【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子製品用の基板に付着した異物を除去する異物除去装置において、エアー射出による異物への除去作用を維持しながらも異物の拡散による再汚染を防止し、充分な異物除去能力を得ることができる。
【解決手段】この発明の異物除去装置においては、異物除去処理を行う際に基板１上部に隙間を空けて対向して配置される異物飛散防止板３と、異物飛散防止板３の外周に設けられる囲い板４と、異物飛散防止板３に開口して設けられるエアー射出部５と、エアー射出部５と囲い板４の間に開口して設けられるメインエアー吸引部６およびサブエアー吸引部７とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物の表面形状の違いに拘らず、単一の部材で且つ簡単なセッティング操作で洗浄媒体の飛散を防止でき、洗浄装置に対する洗浄対象物の保持操作の容易化を実現できるとともに、洗浄対象物の表面形状の違い毎に用意することの無駄を無くすことができる洗浄媒体飛散防止部材を提供する。
【解決手段】洗浄対象物４は洗浄対象物保持体１２の保持ピン３２に支持されて洗浄槽６の開口部６ａに対向して保持されている。洗浄対象物保持体１２の上方から、低反発性ウレタンスポンジを芯材とする洗浄媒体飛散防止部材２２Ａが挿入され、押圧手段２４により押圧される。洗浄媒体飛散防止部材２２Ａは洗浄対象物４の表面形状に沿って変形し、これにより、洗浄槽６で空気流により飛翔する洗浄媒体５が飛散してその数量が少なくなることが防止される。 （もっと読む）

【課題】省スペースで簡素な構成にして、ベルトコンベアに、皿の搬送と皿の下面のクリーニングという二つの機能を持たせることができ、コンベア上に皿入り化粧料を次々に供給するだけで各皿入り化粧料の皿の少なくとも下面を高速かつ大量に確実にクリーニングできる皿のクリーニング装置を提供すること。
【解決手段】連続駆動され皿Ｐを一方向に搬送するベルトコンベア１０と、ベルトコンベア１０の搬送面上方に位置し、皿Ｐに当接して該皿の移動を停止するストッパ１７と、ベルトコンベア１０のベルト搬送面に植設されたクリーニングブラシ１５と、を有し、ストッパ１７により皿Ｐの移動が停止した状態でベルトコンベア１０が連続駆動することによりクリーニングブラシ１５が皿Ｐの下面を清掃する。 （もっと読む）

【課題】本来の洗浄対象物の汚れの除去をできることは勿論のこと、洗浄媒体自体の削れ片が洗浄後に残留することを防止でき、洗浄面の品質向上を図ることができるとともに、ひいては洗浄分野の拡大に寄与できる乾式クリーニング装置を提供する。
【解決手段】筐体４の開口部１８が洗浄対象物２０で塞がれると、図示しない吸引手段により外部空気がインレット２４から吸引され、筐体４の内部に旋回空気流３０が発生する。ミスト生成手段５２で生成されたミストＭがインレット２４から吸引され、旋回空気流３０に混ざって気液混合流となる。ミストＭの粒子が樹脂製の洗浄媒体と洗浄対象物２０との間に介在して、洗浄媒体の摩擦による粉状の削れ（残渣）の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】騒音が小さく、エネルギー浪費量が少なく、再汚染の可能性が低く、幅広の鋼板に適用可能であり、かつ長期間の連続使用にも耐えられる板表面の液体除去装置及び鋼板表面の液体の除去方法を提供する。
【解決手段】板表面１１ａに付着した液体１２を吸収可能な多孔質弾性体層２がロール面３ａに備えられた水切ロール３と、多孔質弾性体層２を押し潰すように水切ロール３に押し当てられる絞りロール４と、を具備しており、絞りロール４によって多孔質弾性体層２から絞り出された液体１２が、絞りロール４及び水切ロール３の回転軸方向に沿って排出されるように構成された鋼板表面の液体除去装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】基板がエアー洗浄部に接触することにより損傷を受けることを防止可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】上側エアー洗浄部５は、搬送路の途中に設けられた洗浄領域４の上方に配置され、基板２の上面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。下側エアー洗浄部は、搬送路の下方において上側エアー洗浄部５と対向する位置に配置され、基板２の下面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。上側エアー洗浄部５および下側エアー洗浄部は、端辺３が伸びる方向に対して基板２上において交差するようにカーテン状にエアーを噴き付ける。洗浄領域４には基板案内部１３が配置され、下側エアー洗浄部によるエアーの吸入によって基板２が下側エアー洗浄部に接触することを、基板案内部１３が基板２の下面を支持することによって防止する。 （もっと読む）

