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Fターム[2H096AA26]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 目的、用途 (6,461) | 印刷回路、プリント配線 (413)

Fターム[2H096AA26]に分類される特許

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【課題】
フラットパネルディスプレイ、高度実装材料の部材および太陽電池などの電極や配線の形
成に用いられるペースト組成物、該組成物を用いたパターン形成方法ならびに該パターン
形成方法を用いた電極の製造方法を得る。
【解決手段】
(A)亜鉛粉末および(B)アクリル系バインダーを含有することを特徴とする導電部材形成用ペースト。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ドライフィルムレジストを均一に薄膜化することが可能なドライレジストの薄膜化処理方法を提供するものである。
【解決手段】基板上にドライフィルムレジストを貼り付け、水洗処理を行った後、無機アルカリ性化合物の含有量が5〜20質量%のアルカリ水溶液によって薄膜化処理することを特徴とするドライフィルムレジストの薄膜化処理方法。 (もっと読む)


【課題】現像後解像性及び金属めっき耐性が良好で現像液分散安定性に優れ凝集物が発生しない光重合性樹脂組成物及びその用途の提供。
【解決手段】(A)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、一般式(I):


(式中、R1は水素原子又はメチル基であり、R2は水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、カルボキシル基又は炭素数1〜12のハロアルキル基である)で表されるモノマーを含む重合成分の重合により得られ、重量平均分子量が5000〜500000であるバインダー用樹脂:10〜90質量%、(B)光重合性不飽和化合物:5〜70質量%、及び(C)光重合開始剤:0.01〜20質量%を含有し、(B)光重合性不飽和化合物中のエチレンオキサイド基濃度が0.17mol/100g以下である光重合性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】表面に導電層が設けられている基板上に光架橋性樹脂層を形成し、アルカリ水溶液によって光架橋性樹脂層の薄膜化処理を行った後、回路パターンの露光、現像処理を行う回路基板の製造方法において、光架橋性樹脂層を薄膜化した後、樹脂層表面が剥き出しの状態でも酸素による重合阻害の影響をほとんど受けない光架橋性樹脂組成物を提供することである。
【解決手段】(a)表面に導電層が設けられている基板上に光架橋性組成物を含有してなる光架橋性樹脂層を形成する工程、(b)アルカリ水溶液によって未硬化部の光架橋性樹脂層の薄膜化処理を行う工程、(c)回路パターンの露光工程、(d)現像工程を含むレジストパターンの作製方法で使用される光架橋性組成物が、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物を含有してなることを特徴とする光架橋性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】スルーホールへの充填と露光性がよく、平坦性が得られるソルダ・マスクを得る。
【解決手段】ソルダ・マスクの形成はステンシル印刷ユニット12を使用して、フォトイメージャブル・インク2が、キャリア・フィルム1Aに金属ステンシル板12bの上面に沿ってスクレーパ12cによって、ステンシル開口12dを介してフォトイメージャブル・インク2を圧搾し、フォトイメージャブル・インク層を形成し、キャリア・フィルム1Aに転写することによって行われる。 (もっと読む)


【課題】エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として優れた解像度及び密着性を有する感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】(A)バインダーポリマー:20〜90重量%、(B)光重合性化合物:5〜75重量%、及び(C)光重合開始剤:0.01〜30重量%を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(A)バインダーポリマーは、カルボン酸又はカルボン酸無水物である第一単量体と重合性不飽和基を1個有し、かつ非酸性である第二単量体とを共重合することにより得られた重量平均分子量5,000〜100,000の共重合体であり、前記(B)光重合性化合物は、付加重合性モノマーであり、かつ、前記感光性樹脂組成物に露光を行い、次いで現像を行った後に得られた感光性樹脂層の水接触角が60°以上、かつ、ヤングモジュラスが1.5GPa以上4GPa未満である感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 高い寸法安定性と十分な機械強度を有し、かつ微細なパターニングが可能な優れた感光性を付与することが可能な多孔質ポリイミド樹脂膜を得ることができる樹脂組成物、及びこれらの樹脂組成物を用いて得られる多孔質ポリイミド、当該多孔質ポリイミドからなる保護膜を有するプリント配線板を提供する。
【解決手段】 ポリイミド前駆体溶液及び下記(a)〜(e)の要件を充足する空孔形成剤を含有する樹脂組成物を用いることで、所望の多孔質ポリイミドを得ることができる。
(a)重量平均分子量1000〜200万
(b)前記ポリイミド前駆体溶液に難溶乃至は不溶
(c)窒素雰囲気下で加熱したときの質量減少率が50%となるときの温度(以下、「熱分解温度」という)が350℃以下
(d)アスペクト比1.0〜2.0、
(e)平均粒径100nm〜10μm (もっと読む)


