【課題】特定のガスを検知する機能を備えた無線タグを提供する。
【解決手段】二つのアンテナ６１−１、６１−２と、アンテナ６１−１、６１−２から識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２を送信する送信回路６２と、アンテナ６１−１、６１−２と送信回路６２を一括収容した樹脂製のタグ体６３と、タグ体６３から露出した第１感応部６８−１と、第１感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２と、を備え、感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２の電気抵抗率が変化することにより、アンテナ６１−１、６１−２から送信される信号が変化するように構成した。 （もっと読む）

【課題】電気インピーダンス断層写真法（ＥＩＴ）方式の画像再構成を商用の相対的に大きいアレイに適用する。
【解決手段】様々な導電率又は誘電率を有する領域を含む構造（４６）の内部の画像を形成する方法である。一実施形態では、各々が回転電場を発生する一連の電気信号集合（Ｖ_i）が一連の電極に印加される。各電極（４４）から得られる測定電気信号集合を用いて、これらの電極（４４）が周囲に配置されている領域の構造の内部を表わす導電率又は誘電率の分布を算出する。分布を算出する工程は、費用関数、例えばこの分布に基づくエネルギ関数、及び測定電気信号集合を導電率又は誘電率に関する電圧値の変化の関数として表現する順モデルを定義することと、エネルギ関数と順モデルに基づく関数との間の差の偏導関数がゼロに等しいことを要求することとを含んでいる。 （もっと読む）

本発明は、ガス状態で存在する、または溶媒に溶解した対象化合物を検出および／または定量するための装置および方法に関する。本発明による装置は、２つの電極を含む電気デバイスと、電気デバイスの２つの電極間の電荷の変動を測定するためのデバイスとを含む。電気デバイスは、受容体分子の層がその上にグラフトされた、絶縁性誘電材料で作製された層を含み、最終的に、半導体材料の層が該受容体分子層上に堆積される。本発明は、特にガスまたは溶液として存在する対象化合物の検出および／または定量の分野において使用することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定外気に含まれる塩分を精度良く長期間継続して測定する。
【解決手段】純水を入れた密閉容器と、外気導入管３と、密閉容器内を排気する排気装置４と、外気導入管３内に設けられたフィルタ部材５と、第１配管６と、第２配管７と、第１配管６の他端と第２配管７の他端とを接続する送液ポンプ８と、密閉容器内の純水の電気伝導度を測定する測定装置１２とを少なくとも備え、送液ポンプ８により、密閉容器内の純水が第１配管６、第２配管７及び外気導入管３の順で流通して外気排出部３ｂから再び密閉容器内に戻る純水循環路を形成する一方で、排気装置４により、被測定外気中の固形物をフィルタ部材５で除去しながら被測定外気を外気導入管３の３ａから３ｂに向けて流通させて、外気導入管３内を流通する純水に被測定外気に含まれる塩分を溶け込ませ、測定装置１２により密閉容器内の純水の電気伝導度から被測定外気の塩分を測定する。 （もっと読む）

