【課題】耐汚損性と湿度応答性などの計測性能を両立するセンサの構造を提供する。また、様々な物理量の検出装置の一体化が容易な多機能型センサを提供する。
【解決手段】外部との入出力を行うコネクタ５と、前記コネクタの端子部材６とを備えたハウジング部材７と、前記ハウジング部材の内部に搭載された湿度検出素子８を備えた電子回路基板９と、を有し、前記コネクタ端子部材と前記電子回路基板が電気的に接続されており、前記ハウジング部材に設けられたシール部材１１を介して主空気が流れる吸気管１に挿入して取り付けられるセンサの構造において、前記ハウジング部材は、前記ハウジング部材の内部と前記吸気管内部とを連通する複数の連通通路１３を備え、前記複数の連通通路は、前記吸気管を流れる前記主空気流れの流れ方向に対してオフセットして配置され、かつ、前記吸気管の内壁面付近に開口部を有する。 （もっと読む）

【課題】超薄膜プラチナ粒界ナノ空間に金属化合物が形成された薄膜をガスセンサの感応膜に適用し、プラチナとナノ化合物の構成金属や膜厚や占有比率や形成条件を変える事で、水素およびそれ以外の様々なガスのセンシングに対応でき、長期信頼性の高い超薄膜ガスセンサを実現するデバイスを提供する。
【解決手段】基板上に設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極とを具備し、ゲート電極は、酸素を含有する酸素ドープアモルファス金属と前記金属の酸化物結晶とが混合した金属酸化物混合膜と、前記金属酸化物混合膜上に設けられたプラチナ膜とを有し、プラチナ膜は、複数のプラチナ結晶粒と該プラチナ結晶粒間に存在する粒界領域から構成され、粒界領域は、金属酸化物混合物により埋められ、プラチナ結晶粒の周囲が金属酸化物混合物により囲まれた構造を有するガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】水素濃度測定装置において、測定対象ガスの組成である湿度の変化による測定誤差を補正して高精度な水素濃度測定を実現する。
【解決手段】原子力発電所の水素と酸素との再結合器の出口から取得したサンプリングガス１を流すサンプリングライン２に水素濃度測定器１２の水素濃度検出器７を設置し、その設置位置の上流側に酸素濃度測定器１１の酸素濃度検出器５と圧力測定器１０の圧力検出器４と湿度測定器９の湿度検出器３とを設置し、各測定器による測定結果が補正演算部１３に入力されるようにし、その補正演算部１３で、酸素濃度と圧力と湿度に対する水素濃度の補正値との相関から各測定結果に対応した水素濃度測定値の補正値を測定した水素濃度測定結果に加減して水素濃度測定の精度を向上する。 （もっと読む）

【課題】電気インピーダンス断層撮影を行うためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】多材料物体内の電気的性質の分布を再構築するための電極アレイ、システム、および方法。一実施形態は、１つまたは複数の螺旋アレイを設けるように３次元螺旋経路に沿って配置された電極と、構造体の内部を表す導電率またはアドミティビティ分布を計算するために信号を測定する回路とを含む。多材料領域を表す画像データを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ面内における金属配線の抵抗分布のばらつきを抑え、得られるデバイスの特性や精度を面内で均一化させることが可能なマスクを提供する。
【解決手段】本発明のマスクは、金属配線を有するデバイス１０を基板２の一面上に多数形成する際に、該基板の一面に対向配置されて用いられるマスクであって、個々の前記デバイスが配される前記基板上の位置に応じて、それぞれのデバイスが有する前記金属配線に対応する部位の形状を変えたこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】作製工程が簡便であるガスセンサを提供することを課題の一とする。また、作製コストが抑制されたガスセンサを提供することを課題の一とする。
【解決手段】ガスセンサの検知素子として機能する、酸化物半導体層がガスと接するトランジスタと、検出回路を構成する、酸化物半導体層がガスバリア性を有する膜に接するトランジスタとを、同一表面上に単一工程で作製し、これらのトランジスタを用いたガスセンサを作製すればよい。 （もっと読む）

【課題】 ガスを含んで流入した気体の量が少ない場合であっても、その気体中のガスの有無又は量を高精度で検知できるガス検知装置を提供することである。
【解決手段】 アルコール検知装置１０１の吸気孔１２に吹き込まれた呼気（アルコールを含む気体）を、呼気貯留部材６に設けられた第１及び第２の貯留室２２，２３に一時的に貯留する。呼気貯留部材６の下流側には、各貯留室２２，２３の排出口２２ｂ，２３ｂを開放する弁体７が設けられている。弁体７を回転させて、各貯留室２２，２３の排出口２２ｂ，２３ｂを順次開放し、第１貯留室２２に貯留されている呼気Ａを排出した後、連続して第２貯留室２３に貯留されている呼気Ａを排出する。 （もっと読む）