【課題】清掃対象表面に付着した汚染物質を効率的に清掃して分離回収する。
【解決手段】清掃対象Ａ表面に対向して周縁部が接触配置される清掃ヘッド１と、清掃流体Ｆが清掃ベッド１の内部空間１ｃを介して循環する流体循環配管２と、清掃流体Ｆが補充可能に貯留される貯留タンク３と、貯留タンク３に貯留される清掃流体Ｆを流体循環配管２に循環させる循環駆動源４と、清掃流体Ｆに対し汚染物質Ｃがイオン結合する塵物質Ｗから分離可能となる特性の分離因子を供給する分離因子供給手段５と、流体循環配管２を循環する清掃流体Ｆを加圧した状態で清掃ヘッド１の流体吐出口１ａから清掃ヘッド１の内部空間１ｃに吐出させる加圧吐出手段６と、流体循環配管２のうち清掃ヘッド１の流体回収口１ｂから貯留タンク３に至る途中に設けられ、循環する清掃流体Ｆ中に含まれる塵物質Ｗと汚染物質Ｃとを分離した状態で回収する回収手段７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】大きな塵を取り除くことが可能で、メンテナンスも容易におこなうことができる建物の清掃システムを提供する。
【解決手段】屋内１ａの塵埃を取り除くための住宅１の清掃システムである。
そして、床１２に形成された開口１２ａに上端が接続される函体部２と、床の上下方向で貫通させた複数の空隙が形成されるとともに函体部の上面を着脱自在に塞ぐ蓋部３と、函体部に収容されて床の上から取り外し可能な集塵籠部２２と、床下空間１ｂに設置されて函体部に接続される排気ファン部４と、排気ファン部から送り出された排気を屋外１ｃに排出するための排気経路部５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】固体表面に堆積したパーティクルを効率的に捕集し得るパーティクル捕集装置及び方法の提供。
【解決手段】略筒形状の筐体１２の内部空間に、略円柱形状の超音波発生器１４をＯリング８０を介在して収容し、筐体１２は一端部を有し、当該一端部において開口１２ｂされた空間Ｓを画成し、超音波発生器１４は該筐体１２の一端部に画成された開口１２ｂに向けて超音波を発生し、該空間Ｓにガスを供給するガス供給部、該空間Ｓの排気を行う吸引部を備えると共に、前記開口１２ｂを囲むように筐体１２の一端部に弾性を有するシール部材２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 しつこい汚れに対しても、生地を傷めることなく比較的短時間でクリーニングできるようにする。
【解決手段】 ベッド１のある場所において、そのスプリングマットレス２の表面を作業者ｈが持ち運び可能な吸引装置で吸引して塵・埃を除去し、その塵・埃が除去されたスプリングマットレス２の表面に洗浄剤を散布し、その洗浄剤が散布されたスプリングマットレス２の表面に作業者ｈが持ち運び可能なスチーム洗浄機５でスチーム５ａを噴射し、そのスチーム５ａが噴射されたスプリングマットレス２の表面にハンドポリシャー６で振動を繰り返し加えて汚れを分解し、その汚れが分解されたスプリングマットレス２の表面を作業者ｈが持ち運び可能な汚水吸引装置で吸引して汚水を除去し、その汚水が除去されたスプリングマットレス２の表面を作業者ｈが持ち運び可能な乾燥装置で赤外線を照射して乾燥する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成で、ノズルを揺動できて、ワーク全体に対して、圧力流体を均一に噴出させることができるようにする。
【解決手段】ワークが搬送される搬送コンベア２と、該搬送コンベア２によって搬送されるワークに付着した塵埃を除去するための作業処理空間Ｓが内部に設けられた本体３と、本体３内に配置される、ワークに対して加圧された圧力流体を噴出する噴出口６０を有するノズル６と、該ノズル６に圧力流体を供給する圧力流体供給手段９と、本体３に接続されて、ノズル６から噴出される圧力流体によって除去される塵埃を吸引する集塵機１１とを備えた塵埃除去装置において、前記ノズル６を、弾性素材により湾曲して作製し、一端部を固定端６ａとするとともに、他端部を自由端６ｂとし、該他端部６ｂに前記噴出口６０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、互いの中へ係合している延伸ロールの表面の、汚染物を除去するための方法および装置に関する。これら延伸ロールの表面は、これら延伸ロール７の間のロール間隙を案内される、弾性的なラミネート５の延伸のために、立ち上がり部１３および窪み部１４を有している。このラミネート５は、このロール間隙内において、帯状体方向に対して横方向に延伸される。本発明の課題は、互いの中へ係合している延伸ロールの表面の、洗浄のための方法および装置を提供することであり、この場合、製造設備が停止される必要がなく、且つ、汚染物が、高い信頼性で、作動中の延伸プロセスの間じゅう、除去される。
【解決手段】 延伸ロールを清掃するために、作動中の延伸プロセスの間じゅう、ドライアイス微粒子９が、少なくとも１つの延伸ロール７の表面の上に吹き付けられる。余剰のドライアイス、およびロール表面から剥離された汚染物は吸引される。 （もっと読む）

