【課題】金属の塗膜や半導体ウエハのエピ層等の積層膜中の欠陥検査の測定時間を短縮したテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】予め基準サンプルを用いてテラヘルツ波信号の時間波形を求め、時間波形の基準ピーク位置およびその近傍の基準測定位置の強度データを予め求めておくステップと、被測定物の測定点の時間波形について、基準ピーク位置および基準測定位置について、被測定物の強度データを求めるステップと、基準サンプルと被測定物との基準ピーク位置および基準測定位置の強度データを比較して、ピーク位置のずれと強度データの差とが予め設定された値以上の場合に異常と判定するステップと、から成り、時間波形を予め測定された基準位置の強度データのみをサンプリングして、測定時間を短縮するようにしたことを特徴とするテラヘルツ波を用いた検査方法。 （もっと読む）

【課題】トナー等の粉体の付着量検知において、多色混合画像においても正確な付着量の検知を行うことができる付着量検出方法と、この方法を実施可能な画像形成装置を提供する。
【解決手段】検知対象面２上に形成された分光透過率の異なる複数種類の粉体からなる検知物４３に、強度変調した波長の異なる光を照射し、光熱変換作用を検出する検出手段４２により、光熱信号を検知し、該光熱信号の量に基づいて検知物の付着量を求める。 （もっと読む）

【課題】 特定の体積の測定が実施できる方法を提供することである。
【解決手段】
− 高温ガスを通る光線（１２）を案内する工程と、
− 光線（１２）が通過する各高温ガス体積部（１６）のための、
光線（１２）の方向に対して０°よりも大きい角度を有する、予め定められた方向へ散乱光（１５）を案内する信号を検出する工程と、
− 高温ガスの吸収スペクトルを確かめながら、検出される信号を処理する工程と、
− 燃焼工程を指示する取得データに対して吸収スペクトルデータを処理する工程を備えていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】 低コストでしかも高精度な位置補正処理が短時間で実施可能な断層撮影装置を供給すること。
【解決手段】 Ｂ−スキャン像の端から１／４位置におけるＡ−スキャンのデータのピーク値（Ｐ点）を含んだ所定の領域を持つ参照像を作成する参照像作成手段と、この参照像を隣接するＢ−スキャン像内において平行移動させながら、各々の画素における前記参照像の画素値と前記隣接するＢ−スキャン像の画素値の差の総和（評価関数）を算出する評価関数算出手段と、この評価関数が最小となる位置を検出し、隣接するＢ−スキャン像間の相対的位置ずれ量を算出する相対的位置ずれ量算出手段と、この相対的位置ずれ量を用いて、Ｎｏ．１のＢ−スキャン像を基準として各Ｂ−スキャン像の絶対的位置ずれ量を算出する絶対的位置ずれ量算出手段と、この絶対的位置ずれ量を用いて、各Ｂ−スキャン像の位置を補正する位置補正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】流動性媒体中に存在する物質の濃度を測定することができる装置を提供する。
【解決手段】ＭＱＷ ＬＥＤの発光が吸収測定に使用され、発せられた光が測定システム内で測定対象物質と相互作用し、光学フィルターを介して検出器ユニット内で吸収検出器および参照検出器に対して作用し、これらの検出器が測定信号および参照信号を生成し、これらの信号を比較することによって測定対象物質の濃度が求められる。少なくとも１つのエッジフィルター、たとえば短波長パスフィルターまたは長波長パスフィルターとして設計されたエッジフィルターが光学フィルターとして使用される。また、１以上の帯域特性を有する少なくとも１つのバンドパスフィルターが光学フィルターとして使用される。 （もっと読む）

【課題】より良いＳ／Ｎ比で測定するためにはセル長を長くすることが良いことが分かったが、セル長を長くすると、長いセル中を進行する光の散乱について考慮しなければならない。本発明は、上記課題に鑑み、より良いＳ／Ｎ比で測定するための試料セル構造及び分光光度計を提供する。
【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、細管状に形成され内部を流体が通過するチューブと、チューブの外壁面の一部に接触した状態で該キャピラリチューブの周囲を覆う構造体を備えることを特徴とする試料セル及び当該試料セルを用いた分光光度計を提供する。 （もっと読む）

