【課題】製造コストや維持コストおよび占有体積を抑制することが可能なＸ線照射装置および高周波電力生成ユニットの提供。
【解決手段】Ｘ線照射装置１００は、高周波電力を生成する高周波電力生成ユニット１１２と、電子線を放出する電子銃１１０と、高周波電力生成ユニット１１２による高周波電力の供給を受けて、電子銃１１０から放出された電子線を加速する加速器１１８と、加速器１１８で加速された電子線をＸ線に変換するＸ線変換部１２０と、を備え、高周波電力生成ユニット１１２は、高電圧のパルス電圧を生成する高周波電源１１２ａと、振幅が相異なる複数のパルスを規則的に配したドライブ信号を生成する信号発生器１１２ｃと、パルス電圧の供給を受け、ドライブ信号に応じて高周波電力を生成する高周波電力増幅器１１２ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの軌道を擾乱させることなく、ドロップレットターゲットをレーザ照射位置に高速に供給する機構と、プラズマから発生したイオン（帯電したデブリ）を磁場の作用によりトラップする機構とを両立させる。
【解決手段】極端紫外光源装置は、（ｉ）内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、（ii）チャンバ内にターゲット物質を噴射するターゲットノズルと、（iii）ターゲットノズルから噴射されるターゲット物質を帯電させる電荷供給装置と、（iv）電磁石、超伝導磁石、及び、永久磁石の内のいずれかを含み、チャンバ内にミラー磁場を形成する１組の磁石と、ターゲット物質の軌道において該ミラー磁場の磁束線が略直線状且つターゲット物質の進入方向に対して略平行となるように、補助的な磁場を形成する少なくとも１つの補助磁場形成装置とを含む磁場形成装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】線形加速器から出射させる電子ビームのエネルギを異ならせても、発生させるＸ線の線量の変動を抑制する、ことを目的とする。
【解決手段】Ｘ線発生装置１０は、電子ビームを発生させる電子銃１２、電子銃１２によって発生された電子ビームをマイクロ波によって加速させる線形加速器１４、線形加速器１４によって加速された電子ビームが照射されることによって、Ｘ線を発生するＸ線ターゲット１６、線形加速器１４に導入させるマイクロ波を発生するマイクロ波発生装置、マイクロ波の電力が変化するようにマイクロ波発生装置を制御するパルスモジュレータを備える。線形加速器１４は、複数のバンチャ空洞４０を有しているため、マイクロ波の電力を低下させることで加速位相からずれた電子が生じても、該電子を次の時間周期の加速位相にて加速させることができるので、マイクロ波の電力を低下させても出射される電子ビームの強度の低下が抑制される。 （もっと読む）

【課題】カソード電極、高周波増幅器および加速器を自動でエージングする。
【解決手段】エージング装置２００は、設定値テーブル２３０を記憶するパラメータ記憶部２１６と、設定値テーブルに基づいて初期値から定格値まで段階的に設定値を変更するパラメータ設定部２５０と、パラメータ設定部が変更した設定値に基づいて、電力供給部による電力供給処理を制御する電力制御部２５２と、各ユニットのうちの少なくとも１つのユニットにおいて、予め設定されたエラー判定条件を満たしたか否かを判定するエラー判定部２５４と、エラー判定条件を満たしたと判定されると、電力供給部による電力供給処理を停止させる停止処理を実行する停止制御部２５６と、を備え、パラメータ設定部は、停止処理が実行された場合に、パラメータの設定値を、停止処理の実行時における設定値よりも前段階のいずれかの設定値に変更する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子を加速するための加速電極と、加速電極に電力を供給する高周波電源とのインピーダンス整合をとる際の調整時間の短縮化を図ることが可能な調整回路を備えた粒子加速器を提供すること。
【解決手段】加速電極と高周波電源とのインピーダンス整合をとる整合回路の常数の調整を電気的に行う構成とする。具体的には、コイル２３のインダクタンスＬ１を調整するための円環状のフェライトと、フェライト２４に巻き付けられたバイアス巻線２５と、バイアス巻線２５にバイアス電流を供給するバイアス電源３１と、バイアス巻線２５に供給するバイアス電流を増減するバイアス電流調整部とを備える構成とし、バイアス巻線２５に供給するバイアス電流の増減を調整することで、フェライト２４の透磁率μを変更し、整合回路１０の常数を短時間で調整する。 （もっと読む）

