４０を含み、ガス参照セルは、少なくとも１つの光学透明窓４１５、囲まれるガスの温度を上昇させるように構成される少なくとも１つのヒーターを備える。ビームスプリッタ３０が、レーザー１０から放射される入力光学ビームの一部が反射されてガス参照セルの少なくとも１つの光学透明窓に入射するように構成される場合、入力光学ビーム２０の反射された部分は、ガスを二度通過する。検出器３５０がガスを二度通過した光学ビームを受け取るように構成される場合、レーザーを安定化させるために、レーザーにフィードバック信号５０が提供される。 （もっと読む）

【課題】
複合混合物に含まれる検体を迅速かつ正確に特定し、そして定量化する装置及び方法が開示される。
【解決手段】
本装置は、データ収集／分析装置に接続される超高感度キャビティ増幅分光計を備える。本方法では、種々の検体の吸収率断面積を含むデータベースを使用して、サンプルの組成を数値的に特定する。 （もっと読む）

【課題】波長可変ダイオードレーザ吸収分光法（TDLAS）の実現の問題点を克服する。
【解決手段】選択されたレーザ発振周波数を有する２つ以上のダイオードレーザ１２の出力に光学結合されたマルチプレクサ１６が、ピッチ側の光ファイバに光学結合される。多重化レーザ光が、プロセスチャンバ２２に関連付けられたピッチ光学部品２０にピッチ側光ファイバを通して伝送される。ピッチ光学部品２０は、プロセスチャンバの中を通して多重化レーザ出力を放射するように方向配置される。キャッチ光学部品２４が、放射された多重化レーザ出力を受け取る。キャッチ光学部品２４は、デマルチプレクサ２８に多重化レーザ出力を伝送する光ファイバに光学結合される。デマルチプレクサ２８はレーザ光を逆多重化し、光の選択されたレーザ発振周波数を検出器２５に光学結合し、この検出器は、選択されたレーザ発振周波数の１つに対し感度を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置構成で、高感度かつ迅速に結露の発生を検出する結露センサーを提供する。
【解決手段】結露センサー１００は、局在型表面プラズモン共鳴を発生させるナノコンポジット１０と、ナノコンポジット１０に対向して配置された光源・受光部４０と、この光源・受光部４０で受光された反射光の検出を行う分光器（又は光検出器）５０と、光源・受光部４０及び分光器（又は光検出器）５０に接続されこれらを統括して制御する制御部６０と、制御部６０に接続された表示部７０とを備えている。ナノコンポジット１０は、マトリックス樹脂１と、該マトリックス樹脂１に固定された金属微粒子３と、金属微粒子３に固定された金属微粒子９と、を備えている。 （もっと読む）