【課題】測定時間の短縮化及び測定精度の向上を図ると共に装置の小型化が可能な光学遅延装置を提供する。
【解決手段】回転型の光学遅延装置１０は、入射された光を反射して出射する反射体１１０〜１４０と、反射体から出射された光を反射して、この反射体とは異なる他の反射体に入射させるミラー群２１０〜２３０と、を備える。反射体１１０〜１４０に入射される入力光の光路長を、反射体１１０〜１４０の回転によって変動させることにより、入力光に対して遅延された遅延光を出力する。 （もっと読む）

【課題】光検出器への過大な光の入射を防ぎながら、光増幅する。
【解決手段】光計測システムは、光増幅ユニット１０６、光検出器１０８、および第１の制御部１１０を備える。光増幅ユニット１０６は入射光を増幅する。光検出器１０８は受光量に応じた電気信号を生成する。第１の制御部１１０は予備検出制御、本利得決定処理、および本検出制御を順番に実行する。予備検出制御において光増幅器の利得を第１の利得に調節する。第１の利得で増幅された予備光の受光量に応じた予備信号を生成する。本利得決定処理において予備信号の信号強度が閾値より低い場合には第２の利得を本利得に定める。予備信号の信号強度が閾値より高い場合には第３の利得を本利得に定める。本検出制御において光増幅ユニット１０６の利得を本利得に調節する。本利得で増幅された検出信号光の受光量に応じた検出信号を生成する。第２の利得を本利得に定めた場合には検出信号に基づいて入射光の光量を算出する。 （もっと読む）

【目的】干渉信号が必ず得られるようにする。
【構成】４つの干渉信号生成装置21〜24には測定光Ｌ１が測定対象Ｓｂに照射され，反射した反射光が分岐された反射光Ｌ21〜Ｌ24と，参照光Ｌ３が分岐され，参照ミラー43，53，63，73において反射された反射光Ｌ41〜Ｌ44と，が入射する。干渉信号生成装置21〜24に入射する参照光の４つの伝搬ルートの光学的距離は異なるが，干渉信号生成装置21〜24に入射する測定光の反射光Ｌ21〜Ｌ24の光学的距離とほぼ同じである。したがって，干渉信号生成装置21〜24のうちのいずれかから必ず干渉信号が得られる。 （もっと読む）

【課題】洗浄液で洗浄し、続いてリンス液で洗浄された基板を乾燥させる処理を、簡易な装置構成で速やかに進行させること。
【解決手段】ウエハＷ表面に、昇華性物質の凝固点よりも高い温度になるように加熱された置換液を供給し、次いで、液状の昇華性物質を含む処理液を前記凝固点よりも高い温度にして共用ノズル５を介して供給する。前記置換液の供給により、リンス液の置換液による置換とウエハＷの表面の加熱を同時に行うことができ、加熱されたウエハＷに、前記凝固点よりも高い温度の処理液を供給しているので、ウエハＷ上に処理液の液膜を薄く広げることができる。加熱した置換液や処理液をウエハＷ表面に供給しているので装置構成が簡易なものとなり、また、処理液の薄い液膜を形成することができるため、昇華性物質の固化や昇華に要する時間が短縮され、基板を乾燥させるための処理が速やかに進行する。 （もっと読む）

【課題】身代わり空間特性分析、即ち、遠隔イメージセンサーの遠隔地への配備後の特性分析ためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】遠隔感知センサの身代わり空間特性分析のためのシステムであって、以下を備える該システム：複数の反射ミラーであって、該ミラーは、放射線源から遠隔地の放射センサーへ放射線を反射するように設計及び配置され、前記遠隔地の放射センサー上で複数の固有スポットイメージを得られるように前記複数のミラーは離れて位置している該ミラー；及びプロセッサであって、前記イメージをフィッティングさせることにより前記複数のスポットイメージを分析し、前記遠隔感知センサのポイント拡大関数を得るために構築された該プロセッサ。 （もっと読む）

