【課題】 光吸収膜にて吸収されなかった光を効率よく反射させて光吸収膜に導き、熱型光検出器の検出感度を高めること。
【解決手段】 熱型光検出器１０Ａは、第２凹部２２の底面２３が光反射曲面２４となる基板２０と、光吸収膜３２を含む熱型光検出素子３０と、熱型光検出素子を支持する支持部材４０とを有する。支持部材４０の少なくとも一部は多結晶シリコンに不純物が分散した光吸収部４１を有する。入射光のうち光吸収膜３２にて吸収されなかった光は、光反射曲面２４にて反射されて、光入射方向とは逆向きの反射光経路を辿って光吸収部４１に吸収されることで、光検出感度が向上する。 （もっと読む）

【課題】高強度の高エネルギー放射光の束の断面におけるパラメータの空間分解測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、高エネルギー、高強度放射光のビーム束の断面全体にわたって測定データを空間的に取得する方法および装置に関する。高強度のビーム束の断面内で、検出器の飽和または劣化による測定精度の低下を発生させることなく、高空間分解測定データを取得する放射光測定の新しい可能性を見出すという目的は、本発明によれば、ビーム束（２）の全断面（２１）が遮蔽要素（３）上に結像され、断面（２１）が、少なくとも１つの開口部（３１）の移動を通じて、断面積が小さく、強度が弱い部分ビーム束（２２）へと連続的に分離され、開口部（３１）を通過する部分ビーム束（２２）の測定値が、時間的および空間的に開口部（３１）の位置に関連付けられるように取得され、記憶されることにより達成される。 （もっと読む）

【課題】 接触部材の接触面側での直接反射光による影響を低減すること。
【解決手段】 発光部１４と、受光部１６と、反射部１８と、被検査体と接触する接触面を備える接触部材１９−２を有すると共に、接触部材が発光部１４が発する光の波長に対して透明な材料で構成され、かつ発光部１４を保護する保護部１９と、基板１１と、を含み、発光部１４から発せられた光が、保護部１９における接触部材１９−２の接触面側で一回反射して受光部１６の受光領域に入射することが抑制される。 （もっと読む）

【課題】 光吸収膜にて吸収されなかった光を効率よく反射させて光吸収膜に導き、熱型光検出器の検出感度を高めること。
【解決手段】 熱型光検出器１０Ａ〜１０Ｄは、凹部２２の底面が光反射曲面２４となる基板２０と、光吸収膜３２を含む熱型光検出素子３０と、熱型光検出素子を支持する支持部材４０とを有する。基板２０と支持部材４０とは空洞部５０を介して熱分離される。平面視において、光反射曲面２４と光吸収膜３２とが重なり合い、かつ、光反射曲面２４の平面視での投影面積は光吸収膜３２よりも広く形成されている。入射光のうち光吸収膜３２にて吸収されなかった光は、光反射曲面２４にて反射されて、光入射方向とは逆向きの反射光経路を辿って光吸収膜３２に吸収されることで、光検出感度が向上する。 （もっと読む）

本発明は、光学的センサ、特に工業自動化システム用の光学的センサのための光発信器および光受信器に関し、光発信器の場合には、光を発生するために半導体系の光源（ＬＤ）を有し、半導体系の光源（ＬＤ）が多層プリント基板（ＬＰ）の両外側層（ＯＬ，ＵＬ）間の構造空間内に配置され、半導体系の光源（ＬＤ）の光出射方向がプリント基板（ＬＰ）の層（ＬＡＹ）にほぼ平行に向けられ、半導体系の光源（ＬＤ）から放射される光をプリント基板（ＬＰ）の層（ＬＡＹ）に対してほぼ垂直な方向に転向させるための転向ユニット（ＵＥ）が設けられている。光受信器の場合には光源の代わりに光センサが設けられている。このような光学センサは格別に平らで組立しやすい構成にすることができる。 （もっと読む）

【課題】駆動軸の不要な回折光度計方式の分光検出器、および該分光検出器に用いられる熱型検出素子を提供する。
【解決手段】１つの面上に光吸収ピーク波長の異なる受光部を２つ以上備えた熱型検出素子を提供する。前記受光部は、電極間に焦電性材料による膜を介在させた構成であり、前記膜の膜厚を前記受光部毎にそれぞれ異ならせた構成である。また、前記熱型検出素子は、湾曲可能なフレキシブル基板上に前記各受光部を一次元アレイ状に配設して構成されている。 （もっと読む）