【課題】塊（異物）を確実に除去することができる異物除去装置を提供する。
【解決手段】発泡樹脂シートに付着した異物を除去する除去手段５を備えたシートの異物除去装置において、前記除去手段５は、シートの表裏両側に付着した異物を吸引すべく、シートの表裏両側に配置した一対の吸引装置６，７を備え、該吸引装置６，７は、発泡樹脂シートに対して吸引力を作用させて前記異物を吸引する吸引部であって、発泡樹脂シートの幅方向に沿って所定長さを有して幅方向に複数並設される吸引部を備えている。 （もっと読む）

【課題】主柱（管体）内の下方深くに溜まった異物を吸引することを可能にする異物回収装置を提供することにある。
【解決手段】吸引部６１と、吸引部６１で吸引した異物を収容する収容部６２とを有する吸引捕集部６を備え、吸引部６１は、主柱ａの上方開口端から主柱ａ内に挿入されるホースによって供給される大気圧より高い正圧の空気を所定の方向に噴出させることでその噴流の上流側に負圧を生じさせるジェットポンプ部６１ａを有し、ジェットポンプ部６１ａの上流側Ａに記負圧を利用して異物を吸引する吸引ノズル６１ｂを有しており、収容部６２は、ジェットポンプ部６１ａの下流側Ｂに噴出する噴流を受け入れて異物を回収するフィルタを兼ねた回収袋６２ａを有している。 （もっと読む）

【課題】フィルム上に付着している異物を効率よく除去することができる方法を提供することである。
【解決手段】非接触型異物除去装置１５と、接触型異物除去装置１６とを含む異物除去領域１０，１１に、フィルム１を非接触型異物除去装置１５および接触型異物除去装置１６の順に通過させ、フィルム１上に付着している異物を除去する方法である。異物除去領域１０，１１は、非接触型異物除去装置１５よりもフィルム１の搬送方向上流側に位置している除電装置１７ａ，１７ｂを、さらに含む。 （もっと読む）

【課題】複数の清掃吸引部の吸引力が不足することを回避して、複数の清掃対象箇所の清掃を適切に行える天井搬送設備の清掃装置を提供する。
【解決手段】搬送用台車の走行ガイド部Ｌが天井側に設けられ、走行ガイド部Ｌに沿って走行自在な清掃用台車Ｗに、走行ガイド部Ｌにおける複数の清掃対象箇所に対して吸引作用する複数の清掃用吸引部Ｋと、それら複数の清掃用吸引部Ｋに連通接続された吸引式掃除機Ｇとが設けられ、複数の清掃用吸引部Ｋが、複数の作用単位に区分けされ、それら複数の作用単位の夫々と吸引式掃除機Ｇとの連通を選択的に断続する断続手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物が微細な穴や凹部を有していても洗浄ムラの発生を高精度に抑制でき、乾式クリーニングにおける洗浄能力向上に寄与できる洗浄媒体を提供する。
【解決手段】平行四辺形の洗浄媒体ＰＣ−１は、使用前の状態において微細な穴の内部に進入できる鋭角部ＳＣを有しているとともに、その面形状内に、一辺に平行に形成されたライン状の割れ誘導部ＬＹを複数有している。洗浄中に繰り返し加わる衝突等の応力により、割れ誘導部ＬＹを境界に破断し、分離した分離片には、新たなエッジ及び鋭角部ＮＳＣが形成される。これにより、洗浄プロセス中全体に亘って、微細な穴の内部の汚れを除去できる洗浄能力が維持される。 （もっと読む）