【課題】導電性層が均一な厚みで形成されることにより、物質を優れた精度で検知することのできる、物質検知センサを提供すること。
【解決手段】絶縁層２を形成し、絶縁層２の上に、互いに間隔を隔てて対向配置される１対の電極配線６を備える電極パターン３を形成し、絶縁層２の上に、１対の電極配線６と電気的に接続されるように、ガスの種類および／または量に応じて、膨潤する割合が変化する導電性層４を、１対の電極配線６間において、第１導電性層４Ａおよび第２導電性層４Ｂとに複数分割形成されるように、設ける。 （もっと読む）

【課題】低濃度側の検出範囲の拡大を図ったガスセンサを提供する。
【解決手段】圧力センサ６が、ガスセンサ２を収容するセンサ室５の圧力を検出する。吸気ポンプ７が、センサ室５に雰囲気を流入してセンサ室５を加圧する。バルブ８が、弁開してセンサ室５内の雰囲気を流出してセンサ室５を減圧する。ＣＰＵ９１が、圧力センサ６により検出された圧力に基づいてセンサ室５の圧力が雰囲気圧よりも高い値になるように吸気ポンプ７及びバルブ８を制御する。 （もっと読む）

【課題】体格の増大が抑制され、且つ湿度センサの検出精度の低下が抑制された容量式湿度検出装置を提供する。
【解決手段】湿度の変化に応じて容量が変化する湿度センサと、該湿度センサの容量変化を電圧に変換するＣ−Ｖ変換部と、該Ｃ−Ｖ変換部の出力信号を処理する信号処理部と、が同一の半導体基板に形成された容量式湿度検出装置であって、電源電圧を第１パルス信号に変換し、該第１パルス信号を信号処理部に入力することで、信号処理部を間欠駆動する間欠駆動部を有する。 （もっと読む）

【課題】導電性構造体に接している、導電性の低い領域を製造する方法を提案すること
【解決手段】導電率の低い、導電性の構造体に接する領域を製造する方法であって、ａ）導電性構造体を設けるステップと；ｂ）当該導電性構造体を物質Ａと接触接続させるステップと；ｃ）導電性構造体と接触接続している物質Ａに刺激を加えるステップとを有している形式の方法において、ステップｃ）において刺激を加えることによって少なくとも部分的に物質Ａが物質Ａ１と物質Ａ２に変化するように、物質Ａを選択し、前記物質Ａ１が前記導電性構造体によって取り入れられ、前記物質Ａ２は前記導電性構造体によって取り入れられず、前記導電性構造体および物質Ａよりも低い導電率を有している方法。 （もっと読む）

【課題】絶縁体層への吸着分子の比較的弱い相互作用（物理吸着）と誘電性を検出する機能を利用することにより、脱離性や繰り返し性を向上させることと、検体ガスの種類とその濃度を同時的に検出する事を可能にする。
【解決手段】本発明は、金属層、絶縁体層、半導体層より構成されるMISキャパシタ構造、或いは該MISキャパシタ構造を含む電界効果トランジスタFETを利用する。絶縁体層は、多数の貫通型細孔を設けた電気的に不活性な材質製の基板に分子吸着性絶縁層を塗膜して形成する。絶縁体層の一方の側に半導体層を、かつ他方の側に金属層を形成すると共に、貫通型細孔を通して検出すべきガス或いは液体が通過できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】、環境温度による影響を受け難いガス検知素子を提供する。
【解決手段】被検知ガスと接触自在に設けられたガス感応部１２を備え、自己加熱可能なガス検知素子１であって、ガス拡散性と少なくともガス感応部１２が到達する温度に対する耐熱性とを有する保温部材１３で、ガス感応部１２を被覆してある。 （もっと読む）

有機化学分析質を検知するための検知素子が、開示される。検知素子は、第一の電極と、第二の電極と、第一及び第二の電極に近接する実質的に微多孔性で、非晶質であり、疎水性の分析質応答性有機ケイ酸塩材料と、を含む。 （もっと読む）

