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Fターム[2H025FA17]の内容

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Fターム[2H025FA17]に分類される特許

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【課題】リソグラフィー特性が良好で、形成されるレジストパターンの形状も良好なポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)、および含窒素有機化合物成分(D)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、環骨格中に−SO−を含む構成単位を有し、かつ、その構造中に酸解離性溶解抑制基を含む高分子化合物(A1)を含有し、前記含窒素有機化合物成分(D)を少なくとも2種含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】優れた感度で、LWRの小さい、良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物、該ポジ型レジスト組成物の基材として利用できる高分子化合物、該高分子化合物の構成単位の合成に利用できる化合物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)は、酸解離性溶解抑制基を含む構成単位(a0)を有する高分子化合物(A1)を含み、かつ前記構成単位(a0)における酸解離性溶解抑制基が、下記一般式(a0−0−1)で表される基を含む。[式(a0−0−1)中、R’及びR’はそれぞれ独立して水素原子又は炭素数1〜5のアルキル基を表し、Yは単結合又は二価の連結基であり、Rはその環骨格中に−SO−を含む環式基である。]
[化1]
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【課題】ジケトピロロピロール顔料を用い、耐熱性に優れる着色組成物を提供すること、並びにこれを用いて高コントラストなカラーフィルタを提供すること。
【解決手段】着色剤[A]と、光重合開始剤[B]と、有機溶剤[C]と、透明樹脂[D]と、透明樹脂前駆体[E]とを含む着色組成物であって、着色剤[A]がジケトピロロピロール系顔料を含み、かつ、透明樹脂前駆体[E]が透明樹脂前駆体[E]の全量を基準として50重量%以上のN−置換マレイミド、好ましくはシクロヘキシルマレイミドを含む着色組成物、および基板上に、前記着色組成物から形成されるフィルタセグメントを具備するカラーフィルタ。 (もっと読む)


【課題】ベイク工程後に得られたFPCの反りを低減し、機械物性を向上させ、溶剤耐性を改善することのできる樹脂パターンの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の樹脂パターンの製造方法は、(1)ポジ型感光性樹脂組成物をフィルム基材に塗布し、次いで脱溶剤し感光性ドライフィルムを作る工程と、(2)前記感光性ドライフィルムを、パターンを配した基板上に圧着し感光層を形成する工程と、(3)前記感光層に、マスクを通して活性光線を照射する工程と、(4)前記感光層をアルカリ水溶液により現像する工程と、(5)前記感光層を水及び酸性水溶液からなる群から選択される少なくとも1つの溶媒によりリンスする工程と、(6)前記感光層の全体に活性光線を照射する工程と、(7)100℃〜400℃でキュアする工程とを具備することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】レジスト組成物、および該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を有機溶剤(S)に溶解してなるレジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、その環骨格中に−SO−を含む環式基を側鎖に有するアクリル酸エステル系の特定の構成単位(a0−1)を有する高分子化合物(A1)を含有し、前記有機溶剤(S)が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、および2−ヘプタノンを含有することを特徴とするレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】膜表面の疎水性が高いレジスト膜を形成できるポジ型レジスト組成物、及び当該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】その環骨格中に−SO−を含む環式基を含む(メタ)アクリル酸エステル構成単位(a0)と酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)とを有する高分子化合物(A1)と、酸発生剤成分(B)と、塩基解離性基を含有する構成単位を有する含フッ素高分子化合物(F1)とを含有するポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有し、(A)成分は、側鎖の末端に「−SO−を含む環式基」を含む構成単位(a0)を有し、かつ、その構造中に酸解離性溶解抑制基を含む高分子化合物(A1)を含有し、(B)成分は、一般式(b1−1)[式中、Rは置換基を有していてもよい炭素数1〜12の炭化水素基である。ただし、−SOにおける硫黄原子に隣接する炭素原子にはフッ素原子は結合していない。Zは有機カチオンである。]で表される化合物からなる酸発生剤(B1)を含有するポジ型レジスト組成物。
[化1]
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【課題】微細なパターン形成、フィルム特性や、保護膜としての信頼性に優れた皮膜を有するポリイミドシリコーン、感光性樹脂組成物及びパターン形成方法を提供。
【解決手段】水素原子の一部又は全部が酸不安定基で置換のフェノール性水酸基を分子中に有する式(1)のポリイミドシリコーン。


