【課題】従来技術を発展させた半導体ガスセンサを提供すること。
【解決手段】第１の端子部分が、半導体本体（２０）の表面に設けられたパッシベーション層（３０）を貫通する第１の成形部分（１１２）を有し、該第１の成形部分（１１２）は、参照電位に接続された導電性層（１１５）を備えた底面を有し、該第１の端子部分と制御電極（１００）とは第１の接合材（１３０）を用いて電気的接続かつ摩擦接続的に結合されている。第２の端子部分と前記制御電極（１００）とは第２の接合材（１４０）を用いて少なくとも摩擦接続的に結合されており、前記第１の接合材（１３０）は前記成形部分を少なくとも部分的に充填し、前記制御電極（１００）と前記導電性層（１１５）とを接続する。 （もっと読む）

【課題】消費電力量を低減させることのできる環境センサを提供する。
【解決手段】本実施形態の湿度センサ１００は、環境の雰囲気における湿度を検出するセンサ部１０と、センサ部１０に交流電圧を印加する電源部３０と、を備え、センサ部１０は、従来の湿度センサのセンサ部よりインピーダンスが高くなるように構成される。これにより、従来の湿度センサと比較して、センサ部１０における消費電力量を低減させることが可能となる。これにより、従来の湿度センサと比較して、センサ部１０を含む本発明の湿度センサ１００全体の消費電力量を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】構成や製造工程を簡素化しつつ保護ゲル部が感湿膜に付着するのをより効果的に抑制することのできる湿度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】湿度センサ１０は、基板２０の一面２０ａにおいて対向配置された一対の検出電極３１ａ，３１ｂと感湿膜３６を有する湿度検出部３０と、一面２０ａにおいて湿度検出部３０と離れて形成され、ボンディングワイヤ１１５が接続された状態で保護ゲル５０に覆われるパッド４０と、一面２０ａにおいて湿度検出部３０とパッド４０の間に形成され、パッド４０側から湿度検出部３０側への保護ゲル５０の流動を抑制するダム部６０と、を備える。ダム部６０は、検出電極３１ａ，３１ｂと同一材料を用いて一面２０ａに形成されたダミー配線６１と、感湿膜３６と同一材料を用いて形成され、ダミー配線６１の少なくとも一部を覆うダム用感湿膜６２を有する。 （もっと読む）

【課題】 導電性変化の感度を向上させる電極デバイスを用いて、ガス成分を高感度に検知できるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサは、基板上に少なくとも２つの電極が対向している電極デバイスから構成され、該電極デバイスは、前記基板の表面を化学処理して親水性を調整した後、前記基板を収容する溶液中で導電性ポリマーの原料となるモノマーを金属粒子の存在下で化学重合させ、前記導電性ポリマーと前記金属粒子との複合体を前記電極間に形成させる工程を含んで作成される。 （もっと読む）

【課題】ガスの検出感度とガスの脱離を両立することができる有機電界効果トランジスタ式ガスセンサおよびその使用方法を提供する。
【解決手段】有機半導体層を有する電界効果トランジスタ１と、電界効果トランジスタ１の温度を制御する温度制御機構２４とを備える有機電界効果トランジスタ式ガスセンサ３である。 （もっと読む）

【構成】
MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200℃の被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。
【効果】 フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。 （もっと読む）

【課題】特定のガスを検知する機能を備えた無線タグを提供する。
【解決手段】二つのアンテナ６１−１、６１−２と、アンテナ６１−１、６１−２から識別信号ｓｉｇ．１−１、ｓｉｇ．１−２を送信する送信回路６２と、アンテナ６１−１、６１−２と送信回路６２を一括収容した樹脂製のタグ体６３と、タグ体６３から露出した第１感応部６８−１と、第１感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２と、を備え、感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、感応部６８−１に覆われた第２感応部６８−２の電気抵抗率が変化することにより、アンテナ６１−１、６１−２から送信される信号が変化するように構成した。 （もっと読む）