【課題】 伝播表面プラズモンと局在表面プラズモンとを併用しながら、ホットサイトとして機能する金属ナノ粒子の密度を高めることができる光デバイス及びそれを用いた検出装置を提供すること。
【解決手段】 光デバイス１００は、基材１０１の導体表面１０２より突起して、第１方向Ｘに沿って第１周期で配列される第１突起群１１０と、導体表面及び第１突起群を覆う誘電体層１２０と、誘電体層１２０上にて金属ナノ粒子１３０Ａが第１方向Ｘに沿って第１周期と異なる第２周期で配列されて成る第２突起群１３０とを有し、第１周期及び第２周期の一方をＰｘ１とし、第１周期及び第２周期の他方をＰｘ２とし、照射光の波長をλとしたとき、λ＞Ｐｘ１＞Ｐｘ２を満足し、かつ、０＜Ｐｘ１−Ｐｘ２＜Ｐｘ１／２を満足する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図りつつ、標本の散乱係数を測定することができる散乱係数測定装置を提供する。
【解決手段】標本Ａ面に対して光を斜めに射出する導光部１０と、標本Ａ面において光の入射点を中心として射出方向に複数配列され、標本Ａ面からの散乱光の強度をそれぞれ検出する受光素子２０と、受光素子２０により検出された標本Ａからの散乱光の強度の分布から、標本Ａの散乱係数を算出するＣＰＵ３０とを備える散乱係数測定装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】試料の形態変化を定量的に観察できるようにする。
【解決手段】検出部５２は、時間の経過とともに形態が変化する試料１８の観察画像から、試料１８としての破骨前駆細胞の領域を検出する。重畳部５３は、時刻の異なる観察画像上の破骨前駆細胞の領域を重ね合わせ、演算部５４は、重ね合わされた破骨前駆細胞の領域の面積に基づいて破骨前駆細胞の形態変化の度合いを算出し、形態変化の度合いに基づいて破骨前駆細胞が分化したかを判定する。加工部５５は、分化したかの判定結果に基づいて、観察画像上の分化した破骨前駆細胞（成熟破骨細胞）と、分化していない破骨前駆細胞とを異なる表示形式で表示させる。本発明は、共焦点顕微鏡を用いた観察システムに適用することができる。 （もっと読む）

【課題】測定セルを通過する試料ガスが長い透過距離を移動すると透過中にオゾンが何度も紫外線に照射され、正しいオゾン濃度測定ができない。
【解決手段】波長２００ｎｍ〜３２０ｎｍを含む紫外線を発光する固体発光素子１０２を利用して、試料ガスが吹き出るガス注入部と対抗する位置にこの試料ガスを吸い込むガス排出部で構成された試料ガス計測部１２９を備え、試料ガスが瞬時に通過する機構を設け、ガスの乱れを無くし、透過時間を短くする事によって再オゾン化を抑える効果があり正しいオゾン濃度測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】散乱光の時間分解波形を高い分解能で取得するための新しい手法の提案。時間分解波形に基づいて、被検体が含有する成分の濃度を高精度に測定する手法の提案。
【解決手段】光源部３０１からの光源光が分岐部３０２によって分岐され、その一方の光が測定光として照射部３０３によって被検体に照射される。そして、被検体からの出射光が集光部３０４によって集光され、中継部３０５によって光変換部３０７に中継される。他方、分岐部３０２によって分岐された他方の光はゲート光として光駆動シャッター部３１１に導光される。この際、ゲート光は、ゲート光導光部３０９によって光路長が変更され、光路長が異なるゲート光がカー材質部３１１Ａに導光される。そして、変更された光路長における光強度の検出結果から時間分解波形が求められて、被検体に含まれている成分濃度が算出される。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図りつつ、高精度に測定対象物の屈折率を測定することができる屈折率測定装置を提供する。
【解決手段】所定の間隔をあけて近接して配置され、入射端面１１から入射させた照明光を内面反射させて反射端面１２まで導く導光ロッド１０および導光ロッド２０と、導光ロッド１０に照明光を入射させることで、導光ロッド２０内に入射するエバネッセント光の強度を検出する光検出器２７と、光検出器２７により検出されたエバネッセント光の強度の変化から、導光ロッド１０と導光ロッド２０との間に配置された試料Ｓの屈折率の変化を算出するＣＰＵ３０とを備える屈折率測定装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】顕微領域およびマクロ領域それぞれの分光データを一括取得する。
【解決手段】分光計測装置は、測定対象光を２つに分離するビームスプリッター（３）と、スリットに入射した光を分光する分散素子及びこの分散素子によって分光された光を受光する２次元ＣＣＤアレイからなる分光器（１０）と、第１の光を導くシングルモードファイバー（５）と、第２の光を導くマルチモードファイバー（８）と、ファイバー（５，８）の出射側の端面から出射する２つの測定対象光を分光器（１０）のスリットに集光するファイバー集光光学系（９）とを備える。ファイバー集光光学系（９）は、ファイバー（５，８）の出射側の端面を、２つの測定対象光による干渉の影響を受けない間隔であって、かつ２つの測定対象光を２次元ＣＣＤアレイの受光面上の別々の位置に独立に集光可能な間隔で並べて配置する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源ユニットにおいて、簡易な構成で、複数の波長を連続的に切り替えながらＱスイッチパルス発振を得る。
【解決手段】レーザ光源ユニット１３は、相互に異なる複数の波長のパルスレーザ光を出射する。フラッシュランプ５２は、レーザロッド５１に励起光を照射する。一対のミラー５３、５４は、レーザロッド５１を挟んで対向する。一対のミラー５３、５４により、光共振器が構成される。波長選択手段５６は、光共振器内で共振する光の波長を、レーザ光源ユニット１３が出射すべき複数の波長のうちの何れかに制御する。駆動手段５７は、光共振器がＱスイッチパルス発振するように波長選択手段５６を駆動する。 （もっと読む）

