【課題】水位センサで剤タンク内の液体洗剤が空になったことを検知し、報知手段で剤タンク内が空になったことを報知したり、ポンプの空運転を防止したりで、しかも剤タンクを小型化できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】剤タンク１２、泡洗剤出口部１３、剤供給路１４、ポンプ１５、剤供給路１４を流れる液体洗剤に空気を混入する剤供給路１４の途中に設けたエゼクター部１６を備える。剤供給路１４をポンプ１５よりも上流側の上流側流路３０と下流側の下流側流路３１とで構成する。上流側流路３０を剤タンク１２の下面部から下方に垂設してポンプ１５の吸込口部１５ａに接続する。上流側流路３０の剤タンク１２よりも下方で且つポンプ１５の吸込口部１５ａよりも上方の位置に水位センサ３８を設ける。水位センサ３８で剤タンク１２内の液体洗剤が空になったことを検知する。 （もっと読む）

【課題】復水器冷却管を清掃するためのブラシ型クリーナについて、熱交換器冷却管の付着物の除去性能や洗浄液量の使用量を詳細に評価できる熱交換器冷却管用ブラシ型クリーナの評価方法を提供することである。
【解決手段】種類が異なる複数のブラシ型クリーナを用意し、予め区分された複数の熱交換器冷却管のエリアごとに種類が異なるブラシ型クリーナを隣接する冷却管の管穴に挿入し、ブラシ型クリーナに圧力液体を噴射してブラシ型クリーナを冷却管の管穴に貫通させ、冷却管を貫通したブラシ型クリーナ及び洗浄排液を回収し、冷却管の洗浄後のブラシ型クリーナの外観観察を行い、回収した洗浄排液の分析を行う。 （もっと読む）

【課題】エキシマ真空紫外光ランプから射光されたエキシマ真空紫外光を効率よくウエハに照射することができ、真空紫外光を利用してウエハの薄膜を良好に改質することができるエキシマ真空紫外光照射処理装置を提供する。
【解決手段】エキシマ真空紫外光照射処理装置１０は、ウエハ１６を収容するチャンバー１２と、チャンバー１２内を真空に保持する真空ポンプ１３と、チャンバー１２内に窒素を供給するガス供給装置１４と、チャンバー１２内に収容されたウエハ１６を所定温度に加熱するヒータ１５と、チャンバー１２内に収容されたウエハ１６の薄膜にエキシマ真空紫外光を照射するエキシマ真空紫外光ランプ２１とを備えている。装置１０では、ランプ２１がチャンバー１２内に露出しつつ、真空状態にあるチャンバー１２内に収容されたウエハ１６の薄膜に真空紫外光を直接照射する。 （もっと読む）

【課題】基板上における液体の微粒子の密度を増大しつつ、微粒子の基板への到達速度を調整可能にするノズルを提供する。
【解決手段】噴射ノズル４は、液滴生成ガスおよび純水が導入され、液滴を噴射する液滴生成ノズル部４１を有し、液滴生成ノズル部４１の先端には、筒状の補助ノズル部４２が取り付けられる。補助ノズル部４２は、液滴生成ノズル部４１に接続される連結部４２１、および、液滴の基板上における被噴射範囲を制限する先端部４２３を有し、補助ノズル部４２の流路４２５内において液滴を加速する加速ガスが加速ガス導入口４２４から導入される。噴射ノズル４では、液滴生成ガスの流量を高くして微小な液滴を生成し、さらに、被噴射範囲を制限することにより基板上における液滴の密度を増大することができ、加速ガスの流量を制御することにより液滴の基板への到達速度が調整可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡便で安価な構成により、液剤製品を製造する設備を効率的に洗浄することが可能な液剤配合設備の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】液剤を調製するための配合槽２と、配合槽２に原料を供給する原料供給ライン３と、配合槽２から液剤を循環させて再び配合槽２に戻す循環ライン４と、循環ライン４の経路内及び／又は循環ライン４から外部に接続するように設けられるバルブ５と、が備えられた液剤配合設備１を洗浄するための洗浄方法であり、配合槽２に洗浄媒体を供給して配合槽２を洗浄するとともに、前記洗浄媒体を配合槽２から循環ライン４に循環させて該循環ライン４を洗浄する際、バルブ５を開閉制御することによって前記洗浄媒体を移送制御する方法である。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の表面における汚れの付着が強固な場合でも、洗浄により、この汚れが十分に除去されるようにすると共に、この除去が迅速にできるようにする。
【解決手段】被洗浄物１の表面２を浄化する洗浄方法であって、まず、被洗浄物１の表面２に対し洗剤３による泡４を層状に付着させ、次に、アルコール７を含浸させたワイパー８により泡４と共に被洗浄物１の表面２の汚れを拭き取るようにする。ワイパー８により泡４と汚れとを拭き取った後、被洗浄物１の表面２にアルコール７が残留している状態で、被洗浄物１の表面２にワックス１０により磨きをかけるようにする。洗剤３に第４級アンモニウム塩を含有させる。アルコールをイソプロピルアルコールとする。 （もっと読む）