【課題】高速現象を精度よく測定できる、ポンププローブ測定装置を提供する。
【解決手段】ポンププローブ測定装置１は、ポンプ光３ａとなる第１の超短光パルス列とプローブ光となる第２及び第３の超短光パルス列３ｂ，３ｃとを発生させる超短光パルスレーザー発生部２と、第２及び第３の超短光パルス列３ｂ，３ｃが入射される光シャッタ部６と、ポンプ光３ａ及びプローブ光３ｂ，３ｃを試料７に照射する照射光学系８と、試料７からのプローブ信号を検出するセンサー１１と、センサー１１に接続される位相敏感検出手段１２と、を含む検出部２０とを備え、光シャッタ制御部１０によってポンプ光３ａに対するプローブ光３ｂ，３ｃの遅延時間が周期的に変調されて交互にプローブ光３ｂ，３ｃとして試料７に照射され、プローブ信号を遅延時間の周期的変調信号に同期して位相敏感検出手段１２で検出する。 （もっと読む）

【課題】計測光の配列に対する走査方向の幅を小さくし、高ＳＮ比な断層像を得る。
【解決手段】本発明に係る撮像装置は、被検査物における前記複数の計測光の配列を検出する検出手段の検出結果に基づいて、複数の計測光を走査する走査手段の走査方向に対する上記配列を調整する。 （もっと読む）

【課題】 手間無く、詳細な診断を行うことができる。
【解決手段】 測定光源から発せられた光を被検眼眼底上で走査させるための光スキャナと、測定光源から発せられた測定光の眼底での反射光と参照光との干渉状態を検出する検出器と、を有し、被検眼眼底の断層像を得るための光コヒーレンストモグラフィーデバイスと、光コヒーレンストモグラフィーデバイスによって取得された複数の断層像を処理して断層像の解析結果を取得する解析処理手段と、解析処理手段によって取得された解析結果に関する所定の基準の下に複数の断層像を並び換え、並び換えられた複数の断層像をモニタ上に並べて表示する表示制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】受光素子１画素程度の微小領域ごとに領域分割された偏光フィルタ層や分光フィルタ層を積層した構造を実現することを課題とする。
【解決手段】画像センサ２０６の前段に配置される光学フィルタは、特定方向の偏光成分Ｐのみを選択して透過させる鉛直偏光領域と該特定方向とは異なる方向の偏光成分Ｓのみを選択して透過させる水平偏光領域とが撮像画素単位で領域分割された偏光フィルタ層２２２と、赤色波長帯の光のみを選択して透過させる赤色分光領域と波長選択を行わずに光を透過させる非分光領域とが撮像画素単位で領域分割された分光フィルタ層２２３とを、光透過方向に積層した構成を有し、積層方向下側に位置する偏光フィルタ層の積層方向上面の凹凸を充填材２２４で充填して平坦化した後に分光フィルタ層を形成したものである。 （もっと読む）

【課題】光源からの光が入射するフロントガラス等の内壁面で正反射する外乱光を低減して、その外壁面で板状透明部材上に付着する雨滴等の検出精度を向上させることを課題とする。
【解決手段】フロントガラス１０５に向けてその内壁面側に配置された光源２０２から光を照射し、その光がフロントガラス外壁面上の雨滴２０３で反射した反射光を画像センサ２０６で受光して雨滴の画像を撮像し、撮像した雨滴画像に基づいて雨滴の検出処理を行う。雨滴画像の撮像は、フロントガラスに向かう光源からの光の光軸と撮像レンズ２０４の光軸とを含む仮想面に対して偏光方向が略平行である偏光成分（光線Ｃ）のみを透過する偏光フィルタ層２２５を介して行う。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高密度でリガンドを固定化した、金属薄膜で起きる表面プラズモン共鳴を利用するアナライトの検出方法用のセンサーチップを提供する。
【解決手段】アナライト検出用のリガンド固定化局在場光センサーチップであって、少なくとも、誘電体部材と、前記誘電体部材上に形成された金属薄膜と、前記金属薄膜上に形成された正または負に荷電した荷電層と、前記荷電層上に形成された静電相互作用により固定化されている、当該荷電層とは逆に荷電した荷電微粒子およびそれに結合したリガンドにより構成されるリガンド担持荷電微粒子からなる固定化リガンド層とを備えていることを特徴とする、リガンド固定化局在場光センサーチップ。 （もっと読む）

