【課題】ねじりバネに支持されたステージの回転角度を正確に測定できるセンサを備えたマイクロ光スキャナを提供する。
【解決手段】ステージ１０の両側を支持する一対のねじりバネ３０と、ねじりバネ３０の中央軸に沿って形成された抵抗体Ｒ１〜Ｒ４と、抵抗体の抵抗変化を検出する電気的回路とを具備する回転型ＭＥＭＳデバイスである。また、該ねじりバネは、（１００）面を有するｎ型シリコン基板であって＜１００＞方向に形成され、ねじりバネに形成された抵抗体は、ねじりバネで＜１１０＞方向に形成されている。 （もっと読む）

本発明は、１つまたはそれ以上のマイクロマシニング型のかつ／または光マイクロマシニング型の構成素子に用いられるパッケージに関する。この場合、このパッケージは、少なくとも１つのマイクロマシニング型のかつ／または光マイクロマシニング型の構成素子を備えた支持基板と、この支持基板に結合された少なくとも１つのカバー基板とを有している。この場合、支持基板とカバー基板とは、少なくとも１つの中空室を形成している。この中空室は、少なくとも１つのマイクロマシニング型のかつ／または光マイクロマシニング型の構成素子を少なくとも部分的に閉じ込めている。この場合、少なくとも１つのカバー基板の、少なくとも１つのマイクロマシニング型のかつ／または光マイクロマシニング型の構成素子に面した側の面は、少なくとも１つの光学的な窓と、少なくとも１つの機械的なストッパとを有している。さらに、本発明の対象は、このようなパッケージを製作するための方法である。この場合、この方法は、特にウェーハレベルでのパッケージングのためにも使用可能である。
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【課題】非接触マイクロミラーデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】マイクロミラーデバイスであって、該マイクロミラーデバイスは、基板によって支持されたヒンジと、該ヒンジに対して傾斜可能なミラープレートとを備え、該ヒンジは、１ミクロンより長い長さと、８００ナノメートル未満の厚さと、１０００ナノメートル未満の幅とを含み、該ミラープレートが、無傾斜位置から離れるように傾斜するときには、該ミラープレートに弾性復元力を生成するように該ヒンジが構成されている、マイクロミラーデバイス。 （もっと読む）

【課題】 揺動部の揺動動作のための駆動力を確保しつつ小型化を図るのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】 本発明のマイクロ揺動素子Ｘ１は、揺動部１０、フレーム２１、および捩れ連結部２２を備える。揺動部１０は、可動機能部１１と、可動機能部１１から延出するアーム部１２と、アーム部１２の延び方向と交差する方向にアーム部１２から各々が延出し且つ当該延び方向に互いに離隔する複数の電極歯１３ａ，１３ｂからなる櫛歯電極１３Ａ，１３Ｂとを有する。捩れ連結部２２は、揺動部１０とフレーム２１を連結し、揺動部１０の揺動動作の、アーム部１２の延び方向と交差する揺動軸心Ａ１を規定する。また、本素子Ｘ１は、フレーム２１から各々が延出し且つアーム部１２の延び方向に互いに離隔する複数の電極歯２３ａ，２３ｂからなる、櫛歯電極１３Ａ，１３Ｂと協働して揺動動作の駆動力を発生させるための櫛歯電極２３Ａ，２３Ｂを更に備える。 （もっと読む）