【課題】被処理物を相対移動させながら処理流体を被処理物に噴き付けて表面処理を行なう装置において、被処理物の端部の過剰処理（ローディング効果）を防止する。
【解決手段】噴き出し部３１の左側（一側）に第１吸い込み部３２Ｌを配置し、右側（反対側）に第２吸い込み部３２Ｒを配置する。間隔調節機構４０にて噴き出し部３１と各吸い込み部３２Ｌ，３２Ｒとの間隔を調節可能にする。処理流体を噴き出し部３１から噴き出すとともに、移動機構１２にて被処理物Ｗを左右方向へ移動させる。被処理物Ｗの右端部（第２側の端部）を処理する際は、噴き出し部３１と第１吸い込み部３２Ｌとの間隔を小さくする。これにより、ローディング効果の起きる領域を小さくする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ラベルプリンタにシート供給口や、特別なモードを設けることなく、ラベルプリンタの簡単な操作で清掃を行うことができる清掃シートを提供することを課題とする。
【解決手段】一端がラベルプリンタ４の装着部４３に装着可能な筒状体１４に固定された帯状の基体１１と、当該基体１１の表面に間隔をおいて交互に設けられた、サーマルヘッド４１に融着しているカスを削り取る研磨層１２および当該研磨層１２によってサーマルヘッド４１から削り取られたカスを除去する清掃液塗布層１３とを具備し、基体に研磨層１２および清掃液塗布層１３の先端位置を示すタイミングマーク（開口１５、黒色マーク１６）を設ける。 （もっと読む）

【課題】プラズマ点灯に伴いプラズマ発生ノズルで発生された熱の伝搬によって導波管が高温になり、プラズマ消灯によって放熱してゆく際に、導波管内が多湿になり結露生じ、導波管内が腐食されることを抑えるプラズマ発生装置およびそれを用いるワーク処理装置を提供する。
【解決手段】導波管１０内を換気する通風ファン４５，６５を設けるとともに、導波管１０の温度を検出する温度センサ９８１を設け、プラズマ発生によって所定温度以上になると、プラズマ消灯から所定時間、通風ファン４５，６５をＯＮして、導波管１０を風洞として、その内部を換気する。 （もっと読む）