【課題】１台の加速器で加速エネルギーを容易に変えることができ、加速中は高周波加速電極部の共振周波数の変更は不要な円形加速器を提供すること。
【解決手段】偏向磁場を形成する偏向電磁石と、荷電粒子の周回周波数に合わせて高周波電界を発生させるための高周波電源と、この高周波電源に接続された高周波電磁界結合部と、この高周波電磁界結合部に接続された加速電極と、荷電粒子の周回方向に高周波電界を発生する加速ギャップを、加速電極との間に形成するよう設けられた加速電極対向接地板とを備え、荷電粒子の周回周波数が、荷電粒子の入射から出射までの間に、荷電粒子の出射部分における周回周波数に対して、０．７％以上、２４．７％以下の変化量で変化する偏向磁場を、偏向電磁石が生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】粒子線治療装置で要求される照射ビームのエネルギーの変更制御が容易でありかつ、装置コストおよび装置の大型化を抑えられるイオンシンクロトロンを提供する。
【解決手段】電磁石電源制御装置22は、対して励磁電流パターンデータ401に基づき励磁電流設定値221を偏向電磁石電源21に設定する。電流変化検出装置23は、偏向電磁石電源制御装置22から入力した励磁電流設定値221の変化量が更新制御の基準となる参照電流値（Iref）以上になると、高周波制御装置32内の周波数更新制御部36に周波数更新指令信号231を出力する。高周波制御装置32内の周波数更新制御部36は、周波数更新指令信号231を入力すると、周波数データメモリ35に記憶された周波数パターンデータ403から励磁電流設定値221の変化に対応する周波数データ351を読み込み、高周波発振器34に周波数設定値321として設定する。 （もっと読む）

【課題】全体の寸法を小型化するとともに作業効率を向上させて製造コストを安価にした超伝導加速空洞のポート部材を提供する。
【解決手段】一端部が空洞本体の端部に設けられた高調波カプラ１３に形成されたポート部２７に溶接で接合され、他端部がピックアップアンテナ２２とフランジ結合される超伝導加速空洞のピックアップポート２３であって、ポート本体３３およびフランジ部３５が低純度のニオブ材あるいはニオブ以外の成分が所定割合よりも低いニオブ合金によって一体的に形成され、フランジ結合がクイックカップリング４１を用いて行われる。 （もっと読む）

【課題】従来のこの種の装置では不可能な伝送路長の大きな変化による位相変動を調整できると同時に、検出精度を高める。
【解決手段】高周波信号である原信号を発生する原発振器１と、制御信号に基づいて原信号の通過時間を調整する移相器２と、原信号が伝送される伝送路３と、位相検出用信号を発生する位相検出用発振器４と、位相検出用信号の周波数を切り替える信号を発生する周波数切替信号発生器５と、位相検出用信号を２つに分岐して、基準信号と変調信号として出力する方向性結合器６と、方向性結合器６により分岐した変調信号が伝送される伝送路７，８と、方向性結合器６により分岐した基準信号と方向性結合器６により分岐して伝送路７，８を伝播した変調信号との位相を比較し、比較結果に応じて、原信号の通過時間を調整する制御信号を生成し移相器２に出力する位相検出器９とを備えた位相制御装置である。 （もっと読む）

