【課題】気体感応型の半導体装置を、補償の手間を少なくする、簡単で確実な信号形成および信号評価に関して改良する。
【解決手段】ゲート電極、および／または、このゲート電極を半導体チャネルから絶縁するゲート絶縁層、および／または、ゲート電極と半導体チャネルとの間に設けられるゲートスタック層が２つの面セクションを有し、この２つの面セクションは、複数の気体に対して異なる感度を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カーボンなどの不純物を含まないナノ素子を有するデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】上記課題を解決するために、電子デバイスは、ナノ素子中に炭素が含有されていないこと、また、前記素子がＭｏＯ_ｘであること、および前記ナノ素子は、電子線誘起蒸着法により基板上に形成されたものであることを特徴とする手段を採用した。 （もっと読む）

【課題】雨滴の吸引により、電極金属が腐食・劣化することで電極金属表面の疎水性が大きくなり電極金属が雨滴をはじくことで、２電極間に雨滴が入り込みにくくなり少量の降雨ではセンサが反応しにくくなることを防ぐことができる電極用金属化フィルムを提供する。
【解決手段】基材フィルムの少なくとも片面に金属薄膜が積層された金属化フィルムであって、前記金属薄膜表面に親水層が分散して被覆されてなり、任意に選択した１辺１０mm×１０mm□における前記金属薄膜表面に対する親水層の被覆率が０．１％〜１０％であり、かつ、前記親水層が、円相当直径が３．５６mm以下で分散して被覆されてなる電極用金属化フィルム。 （もっと読む）

【課題】ＭＡＰ法を用いても清浄度の高い雰囲気内で発塵を抑えることができる電子部品パッケージ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の電子部品パッケージは、一対の主面及び端面を有する回路基板１と、前記回路基板１の一方の主面上に実装された容量型湿度センサ４と、前記回路基板の端面以外の前記一方の主面上において前記容量型湿度センサ４を封止する封止樹脂２と、前記回路基板１の少なくとも前記端面の封止樹脂２を覆う端面保護層３と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低湿度及び高湿度の範囲においても正確な湿度を検出すること。
【解決手段】測定された湿度が予め定められた湿度範囲である場合、制御部１１は、通常の周波数より高い周波数で信号ＣＬＫ１及びＣＬＫ２を出力させるための指示信号を矩形波生成部１２に出力する。この指示信号を受けて、矩形波生成部１２は通常の周波数より高い周波数で信号ＣＬＫ１及びＣＬＫ２を出力する。湿度検出部１３は電圧Ｖｈｕｍを取り込み、異なるタイミングで複数の検出電圧Ｖを検出する。そして、それぞれの検出電圧Ｖに対応する湿度の平均値を求め、平均値を湿度データとして制御部１１へ出力する。 （もっと読む）

多重コイル開心又は空心インダクタである共振型インピーダンスセンサであって、少なくとも２つのコイルを含み、１つのコイルは、周波数掃引を行う少なくとも１つの別の電流源に接続可能な励振コイルであり、別のコイルは、少なくとも１つのデータ処理システムに接続可能な検知コイルであり、前記電流源に電気接続したとき、前記励振コイルは、エネルギーを前記検知コイルに伝播し、これによってプロービング電磁場が発生し、前記検知コイルのＬＣＲパラメータが、所定の周波数における被試験物体のインピーダンスを測定するための共振条件を提供することができる共振型インピーダンスセンサ。 （もっと読む）

本発明は、ガス状態で存在する、または溶媒に溶解した対象化合物を検出および／または定量するための装置および方法に関する。本発明による装置は、２つの電極を含む電気デバイスと、電気デバイスの２つの電極間の電荷の変動を測定するためのデバイスとを含む。電気デバイスは、受容体分子の層がその上にグラフトされた、絶縁性誘電材料で作製された層を含み、最終的に、半導体材料の層が該受容体分子層上に堆積される。本発明は、特にガスまたは溶液として存在する対象化合物の検出および／または定量の分野において使用することができる。 （もっと読む）

