【課題】 センサ感度を向上させることが可能なセンサ素子を提供する。
【解決手段】
本発明のセンサ素子は、Ａｌ_ｘ１Ｇａ_{（１−ｘ１−ｙ１）}Ｉｎ_ｙ１Ｎ（０≦ｘ１≦１、０≦ｙ１≦１、ｘ１＋ｙ１≦１）からなり、上部３Ａに稜線部３Ａ’を有する半導体部３と、半導体部３上に稜線部３Ａ’を覆うように設けられた、Ａｌ_ｘ２Ｇａ_{（１−ｘ２−ｙ２）}Ｉｎ_ｙ２Ｎ（０≦ｘ２≦１、０≦ｙ２≦１、ｘ２＋ｙ２≦１）からなり、かつｘ１≠ｘ２またはｙ１≠ｙ２となるように設定されている半導体層４と、上部３Ａ側から平面透視して半導体部３上に稜線部３Ａ’と重なるように設けられた、特定の物質が接触することによって該物質との間で電荷の移動が起こる検知電極５と、半導体層４上に検知電極５を間に挟むように一対で設けられた、間の半導体層４に流す電流における検知電極５への電荷の移動による変化を検出する検出電極６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 導電性変化の感度を向上させる電極デバイスを用いて、ガス成分を高感度に検知できるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサは、基板上に少なくとも２つの電極が対向している電極デバイスから構成され、該電極デバイスは、前記基板の表面を化学処理して親水性を調整した後、前記基板を収容する溶液中で導電性ポリマーの原料となるモノマーを金属粒子の存在下で化学重合させ、前記導電性ポリマーと前記金属粒子との複合体を前記電極間に形成させる工程を含んで作成される。 （もっと読む）

【課題】化学感応性電界効果トランジスタが自己診断機能によって、該化学感応性電界効果トランジスタの少なくとも１つの動作の仕方を良好に識別できるようにすること。
【解決手段】前記課題は、化学感応性電界効果トランジスタのドレインコンタクトとソースコンタクトとの間に電圧（Ｕ_ＤＳ）を調整し、該ソースコンタクトとゲート電極との間に電圧（Ｕ_Ｇ）を調整するステップ（１０２）と、該ドレインコンタクトと該ソースコンタクトとの間の電流（Ｉ_ＤＳ）を使用して化学感応性電界効果トランジスタの動作の仕方を監視するために、該ドレインコンタクトと該ソースコンタクトとの間の電流（Ｉ_ＤＳ）を検出するステップ（１０４）とを有する方法によって解決される。 （もっと読む）

【課題】マイグレーションの抑制と端子電極の密着強度の向上とを両立するセラミックヒータと、これを熱源とし、被測定ガス中の特定成分の濃度によって変化する電気的特性を検出するセンサ部を有するガスセンサ素子と、その製造方法を提供する。
【解決手段】耐熱性セラミックスを主成分とする絶縁体（１１〜１５）の内側に通電により発熱する発熱体１０と一対の発熱体リード部１００、１０１と一対の端子電極１０２、１０３を設けたセラミックヒータ１であって、少なくとも、絶縁体（１１〜１５）の内、発熱体１０が直接触れる部分を耐熱性セラミックスの含有率を相対的に高くした主成分高含有率絶縁体層１１、１２、１３とし、絶縁体（１１〜１５）の内、端子電極１０２、１０３が直接触れる部分を耐熱性セラミックスの主成分の含有率を相対的に低くした主成分低含有率絶縁体層１４、１５とする。 （もっと読む）

【課題】作製工程が簡便であるガスセンサを提供することを課題の一とする。また、作製コストが抑制されたガスセンサを提供することを課題の一とする。
【解決手段】ガスセンサの検知素子として機能する、酸化物半導体層がガスと接するトランジスタと、検出回路を構成する、酸化物半導体層がガスバリア性を有する膜に接するトランジスタとを、同一表面上に単一工程で作製し、これらのトランジスタを用いたガスセンサを作製すればよい。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】気体感応型の半導体装置を、補償の手間を少なくする、簡単で確実な信号形成および信号評価に関して改良する。
【解決手段】ゲート電極、および／または、このゲート電極を半導体チャネルから絶縁するゲート絶縁層、および／または、ゲート電極と半導体チャネルとの間に設けられるゲートスタック層が２つの面セクションを有し、この２つの面セクションは、複数の気体に対して異なる感度を有する。 （もっと読む）