【課題】多成分系のガスから特定化学物質を高選択的および高感度に検出でき、さらに装置の小型化および測定時間の短縮化を達成できる化学物質センシング素子を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面を化学式（１）または（２）で示される化学構造を含む化合物で表面修飾してなるセンシング部を備え、特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子に関する（Ｒ¹とＲ⁴とはＨ、ＣおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ²とＲ⁵とはＨおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ³とＲ⁶とはＨおよびＮａのうちいずれかを含む化学構造である）。
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例えば呼気などの流体中のＮＯ濃度を決定する半導体デバイスが開示される。デバイス（１）は典型的に、有機半導体層（１４）内にチャネル領域（１６）を画成するように互いに離隔された一対の電極（１８）と、チャネル領域を制御するゲート構造（１０）と、チャネル領域に少なくとも部分的に重なる受容体層（２２）とを有し、受容体層は、ＮＯと錯体形成するＩＩＩ族からＸＩＩ族の遷移金属イオン又は鉛（Ｐｂ）イオンを含むポルフィン又はフタロシアニン配位錯体を有する。このような半導体デバイスは、ｐｐｂレンジのＮＯ濃度を検出することができる。
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【課題】従来の酸化物半導体ガスセンサの製作時に、工程が複雑であるという問題を解決すると共に、高感度、高選択性、速い応答速度及び長期安定性のような優秀なガス反応特性を有する静電容量型環境有害ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による静電容量型環境有害ガスセンサは、絶縁基板と、前記絶縁基板の同一平面上に一体形に形成された金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線と、前記金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線上にコーティングされた酸化物感知層とを備え、これは、金属層を蒸着した後、金属電極とマイクロ薄膜ヒータ加熱線が互いにインタデジタルトランスデューサを成すように金属層をエッチングし、引き継いで、酸化物感知層を形成することによって製造される。このような静電容量型環境有害ガスセンサは、製造時に工程優秀性を確保することができ、高感度、高選択性、高安定性及び低電力の優秀な特性を有することができる。 （もっと読む）

【課題】体積が小さく、廉価で、製造容易、人的コスト大幅低減、一箱単位、一山単位の青果の効果的管理制御を可能とする気体検知器を得る。
【解決手段】平面型インダクタンス・キャパシタンス共振器と気体吸収材１３０とを備える気体検知器１０に関する。平面型インダクタンス・キャパシタンス共振器は、インダクタンス電極１１０及びキャパシタンス電極１２０を備えており、キャパシタンス電極１２０がインダクタンス電極１１０に接続している。気体吸収材１３０がキャパシタンス電極１２０の少なくとも一部分と接続している。気体吸収材１３０は、被検知気体の濃度変化に応じて、平面型インダクタンス・キャパシタンス共振器の共振周波数を変化させる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのソース電極と、ドレイン電極と、ゲート電極とを有する電界効果トランジスタの不動態化において、従来技術の問題点を解決する。
【解決手段】少なくとも１つの化学的感受性の電極を有する半導体構成素子の不動態化のために、少なくとも、該化学的感受性の電極を、ガラス層もしくはガラスセラミック層の施与によって覆い隠す。 （もっと読む）

【課題】 ガス応答速度が早く、低濃度ガスに対しても高い感度を維持することのできる防水型ガスセンサを提供する。
【解決手段】 本発明を、ベース４に植設した複数本の端子ピン３の先端部に感ガス体６を支持させて成るセンサ本体２と、ガスを入れ換えるための通気窓８とセンサ本体２を挿入するための挿入口７とを有するセンサカバー１と、通気窓８を覆うようにセンサカバー１に装着される撥水性のガス透過膜９とを具備する防水型ガスセンサとする。センサカバー１には、センサ本体２のベース４を収容するベース収容孔Ｈ１と、センサ本体２の端子ピン３を挿通させる端子ピン収容孔Ｈ２と、通気窓８から検知対象ガスを導入するためのガス導入孔Ｈ３とを、挿入口７から通気窓８へと至る一連の連通孔として形成する。 （もっと読む）

