【課題】従来から、薄膜型ガスセンサを構成する梁部は、その薄膜化にともない梁部の耐久性が損なわれ、梁部に亀裂が入ってしまうか、損壊してしまうことがあった。梁部の亀裂はセンサとしての信頼性の悪化を招き、損壊に至るとセンサとして機能しないため、大きな問題であった。
【解決手段】本発明の薄膜型ガスセンサは、梁部を第１の絶縁層で形成し、さらにこの梁部と支持基板とを第２の絶縁層で接続する。この第２の絶縁層を設けることで、梁部を支えるメンブレン支持構造体として強度が増すのである。したがって、梁部に対してガスの流入に伴う外力が印加しても、支持基板と梁部とが接する部分への応力集中を緩和し、梁部の破壊を防止することができる。 （もっと読む）

出願人らは、第１電極及び第２電極、並びに第１及び第２電極に少なくとも近接するミクロ孔質で疎水性の検体応答性誘電体材料を含む、有機化学検体を感知するための感知素子を開示する。検体応答性誘電体材料は、約１０ｎｍ未満の平均孔径、及び少なくとも約２０％の多孔率を含む、非晶質ランダム共有結合網状組織であり得る。キャパシタンスなどの、感知素子の電気的特性が、有機化学検体を感知するために監視され得る。
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出願人らは、第１電極及び第２電極、並びに第１及び第２電極に少なくとも近接するミクロ孔質で疎水性の検体応答性誘電体材料を含む、有機化学検体を感知するための感知素子を開示する。検体応答性誘電体材料は、固有ミクロ孔質のポリマーであり得る。キャパシタンスなどの、感知素子の電気的特性が、有機化学検体を感知するために監視され得る。
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【課題】 小型化および高機能化が容易なガスセンサ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも上面および下面に配線導体２が形成された絶縁枠体１の内側に半導体集積回路素子３が配置されて配線導体２と電気的に接続されているとともに、絶縁枠体１および半導体集積回路素子３の上面および下面のそれぞれに、ガスセンサ素子４が、半導体集積回路素子３の上面または下面に伝熱材５を介して接合され、かつ外周部分の少なくとも一部を絶縁枠体１の上面または下面に対向させて配線導体２と電気的に接続されているガスセンサ装置９である。半導体集積回路素子３と複数のガスセンサ素子４とが平面視でほぼ重なるように配置され、半導体集積回路素子３によりガスセンサ素子４の加熱が可能であるため、高機能化および平面面積の小型化が容易なガスセンサ装置９を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造設備における個別のガス配管にも設置可能な超小型のガスセンサー、さらにはそのガスセンサーを用いる気体計測システムを提供する。
【解決手段】誘電性半導体を有し、気体の吸着状態に応じて導電率が変化する気体検知素子と、この気体検知素子に電気的に接続された一対の電極とを備えるガスセンサーであって、この一対の電極に印加された極性反転を含み周期的に変化する電圧に応じて変化する電気的応答から、気体検知素子への気体の吸着状態を検知可能とする。ガスセンサーがこの気体検知素子に静電容量部が直列に接続した構成を備えるとさらに好ましい。 （もっと読む）

【課題】経年使用による機能の劣化を防止するガスセンサを提供する。
【解決手段】基板１０と、該基板１０上に配設され且つ通電から生じる熱によって燃焼する検知対象ガスの燃焼熱に応じて抵抗値が変化する検知抵抗体２２と、前記検知抵抗体２２との間で熱を伝導するように配設され且つ前記検知対象ガスの燃焼を促す触媒を有する触媒層２４と、を有する接触燃焼式ガスセンサ１において、前記基板１０上に形成される開口部１１と、表面に前記検知抵抗体２２を配置するとともに前記検知抵抗体２２を前記基板１０から離して前記開口部１１に位置づける抵抗体支持部２１と、を有し、前記触媒層２４が、前記検知抵抗体２２と前記抵抗体支持部２１の表面および端部とを覆うように、前記抵抗体支持部２１の表面から裏面にかけて連続して配設されている。 （もっと読む）