【課題】製造コストが比較的廉価であって入手が容易な高純度銅（６ＮＣｕ）をベースとして、残留抵抗比（ＲＲＲ）が大きく、極低温環境下で安定して使用することが可能な粒子加速器用銅材料、この粒子加速器用銅材料からなる粒子加速器用銅管及びこの粒子加速器用銅管の製造方法、並びに、粒子加速器を提供する。
【解決手段】粒子加速器において使用される粒子加速器用銅材料であって、ガス成分を除いたＣｕの純度が９９．９９９９質量％以上９９．９９９９９質量％未満とされ、Ｆｅの含有量が０．１ｐｐｍ未満、Ｐの含有量が０．１ｐｐｍ未満、Ａｌの含有量が０．１ｐｐｍ未満、Ａｓの含有量が０．１ｐｐｍ未満、Ｓｎの含有量が０．１ｐｐｍ未満及びＳの含有量が０．１ｐｐｍ未満とされており、残留抵抗比が３０００以上とされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高周波電圧の位相を高精度、高安定に制御することができる高周波制御装置の提供。
【解決手段】ディジタル位相信号を正弦波の振幅ディジタル信号に変換する変換器２により変換された正弦波の振幅ディジタル信号をアナログ信号に変換するＤＡコンバータ３と、３の出力であるアナログ信号を増幅する増幅器４と、４からの出力を入力して電圧に変換し、荷電粒子を加速する加速空洞５と、５に発生する電圧と、電圧によって加速される荷電粒子の電流との位相差を検出する検出器３１と、３１の出力信号をディジタル信号に変換するＡＤコンバータ３２と、３２の出力信号を入力し位相差を一定に制御するコントローラ３３と、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するシンセサイザ１と、３３からの出力信号と、１から出力されるディジタル位相信号を加算したディジタル位相信号を、２に入力する加算器１１とを備える。 （もっと読む）

本発明は、切り換え可能な疑中性ビームシステムを用いてリアルタイムで基板を処理して、フォトレジスト層のエッチング耐性を改善する装置及び方法を供してよい。それに加えて、前記の改善されたフォトレジスト層は、エッチング処理において、ゲート及び/又はスペーサの限界寸法(CD)のより正確な制御、ゲート及び/又はスペーサのCD均一性の正確な制御、並びに、ライン端部粗さ(LER)及びライン幅粗さ(LWR)の除去に用いられてよい。
（もっと読む）

【課題】波形ひずみの影響を考慮して効率良く荷電粒子を加速できる粒子加速器を得ることを目的とする。
【解決手段】荷電粒子ビームを加速する加速空洞４に高周波加速電圧を印加する制御装置２０は、低電力信号Ｖｏ（ｔ）を出力する低電力信号発生器９と、低電力信号Ｖｏ（ｔ）を増幅する高周波電力増幅器１０を有し、低電力信号Ｖｏ（ｔ）は、正弦波信号である基本波信号の周波数及び基本波信号に起因して加速空洞４に発生する高調波信号の周波数毎に、低電力信号発生器９から出力される正弦波信号の発生器信号振幅Ｖｏａと加速空洞４に発生した空洞電圧Ｖ（ｔ）の空洞電圧振幅Ｖａとの比である伝達倍率ｇ（ｆ）、及び正弦波信号と正弦波信号により加速空洞４に発生する正弦波空洞電圧との位相差である位相遅延φ（ｆ）があらかじめ測定され、測定された伝達倍率ｇ（ｆ）及び位相遅延φ（ｆ）に基づいて生成される。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子を安定して取り出すことを可能とする荷電粒子の取出装置及び取出方法の提供。
【解決手段】高周波信号の発生回路１００は、高周波ノックアウトにより荷電粒子を取り出す際に、加速器の周回周波数ｆ_rev、加速器１周当りのベータトロン振動数の小数点以下の値をｑとした場合に、ノックアウト周波数ｆ_KO＝（ｍ±ｑ）ｆ_rev（ｍは０及び１以上の整数）であってｍが異なる周波数をそれぞれ含み、互いに分離された複数の周波数帯の高周波信号をＲＦＫＯ機器２８へ出力する。 （もっと読む）