【課題】光検出手段としてフォトダイオードやフォトトランジスタを用い、光検出手段と電極間とのインピーダンスから、測定対象物の電気特定及び光特性を同時に測定する対象物検出装置を提供する。
【解決手段】測定対象物２０の方向に対して光を照射するＬＥＤ３ａと、照射した光の反射光を受光して電気的な信号に変換するフォトダイオード３ｂと、フォトダイオード３ｂに並列に接続し、所定の間隔で離隔配設される１対の電極２ａ，２ｂと、フォトダイオード３ａ及び電極２ａ，２ｂに接続する交流電源と、並列に接続されるフォトダイオード３ａ及び電極２ａ，２ｂ間のインピーダンスを測定するインピーダンス測定部４２と、測定対象物２０の電気特性及び光特性に関する情報を予め記憶する対象情報記憶部４５と、測定したインピーダンスの値と、記憶されている測定対象物２０に関する情報とから、測定対象物２０の材質及び／又は接近距離を判別する対象物判別部４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 手間無く、詳細な診断を行うことができる。
【解決手段】 測定光源から発せられた光を被検眼眼底上で二次元的に走査させるための光スキャナと、測定光源から発せられた測定光と参照光との干渉状態を検出する検出器と、を有し、被検眼眼底の三次元断層像を得るための光コヒーレンストモグラフィーデバイスと、光コヒーレンストモグラフィーデバイスによって取得された三次元断層像に基づいて眼底上の走査位置に関して互いに近接する複数の断層像を抽出し、抽出された複数の断層像をモニタ上に並べて表示する表示制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】表面の光学的特性を調査するための方法を提供する。
【解決手段】照射装置２によって表面１０に対して所定の入射角ａ１で照射され、この表面１０によって散乱及び／又は反射された放射は表面１０に対して所定の検出角度ｂ１をなして配置された、白黒画像を記録する画像記録ユニット４ａを有する放射検出装置４に達し、この放射検出装置４は放射の空間分解検出を可能とするように構成した方法である。照射装置２は表面１０に向かって第１の波長域Ｗ１と、第２の波長域Ｗ２の放射を時間的にずらして照射して、画像記録ユニット４ａは表面１０から散乱及び／又は反射された第１の空間分解画像Ｂ１及び第２の空間分解画像Ｂ２をそれぞれの波長域の照射に応じて記録する。 （もっと読む）