【課題】マイグレーションの抑制と端子電極の密着強度の向上とを両立するセラミックヒータと、これを熱源とし、被測定ガス中の特定成分の濃度によって変化する電気的特性を検出するセンサ部を有するガスセンサ素子と、その製造方法を提供する。
【解決手段】耐熱性セラミックスを主成分とする絶縁体（１１〜１５）の内側に通電により発熱する発熱体１０と一対の発熱体リード部１００、１０１と一対の端子電極１０２、１０３を設けたセラミックヒータ１であって、少なくとも、絶縁体（１１〜１５）の内、発熱体１０が直接触れる部分を耐熱性セラミックスの含有率を相対的に高くした主成分高含有率絶縁体層１１、１２、１３とし、絶縁体（１１〜１５）の内、端子電極１０２、１０３が直接触れる部分を耐熱性セラミックスの主成分の含有率を相対的に低くした主成分低含有率絶縁体層１４、１５とする。 （もっと読む）

【課題】有機シリコーンガスに対する耐被毒性能が高く、ガスセンサの検出感度の回復時間をより短縮化させ、さらに被覆層におけるひび割れや剥離が生じ難いガス検知素子を提供すること。
【解決手段】検出電極２と、金属酸化物半導体を含むガス感応部４と、ガス感応部４を加熱する加熱部３とを備えるガス検知素子であって、ガス感応部４の外周面に、無定形の酸化アルミニウムを含む被覆層５を設けてあるガス検知素子。 （もっと読む）

【課題】超薄膜プラチナ粒界ナノ空間に金属化合物が形成された薄膜をガスセンサの感応膜に適用し、プラチナとナノ化合物の構成金属や膜厚や占有比率や形成条件を変える事で、水素およびそれ以外の様々なガスのセンシングに対応でき、長期信頼性の高い超薄膜ガスセンサを実現するデバイスを提供する。
【解決手段】基板上に設けられたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極とを具備し、ゲート電極は、酸素を含有する酸素ドープアモルファス金属と前記金属の酸化物結晶とが混合した金属酸化物混合膜と、前記金属酸化物混合膜上に設けられたプラチナ膜とを有し、プラチナ膜は、複数のプラチナ結晶粒と該プラチナ結晶粒間に存在する粒界領域から構成され、粒界領域は、金属酸化物混合物により埋められ、プラチナ結晶粒の周囲が金属酸化物混合物により囲まれた構造を有するガスセンサ。 （もっと読む）

【構成】
半導体基板の空洞に、薄膜ヒータをメタンの燃焼触媒で被覆した検知片と、薄膜ヒータを補償用材料で被覆した補償片とを設け、ブリッジ回路に組み込む。検知片がメタンの着火点以上に昇温しないように、駆動回路により電力を加えた際のブリッジ回路の出力を０点出力とし、複数の０点出力を基に基準値を発生させて記憶する。検知片がメタンの着火点以上の温度でのブリッジ回路の出力を、基準値により補正してメタンを検出する。
【効果】
半導体基板の空洞にヒータ薄膜を設けた接触燃焼式メタンセンサに対して、ヒータ抵抗のドリフトを補正する。 （もっと読む）

【課題】 比較的製造が容易で、信頼性が高く高感度で長寿命の接触燃焼式ガスセンサ及びその製造方法の提供。
【解決手段】 相互に熱隔離した検知素子１及び参照素子２を対にして備える接触燃焼式ガスセンサにおいて、検知素子１は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を混合した反応膜１ａを備え、参照素子２は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を含まず前記反応膜１ａと熱容量が等しい非反応膜２ａを備え、検知素子１及び参照素子２に、各々の電極線４に繋がる端子５を備える接触燃焼式ガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】高信頼性で生産性良いガスセンサを提供する。
【解決手段】マウントベース２には、電極ピン５、５が埋設されたピンステイ３と、電極ピン６、６が埋設されたピンステイ４が嵌合固定されている。一対の電極ピン５には検知素子７が接続固定されている。また、一対の電極ピン６には補償素子８が接続固定されている。１はキャップで、検知素子７と補償素子８の間に配置され断熱作用を奏する熱遮蔽板１ａを有するものである。前記キャップ１は、ほぼ円筒状に形成されているが、その外周部の一部には平坦面１ｂが形成されている。この平坦面１ｂはキャップ１の外周部に対向する位置関係で２箇所に設けられている。このように、キャップ１外周部の一部に平坦面１ｂを形成したことにより、外形形状として現れるこの平坦面１ｂを位置基準として用いることができるため、マウントベース２とキャップ１の正確な位置決めが可能になる。 （もっと読む）