[Xは四価の基で、その少なくとも一部が式(2)


(R1は一価炭化水素基、R2は三価の基、nはその平均が1〜120)の四価の有機基、Yは二価の基の酸不安定基で置換のフェノール性水酸基含有の基] (もっと読む)


【課題】抵抗値が低いパターンを形成可能な、安価なアルミニウム含有感光性樹脂組成物、および該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】(A)アルミニウム粉末、(C)(メタ)アクリル酸由来の構成単位を5〜20重量%、アクリル酸エステル由来の構成単位を25〜95重量%、およびメタクリル酸エステル由来の構成単位を0〜70重量%の範囲で有するアルカリ可溶性樹脂、(D)多官能(メタ)アクリレート、ならびに(E)光重合開始剤を含有することを特徴とするアルミニウム含有感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ポジ型レジスト組成物、及び該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)、および露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記基材成分(A)は、環骨格中に−SO−を含む環式基を含む構成単位(a0−1)を有する高分子化合物(A1−1)と、前記高分子化合物(A1−1)が有する構成単位と同一の構成単位(a0−1)を有し、構成単位(a0−1)の含有割合(モル%)が、前記高分子化合物(A1−1)と異なる高分子化合物(A1−2)とを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】膜表面の疎水性が高いレジスト膜を形成できるポジ型レジスト組成物、及び当該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】側鎖の末端に「−SO−を含む環式基」を含有する構成単位(a0)と、酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)とを有する高分子化合物(A1)と、酸発生剤成分(B)と、フッ素原子を有していてもよい酸解離性溶解抑制基含有基を含み、かつ少なくとも1つのフッ素原子が含まれる構成単位(f1)を有する含フッ素樹脂成分とを含有するポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】良好な現像性を示し、焼成後の反りが小さく、難燃性を発現する感光性組成物及び該感光性樹脂組成物からなる感光性フィルムを提供すること。
【解決手段】
(A)アルカリ溶解性ポリイミド及び/又はポリイミド前駆体、(B)芳香族性水酸基を有するホスファゼン化合物の水酸基の一部の水素原子がキノンジアジド構造を有する官能基で置換されているキノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】硬化物が可とう性を有して優れた屈曲耐性と柔軟性を備え、硬化物が積層された基板の反りを極力抑制することが可能な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 (A)ラジカル重合性の不飽和結合を有するポリアミド酸樹脂100重量部に対し、(B)光重合開始剤0.5〜20重量部を含有する感光性樹脂組成物であって、(A)成分は、原料として、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、全ジアミン成分100モルに対してジヒドラジド化合物を30〜100モルの割合で含むジアミン成分と、を反応させて得られる下記一般式(1)で表される構成単位を有するヒドラジド結合含有ポリアミド酸樹脂である。
【化1】


(式中、Arは4価のテトラカルボン酸残基、Rは単結合又は2価のヒドラジド残基、X,Xは独立にヒドロキシル基又はラジカル重合性不飽和結合基を示す) (もっと読む)