【課題】センサの反応性が向上した湿度検出センサパッケージ、及びその湿度検出センサパッケージを効率良く得ることができる湿度検出センサパッケージの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の湿度検出センサパッケージは、パッケージ基板１の一方の主面上に実装され、感湿領域を有する湿度検出センサ６と、前記パッケージ基板１の一方の主面上に実装された制御ＩＣ７と、前記湿度検出センサ６の外部接続部を少なくとも封止する封止樹脂２と、前記感湿領域が外界に露出するように、前記封止樹脂２の封止領域と前記感湿領域とを仕切る仕切り部材３と、を具備し、前記パッケージ基板１から前記仕切り部材３の上面までの厚さ方向における第１距離が前記パッケージ基板１から前記封止樹脂２の上面までの厚さ方向における第２距離よりも短いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサの検出精度が高められたときを精確に被験者に通知するガス分析装置を提供する。
【解決手段】本発明のガス分析装置は、検体ガスに含まれるガス成分を検出するためのガスセンサと、該ガスセンサの抵抗比を算出するための演算処理部と、該演算処理部で算出した抵抗比が１−２×１０^-3以上１＋２×１０^-3以下になり、かつその抵抗比が１０秒以上継続すると、検体ガスを導入すべきことを被験者に通知する通知手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気インピーダンス断層写真法（ＥＩＴ）方式の画像再構成を商用の相対的に大きいアレイに適用する。
【解決手段】様々な導電率又は誘電率を有する領域を含む構造（４６）の内部の画像を形成する方法である。一実施形態では、各々が回転電場を発生する一連の電気信号集合（Ｖ_i）が一連の電極に印加される。各電極（４４）から得られる測定電気信号集合を用いて、これらの電極（４４）が周囲に配置されている領域の構造の内部を表わす導電率又は誘電率の分布を算出する。分布を算出する工程は、費用関数、例えばこの分布に基づくエネルギ関数、及び測定電気信号集合を導電率又は誘電率に関する電圧値の変化の関数として表現する順モデルを定義することと、エネルギ関数と順モデルに基づく関数との間の差の偏導関数がゼロに等しいことを要求することとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】高精度な測定ができるガスセンサを提案する。
【解決手段】ガスセンサ１００は、外界雰囲気の検知量を検知する検知用感温素子１０と、温度補償する参照用感温素子２０と、検知用感温素子１０及び参照用感温素子２０を作動温度に加熱するヒータ３０とを有する検出部５０と、検出部５０が形成される基板６０とを備える。検知用感温素子１０及び参照用感温素子２０は、ヒータ３０を介して逆側の位置に形成されており、検知用感温素子１０は、検出部５０が外界雰囲気に面する側に形成されており、参照用感温素子２０は、検出部５０が基板６０に面する側に形成されている。 （もっと読む）

【課題】水滴を高精度に検出することができる水滴検出装置を提供する。
【解決手段】水滴検出装置は、フロントガラスに設けられた第１検出電極２１及び第２検出電極２２からなる検出部２４と、第１及び第２検出電極２１，２２間の静電容量の変化に応じた静電容量検出信号Ｓ１を出力する静電容量検出回路４と、静電容量検出信号Ｓ１に基づいてフロントガラスに付着した水滴を検出する雨量判定回路とを備えている。また、水滴検出装置は、フロントガラスへの水滴の付着による静電容量の変化を検出しない一方で非検出電極２３にて検出した外来ノイズを含む非検出信号Ｓ３を出力する非検出部２５を備えている。前記検出部２４は、フロントガラスへの水滴の付着による第１及び第２検出電極２１，２２間の静電容量の変化に応じた検出信号Ｓ２を出力する。静電容量検出回路４は、検出信号Ｓ２と非検出信号Ｓ３との差分をとって静電容量検出信号Ｓ１を生成する。 （もっと読む）

【課題】感湿性および加工性に優れ、容易かつ安価に製造可能な湿度センサ用感湿膜、および湿度センサの提供。
【解決手段】下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有する導電性高分子を含む塗膜からなる、湿度センサ用感湿膜。