【課題】各種材料で形成された洗浄対象物を効率よく洗浄するとともに、洗浄媒体の再生品質を高めて洗浄品質と洗浄効率を向上させる。
【解決手段】循環用気流発生手段６から洗浄槽５の壁面に沿う循環用気流を直接発生させ、発生した循環用気流を洗浄槽５に堆積している洗浄媒体４の面方向と直交する方向から当てて洗浄媒体４を運搬して飛翔させ、堆積している洗浄媒体４に対して循環用気流で有効な浮上力を与えて大量の洗浄媒体４を洗浄槽５内に飛翔させる。飛翔している洗浄媒体４に洗浄媒体加速手段７から高速気流を当てて洗浄対象物２に衝突させて洗浄対象物２に付着した塵や粉体の付着物を除去する。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置に用いられ、同心状の内側導電体と外側導電体とを有し、両電極間に高周波のパルス電界を印加することで、グロー放電を生じさせてプラズマを発生させ、それらの間にガス供給源からの処理ガスを供給することで、吹出し口から常圧下でプラズマ化したガスを被処理ワークに放射するプラズマ発生ノズルにおいて、アーク放電（異常放電）を防止する。
【解決手段】同心状の内側導電体である中心導電体３２と外側導電体であるノズル本体３３とによって形成される吹出し口である筒状空間３２２内に、筒状のガラスなどの誘電体から成る保護管３６を設け、その先端面３６１を、前記中心導電体３２およびノズル本体３３の先端面３２２１，３３１間で、弧を描いたアーク放電ＡＲＣが生じないように、軸線方向に突出して配置する。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、導波管にプラズマ発生ノズルが複数個取付けられ、大面積の被処理ワークの処理に対応するにあたって、各プラズマ発生ノズルから均一で安定したプルームを得られるようにする。
【解決手段】ガス供給源８２から各プラズマ発生ノズル３１へは、順次分岐してゆく配管で処理ガスを供給するのではなく、前記プラズマ発生ノズル３１の近傍に設けられるタンク８４に一旦貯留した後、このタンク８４と各プラズマ発生ノズルとの間を直結するガス供給管８１によってそれぞれ処理ガスを供給する。したがって、何れかのプラズマ発生ノズルへの処理ガス供給の変動が他のプラズマ発生ノズルへの処理ガス供給に与える影響を小さくして、略等しい条件で処理ガスを供給することができる。また、前記タンク８４を導波管１０に密着して設けることで、導波管１０を冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを利用した基板処理において、プラズマの不均一性をコントロールして基板面内での加工制御を実現すること。
【解決手段】本発明は、内部に処理対象となるウェハＷを配置するチャンバ１０と、チャンバ１０内でウェハＷを載置するステージ１１と、チャンバ１０内にプラズマを発生させるため、チャンバ１０とステージ１１との間に高周波電圧を印加する高周波電源１４とを備える基板処理装置１であって、ステージ１１のウェハＷの面方向における電気抵抗値が不均一となっているものである。 （もっと読む）

【課題】構成が簡単、スペースを取らず、既設のコンベアにも簡単に取付可能、装置全体の製作費、設置施工費、メンテナンス費が安価なコンベア用洗浄ユニットを提供する。
【解決手段】二股フォーク形状とした上下一対のノズルヘッド４、５と、該ノズルヘッドをコンベアフレーム１ｃに取り付けるための取付部材６とを備え、前記ノズルヘッドは、走行体１ａの幅方向に配列された複数の噴射ノズル４ａ，５ａを有し、各噴射ノズル４ａ，５ａの噴射方向が、上下それぞれ走行体１ａの進行方向に対して逆向き方向で、しかも、走行体１ａの上下面に対して傾斜した状態に設定されていると共に、前記ノズルヘッドの連通管は、継ぎ手を介して高温・高圧の洗浄水供給手段に接続可能とされている。 （もっと読む）