【課題】 アルコール検出装置におけるアルコール濃度の検出精度を向上させることである。
【解決手段】 複合ガスセンサよりなるアルコール検出装置１０１において、装置本体部７の上流側にファン６を配置し、それよりも下流側に温度センサ９、湿度センサ１１、アルコール検出センサ１２及び酸素センサ１３をこの順で配置し、アルコール検出センサ１２と酸素センサ１３の発熱による影響が温度センサ９と湿度センサ１１に及ばないようにする。 （もっと読む）

【課題】酸素を含む流体の反応の進行状況等を正確に且つ速やかに評価することができる反応解析方法及び装置を提供する。
【解決手段】反応解析装置１は、酸素を含む反応ガスを改質する触媒層１１を有する含む反応管１０と、酸素分圧を測定可能な参照電極と複数の測定電極とを備える計測部２０１を有し、触媒層１１内に配置される酸素センサ２０と、酸素センサ２０の出力を取得する計測装置３０とを備える。酸素センサ２０の複数個の前記測定電極は、一定間隔を置いて一の方向に配列され、この配列方向が反応ガスの流通方向に沿うように、酸素センサ２０が触媒層２０内に配置される。 （もっと読む）

【課題】酸素を含有する空気中で、低濃度の水素を検出可能な水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】板状の圧電体１１、圧電体１１の表面の一部に配置されたパラジウム―プラチナ合金からなる薄膜状のガス感応部３２、及びガス感応部３２に接するガスの水素濃度に依存するガス感応部３２の物性の変化を検出する検出部として機能する櫛歯状の電極２２を備える水素ガスセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】低コストであり、試料の特性などを検査する検査モジュールとして汎用的に利用することができる。
【解決手段】検査装置１は、直列に接続された２つのＣＲ並列回路と、前記２つのＣＲ並列回路に矩形波電圧を印加する電源回路部と、前記２つのＣＲ並列回路の接続部の電圧を検出する電圧検出部５と、を備えており、前記２つのＣＲ並列回路のうち少なくとも一方の前記ＣＲ並列回路は、試料を挟んで対向する電極対１１、１２であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】排気等の被測定ガスから効率良く煤等の微粒子を捕集して、微粒子を検出する際の感度を高めることができる微粒子センサを提供すること。
【解決手段】煤検出センサ１は、煤の付着状態によって変化する抵抗に基づいて煤の検出を行う検出部２７と、被測定ガスの通過を阻止する遮蔽部を有するカバー３３とを備え、カバー３３には、被測定ガスの通過が可能なガス抜け穴３５を有する。また、ガス抜け穴３５が検出部２７の仮想平面上に投影された面積をＡ、遮蔽部が仮想平面上に投影された面積をＢ、ガス抜け穴３５の開口端から仮想平面に到る最短距離をＴとした場合に、下記式（１）、（２）を満たしている。（Ａ／Ｂ）×１００≦４０・・（１）、Ａ^1/2／Ｔ≧０．５・・（２） （もっと読む）

【課題】ガスの吸着特性が異なるガス吸着膜を集積化させ、小型で、かつ、低コストのガス計測基板ユニットを得る。
【解決手段】一枚の基板の表面に間隔をあけて形成された複数のガス吸着膜と、それぞれの前記ガス吸着膜における電気的出力値を検出するための電気配線とを含むガス計測基板ユニットにおいて、相隣る前記ガス吸着膜の間に断熱部を設ける。 （もっと読む）

【課題】 直流駆動が可能で、湿度変化に対する抵抗変化が線形的な湿度センサを提供すること。
【解決手段】 絶縁性基板２と、該絶縁性基板２上に成膜された一対の電極膜３と、一対の電極膜３間に成膜された感湿膜４と、を備え、該感湿膜４の電気抵抗を測定して湿度を検出する湿度センサであって、感湿膜４が、繊維表面を酸化処理して親水化した微細炭素繊維で形成されている。また、感湿膜４が、微細炭素繊維の分散液を電極膜３上に塗布して乾燥させた膜である。 （もっと読む）