【課題】高感度の分光散乱計を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ上の回折構造体からの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計または分光エリプソメータを使って構造体の下に位置する膜の膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体を測定して回折構造体の強度またはエリプソメトリックな署名を得る。この署名をデータベース内の署名と適合させて構造体の格子型パラメータを判定する。 （もっと読む）

【課題】観察により取得される観察対象物の内部の媒質が変化する境界部に関する情報の解像度及び鮮明度のさらなる向上が図れる観察装置及び観察方法を提供する。
【解決手段】出力部１１は、観察対象物２に含まれる感応因子の双極子モーメントを誘起させるコヒーレントな照射光３１ａを出力する。照射光３１ａの波長範囲の少なくも一部と、感応因子が光を吸収する吸収波長帯域の少なくとも一部とが重複する。レーザーユニットは、照射光の波長範囲を含む波長範囲を有するフェムト秒パルスレーザー光を生成する。光フィルタユニットは、フェムト秒パルスレーザー光を受け入れ、そのフェムト秒パルスレーザー光のうちの所定の短波長側境界値よりも短い波長成分、及び所定の長波長側境界値よりも長い波長成分を除去して、照射光３１ａとして送出する。 （もっと読む）

【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第１反射膜２５が設けられ、第１反射膜２５間のギャップ寸法を変位させることができる第１波長可変干渉フィルター２０と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第２反射膜３５が設けられ、第２反射膜３５間のギャップ寸法を変位させることができる第２波長可変干渉フィルター３０と、を備え、第１波長可変干渉フィルター２０と同じ光軸上に、第２波長可変干渉フィルター３０が配置され、第１反射膜２５は誘電体多層膜、第２反射膜３５は金属膜で形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造工程の複雑化を防止すると共に、光照射で発生した励起キャリアを効率良くテラヘルツ電磁波の発生または検出に用いることができる光伝導基板等を提供する。
【解決手段】基板３と、基板３上に積層され、基板３のバンドギャップよりも大きなバンドギャップを有するキャリア移動防止層５１とキャリア移動防止層５１上に積層され、基板３のバンドギャップ以上のバンドギャップを有すると共に、キャリア移動防止層５１のバンドギャップよりも小さなバンドギャップを有する半導体層５２と、を備え、半導体層５２が、ＧａＡｓを低温でエピタキシャル成長させた層である。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ電磁波の検出精度を向上させることができるテラヘルツ放射顕微鏡、これに用いられる、光伝導素子、レンズ及びデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】光伝導素子は、基材と、電極と、膜材とを具備する。前記基材は、光源から発生したパルスレーザーが、観察対象であるデバイスに照射されることにより発生するテラヘルツ電磁波が入射する入射面を有する。前記電極は、前記基材に形成され、前記基材の入射面に入射された前記テラヘルツ電磁波を検出する。前記膜材は、前記基材の前記入射面に形成され、前記テラヘルツ電磁波を透過させ、前記パルスレーザーを反射させる。 （もっと読む）

【課題】 アライメントから測定終了までの間に画像を劣化させる要因が発生した場合でも良好な被検眼の断層像を得る。
【解決手段】 被検眼の第１の断層像を取得する第１取得手段と、第１の断層像が取得された後に被検眼の３次元像を取得する３次元像取得手段と、３次元像が取得された後に第１の断層画像に対応する被検眼の第２の断層像を取得する第２取得手段と、第１の断層像の階調に基づいて第２の断層像の階調を補正する補正手段と、を備える。 （もっと読む）