【課題】接触燃焼式ガスセンサの経年変化によるセンサ感度の変化を良好に補正することができるガス検知装置およびガス検知方法を提供すること。
【解決手段】接触燃焼式ガスセンサ４１で計測された被検知ガス濃度を表す計測濃度出力を取得すると共にエアベース濃度を表すエアベース濃度出力を取得する濃度出力取得手段１１ａと、記憶手段１２と、計測濃度出力とエアベース濃度出力の差が予め決められた一定値以下の場合に、エアベース濃度出力と、記憶手段１２にある経時量とエアベース濃度出力の関係とに基づいて経時量を取得する経時量取得手段１１ｂと、経時量と、記憶手段１２にある経時量とセンサ感度の関係とに基づいてセンサ感度を求めるセンサ感度取得手段１１ｃと、計測濃度出力とエアベース濃度出力の差にセンサ感度による補正を行って被検知ガスの検知濃度を取得する検知濃度取得手段１１ｄとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 全体の低コスト化、小型化を図りつつ、周囲温度が変化しても、ドリフトを生じることなく、常に高精度な測定結果を得ることができる可燃性ガスセンサを提供する。
【解決手段】 Ｓｉ基板２の上面に二つのサーモパイル４Ａ，４Ｂが互いに近接して実装されており、それらサーモパイル４Ａ，４Ｂのうち、一方のサーモパイル４Ａの温接点部４ａには、測定対象ガスとの接触により酸化反応熱を発生するＰｔ６が担持されているものともに、他方のサーモパイル４Ｂの温接点部４ｂにはＰｔが担持されてなく、これら両サーモパイル４Ａ，４Ｂによる測定出力の差を演算するように構成している。
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【課題】接触燃焼式のガスセンサを用いて性質の似たガスでも識別することができるガス識別装置を提供する。
【解決手段】触媒の異なる複数のＲｕ、Ｐｄ、Ｐｔ触媒ガスセンサが備えられている。センサ出力取得部２１Ｃが、センサの低温時に当該センサに吸着した可燃ガスが燃焼しているときの出力を第１燃焼値とし、低温時にセンサ素子に吸着した分の可燃ガスの燃焼が終了した後の出力を第２燃焼値として得る。ガス種分別部が、各ガスセンサの出力によって吸着性の低いガスと判定するとＰｄ及びＰｔ触媒ガスセンサの第２燃焼値Ｐｄ−Ｃ、Ｐｔ−ＣとＲｕ触媒ガスセンサの第２燃焼値Ｒｕ−Ｃの第１比から水素かプロパンを識別し、吸着性の高いガスと判別すると各ガスセンサの第１燃焼値Ｒｕ−Ａ、Ｐｄ−Ａ、Ｐｔ−Ａ及び第２燃焼値Ｒｕ−Ｃ、Ｐｄ−Ｃ、Ｐｔ−Ｃの第２比からエタノールか、トルエンか、キシレンかを識別する。 （もっと読む）

化学種を感知するための化学センサー、システム及び方法。本化学センサーは、化学種に晒される際に電気インピーダンスが変化する複数のナノファイバーと、ファイバーを支持し電気的に絶縁する基板と、複数のファイバーの電気インピーダンスを測定することを可能にする空間的に離隔されたポイントで複数のファイバーに接続されている複数の電極とを含む。本システムは、本化学センサーと、電極に接続され複数のファイバーの電気インピーダンスを決定するように構成されたインピーダンス測定装置と、電気インピーダンスの変化に基づいて化学種を識別するように構成された分析装置とを含む。本方法は、複数のファイバーに接続され空間的に離隔された電極間の電気インピーダンス少なくとも一つの変化を、ファイバーが化学種に晒される際に測定し、電気インピーダンスの測定された変化に基づいて、化学種を識別する。
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【課題】沸点・融点が高く分子量が大きい有機物を高感度で測定することができ、かつ高温でも使用可能なセンサー用素子を低コストで提供する。
【解決手段】有機物センサー用素子を、かさ密度が４５−８０％であるＮｉ及びＯを含む粒子の焼結体又は薄膜により構成する。前記粒子はＮｉ，Ｆｅ及びＯのみからなる粒子で構成することが好ましい。この有機物センサー素子を使用することによって、沸点が１１０〜５００℃である、高分子量の有機物を高温環境下で測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ガス機器における警報出力を、人による使用状況に応じて適切に出力できるガス漏れ警報システムを提供する。
【解決手段】 ガスメーター４と、複数のガス機器に対応して設けられたガス漏れ警報器１とが通信可能に接続された構成を有するガス漏れ警報システムにおいて、ガスメーター４にて各ガス機器のガス消費状況を特定し、ガス漏れ警報器１に設けられた人感センサ３４にて対応するガス機器６の周辺の人を検出し、さらに、ガス機器６がガス消費中であって、かつその周辺に人が検出されていないことを前提とする特定のガス機器６の異常使用状態を判定するように構成する。異常使用状態が検出された場合に警報を出力する。 （もっと読む）

【課題】熱容量が小さな装置であっても簡単にガスの種類の判別を行うことができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】接触燃焼式ガスセンサが、検知対象ガスと接触燃焼して温度が変化すると抵抗値が変化する。ノコギリ波駆動回路が、供給開始から所定時間ｔ２かけて徐々に供給電圧が増加した後に一定値になるようなノコギリ状のパルス電圧を接触燃焼式ガスセンサに供給する。微分解析部が、パルス電圧供給中のセンサ出力を微分して微分波形を取得する。ガス検出部が、微分波形のピーク位置に基づいてガス種類を判別する。 （もっと読む）

