【課題】本発明は、校正ガスを蓄えるタンク設備を小型化することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ガスが流れる計測対象装置と、該ガス中の水素濃度を計測する水素濃度計測器と、前記計測対象装置と前記水素濃度計測器とを接続する計測系統とを備えた水素濃度計測システムであって、前記水素濃度計測器の上流側から校正ガスを供給する校正ガス系統を備え、前記水素濃度計測器に供給された校正ガスは、前記水素濃度計測器の下流側から回収され、前記校正ガス系統へ戻されることを特徴とする。
【効果】本発明によれば、校正ガスを蓄えるタンク設備を小型化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高加湿かつ高温の環境下においても、精度よくガス物理量を検出可能なガス物理量検出装置を提供する。
【解決手段】ガス流路２に設けた開口部３を介してガス流路２を流れるガスの一部が導入される検出素子室７と、この検出素子室７に導入されたガスの物理量を検出する検出素子１ａと、ガス流路２と検出素子室７との間に設けたフィルタ部材６と、ガス流路２から検出素子室７方向に延びる板材であって、フィルタ部材６の少なくとも開口部３側の端部から検出素子室７方向の所定範囲を複数の通路に仕切るフィルタ分割体１０と、を備えるガス物理量検出装置１であって、フィルタ分割体１０のガス流路２側端部付近がガス流路２内に突出している。 （もっと読む）

【課題】物質を優れた精度で、かつ、確実に検知することのできる、物質検知センサを提供する。
【解決手段】絶縁層２を、電極４および導電性層５が内側に向き、かつ、端子部６の膨出部１０が外側に向くように、略円筒状に丸めるとともに、絶縁層２の重複領域２０を厚み方向に重ねる。このガス検知センサ１では、絶縁層２に突出部を形成しないので、重複領域２０におけるシール性を高めることができるとともに、絶縁層２の内側の電極４と電気的に接続される端子部６を、絶縁層２の外側に露出させることができる。そして、絶縁層２の内部に特定のガスを流し、特定のガスの漏出を防止しながら、端子部６から、１対の電極４間における導電性層５の電気抵抗値の変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】センサ部と基準部を有するセンサチップ基板とＩＣ基板とを同一の支持基板に接着固定した容量型湿度センサ及びその製造方法において、ワイヤボンディング部及びＩＣ基板の衝撃による損傷や腐食を防止でき、さらに、基準部の封止性を向上させる。
【解決手段】センサチップ基板上にセンサ部の外周を覆う保護部材を設け、この保護部材で囲まれた領域を除いて支持基板を封止樹脂で覆い、保護部材で囲まれた領域でセンサ部を雰囲気に曝露させるとともに、保護部材で囲まれた領域の外側で基準部、パッド部、導通ワイヤー及びＩＣ基板を封止した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で微小な静電容量の変化による湿度あっても高い精度で計測することができる湿度計測装置を提供する。
【解決手段】静電容量が変化する感湿素子を有する感湿部と、信号処理部で検出された前記感湿素子の静電容量の変化分を、対応する相対湿度を表す電気信号に変換して出力する出力信号変換部とを備えた湿度計測装置において、感湿素子１４の静電容量に付加されている第１の導電ケーブルの浮遊容量と、基準静電容量に付加されている第２の導電ケーブルの浮遊容量とを等しくする。 （もっと読む）

【課題】湿度センサが元々備えている感湿素子、感温素子及び加熱手段を利用して、感湿素子に加熱クリーニングが必要な程度の劣化が生じているか自己診断する。
【解決手段】湿度計測装置は、相対湿度及び温度を計測する湿度エレメント及び温度エレメントと、湿度エレメントの加熱クリーニングを行うヒータとを備える湿度センサを有する。湿度計測装置の第１の露点算出部２１が、ヒータ加熱前の計測環境雰囲気中の相対湿度及び温度から第１の露点温度を求める。第２の露点算出部２２が、ヒータ加熱中の相対湿度及び温度から第２の露点温度を求める。加熱前と加熱中で露点温度に差が生じる場合は湿度エレメントが計測環境雰囲気によって劣化しているからであり、劣化判定部２３が、第１の露点温度と第２の露点温度の差に基づいて感湿エレメントにクリーニングが必要な程度の劣化が生じているかを判定する。 （もっと読む）