【課題】１〜２ヶ月或いはそれ以上の長期間に亘る継続的な気中塩分測定を行う。
【解決手段】一定量の純水２を封入した密閉容器１に、外気導入管３の先端に備えられたノズル３ａから射出される外気と純水吸引管４により吸い上げられた容器内の純水とにより容器内で霧１０を発生させる霧吹装置５を備え、容器を負圧として外気導入管から被測定外気を容器内に導入すると共に純水吸引管により容器内の純水を吸い上げ、ノズルの前方の壁７に衝突するように霧吹装置から霧を発生させて被測定外気に含まれる塩分を容器内の純水に溶解させ、容器内の純水中の電気伝導度の測定値から被測定外気の塩分を測定する気中塩分測定システムにおいて、容器内の純水の量を監視するセンサ１１と、外気導入管を介して容器内に純水を補給する純水補給手段８と、センサからの信号に応じて純水補給手段を作動させる制御装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】吸着剤の交換などのメンテナンスを不要した有機溶媒に起因する誤警報を低減したジクロロエチレンを対象とするガス警報装置を提供すること。
【解決手段】ジクロロエチレンを検出するのに適したガスセンサ１、要監視環境の大気を吸引してガスセンサ１に給送するサンプリングポンプ２、及びガスセンサ１からの信号に基づいてジクロロエチレンが規定の濃度に到達した時点で発音体などの警報手段を作動させる警報回路３を備えたガス警報装置において、ガスセンサ１よりも上流側の流路５−１、５−２に平均細孔径６ｎｍ以上のシリカゲル粒子を吸着剤としたフィルタ６が接続されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な原理に基づき、使い切りで、コンパクトかつ安価な反応性ガス漏洩検知用ガスセンサおよび該ガスセンサを備えた反応性ガス漏洩検知器を提供するとともに、簡易であるが信頼性の高い、反応性ガス漏洩検知方法を提供する。
【解決手段】反応性ガスとの接触により反応し切断され得る信号線部材を備えたことを特徴とするガスセンサ、該ガスセンサと該ガスセンサ内の信号線部材の切断の有無を検出する手段とを備えた反応性ガス漏洩検知器、ならびに該ガスセンサを用いて、漏洩した反応性ガスを、該ガスセンサの信号線部材に接触させ、該信号線部材を反応させて切断し、該信号線部材の切断を検出することにより反応性ガスの漏洩を検知する反応性ガスの漏洩検知方法。 （もっと読む）

【課題】サンプリングなどの煩雑な操作を必要とせず、構造が簡便なハロゲン化水素ガスの検知装置を提供する。
【解決手段】絶縁支持体と、前記絶縁支持体上に支持され、ハロゲン化水素ガスと反応して水を生成する吸収材からなる検知部材と、前記検知部材の両端に取り付けられ、前記吸収材によるハロゲン化水素ガスの反応に伴う水の生成、抵抗値または静電容量の変化を測定するための一対の電極とを備えたことを特徴とするハロゲン化水素ガスの検知装置。 （もっと読む）

【課題】 圧力損失が少なく交換が容易で、コンパクトかつ迅速に機能する選択性の塩分ミスト除去装置を提供することにある。また、こうした塩分ミスト除去装置を用い、測定時の妨害成分の除去の確実を図り、測定精度が高く信頼性の高い分析装置を提供することにある。
【解決手段】 プロセス排気ガス中の塩分ミスト除去装置１であって、１つの収納部材４に、多孔質無機材または耐熱繊維を主材とする塩分ミスト除去用スクラバ６および精密濾過材からなる微細ダスト除去用精密フィルタ７を直列に配して一体化するとともに、該収納部材４を１５０℃以下かつ排気ガス中の水分が凝縮しない温度に制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも高感度で水素ガス、酸ガス等を検出することが可能な、プロトン受容型ガスセンサーの駆動方法、ガス検出方法、及びプロトン受容型ガスセンサー装置を提供すること。
【解決手段】
プロトン受容型ガスセンサーを駆動する方法であって、プロトン受容型ガスセンサーは、窒素原子を含む複素環を導入した有機化合物を含有するガス感応部、及び当該ガス感応部に接する一対の電極を有し、電極間に、極性が交互に反転する電圧を印加することを特徴とするプロトン受容型ガスセンサーの駆動方法。 （もっと読む）

【課題】測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のカーボンナノチューブセンサは、半導体カーボンナノチューブ材料２と金属電極１ａ，１ｂ間にショットキー接合部６が形成されていることを主要な特徴とする。また、その製造方法は、半導体カーボンナノチューブ材料２と金属の仕事関数を測定ガス雰囲気下でそれぞれ測定し、ｐ型又はｎ型に応じて金属の仕事関数と比較して仕事関数の大きな又は小さな半導体カーボンナノチューブ材料２を選び、この金属電極間に架橋することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 隙間腐食を防止して正確な電気化学測定を行うことができる実用的な露点腐食モニタリング用プローブを提供する。
【解決手段】 この露点腐食モニタリング用プローブ１は、露点腐食環境に露出する電極面１１をそれぞれ有する一対の電極部材１０と、一対の電極部材１０を隣接した状態で埋設して保持するホルダ１２とを備えている。酸露点環境において電極面の間に結露水の液絡を形成する液絡形成部１６が構成されている。ホルダ１２の電極部材１０を被覆する部分２０が撥水性を有する樹脂材料から構成されている。 （もっと読む）