本発明は、導波管、特に誘電体壁加速器における導波管、並びに導波管を製造する方法に関する。本発明によれば平面的に接触接続された電子デバイス（５０）が、導波管に、特に誘電体壁加速器の加速器セル（１０）の導波管に組み込まれる。
（もっと読む）

【課題】パルス状の励磁電流により磁場を発生させるとき、磁場の立ち上がりを速く、かつ安定させるとともに、フラットトップの長さを長くさせて、制御対象粒子線の軌道が乱れないよう構成された高速励磁型電磁石システムを提供する。
【解決手段】パルス伝送ケーブル４を介してパルス状の主励磁電流が供給されたとき、整合型終端装置５によって、インピーダンス整合させながら、主電磁石２の主励磁コイル１２に主励磁電流を供給して、主磁束を発生させるとともに、補助励磁電流生成装置６、パルス伝送補助ケーブル７によって、主励磁電流の一部から主励磁電流の波形を補正するのに必要な波形、位相を持つパルス状の補助励磁電流を生成させ、これを補助電磁石３に供給させて、補助磁束を発生させ、終端装置８で終端させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な制御で高周波の非正弦波の加速電圧を加速空洞に印加しビーム損失を改善する高周波加速装置を得る。
【解決手段】高周波の正弦波信号を出力する第１加速電圧信号生成装置６ａと、任意波形生成器１８により高周波の非正弦波信号を出力する第２加速電圧信号生成装置６ｂと、前記高周波の正弦波信号と前記高周波の非正弦波信号を切り替える加速電圧信号切替器７と、この加速電圧信号切替器７への切替えタイミング信号を発生する制御信号発生装置８と、この制御信号発生装置８の切替えタイミング信号により加速電圧信号切替器７で切り替え選択された前記高周波の正弦波信号と前記高周波の非正弦波信号のいずれかの信号を増幅し、加速電圧として加速空洞４に印加する電力増幅器５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】コンデンサにて内導体と外導体との間に所要の電位差を与え、マルチパクタ現象を防止し、高周波を加速器に伝達する加速器用高周波カプラを提供する。
【解決手段】コンデンサ16は、内導体に接続する内側導体リング21、外導体に接続する外側導体リング22、内側導体リング21と外側導体リング22との間に介在する絶縁体23を備える。絶縁体23は、ポリイミド樹脂フィルムを成形することにより、周方向に継ぎ目のない円筒状に形成し、絶縁破壊を防止する。このコンデンサ16にて内導体と外導体との間に所要の電位差を与え続け、マルチパクタ現象を防止し、高周波を加速器に伝達する。 （もっと読む）

ＲＦ生成器が、入力部分と出力部分、さらに前記入力部分と前記出力部分との間に伸長する開口部を有する構造物を含んで成り、出力部分は第１の空洞および第２の空洞を有し、前記第１および第２の空洞は互いに電磁気的に結合しないように互いに離されている。ＲＦエネルギーを与える方法が、電子ビームを受け入れる工程と、前記電子ビームを使用して生成される第１のＲＦエネルギーを、第１の空洞を通して与える行程と、前記電子ビームを使用して生成される第２のＲＦエネルギーを、第２の空洞を通して与える行程と、を含み、前記第１および第２の空洞が、互いに電磁気的に連結されないように、互いに離れている。
（もっと読む）

【課題】シンクロトロンの出射ビーム電流の増強と安定化により、高い線量率が安定に得られる粒子線治療システム及びシンクロトロンの運転方法を提供する。
【解決手段】粒子線治療システム１００は、シンクロトロン２００と、ビーム輸送系３００と、照射装置５００から構成される。制御装置６００は、シンクロトロン２００で荷電粒子ビームを所定のエネルギーまで加速したのち、加速空胴２５に印加した高周波電圧を少なくとも一度ＯＦＦしたのち再びＯＮし、基本波成分とその整数倍の周波数を有する高調波成分を合成した高周波電圧を加速空胴２５に印加した状態で、荷電粒子ビームを出射装置２６と出射偏向装置２７を用いてビーム輸送系３００へと出射する。 （もっと読む）