【課題】雨水の性質等によらず降雨を検出し、降雨の検出精度を向上できる雨センサ装置を提供する。
【解決手段】電極設置面２２が形成され、該電極設置面２２を濡らした雨水の電気的作用を利用して降雨を検出する第１雨検出手段１２と、第１雨検出手段１２の直下近傍位置に設置され少なくとも第１雨検出手段１２の電極２０部分を流下した雨水を収束する収束部３４を有し、収束した雨水の重量を利用して降雨を検出する第２雨検出手段１４と、を備えたことを特徴とする雨センサ装置１０から構成される。 （もっと読む）

【課題】ガス濃度を推定するための値を得ることができるだけでなく、その推定精度も把握することができる。
【解決手段】アルコールセンサ２４の検出値を検出値格納部４０に格納し、最終到達値確率分布推定部４２で、アルコールセンサの応答特性を表し、かつ最終到達値を示すパラメータａと、パラメータｂ及びｃとを含む応答特性式を用い、パラメータａ、ｂ、及びｃで表される状態ｘを異ならせたときの応答特性式の値が検出値になる確率で表される確率分布Ｐ（ｘ_ｔ｜ｚ_ｔ）を算出し、これを最終到達値の確率分布として推定し、ガス濃度推定部４６で、最終到達値の確率分布に基づいて、確率が最大のときの最終到達値に係数ｋを乗算してガス濃度を推定する。また、ガス有無判定部４８で、最終到達値の確率分布において、基準値Ｔｈ_ａを超える面積率が判定閾値Ｐ_ｔｈａ以上の場合に、呼気に基準値以上のエタノールガスが含まれていると判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信頼性の向上を図ることができるアルコール検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、気体のアルコール濃度を検出するアルコールセンサ４を備えたアルコール検出装置１であって、アルコールセンサ４の加熱によって生成されたＣＯ２を検出するＣＯ２センサ６と、ＣＯ２センサ６によるＣＯ２の検出結果に基づいて、アルコールセンサ４の劣化を検出するＥＣＵ２と、を備える。このアルコール検出装置１によれば、アルコールセンサ４の加熱によって生成されたＣＯ２の検出結果に基づき、例えばアルコールセンサ４の劣化原因である埃等の付着物の量を推定することで、アルコールセンサ４の劣化を検出することが可能となる。従って、このアルコール検出装置１によれば、劣化したアルコールセンサ４によるアルコール濃度の誤検出を回避することが可能となるので、装置の信頼性の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】一対の導体を利用して、少なくとも２カ所の漏液の発生を検出することが可能な漏液検出装置を提供する。
【解決手段】漏液検出装置は、１点目の漏液発生時に電圧センサ１４及び電圧センサ１６から取得した電圧値Ｖａ，Ｖｂに基づいて抵抗線３０の接地側の端部である接点Ｐａと１点目の漏液点との間の距離αを算出し、距離αの算出後、さらに電圧センサ１４及び電圧センサ１６からそれぞれ電圧値Ｖａ’，Ｖｂ’を取得し、抵抗線３０の接地側の端部である接点Ｐａと２点目の漏液点との間の距離βを算出し、距離βを算出後、１点目の距離αと２点目の距離βとの差が閾値以上であれば、２点目の漏液が発生したと判断して、距離βに基づいて２点目の漏液位置を通知する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、煙草煙によるアルコールセンサの劣化を抑制することができるアルコール検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、被験者によって吹込口に吹き込まれた呼気のアルコール濃度を検出するアルコール検出装置１であって、吹込口に煙草煙が吹き付けられているか否かを判定するＥＣＵ２と、ＥＣＵ２により煙草煙が吹き付けられていると判定された場合に、煙草煙を吹き付け側へ戻すように気流を生じさせるファン９と、を備える。このアルコール検出装置１によれば、吹込口に煙草煙が吹き付けられていると判定された場合、ファン９が生じさせる気流によって煙草煙が吹き付け側へ戻されるので、煙草煙が吹込口内に入り込んだとしてもアルコールセンサ７と接触する前に排出することが可能となり、これによって煙草煙によるアルコールセンサ７の劣化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、半導体基板に形成された空洞部に設けられることによって半導体基板から熱的に絶縁された薄肉部にヒータとなる抵抗体が形成された計測素子において、スクリーニングを容易に行うことができ、ダイシング工程において破壊しにくい構造を提供することにある。
【解決手段】半導体基板２と、半導体基板２上に形成された電気絶縁膜３と、電気絶縁膜３上に形成されたヒータを構成する抵抗体４と、抵抗体４の本体部４ａが形成された領域に対応する半導体基板２部分を除去して形成した空洞２１とを備え、抵抗体本体部４ａが形成された領域を空洞２１により薄肉部１１とし、薄肉部１１の一部に薄肉部１１の厚さ方向に貫通した開口７を形成した計測素子において、開口７の領域を覆う膜９を形成した。 （もっと読む）