【課題】被測定光源などによる光吸収を補正することが可能な半球型の光束計およびその光束計を用いた測定方法を提供する。
【解決手段】ミラー部３には、半球部１の内面側と外部側との間を連通可能な、光源窓２および照明窓４が形成される。光源窓２は、主として被測定光源ＯＢＪを装着するための開口である。照明窓４は、自己吸収を測定するために使用される補正光源９からの光束を半球部１の内面に向けて照射するための開口である。被測定光源ＯＢＪの自己吸収補正係数は、光源窓２に非発光状態の被測定光源ＯＢＪが装着された場合に、補正光束によって生じる照度と、光源窓２に校正用ミラーが装着された場合に、補正光束によって生じる照度とに基づいて算出される。 （もっと読む）

３２チャネルＰＭＴセンサーに基づくファイバー化された単一光子の鋭敏な分光計は、広い検出ダイナミックレンジに非常に鋭敏である。分光計は、複数の蛍光マーカー（例えば複数の蛍光染料によって放出された多色蛍光信号または放射の構成など）でラベルが付けられた生体サンプルの正確かつ高速な検出、同定および解析を可能にする。分光計のファイバー化された光入力は、分析された蛍光のファイバー集束に基づいた任意の測定システムへの容易および高効率な結合を可能にする。分光計は非常に正確なＤＮＡ塩基配列決定を提供する。３２チャネルＰＭＴ単一光子検出器は、２０ビット以上の検出ダイナミックレンジを有して、毎秒約３３００のフレームのフレーム率を有している。検出器のピクセルのダイナミックレンジは、毎秒１０^８の光子計数に達する。 （もっと読む）

【課題】計測対象が発光部による発熱の影響を受けにくい光センサを提供する。
【解決手段】本体１３は、少なくとも一部が反射面とされた凹状の内面を備えている。発光部１１は、本体１３の内面上に配置されている。光通路１４は、発光部１１から発せられた光を外部に送り出すものである。受光部１２は、発光部１１から発せられ、かつ、外部を通過した光を受光するものである。発光部１１を、本体１３の内面側に計測対象から離して配設することにより、計測対象への熱の影響を低く抑えることができる。また、発光部１１に対向する位置に反射部１７を設けることができる。 （もっと読む）

本発明は、マイクロリソグラフィー投影露光装置用の照明システムに関するものであって、その場合に照明システムが、射出瞳面（１２１）を照明するための、波長領域≦１００ｎｍ、特にＥＵＶ波長領域内の光を放出する、光源、および射出瞳面（１２１）内で少なくとも１つの第１の照明（２２）を第２の照明（２４）へ変化させることができる素子と光を検出するための少なくとも１つの検出器（１０６．１、１０６．２）を有し、その場合に、照明システムが、検出器（１０６．１、１０６．２）の少なくとも１つの光強度信号を記録して、少なくとも記録した光強度信号に従って制御信号（１６６）を提供する装置（１６４）を有しており、前記制御信号によって、マイクロリソグラフィー投影露光装置の像面（２２１）内で感光性の物体のスキャン速度を調節することができることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】平面を３次元的に加工する手法を提供し、この方法によってガス濃度検出器に用いる凹面ミラーを製造する。
【解決手段】Ｓｉ基板１１０上にマスク２００を形成する（図４（ａ））。このとき、マスク２００を半径の異なる複数の同心円として形成すると共に、各同心円間の開口部が外径方向に向かうほど小さくなるようにマスク２００を形成する。この後、Ｓｉ基板１１０をドライエッチングし、マスク２００の開口部の面積に応じた深さの溝を形成する（図４（ｂ））。続いて、Ｓｉ基板１１０が露出した部分を熱酸化し（図４（ｃ））、フッ酸でＳｉ基板１１０の表面に形成された熱酸化膜を除去する（図４（ｄ））。そして、Ｓｉ基板１１０を熱処理し（図４（ｅ））、Ｓｉ基板１１０の表面に金属を蒸着して反射膜３００を形成する。こうして、ガス濃度検出器に用いられる凹面ミラーが完成する。 （もっと読む）