【課題】振動環境下において干渉縞の振動を抑制して、精度良く検査対象物中の内部欠陥を検出すること。
【解決手段】検査対象物Ｍの表面に衝撃波を生じさせる加熱用レーザー１と、前記衝撃波を検出する検出用レーザー２を備える。この検出用レーザー２は、第一検出用レーザー２ａと第二検出用レーザー２ｂに分岐され、両検出用レーザー２ａ、２ｂは、検査対象物Ｍの異なる位置にそれぞれ照射される。また、第一検出用レーザー２ａ照射位置に加熱用レーザー１が照射される。検査対象物Ｍと測定装置が相対的に振動しても、両検出用レーザー２ａ、２ｂがともに検査対象物Ｍに照射されるため、前記振動が相殺されて、両検出用レーザー２ａ、２ｂによって形成された干渉縞が変位することなく安定する。このため、前記衝撃波に伴う干渉縞の変位を精度良く測定することができ、検査対象物Ｍ中の内部欠陥Ｖを高感度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】高感度かつ測定時間が短い光断層画像測定装置および光断層画像測定システムを提供することを課題とする。
【解決手段】光源２から入射された光を、参照光と、信号光と、に分割するする光分割手段１１と、測定対象物３から反射された反射信号光を複数の反射信号光に分割する光分割手段３４と、参照光を、反射信号光の分割数と同じ数の参照光に分割する光分割手段２１と、分割された参照光および反射信号光のそれぞれを合波することによって、分割された参照光および反射信号光に対応する干渉光を生成する光合波手段４１と、波長スペクトルをそれぞれの干渉光から取得し、取得したそれぞれの波長スペクトルをフーリエ変換する解析手段５３と、を有し、分割された参照光または反射信号光におけるそれぞれの光路の長さが、異なるよう固定されている光路長変化部１０１を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳＰＲセンサー及び光導波モードセンサーに用いられる光学プリズムと検出板とで構成される検出チップの部品点数を減らし、小型で安価で簡便に製造可能で、目的物質を迅速かつ高感度で検出でき、更に、被検体液の導入が容易な検出チップを有し、目的物質を効率的に測定可能とする。
【解決手段】目的物質検出プレートは、検出チップを収容する収容部と前記収容部に被検体液を送液する流路とが形成された透光性のプレート本体と、前記収容部に収容される前記検出チップと、を有し、前記検出チップは、光を透過する板状の透明基体部の一の面に形成され、前記流路と連結して前記被検体液が導入される検出溝を有し、前記検出溝は、前記一の面に対して一の勾配をもって傾斜する傾斜面を有するように形成された溝部の内表面上に、電場増強層が配されて形成され、前記検出溝の前記被検体液と接する最表面が検出面とされる。 （もっと読む）

【課題】 安定した観察画像を得ることができる光イメージング用プローブを提供する。
【解決手段】 中心軸回りに回転するロータ２を有する回転駆動源と、前記ロータ２を該ロータの軸方向の両側で回転自在に支持する回転支持部材３，４と、前記ロータ２及び前記回転支持部材３，４に対し軸方向へ挿通された光ファイバ５と、前記光ファイバ５により導かれる光の方向を前記軸方向に対して略交差方向へ変換するように、前記ロータ２の一端側に支持された光路変換素子８と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】イメージング画像を簡易な装置構成で高速に取得することができ、透過方式および反射方式のいずれにも適用できるテラヘルツ波イメージング装置を提供する。
【解決手段】サンプル５にテラヘルツ波１０１を照射する照射手段１０と、複数のマイクロミラー７を有し、マイクロミラー７のそれぞれがサンプル５からのテラヘルツ波１０３を反射するマイクロミラーアレイ６と、単一の受光素子から構成され、マイクロミラーアレイ６からのテラヘルツ波１０５を検出して電気信号に変換する検出手段２０と、電気信号を処理して、サンプル５のイメージング画像を得る画像処理部７２と、複数のマイクロミラー７を制御する制御部７１を備える。複数のマイクロミラー７は、それぞれの傾斜角度が独立して制御可能である。制御部７１は、傾斜角度を変えるマイクロミラー７を特定するための走査アドレス情報７１ａを保持し、マイクロミラー７のそれぞれの傾斜角度を変える。 （もっと読む）

【課題】発光手段および／または受光受光手段を基板に対して所定の姿勢で表面実装することができる光学センサおよび画像形成装置を提供する。
【解決手段】プリント基板３４の発光素子３１の胴体部前側端部（レンズ側）と対向する箇所、胴体部後側端部（レンズ側と反対側）近傍と対向する箇所に支持突起３４ｅを設けた。これにより、支持突起３４ｅにより素子の胴体部の前側と後側とが支持され、素子が端子を支点にして揺動することがない。その結果、素子をプリント基板３４の接続部３４ｄと端子との間に充填された溶融したハンダが固まるまでの間に、素子に触れるなどしても、素子が前後（光軸方向）に傾くことが防止される。 （もっと読む）