ＭＥＭＳベースのミラーが、比較的高い印加電圧に耐えることができるようにするために、隣り合う電極間にトレンチを備え、したがって、制御されない表面電位にさらされることが実質的に低減される。したがって、このＭＥＭＳベースのミラーは、電圧ドリフトを回避し、改善されたミラー位置安定性を有する。トレンチの寸法は、各隣り合う電極の対の間で印加される電圧が、事前画定された限界内にとどまるように選択される。二酸化ケイ素など絶縁層が、隣接する電極の各対を電気的に分離する。各絶縁層は、部分的に、関連付けられたトレンチの上方に延び、同じ高さおよび同じ幅の寸法を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】走査装置および方法を提供すること。
【解決手段】この装置は、光伝送器と、光伝送器の出口先端部から離れて配置された、光伝送器を支持するための取付台と、光伝送器を、第１の方向に共振的に振動するように、また第１の方向と直交する第２の方向に非共振的に振動するように駆動するための駆動部と、光伝送器の出口先端部が走査パターンを実施するように、光伝送器の第１の方向と第２の方向の振動を同期させるためのシンクロナイザとを備える。駆動部が、光伝送器に対して、取付台と出口先端部との間に駆動力を加える。 （もっと読む）

ファイバポートからなる個別のセットを備え、各光スイッチが、Ｎ個の入力ファイバポートと１つの出力ファイバポート（Ｎ×１の光スイッチ）または１つの入力ファイバポートとＮ個の出力ファイバポート（１×Ｎの光スイッチ）で構成され、前記入力ファイバポートからのλｎは、１つ以上の共用ビーム案内素子、１つ以上の分散素子及び１つ以上の光学素子等の共用自由空間光学系の使用を介してλｎのミラー上にフォーカシングされ、前記１つ以上の案内素子は、該光経路内のいずれかの箇所からの１つ以上のλｎを他のいずれかの箇所へ案内する、一緒にパッケージングされた２つ以上の混合型および／または同様の組合せ光スイッチと、共用アレイ型の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）の１つ以上の個別アレイとを備える光システムであって、少なくとも、ＭＥＭＳミラーの第１のアレイは、該入力ファイバポートからの波長を選択して、選択された波長を、第１の光スイッチの出力ファイバポートへスイッチするのに用いられ、少なくとも、該第１のＭＥＭＳアレイと同じ自由空間光学系を用い、且つ、共用するＭＥＭＳミラーの第２のアレイは、他の１つの光スイッチに属する入力ファイバポートと出力ファイバポートとの間で、波長を選択して、選択された波長をスイッチするのに用いられ、該第２の光スイッチは、入力ファイバポートからの個別の波長またはスペクトル成分を選択して、光強度または他のモニタリングのために出力ファイバポートへ送るのに用いることができ、１つのセットからの出力ファイバポートは、他のセットの入力ポートに結合することができ、その結果、通信ネットワーク内のスイッチングノードの内部フィードバックモニタリング及び動的な挿入損制御が可能な、コスト効率が良く、高レベルに集積化した１つ以上のＮ×１あるいは１つ以上の１×Ｎの一緒にパッケージングされた光スイッチングシステム、１つ以上のＮ×Ｍ（ただし、Ｎ及びＭは１以上）の一緒にパッケージングされた光スイッチングシステム、及び１つ以上のＮ×１あるいは１つ以上の１×Ｎのスイッチを可能にする、光システム。
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【課題】少なくとも一つのリボンを使用して一つのピクセルを形成することができる回折光を得るようにして、製品の小型化を可能にする回折型光変調器を提供する。
【解決手段】基盤部材；前記基盤部材から離隔して空間を確保する中間部分、入射光を透過させる透過性物質、及び中間部分の一部に前記基盤部材に配向され、入射光を反射させる反射面を持ち、前記基盤部材に支持される第１反射部；前記第１反射部と基盤部材との間に位置し、第１反射部から離隔しており、前記第１反射部を透過した透過光を反射させる反射表面を有する第２反射部；及び前記第１反射部の中間部分を前記第２反射部に対して動かし、前記第１反射部と前記第２反射部の反射光から形成される回折光の光強度を変化させる駆動手段を含む。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーベースの空間光変調器を提供すること。
【解決手段】空間光変調器が提供され、該空間光変調器は、基板にわたってハニカムパターンに配置された六角形ミラープレートの２次元アレイを含み、該六角形ミラープレートの各々は、１つ以上の構造部材によって支持され、隣接する六角形ミラープレートの間にはギャップがあり、該１つ以上の構造部材は該ギャップには配置されない。該六角形ミラープレートを支持する該１つ以上の構造部材は、該基板上に支持ポストを含み、該支持ポストは、該六角形ミラープレートの下に隠される。 （もっと読む）