【課題】湿式洗浄機を終了し運転を停止する際に、洗浄バルブを必ず閉状態にすることができるマット洗浄機を提供することを目的とする。
【解決手段】マット送り手段３と、清掃手段４と、マット送り手段３と清掃手段４とを内蔵したケーシング10と、マット送り手段３と清掃手段４とを運転・停止させる起動スイッチ18と、起動スイッチ18のＯＮ−ＯＦＦ状態を揺動切換する運転レバー１と、洗浄水バルブ９とを、備えたものであり、かつ、運転レバー１のＯＮ状態で洗浄水バルブ９の開閉状態を揺動切換する給水レバー２を具備する。さらに、ＯＦＦ状態へ揺動切換する運転レバー１に連動して給水レバー２を閉状態へ揺動切換させる連動操作機構11を有するものである。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクやフォトマスクブランクス等のマスク基板、半導体用ウェハ等の半導体基板、ペリクル等を保管あるいは運搬する際に使用する収納ケースの洗浄方法として、定期的に洗浄することが容易で、複雑な形状のケースにも適用でき、大掛かりな装置や高価な装置を必要とせずに環境対策も容易で洗浄効果の高い収納ケースの洗浄方法を提供する。
【解決手段】 物理吸着した有機物の異物またはイオン性の異物またはイオン結晶異物が付着して汚染された収納ケースの洗浄方法であって、前記収納ケースをクリーンな空気または不活性ガスの気流中に常温〜８０度の温度範囲下で静置し、前記収納ケースに付着した前記異物を脱離除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 噴射口を変更せずに高圧水の形状を変形することができる高圧水噴射装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係るウォータージェットハンドガン１０は、高圧水を噴射するノズルヘッド１２と、ノズルヘッド１２から噴射される高圧水の軌道線Ｌ上に配置され、噴射された高圧水の形状を変える変形部材スクレーパ２６の連結部３０とを備えている。従って、このウォータージェットハンドガン１０においては、スクレーパ２６の連結部３０によって、ノズルヘッド１２から噴射された高圧水の形状が変わるため、ノズルヘッド１２の噴射口１２ａの数や断面形状を変更することなく、高圧水の形状を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】 建物等の構造物に付着しているアスベスト除去する場合、その除去作業により曝露されたアスベストを吸い込む危険性や周囲に与える悪影響を全て回避できるアスベスト除去の施行方法を提唱すること。
【解決手段】 建築物のアスベスト施工面に付着しているアスベスト層を除去するにあたり、アスベスト層に対しコンニャク芋，粉，粒，すり身，小塊，ぺーストまたはエキス等のコンニャク芋加工品と水などとの混合物であるコンニャク混合液を浸透させて、前記アスベスト層を半固溶体の状態にするコンニャク混合液付与行程と、その半固溶体の状態とされた前記アスベスト層を前記アスベスト施工面から剥離するアスベスト層剥離行程からなる。 （もっと読む）

【課題】 燃料配管の点検・修理等のための溶断による爆発・発火等のリスクを確実に低減させることができる方法を提供すること。
【解決手段】 次の工程（イ）〜（ロ）、
（イ）燃料配管から燃料を排出した後、当該燃料配管に水を張り込み、これを加熱下循
環させる工程
（ロ）前記燃料配管を、少なくとも１回以上、油分散剤および脱脂洗浄剤により洗浄す
る工程
（ハ）上記（ロ）で洗浄された前記燃料配管を窒素パージし、当該燃料配管中の可燃性
ガス濃度を計測する工程
を含むことを特徴とする燃料配管の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】汚れの再付着を良好に阻止でき、これまでにない良好なシート洗浄を達成し得る画期的な技術を提供する。
【解決手段】洗浄液２が貯留する洗浄槽３内にシート材１を搬送通過させて前記洗浄液２にシート材１を浸漬することでシート材１を洗浄するシート洗浄装置において、洗浄槽３内に洗浄液２を供給する供給手段Ｓを設け、この供給手段Ｓは前記洗浄槽３内に洗浄液２を吐出供給するノズル部５を有し、このノズル部５は洗浄槽３内を搬送通過するシート材１に向けて前記洗浄液２を吐出することでこの洗浄槽３内に洗浄液２を供給し且つシート材１の巾方向中央部から巾方向左右側方へと向かう液流を発生させる液流発生供給部５として構成し、洗浄槽３の液貯留上限値を超えた洗浄液２をこの洗浄槽３からオーバーフローさせる余液排出部６を、この洗浄槽３内を搬送通過する前記シート材１の巾方向側に設けた構成とする。 （もっと読む）