【課題】現像液中においてカスの発生を抑制でき、感度、耐刷性、及び、現像性に優れた平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】(A)下記式(1)で表される単量体単位を有するバインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和化合物、及び、(C)重合開始剤を含有する感光層を有することを特徴とする平版印刷版原版。式(1)中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は酸素原子又はNR3を表し、R3は水素原子又は炭素数1〜10の一価の炭化水素基を表し、L1は水素原子以外の構成原子の数が2〜10である二価の連結基を表し、L2は水素原子以外の構成原子の数が2〜50である(n+1)価の連結基を表し、A−Hは酸解離定数(pKa)が11以下である残基を表し、nは1〜5の整数を表す。
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【課題】印刷機として簡便に使用され、価格も安価であり、デジタル印刷機能を有する印刷システムであり、高速大量印刷のできる大型印刷機として構築でき、また多品種少量印刷にも対応できる補助的小型印刷機としても利用でき、また優れた印刷品質を保持し、且つ環境面、安全性、衛生性、健康面などの要望に対応できる印刷システム、それに使用される印刷版および印刷インクを提供すること。
【解決手段】水性平版印刷方法において、印刷インクが水性媒体中に微細化顔料および水性固着剤を含有する水性顔料インクであり、印刷版が親水性画像部分と撥水性非画像部分からなる平版印刷版であり、親水性画像部分が、前記水性顔料インクが付着するように親水化した光触媒型酸化物を表面に有する膜部分よりなり、撥水性非画像部分が撥水性を有する疎水性部分を表面に有する膜部分からなる平版印刷版であることを特徴とする水性平版印刷方法。 (もっと読む)


【課題】
流動性、及び諸耐性に優れる安定なカラーフィルタ用着色組成物、並びに、コントラスト比が高いカラーフィルタを提供すること。
【解決手段】
前記課題は、酸性顔料、片末端領域に水酸基を有するビニル系重合体の水酸基と芳香族テトラカルボン酸ニ無水物の酸無水物基とを反応して得られた分散剤(A)、3級アミノ基を有するビニル系樹脂(B)、有機溶剤(C)、活性エネルギー線重合性単量体(D)、活性エネルギー線重合開始剤(E)、及び、バインダー樹脂(F)を含有してなるカラーフィルタ用着色組成物によって解決することができる。 (もっと読む)


【課題】ポジ型レジスト組成物の基材成分として有用な高分子化合物、前記高分子化合物を含有するポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】環骨格中に−SO−を有する環式基を含む構成単位、フッ素原子を含む構成単位、および前記各構成単位とは異なる構成単位であって酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位を有する高分子化合物を含有するポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】硬化物が可とう性を備え、基板に積層した場合に反りの発生を極力抑制することができる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、(A)シロキサン含有ポリアミド酸樹脂、(B)二官能の(メタ)アクリレート及び(C)光重合開始剤を含有する。(A)成分は、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、シロキサンジアミンを含むジアミン成分とを反応させて得られるシロキサン変性率が85〜100%の範囲内のシロキサン含有ポリアミド酸樹脂であり、(A)成分100重量部に対し、(B)成分を5〜60重量部、(C)成分を0.5〜20重量部含有する。さらに、(D)有機ホスフィン酸の金属塩を20〜40重量部含有することにより、難燃性を持たせることができる。 (もっと読む)


【課題】透明性、耐熱性、耐熱変色性、基板への密着性及び電気特性に優れ、現像性、保存安定性の良好な感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】下記の[A]、[B]及び[C]を含む感性樹脂組成物である。[A](a1)ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、(a2)不飽和エポキシ化合物を共重合成分として含む共重合体、[B]ジメチルフェノール、トリメチルフェノール、メチルプロピルフェノール、ジプロピルフェノール、ブチルフェノール、メチルブチルフェノール、ジブチルフェノール、4,4'−ジヒドロキシ−2,2'−ジフェニルプロパンから選ばれる1種または2種以上のフェノール類を含むノボラック樹脂、[C]キノンジアジド基含有化合物。 (もっと読む)


【課題】PCT前後においてガラス基板との密着性の高い、品質の良好なブラックマトリクスを形成することができるブラックレジスト用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(a)アクリロイル基及びメタクリロイル基からなる群から選ばれる基のいずれか一方又は両方を合計2個有する二官能モノマー、(b)エポキシ基を2個以上有する化合物と(メタ)アクリル酸との反応物を、更に多塩基酸カルボン酸又はその無水物と反応させて得られた不飽和基含有樹脂、(c)光重合開始剤、及び(d)黒色有機顔料、混色有機顔料及び遮光材からなる群から選ばれた1以上の遮光成分を含有する遮光性分散液を含有することを特徴とするブラックレジスト用感光性樹脂組成物である。 (もっと読む)


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