【課題】空気調和機に適した微生物センサユニット、および、そのような微生物センサユニットを搭載した空気調和機を提供すること。
【解決手段】空気中に含まれる微生物の量を検出するための微生物センサユニットは、少なくとも一つの微生物センサ１６０を備え、各微生物センサ１６０は、基板２０２上に形成された複数のナノワイヤ部２１０を含む。各ナノワイヤ部２１０は、ＺｎＯナノワイヤと、各ナノワイヤの表面に配置された、微生物と反応する物質層とを含む。微生物センサユニットは、微生物が物質層に付着することで起こる電気的特性の変化を検出するための検出部をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】 燃料電池型アルコールセンサー用の吸引ポンプのポンプエラーを判定することができる呼気中アルコール測定方法を提供する。
【解決手段】 呼気中アルコール測定方法は、燃料電池型アルコールセンサー用の吸引ポンプの吸引時に発生するポンプ音を吸引ポンプの駆動後の所定の時間ｔ１〜ｔ２の範囲にマイクで拾い、マイクで拾ったポンプ音が規定以上の音量であるときに吸引ポンプが正常に動作したと判定し、マイクで拾ったポンプ音が規定未満の音量であるときに吸引ポンプのポンプエラーと判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム部に生じる歪(熱による歪・割れによって生じた歪)を検出し、故障を自己診断するようにして、検出特性の変化により発生する事故の未然防止に寄与する薄膜ガスセンサを提供する。更にこのような薄膜ガスセンサを製造する薄膜ガスセンサの製造方法も併せて提供する。
【解決手段】ダイヤフラム部の上に歪感知層８１を４個配置し、さらにホイートストンブリッジ回路を形成する。これにより、ピエゾ抵抗素子として機能する歪感知層８１によりダイヤフラム部の歪を抵抗値の変化として検出することが可能になる。また、歪感知層８１はガス感知層５３と同じ材料とし、歪感知層８１とガス感知層５３とを同時に形成するため工数低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】気体熱伝導度式ガスセンサにおいて、製造が容易なガスセンサを提供する。
【解決手段】雰囲気中のガス濃度を検知する検知素子Ｒｓ、および検知素子の温度補償を行う補償素子Ｒｒがブリッジ回路に組み込まれ、検知素子の抵抗値の変化によってガス濃度を検知する気体熱伝導度式ガスセンサ１において、検知素子Ｒｓを白金コイルに高熱伝導材料でコーティングし、放熱速度によって抵抗値が変化する第一の発熱体で構成され、補償素子Ｒｒを白金コイルに低熱伝導材料でコーティングして形成して、第一の発熱体と熱伝導率の異なる材質で形成された第二の発熱体で構成されている。それらをブリッジ回路１０に組み込んで気体熱伝導度式ガスセンサ１を構成する。 （もっと読む）

【課題】基材の一方の面を流れる気体を基材の別の面へ廻すことのできる湿度検出装置を提供する。
【解決手段】機器本体１に設けた基板と、基板本体６の一側面７に設けた湿度センサ８と、基板本体６の一側面７とは別側の他側面10に設けた温度センサ９とを備えた湿度検出装置５であって、基板本体６の他側面10に設けた温度センサ９の周囲に、貫通部11を設けて基板本体６に通気性を備えさせ、この貫通部11を介して基板本体６の一側面７側の周辺空気Ｆと他側面10側の周辺空気Ｆの流通を可能にして、通気部３と対向していない他側面10に実装された温度センサ９を効率良く冷却することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】検出システムを大型化することなく、優れた感度でにおいを検知し、識別することができるにおいセンサ、およびにおい検知方法の提供を目的とする。
【解決手段】基板１１と、基板１１上に配置された嗅細胞１２と、嗅細胞１２の嗅覚受容体ににおい分子が結合したときの該嗅細胞１２の応答を光学的に計測する計測手段と、を有するにおいセンサ１。また、該においセンサ１を用いたにおい検知方法。 （もっと読む）