【課題】落下試験により不合格となったガスセンサからケースを容易に回収して再利用するための技術を提案する。
【解決手段】ガス検出素子20をケース10に収容する工程と、着脱可能な固定治具40によりガス検出素子20をケース10に固定する工程と、所要の検査を行う工程と、検査に合格した場合にはシール剤によりガス検出素子20をケース10に封止する工程と、検査に合格しない場合には固定治具40による固定を解除してケース10を回収する工程とからなる。 （もっと読む）

本発明は、キャパシタの少なくとも１つの第１の電極と少なくとも１つの第２の電極との間に設けられた少なくとも１つのナノポーラス誘電材料を備える容量型湿度検出器と、そのような検出器を含む、湿度の検出デバイスまたは測定デバイスと、そのような検出器を製造する方法とに関する。
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【課題】信頼性の高い湿度の連続計測を可能とする。寿命を短くすることなく計測値の精度を高める。
【解決手段】加熱周期をＴ、加熱時間をｔとし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらして、第１の湿度センサおよび第２の湿度センサの加熱クリーニングを行う。第１の湿度センサを加熱クリーニングすると（例えば、ｔ５点）、今回加熱クリーニングされた第１の湿度センサを計測センサ、加熱クリーニングされなかった第２の湿度センサを非計測センサとし、使用する湿度の計測値ＨＲを非計測センサからの湿度の実測値ＨＲ２から計測センサからの湿度の実測値ＨＲ１に切り替える。第２の湿度センサを加熱クリーニングした場合も同様にして実測値の切り替えを行う。 （もっと読む）

【課題】湿度センサの残りの寿命を適確に予測する。
【解決手段】残り寿命確認スイッチＳＷ１を設ける。残り寿命確認スイッチＳＷ１がオンとされると、現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、現在までの加熱時間の積算値ｔｓｕｍと、耐用総加熱時間ｔｓｓｕｍとから、下記の（Ａ）式に従って、湿度センサ１，２の残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求める。現在の加熱周期Ｔｎと、現在の加熱時間ｔｎと、標準加熱周期Ｔｓと、標準加熱時間ｔｓと、耐用期間Ｔｔｌｕとから、下記の（Ｂ）式に従って残りの寿命Ｔｒｅｓｔを求めるようにしてもよい。
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓｓｕｍ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ａ）
Ｔｒｅｓｔ＝（ｔｓ・Ｔｔｌｕ／Ｔｓ−ｔｓｕｍ）Ｔｎ／ｔｎ ・・・・（Ｂ） （もっと読む）

【課題】どのような環境に設置された湿度センサでもその劣化を診断することができるようにする。
【解決手段】加熱クリーニングの終了後の湿度計測値Ｐを初期値Ｐ０として記憶する。加熱クリーニングを行う毎に、加熱クリーニングの終了後の湿度計測値Ｐと初期値Ｐ０との偏差ΔＰ（ΔＰ＝｜Ｐ−Ｐ０｜）を求め、この偏差ΔＰが閾値ΔＰｔｈよりも大きくなった場合に、湿度センサの劣化と判定する。洗浄クリーニングを行う場合にも同様にして湿度センサの劣化を判定することができる。閾値ΔＰｔｈに代えて許容湿度範囲Ｗを用いたりしてもよい。 （もっと読む）

【課題】ユーザ側での湿度センサの交換を簡単かつ安価に行えるようにする。
【解決手段】キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２を設ける。キャリブレーション開始指示スイッチＳＷ２がオンとされると、ヒータ３への通電を行って、湿度センサ１を加熱する。この湿度センサ１の加熱中、湿度センサ１の温度の実測値ＴＲ１に基づいて、湿度センサ１の温度が飽和状態に達したことを確認し、この時の湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１を低湿度基準値として不揮発性のメモリ８−４に記憶させる。以降、不揮発性のメモリ８−４に記憶されている低湿度基準値を参照して、湿度センサ１からの湿度の実測値ＨＲ１に対してオフセット調整処理を施す。湿度センサ２についても同様にして、低湿度基準値を不揮発性のメモリ８−４に記憶させ、その基準値を用いてオフセット調整処理を施す。 （もっと読む）

【課題】湿度センサの加熱クリーニングの条件をより適切な条件に自動更新させて行く。
【解決手段】加熱周期をＴ、加熱時間をｔとし、互いの加熱周期Ｔを半周期ずらして、第１の湿度センサおよび第２の湿度センサの加熱クリーニングを行う。何れかの湿度センサが加熱クリーニングを終了した後、今回加熱された側の湿度センサからの加熱後の湿度の実測値（安定時間経過後の実測値）と加熱されなかった側の湿度センサからの同タイミングでの湿度の実測値との差に応じて、加熱されなかった側の湿度センサの次回の加熱条件（加熱間隔、加熱時間、加熱温度など）を変更する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の電圧の発生のための専用の電源を不要にする。
【解決手段】絶縁ガス１が封入されている接地容器２内に収容された導体３と電極４とで形成され、絶縁ガス１を誘電体とする第１のコンデンサ５と、電極４とグランド６との間に設けられ、２枚の電極７，８間に分解ガスを吸着する吸着剤１５を誘電体として介在させた第２のコンデンサ９と、第１のコンデンサ５と第２のコンデンサ９との間に設けられた電圧測定部１０とを備えている。電圧測定部１０の電圧Ｖｄは導体３の電圧の分圧として測定されるものであり、電圧Ｖｄを発生させるために専用の電源を必要としない。 （もっと読む）