【課題】 ガス応答速度が早く、低濃度ガスに対しても高い感度を維持することのできる防水型ガスセンサを提供する。
【解決手段】 撥水性のガス透過膜９を通じてガス導入孔Ｈ内に導入した検知対象ガスを、該ガス導入孔Ｈ内に配置した感ガス体６によって検知する防水型ガスセンサにおいて、ガス透過膜９と感ガス体６の距離Ｌを２［ｍｍ］以下に設け、且つ、ガス透過膜９からのガス導入孔Ｈの深さＤを２［ｍｍ］以下に設ける。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、特には雨センサであり、検出領域にある対象物を非接触で検出する干渉補正可能なセンサ(10)に関しており、センサは、制御部及び出力(20,22) を夫々有して略同一である第１及び第２の測定チャネル(12,14) を備えている。センサ(10)は、第１及び第２の測定チャネル(12,14) の夫々の出力(20,22) での信号の差を出力するための出力(26)を有する主減算器(24)を更に備えている。センサ(10)は、主減算器(24)の出力(26)に接続された入力と制御信号を出力するための出力とを有する制御ユニット(30)を更に備えており、制御ユニット(30)により、主減算器(24)の出力(26)での信号が零に制御され得るように第１及び第２の測定チャネル(12,14) が制御され得る。制御ユニットの出力での制御信号の大きさに基づいて、対象物が検出領域にあるか否かを決定可能である。
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【課題】 本発明は微小な領域を温度制御する方式、集積回路微細加工技術を用いたいわゆるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術を用いて迅速に精度高く蒸気密度を制御し雰囲気の蒸気密度を検出することによって物体表面の脱吸着する物質量を測定することができる。
【解決手段】 本発明の物体表面脱吸着物質検出装置は、物体表面の近傍箇所における雰囲気の蒸気密度を変化させる蒸気密度調節手段と、物体表面から離間する所定の複数箇所における雰囲気中の蒸気密度を測定する蒸気密度測定手段と、該蒸気密度測定手段によって測定したそれぞれの蒸気密度に基づいて雰囲気の各蒸気密度分布を検出し、検出した各蒸気密度分布に基づいて物体表面に脱吸着する物質の蒸気密度量を検出する蒸気密度量検出手段とを具備することに特徴がある。 （もっと読む）

本発明は、静電容量型湿度センサに関し、より詳しくは、ＲＯＩＣ基板の上部にセンサ部を形成することによって湿度センサを小さく製作できることは勿論、下部電極層と上部電極層との間に表面積の大きい高分子素材の感湿層を形成することによってセンサの信頼度を高めることができる静電容量型湿度センサおよびその製造方法に関する。
本発明の静電容量型湿度センサは、電極パッドを含むＲＯＩＣ基板；前記ＲＯＩＣ基板の上部に形成され、前記電極パッドの一部が露出されるようにパターニングした金属層；前記金属層の上部に形成され、前記電極パッドの一部が露出されるようにパターニングした絶縁層；前記絶縁層の上部に形成された下部電極層；前記下部電極層の上部に表面積を広くするためにエッチングして形成した感湿層；前記感湿層の上部に形成された上部電極層；および露出された前記電極パッドの上部に形成され、前記下部電極層と上部電極層の各々を前記電極パッドと接触させるための連結層；を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 導電性層が均一な厚みで形成されることにより、物質を優れた精度で検知することのできるセンサ基板を製造することのできるセンサ基板の製造方法、および、その製造方法によって得られるセンサ基板を提供すること。
【解決手段】 センサ基板１の製造方法が、ベース絶縁層２を用意する工程と、ベース絶縁層２の上に、少なくとも１対の電極５を形成する工程と、電極５を被覆するように、ベース絶縁層２の上に、導電性成分含有液を超音波スプレー法により噴き付けて、導電性層７を形成する工程とを備える。この方法によれば、導電性層７を均一に形成することができる。また、この方法によれば、導電性成分含有液のロスが少なく、そのため、センサ基板１の製造におけるコストを、低減することができる。また、このようなセンサ基板１の製造方法により得られるセンサ基板１によれば、物質の検知を、確実、かつ、優れた精度で実施することができる。 （もっと読む）

【課題】例えば電極とガス敏感性層との間の接触位置での縁部の引き千切れによって熱的に高度に負荷された構造部材の場合に生じる問題を解決する。
【解決手段】少なくとも１つの電極５およびガス敏感性範囲３を基板上に有し、このガス敏感性範囲３が少なくとも１つの導電性のガス敏感性層で被覆されており、電極５がガス敏感性層と接触している電子的構造素子の場合に、少なくとも１つの電極５の少なくとも一部分は、ガス敏感性範囲３の一部分を覆っている。
【効果】電極のよりいっそう大きな層厚または電極のための材料の変性、例えばよりいっそう僅かな比抵抗値により、ガス敏感性層と電極との間の界面での縁部の引き千切れを、例えば熱応力下に回避させることができる。 （もっと読む）

【課題】格別に信頼性のある方法で、化学的な標的物質の非常に僅かな量又は濃度であっても、高精度で検出又は定量化することができる電気化学的センサを提供する。
【解決手段】本発明によれば、電気化学的センサ（１）が、マトリックス（１２）内に埋め込まれたナノ粒子（１４）からなる検出領域（１０）を含み、ナノ粒子（１４）はマトリックス材料に比べて高い電気伝導率を有する。検出領域（１０）の電気伝導率(σ)が、ナノ粒子（１４）間の電子のトンネル、イオン化又はホッピングプロセスと、ナノ粒子（１４）と検出すべき標的物質との電気化学的相互作用とによって規定されている。 （もっと読む）