【課題】アルカリ現像液中の炭酸系塩類の濃度を簡便かつ制度良く測定可能な装置及び方法、及びこれを用いたアルカリ現像液管理システムを提供する。
【解決手段】アルカリ現像液の屈折率に関する情報、前記アルカリ現像液の導電率に関する情報、前記アルカリ現像液の吸光度に関する情報をそれぞれ取得するデータ取得部91と、屈折率に関する情報、記導電率に関する情報、及び、吸光度に関する情報に基づいて、アルカリ現像液中の炭酸系塩類の濃度に関する情報を取得する炭酸系塩類濃度取得部94と、を備える炭酸系塩類濃度測定装置99である。 (もっと読む)


【課題】ポリイミドベースとその上に形成された導体パターンからなるフレキシブルプリント配線板に、塗布によりカバーレイ層を形成した場合に、カバーレイ層に対し、ポリイミドベース並びに導体パターンに対し良好な密着性を付与し、しかも、また、導体パターンの端子部に対応するカバーレイ層の領域をフォトリソグラフ技術により開口し、露出した導体パターンに直に電解メッキにより金属を析出させても、開口部内底隅から導体パターンとカバーレイ層との境界にメッキ液の差し込みを防止し、意図しない部分に金属メッキが析出してしまうことを防止する。
【解決手段】シロキサンポリイミド樹脂と、感光剤と、架橋剤とを含有する感光性ポリイミド組成物に、ビスムチオールを配合する。 (もっと読む)


【課題】レジスト剥離液耐性・リフロー耐性に優れ、アンダーフィル層およびシリコン基材への接着性が良好な感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】(A)下記一般式(1):


で表される繰り返し単位を包含するポリアミド樹脂100質量部、(B)光開始剤0.5〜20質量部、及び(C)熱によりエポキシ樹脂と反応しうる基を有する有機ケイ素化合物0.1〜25質量部を含む感光性ポリアミド樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】低温のキュア条件においても比抵抗率の低い有機−無機複合導電性パターンが得られ、且つ高い感光特性により微細パターニングが可能という効果を有し、各種基板上に微細なバンプ、配線などを容易に形成することができる、有機−無機複合導電性パターン形成用感光性ペーストおよび有機−無機複合導電性パターンの製造方法を得る。
【解決手段】 不飽和二重結合およびアルコキシ基を一つ以上有する化合物(A)、不飽和二重結合を有する感光性成分(B)、光重合開始剤(C)ならびに導電性フィラー(D)を含むことを特徴とする有機−無機複合導電性パターン形成用感光性ペースト。 (もっと読む)


【課題】マルチパターニングを用いたパターン形成において、高精度のパターンを形成する。
【解決手段】第1のマスクパターンが形成されたマスクを用いて、基板上のレジストを露光し、前記露光後のレジストを現像することにより、前記レジストに第1のサブパターンを形成し、形成された第1のサブパターンの開口底部に接触させずに前記レジストの表面を覆うように酸性膜または酸を発生させる膜を形成する成膜し、該成膜工程後、第2のマスクパターンが形成されたマスクを用いて、前記レジストを露光し、前記露光後のレジストを現像することにより、前記レジストに第2のサブパターンを形成するパターン形成方法であり、前記第2のサブパターンを形成する際の現像処理を終えるまでに、前記酸性膜または酸を発生させる膜を除去することを特徴とするパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】 複数種類のフォトレジストが溶解した現像液において、フォトレジスト全体の溶解量を少ない誤差内で定量する。
【解決手段】 複数種のフォトレジストが溶解した現像液中のフォトレジスト全体の溶解量の測定方法において、複数種のうちの各個別のフォトレジストのみを現像液中に溶解させた中和滴定値をPkとし、その個別のフォトレジストの容積がフィルム全体の容積に占める混合割合をXkとして、このPkとXkを乗じた理論値Pk・Xkについて、フォトレジストの全種類の数n(nは2以上の整数)の総和をもって、フィルム全体の中和滴定値とする。つまり、互いのフォトレジスト種に影響されることなく、フォトレジストの個別滴定量から混合液全体の滴定量を予測できる加成性が成立する。 (もっと読む)