【課題】 より高い検出感度でより迅速に検出ことができ、また繰り返し使用も可能なガスセンサ、及びガス検出装置を提供する。
【解決手段】 有機ポリマの原料を適宜の溶媒に溶解させた原料溶液と重合剤を溶解させた重合剤溶液とを０℃程度から２０℃程度のまでの適宜の温度になし、両溶液を撹拌・混合させて混合液を得、この混合液を基板３１の両電極３２，３２間に供給した後、基板３１を適宜の温度下で静置して、有機ポリマの生成及び複数の有機ポリマの集合によるファイバ３５，３５，…の形成を実行させる。ファイバ３５，３５，…は、官能基３４，３４，…が結合されている場合は当該官能基３４，３４，…を介して金属粒子３３，３３，…と化学的に結合して、ネットワーク３６が形成される。 （もっと読む）

本発明は、酸に侵されない貴金属からなる第１電極（４）と、銀からなる第２電極（５）とを有し、第１電極（４）および第２電極（５）が、培養液（３）で満たされ検体組織（６）を入れることのできる容器（２）の中に少なくとも部分的に浸漬され、第１電極（４）と第２電極（５）との間に電圧（Ｕ）が印加可能であり、第１電極（４）と第２電極（５）との間にアンモニアが存在する場合に電気量の変化が測定可能である診断装置に関する。この診断装置により、新しい組織試料をごく短時間でヘリコバクター・ピロリについて検査することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の酸化物半導体ガスセンサの製作時に、工程が複雑であるという問題を解決すると共に、高感度、高選択性、速い応答速度及び長期安定性のような優秀なガス反応特性を有する静電容量型環境有害ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による静電容量型環境有害ガスセンサは、絶縁基板と、前記絶縁基板の同一平面上に一体形に形成された金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線と、前記金属電極及びマイクロ薄膜ヒータ加熱線上にコーティングされた酸化物感知層とを備え、これは、金属層を蒸着した後、金属電極とマイクロ薄膜ヒータ加熱線が互いにインタデジタルトランスデューサを成すように金属層をエッチングし、引き継いで、酸化物感知層を形成することによって製造される。このような静電容量型環境有害ガスセンサは、製造時に工程優秀性を確保することができ、高感度、高選択性、高安定性及び低電力の優秀な特性を有することができる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）を有し、上記感受性の構成部材（３）上に熱的に残らず分解可能な材料からなるマスキング層（３１）を設け、上記感受性の構成部材（３）を上記マスキング層（３１）によりほぼ完全に覆い、上記マスキング層（３１）上に温度安定性の材料からなる保護層（３３）を設け、上記マスキング層（３１）を熱分解又は低温運転する酸素プラズマによって除去するセンサ素子（１）の製造方法に関する。本発明は、更に、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）及び温度安定性の材料からなる保護層（３３）を有し、上記感受性の構成部材（３）は上記温度安定性の材料からなる上記保護層（３３）により覆われていて、上記感受性の構成部材（３）及び上記保護層（３３）は互いに間隔を空けて配置されている、センサ素子に関する。
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【課題】１つのガスセンサでＮＯ_ｘ濃度とアンモニア濃度を測定することができるマルチガスセンサ及びガスセンサ制御装置を提供する。
【解決手段】第１測定室Ｓ１の内部と外部に位置すると共に、第１固体電解質層２ａ上に設けられた一対の第１電極２ｂ、２ｃを有し、第１測定室に導入される被測定ガス中の酸素の汲み出し又は汲み入れを行う第１ポンピングセル２と、第１測定室に連通するＮＯ_ｘ測定室Ｓ２の内部と外部に位置すると共に、第２固体電解質層４ｂ上に設けられた一対の第２電極４ｂ、４ｃを有し、第１測定室からＮＯ_ｘ測定室に流入した酸素濃度が調整された被測定ガス中のＮＯ_ｘ濃度に応じた第２ポンピング電流Ｉｐ２が一対の第２電極間に流れる第２ポンピングセル４とを備えたＮＯ_ｘセンサ部３０Ａと、少なくとも一対の電極４０ａを有しＮＯ_ｘセンサ部の外表面に形成されたアンモニアセンサ部４２とを共に設けたマルチガスセンサ２００である。 （もっと読む）

【課題】排気ガスセンサの検出結果をにおいセンサの検出結果に反映させて、環境雰囲気の汚損状態の判定をより適切に行うことができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】不快臭を発するガスの検出値Ｇ２（ｎ）の基準となるベース値Ｂ２（ｎ）から検出値Ｇ２（ｎ）を差し引いた差分値Ｄ２（ｎ）がしきい値ＴＳを超えた場合や、排気ガスの検出値Ｇ１（ｎ）の基準となるベース値Ｂ１（ｎ）から検出値Ｇ１（ｎ）を差し引いた差分値Ｄ１（ｎ）がしきい値ＴＥを超えた場合、排気ガスや不快臭が検出されたとしてガス汚損信号が出力される。しかし、Ｄ２（ｎ）＞ＴＳであってもＤ１（ｎ）≦ＴＥであり、且つＤ１（ｎ）≧Ｄ２（ｎ）である場合には（ｔ１〜ｔ２、ｔ３〜ｔ４）、においセンサが排気ガスに対して副次的な反応を示したものとして、クリーン信号が出力される。 （もっと読む）