【課題】欠陥を制御されたナノチューブを含み、物理または化学量を検出するためのセンサの提供することにある。
【解決手段】典型的なナノチューブ・センサ１９は、信号処理回路２１と接続して使用され、この信号処理回路２１は、電力を供給し、そしてセンサからの信号を処理して、検出された量に比例した出力を生成する。ナノチューブは、シリコン酸化物などからなるベース・フィルム２３上に配置され、ナノチューブの各端に電極２５を含む。信号処理回路２１は、限定されるものではないがひずみ、圧力、湿度および光などの検出された量を示す出力信号２７を供給する。 （もっと読む）

【課題】センサ間の熱による悪影響を防止し、各センサから安定した出力を得ることができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ファン１６を駆動してドライバから吐き出された呼気を、ハウジング１４の円柱面状の空洞と軸を同一とする円柱状の支柱１８と、ハウジング１４の内面との間に形成された流路２０へ導入する。各種センサは、検出面を流路２０に露出するように、検出面が支柱１８の軸の方向（呼気の流入方向）と平行になるように設けられ、かつ加熱温度特性の異なるセンサは支柱１８を挟んで対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】プラチナ膜をゲート電極に使用するＳｉ−ＭＯＳＦＥＴ型の水素ガスセンサにおいて、プラチナとゲート絶縁膜（酸化シリコン膜）との密着性を維持しつつ、高濃度の水素ガスにさらされても水素被毒を抑制できる特徴をもち、かつ、パラジウム膜をゲート電極に使用するＳｉ−ＭＯＳＦＥＴ型の水素ガスセンサと同程度以上の水素応答強度を実現するデバイス構造を提供する。
【解決手段】ゲート構造において、プラチナ微結晶５間の結晶粒界６（粒界近傍領域７を含む）に酸素をドープした非晶質のチタン、プラチナ−チタン拡散層からなるＰｔ−Ｔｉ−Ｏ領域を形成した構造とする。さらに、結晶粒界６にＰｔ−Ｔｉ−Ｏ領域を有するプラチナ微結晶５の下に、酸素ドープチタン膜３(酸素をドープした非晶質のチタン、非晶質酸化チタン、または、酸化チタン微結晶が混じり合った膜)を形成した構造とする。 （もっと読む）

【課題】湿度センサの種類を容易に判別でき、湿度センサの種類に応じた適正な処理を行うことが可能な湿度検出装置を提供すること。
【解決手段】湿度検出装置は切替手段、算出手段、判別手段および制御手段を含む。切替手段は、湿度センサに印加する交流電圧の周波数を、第１周波数（１００ｋＨｚ）と、該第１周波数と異なる第２周波数（１００Ｈｚ）とに切替える（ステップＳ７０）。算出手段は、第１周波数での湿度センサのインピーダンスの第１検出値と、第２周波数でのインピーダンスの第２検出値とを用いて、インピーダンスの差を算出する（ステップＳ９０）。判別手段は、算出されたインピーダンスの差に基づいて湿度センサを判別する（ステップＳ１００）。制御手段は、湿度を検出する際、判別された湿度センサに対応した処理を行う（ステップＳ１２０、Ｓ１２５）。 （もっと読む）

【課題】ノイズが存在する環境においても、ＩＳＦＥＴ型の電界効果型センサにより目的とする物質をより正確に検出できるようにする。
【解決手段】複数のイオン感応型電界効果トランジスタ（ＩＳＦＥＴ）１０１および各ＩＳＦＥＴ１０１に共通に設けられてＩＳＦＥＴ１０１の各々のチャネルに容量接続した検出対象の物質が付着する物質固定部１０２を備える。ＩＳＦＥＴ１０１は、バックゲート１１１，ソース１１２，およびドレイン１１３を備える。また、本実施の形態における電界効果型センサは、ＩＳＦＥＴ１０１の各々に共通のゲート電圧をバックゲート１１に印加するゲート電圧印加部１０３、および，ＩＳＦＥＴ１０１の各々のソース１１２とドレイン１１３との間電流を検出する検出部１０４を備える。 （もっと読む）