【課題】密着性などのリソグラフィー性能と、エッジ膜厚均一性などの塗布性能に優れた感光性樹脂組成物、該組成物を用いた硬化レリーフパターンの製造方法、及び該硬化レリーフパターンを有して成る半導体装置の提供。
【解決手段】(a)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、(b)光酸発生剤1〜50質量部、及び(c)テトラヒドロリナロール0.01〜80質量部を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


本発明の非水系レジスト剥離液組成物は、(a)塩基性化合物、(b)アミド化合物、(c)極性溶媒、及び(d)アルカノールアミン塩を含むことを特徴とする。
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【課題】本発明の課題は、1回のソルダーレジスト塗工のみで段差部を形成することが可能で、段差部が低い(浅い)場合であっても、段差部を形成できるソルダーレジストの形成方法を提供することを課題とする。
【解決手段】回路基板の表面にソルダーレジストの膜を形成する工程、少なくとも段差部に相当する領域を露光する工程、アルカリ水溶液処理によって非露光部のソルダーレジストを薄膜化する工程をこの順に含むことを特徴とするソルダーレジストの形成方法、または、回路基板の表面にソルダーレジストの膜を形成する工程、段差部に相当する領域および最終的にソルダーレジストが除去される領域以外の部分を露光する工程、アルカリ水溶液処理によって非露光部のソルダーレジストを薄膜化する工程をこの順に含むことを特徴とするソルダーレジストの形成方法。 (もっと読む)


【課題】
優れたレジスト剥離性を示し、銅及びモリブデンの腐食を抑制し、更にこれらの異種金属間のガルバニック腐食も抑制するレジスト剥離剤を提供する。
【解決手段】
2−(N,N−ジメチル−2−アミノエトキシ)エタノール、尿素及び水を含んでなるレジスト剥離剤では、優れたレジスト剥離性を示し、銅及びモリブデンの腐食を抑制し、さらに銅−モリブデン間のガルバニック腐食も抑制できる。2−(N,N−ジメチル−2−アミノエトキシ)エタノールは0.1重量%以上80重量%以下、尿素は0.1重量%以上30重量%以下であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】本発明の課題は、気泡や導体配線のエッジ部の非被覆が発生せず、適正な厚みで高精細のソルダーレジストパターンを形成できる、ソルダーレジストの形成方法を提供することである。
【解決手段】回路基板の表面にソルダーレジストの膜を形成し、次に、アルカリ水溶液処理によって、ソルダーレジストの膜全面を略均一に薄膜化し、次いで、パターン露光、現像を実施し、さらに、ポストキュアを実施することを特徴とするソルダーレジストの形成方法。 (もっと読む)


【課題】半導体パッケージ用ソルダーレジストとして重要なPCT耐性、HAST耐性、無電解金めっき耐性、冷熱衝撃耐性を有する硬化皮膜を形成できる感光性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物、並びにそれらによりソルダーレジスト等の硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、フェノール樹脂とアルキレンオキシド又はシクロカーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に、1分子中に1つ以上のアクリロイル基もしくはメタクリロイル基を有するイソシアネート化合物を反応させ、得られた反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、及び光重合開始剤を含有する。好適な態様においては、上記組成物はさらに熱硬化性成分を含有する。 (もっと読む)


【課題】非常に高い印刷精度・膜厚精度が必要とされる有機パターン層を形成することができる樹脂版を作成する上で有利な樹脂版の製造方法および電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基材101上に感光性樹脂からなる感光性樹脂層102を成膜し、基材101と感光性樹脂層とを有するパターン転移媒体を作成する。次いで感光性樹脂層102が架橋反応する波長のレーザ光を予め入力された情報に基づいて光変調手段により変調することにより露光光のパターンを形成して感光性樹脂層102に照射し、パターン転移媒体と露光光とを相対移動させることで感光性樹脂層102をパターン露光する。次いで感光性樹脂層102のうち未露光部分の感光性樹脂を除去し、レーザ光のスポット径に対応する線幅の樹脂パターンが形成された感光性樹脂凸版を得る。 (もっと読む)


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