【課題】 隙間腐食を防止して正確な電気化学測定を行うことができる実用的な露点腐食モニタリング用プローブを提供する。
【解決手段】 この露点腐食モニタリング用プローブ１は、酸露点腐食環境に露出する電極面１１をそれぞれ有する一対の電極部材１０と、これら一対の電極部材１０を隣接した状態で埋設して保持するホルダ１２とを備えている。酸露点腐食環境において電極面１１の間に結露水の液絡を形成する液絡形成部１６が形成されている。電極部材１０の温度を調整するプローブ温度調整機構５６，５８，６４が設けられている。 （もっと読む）

本発明の課題は、イオン移動度分光計ＩＭＳの欠点を排除または最小化した上述の障害物質を検出する方法およびシステムを開発することである。ここで本発明によれば、試験ガス流がＩＭＳ（２）のほか複数の検出器へ達する前に試験ガスと基準ガスとを混合して供給する。次に調量前の測定ガス路（８）のガス流と基準ガスのガス流との比に関して得られた測定信号を用いて測定ガス中の元の障害物質濃度を計算する。さらにあらかじめ定義および記憶された測定値との信号レベルの簡単な比較またはパターン識別を行ってアラームをトリガする。また基準ガスおよび必要な付加的な洗浄ガスを供給することにより測定装置の洗浄も行われる。こうした方法およびシステムは周囲空気中の障害物質の識別に使用される。
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【課題】 本発明の目的は、正確に火災を検出し火災警報を出力することができる警報装置を提供する点にある。
【解決手段】 火災を検出する火災検出手段１４と、火災検出手段１４で火災を検出したときに火災警報を出力する警報手段１５とを備えた警報装置１０であって、火災検出手段１４の設置空間における環境状態を検出する環境状態検出手段１１と、環境状態検出手段１１の検出結果に応じて火災検出手段１４の火災に対する検出感度を調整する検出感度調整手段１３とを備えた。 （もっと読む）

フッ素含有種を含むガス、例えばＨＦ、ＮＦ３等でエッチ洗浄を受ける半導体加工用具の流排出物中内のフッ素含有種を検出する（ＭＥＭＳ）をベースとするによるガスセンサアセンブリ。好適な実施形態におけるこのようなガスセアセンブリは、ガス感知材料層と、その上にコーティングされた好ましくは好適にはニッケルまたはニッケル合金とをであるガス感知材料の層がコーティングされた有する自立炭化シリコンケイ素支持構造を備える有する。このようなガスセンサアセンブリは、構造体層を形成するために後で除去可能な犠牲成形型を用いたマイクロ成形技術により好適に作製される。
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フッ素を含有するガス内のフッ素含有化学種などの対象ガス種、例えば、ＨＦ、ＮＦ_３等によるエッチ洗浄を受ける半導体処理ツールの排出物を検出するためのガス検出器及び方法。一の態様のガス検出器は、フッ素含有化学種に対し感受性のニッケル含有フィラメントを使用し、このフィラメントは、高温の検知が必要なとき、検知構成要素及び熱源の両方として機能できる。一の態様のガス検出器は、支持構造に垂直に装着されることができる細長いガスセンサ要素を使用する。このような細長いガスセンサ要素を支持構造に垂直に装着することにより、信号強度が相当高められ、応答時間が低減され、ガス検出器のフットプリントが最小にされ、またこのようなガスセンサ要素の熱膨張／収縮を受け入れるための構造的な柔軟性が提供される。

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