【課題】優れた防塵・防水性能を有し、センサー校正時において被検ガスの外部への漏れが確実に防止されると共に安定した動作が得られる可搬式ガス警報器を提供すること。
【解決手段】この可搬式ガス警報器は、略箱状のハウジングの周面における一面に、複数のガスセンサーが並ぶよう配設されたガス検出部を有してなり、当該ガス検知部においては、複数のガスセンサーが、各々のガスセンサーのガス流路が互いに独立に形成されたセンサーキャップにより、固定保持され、前記ガス流路の各々に対応する位置に開口が形成されると共に外周縁の全周にわたって厚み方向に突出する突出縁が形成されたシート状のパッキンおよび当該突出縁によって囲まれた凹所内に収容された各々のガスセンサーに共通のシート状の防塵防水フィルタが、フィルタキャップによって、押圧状態で保持固定されると共に前記突出縁が弾性的に変形されてシール構造が形成されている。 （もっと読む）

【課題】熱伝導率・圧力・流速・温度などの雰囲気の物理量を測定するための雰囲気測定装置において、雰囲気の温度の変化の影響を分離して、さらにヒータの端損失熱、輻射熱による誤差を少なくすることによって温度補償性能を向上させた雰囲気計測装置を提供する。
【解決手段】複数の凹部２が設けられた基盤１と、基盤１に設けられ、各凹部２の上に配置された、輻射熱量は同一で雰囲気への熱伝達量が異なる構成を有する複数のヒータと、雰囲気の温度変化に応じて各ヒータの出力を変更し、各ヒータの発熱温度が一定になるように温度補償制御を行う複数の制御回路と、温度補償制御によって変化した各ヒータの出力電圧差を。記熱伝達量の差の変化量として取得する差動増幅器と、差動増幅器によって取得された熱伝達量の差の変化量からヒータ雰囲気の物理量を演算する演算手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高い精度で煤の検出を行うことができる煤検出装置を提供すること。
【解決手段】煤検出装置１では、触媒反応層２１及び第１電極９に煤を侵入可能とするとともに、煤制限層２７によって第２電極１１に煤が到らないようにしている。よって、３００℃〜５５０℃の温度に制御して、第１電極−酸素イオン導電体界面にて（混合電位反応によって）煤を燃焼させることにより、両電極９、１１間に発生する起電力によって、被測定ガス中の煤濃度を検出することができる。また、第１電極−酸素イオン導電体界面にて煤を燃焼させるので、被測定ガスの流速等の影響を受け難く、精度良く煤濃度を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】小型で測定誤差が小さく、安価に製造することが可能な粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】一方の端部に二以上の貫通孔２が形成された一方向に長い検出装置本体１と、貫通孔２を形成する壁の内部に埋設され、誘電体で覆われた少なくとも一対の電極１１，１２とを備え、前記貫通孔内に流入する流体に含有される荷電された粒子状物質、又は、前記一対の電極に電圧を印加することにより前記貫通孔内に生じる放電により荷電された、前記貫通孔内に流入する流体に含有される粒子状物質を、貫通孔２の壁面に電気的に吸着させることが可能であり、貫通孔２を形成する壁の電気的な特性の変化を測定することにより貫通孔２の壁面に吸着された粒子状物質を検出することが可能な粒子状物質検出装置１００。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサの点検において、必要以上の被検知ガスが供給されることを防止できるガス警報器を提供する。
【解決手段】ガス警報器は、ケース５１と、ケース５１の表面に設けられ且つ被検知ガスをケース５１内に流入させるためのガス流入孔６２、ケース５１に収容され且つ前記ガス流入孔６２からケース５１内に流入した被検知ガスを検知するガスセンサと、を有し、被検知ガスを供給する点検器１００をガス流入孔６２取り付けて、点検器１００によって供給される被検知ガスをガス流入孔６２からケース５１内部に流入させることによりガスセンサの点検が行われる。そして、ガス警報器は、ガス流入孔６２の周囲に設けられた平面部６１と、ガス流入孔６２の周囲に設けられ且つ平面部６１と高さが異なる段差部６３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内ガス混合物の不活性化化学薬品の濃度を調合・制御する方法および装置。
【解決手段】ガス混合物には基剤化学薬品である化学成分とともに不活性化化学薬品である化学成分が含まれ、基剤化学薬品は不活性化化学薬品の希釈剤または不活性化化学薬品のビヒクルまたはキャリアとして作用する。コンデンサをガス混合物に曝し、ガス混合物はコンデンサの板間で誘電物を構成する。誘電物の誘電率は化学成分の相対濃度によって影響を受けるので、容量の測定値をガス混合物の多数の化学成分の濃度レベルの決定に使用する。 （もっと読む）

【課題】チップ抵抗器等の電子部品の累積的な硫化量を検出して、電子部品が硫化断線する等して故障する前に危険性を検出することができる硫化センサを提供する。
【解決手段】硫化検出センサＡ１は、絶縁基板１０と、硫化検出体２０と、下面電極２２と、側面電極２４と、メッキ２６と、保護膜４０とを有している。硫化検出体２０は、硫化されやすい銀を主体とした導電体であり、保護膜４０は、硫化ガス透過性を有するとともに、透明に形成されている。硫化検出体２０の色の変化を保護膜４０を目視したり、硫化検出体２０の抵抗値の変化を検出したり、硫化検出センサＡ１の上面に光を照射することにより硫化検出体２０からの反射光を検出することにより硫化の度合いを検出する。 （もっと読む）