【課題】マイクロ構造を製造する方法を提供すること。
【解決手段】マイクロ構造を製造する方法であって、基板上に第１の構造部分を形成することと、該第１の構造部分上に犠牲材料を配置することと、該犠牲材料および該基板上に第１の構造材料の層を堆積させることと、該犠牲材料の少なくとも一部を除去して、第２の構造部分を該第１の構造材料の層に形成することであって、該第２の構造部分は、該基板に接続され、該第２の構造部分が該第１の構造部分から分離される第１の位置と、該第２の構造部分が該第１の構造部分と接触する第２の位置との間で移動可能である、ことと、該第２の構造部分の表面および該第１の構造部分の表面のうちの少なくとも１つにカーボン層を形成することによって、該第２の構造部分と該第１の構造部分との間のスティクションを減少させることとを包含する、方法。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの製造プロセスおよびその結果をモニタリングする方法とそれに適したデバイスを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス１０８の製造に用いられるプロセスステップと同じプロセスステップの少なくとも一部を用いて製造されるプロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４が開示される。プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、ＭＥＭＳデバイス１０８の性質及び前記デバイス内の構成要素又は副構成要素に関する情報を提供することができる。この情報は、加工の際の誤りを識別するために又はＭＥＭＳデバイス１０８を最適化するために用いることができる。幾つかの実施形態においては、プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、光学的測定値を利用することができる。 （もっと読む）

【課題】ＬＣＤ投射装置におけるカラーホイールの使用がいずれか１つの色の彩度を制限する。
【解決手段】複数の同調可能なファブリ・ペロー・フィルタを含む表示装置を備え、フィルタが電磁スペクトルの可視域内の帯域幅の放射を透過させる状態と、フィルタが電磁スペクトルの可視域外の帯域幅の放射を透過させる状態との間でシフトするように構成されており、複数のファブリ・ペロー・フィルタに光を供給する発光体と、関連した表示面の上に画像を投射するために、画像データを受け取り、表示装置を制御する制御システムと、が設けられ、制御システムは、波長変調信号を前記複数のファブリ・ペロー・フィルタに与えて、画像内のピクセルの色を変調し、ファブリ・ペロー・フィルタの選択されたものを可視域外の帯域幅にシフトさせて、画像内のピクセルの輝度を変調する、変調器を含むことを特徴とする投射システム。 （もっと読む）

【課題】波長多重された光を別々に出力することのできる光スイッチを提供する。
【解決手段】光導波路１４ａ、１４ｂと交差する溝部２内に複数の干渉フィルター３ａ〜３ｃを並設したフィルター３を配置し、複数の電極４に３相の駆動電圧を与える。このようにして、フィルター３の移動子部３ｄと固定子として働く電極４にとの間に発生する静電力を利用した誘導電荷型静電気駆動方式を用いて、所望の位置にフィルター３を移動させる。 （もっと読む）

【課題】微小機械装置に用いられる部材であって、可撓性を有し、応力緩和の小さい、引っ張り強度の高い弾性部材を提供する。
【解決手段】微小機械装置が静止部材２８及び可動部材２６を含み、これらが弾性部材２４によって一緒に接続されている。可動部材２６が反復的にそして頻繁に移動する為、弾性部材２４は永久的に撓み又は変形することがあり、その結果、装置の動作が不良になる。希望によっては窒素と組合せて、酸素を含むようにアルミニウム合金を形成して、荷重緩和特性を劇的に減少した被膜を得る。デポジッションの際、アルゴンのスパッタリング・ガスに酸素を添加し、アモルファス膜を作る。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスにおける金属層間の拡散バリア層の使用がここに説明されている。拡散バリア層は、二つの金属の混合を防止する。それは、所望の物理的特性を変え、処理を複雑にしうる。一例では、拡散バリア層は、光干渉変調器の可動反射構造の一部として使用されてよい。 （もっと読む）