【課題】 バリアフィルム以外から感湿膜に侵入する水分による無用な誤差要因を排除して測定精度を高め、極微量な水分であっても高い精度で測定可能にするとともに、コストアップ及びサイズアップを回避する。
【解決手段】 感湿膜３及びこの感湿膜３の両面３ｕ，３ｄにそれぞれ面接触する一対の電極層４ｕ，４ｄを有するとともに、感湿膜３の一方の面３ｄを基板５の上面５ｕに付設した水分センサ部２と、感湿膜３の他方の面３ｕに直接又は樹脂層６ｒを介して他方の面Ｆｓを重ねたバリアフィルムＦの一方の面Ｆｆの全部又は一部を除き、当該バリアフィルムＦから基板５の上面５ｕの間における少なくとも感湿膜３の側方を覆う樹脂被覆部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】内燃機関等の吸入空気の湿度計測が可能な、高応答で高精度の湿度センサを提供すること。
【解決手段】湿度センサ１は、基板２の空洞部５内に複数本の支持腕６ａ〜６ｄ、６ｅ〜６ｈを介して第一および第二の薄膜支持体４ａ、４ｂを支持し、その第一および第二の薄膜支持体４ａ、４ｂに第一および第二の発熱体３ａ、３ｂを形成する。そして、第一および第二の発熱体３ａ、３ｂに対して加熱電力を供給して第一の発熱体３ａを第一の温度Ｔ１に制御しかつ第二の発熱体３ｂを第一の温度Ｔ１よりも高温である第二の温度Ｔ２に制御し、第一および第二の発熱体３ａ、３ｂの加熱電力に基づいて周囲気体の湿度を演算する （もっと読む）

【課題】 より高い検出感度でより迅速に検出ことができ、また繰り返し使用も可能なガスセンサ、及びガス検出装置を提供する。
【解決手段】 有機ポリマの原料を適宜の溶媒に溶解させた原料溶液と重合剤を溶解させた重合剤溶液とを０℃程度から２０℃程度のまでの適宜の温度になし、両溶液を撹拌・混合させて混合液を得、この混合液を基板３１の両電極３２，３２間に供給した後、基板３１を適宜の温度下で静置して、有機ポリマの生成及び複数の有機ポリマの集合によるファイバ３５，３５，…の形成を実行させる。ファイバ３５，３５，…は、官能基３４，３４，…が結合されている場合は当該官能基３４，３４，…を介して金属粒子３３，３３，…と化学的に結合して、ネットワーク３６が形成される。 （もっと読む）