容器中のパラメータを測定するシステムが開示される。複数のパラメータを測定するシステムが、溶液を有する容器を含み、タグと連動する１以上のセンサが測定デバイスを構成するインピーダンスアナライザ及び読取器に近接する。１以上のセンサが、溶液の１以上のパラメータを決定するように構成されている。タグはセンサに関してデジタルＩＤを付与するように構成され、容器は読取器及びインピーダンスアナライザに近接している。インピーダンスアナライザは、パラメータに基づいて、センサから所与の範囲の周波数を送受信し、その応答に基づいてパラメータを算出するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ヒータへの通電開始後に電源出力電圧が変動した場合であっても、ヒータへの供給電力量に誤差が生じ難く、ガス検出精度の低下を抑制できるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１５０は、ＰＷＭ制御の１周期のうちヒータへの通電時間帯（電圧印加実行時間Ｔｏｎ）において、複数回にわたりバッテリ電圧ＶＢを検出し、検出したバッテリ電圧ＶＢに基づいてヒータ４に供給した供給済み電力量ΣＷｉを演算している。つまり、ガス検出装置１５０は、ヒータ４への通電開始後にバッテリ電圧ＶＢが変動した場合でも、ヒータ４に対して実際に供給された電力量を判定できることから、ヒータ４への供給電力量を精度良く目標電力量に近づけることができる。ガス検出装置１５０は、ヒータ４によるガスセンサ素子の温度制御が良好となり、温度変動によるガスセンサ素子の活性化状態の変化を抑制でき、ガス検出精度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】センサ素子及びレファ素子の両方が断線した場合においても確実に故障検出が可能な接触燃焼式ガスセンサの断線検出装置を提供すること。
【解決手段】直流電源Ｅに直列接続されたセンサ素子１１及びレファ素子１２と、センサ素子１１及びレファ素子１２に対して並列接続された第１の抵抗Ｒ１、可変抵抗Ｒ３及び第２の抵抗Ｒ２の直列接続体とから構成されるブリッジ回路からの出力を、反転入力端子がセンサ素子１１及びレファ素子１２の接続点に接続され、非反転入力端子が可変抵抗Ｒ３の摺動子に接続されたオペアンプ２で増幅してセンサ出力電圧として出力する接触燃焼式ガスセンサ１において、センサ素子１１及びレファ素子１２の接続点と接地間に抵抗Ｒ７が接続されている。 （もっと読む）

【課題】高い耐熱衝撃性と低い熱伝導率を有する基板を備え、低コストで製造できるガスセンサおよびそれを備えた自動車両を提供することにある。
【解決手段】本発明によるガスセンサは、ガスセンサ部１２と、ガスセンサ部１２を支持する基板１１とを備えている。基板１１は、コージェライトを主成分とするセラミックス基板であり、このセラミックス基板１１は、ムライト相を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】コイルの周囲に配置される担体ペーストの濡れ性を向上させる。
【解決手段】白金コイル２の周囲に触媒つき担体ペースト７をビーズ状に配置するガスセンサ用ガス検知素子の製造方法において、白金コイル２の周囲に触媒つき担体ペースト７をビーズ状に配置する前に、触媒つき担体ペーストが希釈されたものを白金コイル２の表面にコーティングする工程を設けた。好ましくは、触媒つき担体ペースト７が希釈されたものを用い、白金コイル２の表面に約３〜５μｍの厚さのコーティング層を形成する。 （もっと読む）

【目的】点検作業の迅速および容易さを損なわずに、フィルター機能の発揮が低下することのないガスセンサおよびガス漏れ警報器の点検方法を提供する。
【構成】センサキャップを、その下端に鍔形状のフランジ36fを有し、内部に雑ガスフィルター35を有するセンサキャップ外筒36と、このセンサキャップ外筒に内接する様にはめ合わせられる下部側面に点検用通気孔37aを有し且つその下端に鍔形状のフランジ37fを有するセンサキャップ内筒37とで構成し、２つのフランジ間にＯリング様シール38を介して密封するようにする。 （もっと読む）

【課題】 被検査部の状況を確実に認識し、迅速かつ的確なガス検知を行えるガス検知装置を提供する。
【解決手段】 被検知ガスと接触自在に設けられたガス感応部を備えたガス検知素子１と、ガス検知素子１から出力を得る出力検出部３と、出力検出部３で得られた値に基づき被検知ガスの濃度レベルを判別する判別手段９と、ガス検知対象となる被検査部から被検知ガスを採取するガス採取部８とを設けたガス検知装置Ｘにおいて、ガス採取部８の先端部分８１及びその周辺の少なくとも何れか一方に向けて、照明光を照射可能な照明手段４を設ける。 （もっと読む）