【課題】体格を大型化することなく広い角度範囲の光を検知でき、且つ、受光素子の信頼性を向上することのできる受光器及び当該受光器を備えたレーダ装置を提供する。
【解決手段】受光器１００を、外部から光が入射され、入射された光の屈折角度θｒが、当該光の入射角度θｉよりも小さい屈折体１１１と、屈折体１１１の入射面１１１ａ上に、受光面１２１を入射面１１１ａ側に向けて配置された第１受光素子１２０と、入射面１１１ａと対向する屈折体１１１の対向面１１１ｂに設けられ、入射面１１１ａを通して屈折体１１１に入射された光の少なくとも一部を、第１受光素子１２０に向けて反射するミラー１１２と、を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は赤外線撮像装置に関し、レスポンシビティのばらつき補正と暗電流のばらつき補正を行なうことができる赤外線撮像装置を提供することを目的としている。
【解決手段】赤外線検知素子が複数組み合わせられてなる赤外線検出器の前面で入射光路を遮断するよう反射面を赤外線検出器に対向させて挿入する凹面ミラー２２と、該凹面ミラー２２と同一の位置に入射光路を遮断して挿入される温度補正部２３と、前記凹面ミラー２２と温度補正部２３とを赤外線検出器３の前面に所定時間挿入する駆動手段と、入射光路を凹面ミラー２２及び温度補正部２３が遮断した状態で、各々の赤外線検出素子の出力を均一に補正する信号処理回路と、を備え、同一ベース２１上に配置された凹面ミラー２２及び温度補正部２３の回転中心に平歯車を設け、その平歯車と１対１で駆動する平歯車を回転中心に備えたカウンタウェイト３９を配置して構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ＬＥＤチップの発光の指向性や光の入射角度に関係なく、ＬＥＤチップの光の強度及び／又は波長を正確に測定することができる光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤチップ１０の光を受光手段３００で受光し、この受光手段３００の出力結果に基いてＬＥＤチップ１０の光の光学特性を測定する装置であって、ＬＥＤチップ１０が置かれる部分が少なくとも透明であるプレートと、このプレートを挟んでＬＥＤチップ１０の発光面と対向しており且つＬＥＤチップ１０の各方向の光を受光手段３００に集める集光器５００を備え、集光器５００は、受光手段３００が覗いており且つＬＥＤチップ１０の光を反射して受光手段３００に入射させるために拡散反射性を有した略球面状の凹部５１０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】車両の前後における運転者の死角領域に子供などの人間が存在するか否かを簡単な構成で確実に検知する。
【解決手段】車両１１の前面または後面に、複数のサーモパイル素子２１、２２、２３、２４、２５、２６を水平方向および垂直方向に所定の距離だけ離間して複数列、複数段にアレイ状に配置した人体検知センサ１３、１４を設置する。人体検知センサ１３、１４は人体１７からの赤外光を集光するカセグレン光学系４０とユニットを構成しており、人体１７からの赤外光を複数のサーモパイル素子２１、２２、２３、２４、２５、２６の各々で検出した出力パターンにより人体１７を検出する。 （もっと読む）

【課題】 視野外からの赤外線や装置の構成部材自体からの赤外線が検知素子に導かれるのを防止する。
【解決手段】 視野内からの光を入射し、光軸１１に沿って透光部１７が形成された１次鏡１２と、該１次鏡１２と対向して配置され、該１次鏡１２で反射した光を入射して透光部１７に向けて出射する２次鏡１３と、透光部１７と略同心状に配置されて該透光部１７を通過した光を検知する検知器１８とを備えている。また、１次鏡１２と２次鏡１３とを所定間隔で連結する支持部材１６と、該支持部材１６に配設した反射板２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】指向性の狭い発光体の近傍に配置したカメラでその発光体全体を測定できる発光状態測定装置を提供する。
【解決手段】光変換手段１１の凹面鏡１４は発光体５の全体から射出された平行光を入射し、これを集光した後、再び平行光に戻して射出する。撮像手段１２は、光変換手段１１を介して発光体５を撮像し、解析手段１３は撮像手段１２が撮像した画像を解析して発光体５の各部の発光状態を検査する。光変換手段１１を設けることで、レンズ開口が発光体５より小さい撮像手段１２を用いて、発光体５の射出する平行光全体を平行光のまま受光して撮像できる。 （もっと読む）

放射検出装置２００は、放射検出器２１０およびレンズ装置２１８を備える。レンズ装置２１８は、偏波素子２２０および光学補正器２２２を備える。光学補正器２２２は、好ましくは、偏波素子２２０と放射検出器２１０の間に配置され、レンズ装置中に存在する光学収差を補正するように設計された少なくとも１つの面を有する。光学補正器は、偏波素子の機械的支持体となるように構成されることができる。光学補正器２２２は、装置２００の回折限界偏波受容角を増大させるように構成される。
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【課題】 反射率計測センサの校正を短時間で行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】 マスクＭのパターンを投影光学系ＰＬを介して感光性基板Ｐ上に露光する露光装置において、前記感光性基板の反射率を計測する反射率計測センサ１９と、前記反射率計測センサの校正を行うために用いられ、前記感光性基板を載置する基板ステージＰＳＴ上とは別の位置に配置される基準反射板２６と、必要に応じて前記基準反射板を前記基板ステージ上に設置する設置手段と、前記設置手段により設置された前記基準反射板の反射率を前記反射率計測センサにより計測し、計測された前記反射率に基づいて前記反射率計測センサの校正値を算出する算出手段２０と、前記算出手段により算出された前記校正値に基づいて前記反射率計測センサの校正を行う校正手段とを備える。 （もっと読む）