本発明は、ガス反応層を備えた少なくとも１つの半導体素子（５）を有するセンサエレメント（１）であって、該センサエレメント（１）がフリップチップ法によってキャリヤ（３）上に固定され、センサエレメントのガス反応層がキャリヤ（３）に向いており、前記ガス反応層に、検査しようとするガスを供給するための手段が設けられている形式のものに関する。前記半導体素子（５）は被覆部（１１）によって包囲されている。また本発明は、センサエレメント（１）を製造するための方法に関する。本発明の方法によれば、ガス反応層がキャリヤ（３）に対面し、検査しようとするガスがガス反応層に供給されるように、ガス反応層を備えた半導体素子（５）を、フリップフリップ法によってキャリヤ（３）上に固定する。次いで半導体素子（５）を固定した後で被覆部（１１）を被着するようにした。さらに本発明は、このようなセンサエレメントを、内燃機関の排ガスライン内に使用する使用方法に関する。
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【課題】チャンバ内ガス混合物の不活性化化学薬品の濃度を調合・制御する方法および装置。
【解決手段】ガス混合物には基剤化学薬品である化学成分とともに不活性化化学薬品である化学成分が含まれ、基剤化学薬品は不活性化化学薬品の希釈剤または不活性化化学薬品のビヒクルまたはキャリアとして作用する。コンデンサをガス混合物に曝し、ガス混合物はコンデンサの板間で誘電物を構成する。誘電物の誘電率は化学成分の相対濃度によって影響を受けるので、容量の測定値をガス混合物の多数の化学成分の濃度レベルの決定に使用する。 （もっと読む）

【課題】検知部の温度制御の精度を高くし、被測定ガスの検出精度を向上することができる板状のガスセンサを提供する。
【解決手段】測定ガス中の特定ガスを検出する検知部１０Ａが一方の表面５１Ａに露出する板状のセンサ素子部５０Ａを有し、センサ素子部における表面と反対側の裏面５２Ａの最外層に緻密絶縁層１２Ａが形成され、緻密絶縁層の直下に検知部の温度を検出するための温度検出手段１４Ａが配置され、検知部は、一対の電極２Ａと、一対の電極に接して設けられた感応部４とを含み、一対の電極間のインピーダンス変化によって測定ガス中のアンモニア濃度を検出する。 （もっと読む）

本発明は、半導体トランスデューサー、及び電子供与体又は電子受容体種を検出するためのセンサーにおけるその使用に関する。このトランスデューサーは、絶縁性基材の表面上に２つの電極及び半導体感応素子が設けられて成る。前記感応素子は、導電性がＣ_１である半導体分子材料Ｍ１の層及び導電性がＣ_２であり且つ禁止帯の幅Ｅ_ｇ２が１ｅＶ未満である半導体分子材料Ｍ２の層から成る。材料Ｍ１の層は、電極に接続される。材料Ｍ２の層は、材料Ｍ１の層上に積層され、電極に接続されない。前記の導電性は、Ｃ_２／Ｃ_１≧１となるものである。
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化学物質または生物学的物質を検出するための装置１は、物質を検出すると共に該物質の質的存在または量的存在に関する情報を提供するための分析器具２と、また、分析器具２および／または装置１の汚染度を測定する汚染センサとを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造設備における個別のガス配管にも設置可能な超小型のガスセンサー、さらにはそのガスセンサーを用いる気体計測システムを提供する。
【解決手段】誘電性半導体を有し、気体の吸着状態に応じて導電率が変化する気体検知素子と、この気体検知素子に電気的に接続された一対の電極とを備えるガスセンサーであって、この一対の電極に印加された極性反転を含み周期的に変化する電圧に応じて変化する電気的応答から、気体検知素子への気体の吸着状態を検知可能とする。ガスセンサーがこの気体検知素子に静電容量部が直列に接続した構成を備えるとさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】測定ガス中に共存する他のガスの影響を受けることなく、窒素酸化物の濃度を測定する方法を提供する。
【解決手段】窒素酸化物およびアンモニアを含む混合ガス中の前記窒素酸化物の濃度を測定する方法である。窒素酸化物およびアンモニアを含む前記混合ガスに基づく電気信号を測定して第１のシグナルを得る工程と、前記混合ガスを金属材料に接触させて、前記窒素酸化物の少なくとも一部をアンモニアに転化する転化工程と、前記窒素酸化物が転化されてなるアンモニアを含む混合ガスに基づく電気信号を測定して第２のシグナルを得る工程と、前記第１のシグナルおよび前記第２のシグナルを用いて、前記混合ガス中の前記窒素酸化物の濃度を換算する工程とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）