【課題】イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、（２）第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、（３）第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を担持させ、攪拌する第３ステップと、（４）第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、（５）第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、（６）第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、（７）第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含む。常温でも敏感度及び応答性に優れるガスセンサーを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ面内における金属配線の抵抗分布のばらつきを抑え、得られるデバイスの特性や精度を面内で均一化させることが可能なマスクを提供する。
【解決手段】本発明のマスクは、金属配線を有するデバイス１０を基板２の一面上に多数形成する際に、該基板の一面に対向配置されて用いられるマスクであって、個々の前記デバイスが配される前記基板上の位置に応じて、それぞれのデバイスが有する前記金属配線に対応する部位の形状を変えたこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】使用可能な処理技術と材料の数、ならびに処理技術の順序における変更可能性を高めることである。
【解決手段】本発明は、とりわけガスセンサ用の化学的感受性電界効果トランジスタである電界効果トランジスタの製造方法に関する。使用可能な処理技術と材料の数、ならびに処理技術の順序における変更可能性を高めるために、本方法の枠内で、ゲート絶縁保護層（３）が形成され、このゲート絶縁保護層は、ゲート絶縁層（２）をさらなるプロセス化の際に環境の影響から保護し、ゲート電極層形成前に部分的にまたは完全に除去される。さらに本発明は、この種の電界効果トランジスタおよびその使用法に関する。 （もっと読む）

【課題】 ガスセンサ装着部について所期の防爆構造を有し、ガスセンサを確実に装着することのできる防爆型ガス検知器を提供すること。
【解決手段】 この防爆型ガス検知器は、ガスセンサ配置用空間を形成するガスセンサ装着部を有する防爆性容器と、ガスセンサ装着部に設けられた、円柱状の胴部および胴部より大きい外径を有する頭部を有するソケットと、ソケットに着脱自在に装着されるガスセンサとを備えており、ソケットは、胴部が防爆性容器の内部空間とガスセンサ配置用空間とを区隔する隔壁に形成された貫通孔内に挿通されて、胴部の外周面と貫通孔の内周面との間に微小隙間が形成された状態で、配置され、前記隔壁の内面より内方側に突出するソケットの基端部分に、脱落防止部材が装着され、ソケットが防爆性容器に対して遊嵌状態で設けられている。 （もっと読む）

【課題】測定感度、熱応答速度および測定精度がより向上した接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】 触媒膜を有しこの触媒膜に接触した測定ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出する検知素子およびこの検知素子の温度補償を行うための補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサにおいて、
前記検知素子および前記補償素子をダイヤモンド構造を有する導電性炭素質で形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサの性能を有効に発揮することができ、かつ、簡易な構成で小型化を図ることができるガスセンサの取付構造を提供すること。
【解決手段】ガスセンサの取付構造１は、ガスセンサ２をガス流通管７に取り付けてなる構造である。ガスセンサ２は、先端部３１に被測定ガスＧ中の被検出成分を検出するセンサ素子３と、センサ素子３を保持する筐体４と、センサ素子３の基端部３２及び筐体４を覆う基端側カバー６とを有する。基端側カバー６には、ガス流通管７の被取付固定部７０に取り付けられる取付固定部６０が設けられている。センサ素子３の先端部３１をガス流通管７の挿入孔７１に挿入し、基端側カバー６の取付固定部６０をガス流通管７の被取付固定部７０に取り付けることにより、基端側カバー６の天井部（基端天井部）６２とガス流通管７の外壁面７００との間において筐体４を軸方向に保持することができるよう構成されている。 （もっと読む）