【課題】使用する材料に左右されることなく、変形、寸法変化等を抑えることができ、寸法精度に優れた品質の高いセラミックシートを得ることができるセラミックシートの製造方法及びセラミック積層体の製造方法を提供すること
【解決手段】セラミックシートの製造方法は、シート原料を用いてセラミックシートを成形して乾燥させた後、ペースト材を印刷して乾燥させ、シート原料の分散剤添加量とセラミックシートの印刷乾燥収縮率との関係（グラフａ、ｂ）を求める印刷乾燥収縮率測定工程と、その関係（グラフａ、ｂ）から印刷乾燥収縮率が最小となる極小点ｐ１を求め、極小点ｐ１における分散剤添加量を含む一定の分散剤添加量範囲を選定する分散剤添加量選定工程と、分散剤の添加量を分散剤添加量範囲内としたシート原料を用いてセラミックシートを成形して乾燥させるシート成形工程と、セラミックシートにペースト材を印刷して乾燥させる印刷工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】感応部の温度が変化しても水素濃度を正確に測定することができ、また酸素がない雰囲気下での検知が可能であると共に、水素検知の繰り返しによる劣化もなく、かつＨ_２Ｏ、ＣＯ、ＣＨ_４、ＣＯ_２などの被毒性ガスに対する耐性に優れる水素検知素子を提供する。
【解決手段】金属合金からなる感応部２と、感応部２の金属合金が水素を溶解することにより生じる電気抵抗変化を検出する電気抵抗検出部４と、感応部２の温度を検出する温度検出部５と、電気抵抗検出部４で検出された電気抵抗変化の検出信号を温度検出部５で検出された温度変化の検出信号で補正する補正部６とを備える。そして上記感応部２は、一定の水素圧力において温度上昇に伴い水素溶解量が減少し、且つ一定温度において水素溶解量と水素圧力の平方根が比例関係となる金属合金からなる。 （もっと読む）

【課題】導入口への呼気導入の確実性を向上させる。
【解決手段】視線ターゲット２６を目視した状態で呼気を吹き出す。視線ターゲット２６と導入口２０Ａとの位置は、視線ターゲット２６を目視しながら呼気を吹きかけたときに、呼気が導入口２０Ａから導入されるように定められているため、吹き出された呼気は導入口２０Ａから呼気導入管２０へ導入される。流速センサ３０が、導入された呼気の流速を検出し、呼気の流速が予め定めた値（例えば、１ｍ／ｓ）を超えると、流速センサ３０は、検出信号を出力し、スピーカ２８から呼気が正常に導入されたことを報知するメッセージやブザー音が出力される。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で精度よく感度補正を行う。
【解決手段】検出対象の気体中のエタノール濃度及び湿度に感度を有するアルコールセンサ２４Ａと、検出対象の気体の湿度に感度を有する湿度センサ２４Ｂとを備えたガス検出装置で、アルコールセンサ２４Ａの検出値を対数変換した値を、エタノール濃度を対数変換した値と感度特性に応じた定量係数ａとの積と、湿度を対数変換した値と感度特性に応じた定量係数ｂとの積との和、及び感度特性の変化に応じてａ及びｂを補正する補正係数αを用いて表す。補正係数αは、湿度センサ２４Ｂの検出値の変化に対するアルコールセンサ２４Ａの検出値の変化の割合から算出され、補正係数αが、予め定めた値より小さい場合には、補正係数αを新たに算出された値に更新する。 （もっと読む）

【課題】燃料内の各成分の比率を推定する。
【解決手段】燃料センサ１は、ｉ−パラフィンを吸着もしくは脱離可能な吸着脱離反応部７と、吸着脱離反応部７の下流側に位置して燃料の脱水素反応を行う脱水素反応部８と、を有し、吸着脱離反応部７上流側の燃料の誘電率と、吸着脱離反応部７における燃料温度をｉ−パラフィンの吸着が促進される温度条件と吸着が促進されにくい温度条件とに制御した際の吸着脱離反応部７出口側のそれぞれの誘電率と、脱水素反応部８における燃料温度を脱水素反応が異なる複数の温度条件に制御した際の脱水素反応部８出口側のそれぞれの誘電率と、を用いて燃料性状を推定する。これによって、吸着脱離反応部７及び脱水素反応部８の反応が変化し、誘電率が変化するので、燃料内の各成分の比率を推定することができる。 （もっと読む）