式（１）中、Ｒ^１〜Ｒ^４は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜２４の直鎖または分岐のアルキル基、炭素数１〜２４の直鎖または分岐のアルコキシ基、酸性基、水酸基、ニトロ基、ハロゲン原子であり、Ｒ^１〜Ｒ^４のうちの少なくとも一つは酸性基またはその塩である。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低いと共に、センサの特性のばらつきを抑制しながら、センサの感度を向上させることが可能なセンサ等を提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサ１は、半導体基板３と、半導体基板３上に設けられた半導体領域５と、半導体領域５の上面に設けられたソース電極７及びドレイン電極９と、半導体基板３の裏面３ｂ上に設けられたバックゲート電極１１とを備え、半導体基板３と半導体領域５とはｐｎ接合Ｊを構成し、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅには、複数の孔部１５が形成されており、複数の孔部１５は、それぞれ、半導体領域５の上面５ｕから半導体基板３に向かって延びると共に、半導体基板３には至っておらず、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅ及び複数の孔部１５の側面１５ｓは、オープンゲート５ｇを構成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも単純な構成であって、冷媒通路の形成部品を腐食させることなく、熱交換器の表面に存在する結露水を検出できる結露センサを提供する。
【解決手段】互いに非接触状態の自然電位が異なる第１、第２金属部材を有し、第１金属部材と第２金属部材との間に結露水が存在する場合に、第１金属部材と第２金属部材とを電極とした局部電池が形成され、局部電池の起電力に基づいて結露水を検出する構成とする。そして、第１金属部材として蒸発器２０のサイドプレート２６を利用し、サイドプレート２６の表面上に第２金属部材としての異種金属部材３２を配置し、異種金属部材３２とサイドプレート２６との間隔ｄ１を、異種金属部材３２とチューブ２１との最短距離Ｄ１よりも小さくする。これにより、異種金属部材３２とチューブ２１との間での局部電池の形成を防止でき、チューブ２１の腐食を防止できる。 （もっと読む）

【課題】パラジウム等のレアメタルを使用せずに、安定的に供給可能な安価な材料を用いて、高感度で応答が速い水素ガスセンサーに供する素子を提供することを目的とする。さらに、本発明は、高感度のセンサー素子を提供することで、小型化された水素ガスセンサーも提供する。
【解決手段】所定距離離間して略平行に配置された板状の第１集電極１０および第２集電極３０の間に、複数本のカーボンナノチューブ２２が配設され、これら複数本のカーボンナノチューブ２２は、隣り合うカーボンナノチューブ２２間を水素ガス４０が流通可能に相互に離間し、第１集電極面１０ａおよび第２集電極面１０ｂそれぞれに対して略垂直に立設し、かつ、該第１集電極１０および該第２集電極３０と電気的に接続されていることを特徴とする水素ガスセンサー用素子。 （もっと読む）

【課題】従来よりも単純な構成であって、冷媒通路の形成部品の腐食を防止しつつ、熱交換器の表面に存在する結露水を検出できる結露センサを提供する。
【解決手段】蒸発器２０の表面に存在する結露水を検出する結露センサ３０であって、蒸発器２０のチューブ２１と同じ金属で構成された第１金属部材３３と、第１金属部材３３を構成する金属よりも自然電位が低い金属で構成され、第１金属部材３３と非接触状態で配置された第２金属部材３５とを備え、第１金属部材３３と第２金属部材３５との間に結露水が存在する場合に、第１金属部材３３と第２金属部材３５とを電極とした局部電池が形成され、局部電池の起電力に基づいて結露水を検出する構成とする。 （もっと読む）

【課題】電池の終止電圧を低く設定すること。
【解決手段】電池３からの電力によりジュール熱で加熱してガスを検出するセンサ１を使用し、前記電池から制御手段に電力を供給する携帯用ガス測定装置において、電源投入後、センサ１が所定温度に到達した時点で制御手段４に電力を供給する （もっと読む）

【課題】低電力応用のために、室温または環境温度で動作する敏感で選択性のあるセンサが必要とされる。
【解決手段】気相または液相中の、化学的またはバイオ化学的な検体をセンシングするための、低電力センシングに関し、所定の検体をセンシングするために、デバイス中でのセンシング層４０としての、粒界の無い薄い連続した膜の使用に関する。使用において、センシング層は検体に露出した表面を有する。センシング層の電気的なインピーダンスは、センシング層の露出表面上の、所定の検体の吸収に応じて変化する。センシング層は、好適には約１ｎｍと約３０ｎｍの間の範囲、例えば約１ｎｍと約３０ｎｍの間の膜厚を有する。好適には、センシング層はアモルファス層である。 （もっと読む）

【課題】検出感度を向上させること。
【解決手段】基板１０と、前記基板１０上に設けられ多孔質構造を備え、前記多孔質構造内にセンシング対象物質を吸着する物質またはセンシング対象物質と反応する物質が化学修飾または含侵している酸化シリコン膜１６と、前記酸化シリコン膜１６の静電容量を測定する電極１４および１８と、を具備するセンサ装置。 （もっと読む）