ディスプレイ用途用の光偏向デバイス。光偏向デバイスは、上部表面領域を含む半導体基板と、上部表面領域の上に設けられた１つ又は複数の電極デバイスとを含む。光偏向デバイスには、シリコン材料を含み、上部表面領域に結合されたヒンジデバイスがさらに含まれる。光偏向デバイスは、上部表面領域とヒンジデバイスとの間に画定された間隙部、及びヒンジデバイスに結合された柱部分と、柱部分に結合され、ヒンジデバイスの上にあるミラー板部分とを含むミラー構造をさらに含む。 （もっと読む）

二重自由空間光通信を提供する方法であって、タイムシフトキーイング（ＴＳＫ）によってエンコードされた信号を受信すること、およびオン−オフキーイング（ＯＯＫ）信号を送信するために、受信したＴＳＫパルスを選択的に再変調し、場合によっては逆反射させること、を備える方法。関連の装置および信号も提供される。
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少なくとも１つのマイクロミラーを基板の上方に弾性的に支持して有する間隔制御式エタロンを備える光変調器。少なくとも１つの絶縁ストッパが、マイクロミラーが印加電圧によって基板に向かって引き寄せられるときの短絡を防止するために、マイクロミラーと基板との間に設けられている。光検出器が、第１のレーザパルスの到着時刻を検出する。制御回路が、第１のレーザパルスの到着時刻から次の入射レーザパルスの到着時刻を予測し、制御信号に応答して、変調器を透過する光を最大または最小にするために予測される時間に、マイクロミラーを絶縁ストッパに当接して保持されるプルダウン位置に拘束し、あるいはマイクロミラーを解放する。所定の回数の機械的振動を許容するように計算された時間間隔の後に、マイクロミラーが、ストッパへと引き戻される。
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完全一体化超微小電気機械（ＭＥＭＳ）１×Ｋ波長選択スイッチ（ＷＳＳ）は一体として製造されるＮ個の固体−液浸微小ミラー（ＳＩＭ）アレイ及びＫ＋１個の分散形導波路アレイを備える。一実施形態ではＷＳＳはシリコンの中に製造される。他の実施形態ではＳＩＭのＮ個のアクチュエータが絶縁体上シリコン（ＳＯＩ）ウエハのシリコン層にエッチングされる。シリカ層がシリコン層の上に付着され、Ｋ＋１個の導波路アレイ及びＮ個のＳＩＭのためのミラーが該シリカ層にエッチングされる。さらに他の実施形態ではＫ＋１個の分散形導波路アレイが、共通共焦点結合器の微小部分を除き、シリカ、ゾル−ゲル、重合体を含むグループから選択される、シリコン、サファイヤ又は他のガラス絶縁体材料を含むグループから選択される第１のウエハの上に付着される材料を使用して製造され、共通共焦点結合器の残りの部分及びＮ個のＳＩＭがシリコンウエハの中に製造され、第１のウエハ及びシリコンウエハが一体に突き合わせ結合される。
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微小電気機械システム装置であって、この装置の外側の電気回路網とこの装置の電極（１６）及び可動層（１４）の少なくとも１つとの間に電気相互接続を有する微小電気機械システム装置が提供される。この電気相互接続の少なくとも一部は、この装置のこの電極（１４）と機械層（９２）との間に導電層と同一の材料で形成される。一実施形態では、この導電層は、この電極（１６）とこの可動層（１４）との間にキャビティ（１９）を形成するために後に除去される犠牲層（６０）である。この犠牲層（６０）は、好ましくは、モリブデン、ドープされたシリコン、タングステンまたはチタンで形成される。一実施形態によれば、この導電層は、好ましくはアルミニウムを含む可動反射層である。
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