【課題】各種の開口部を有する洗浄対象物に付着あるいは固着した粉塵や異物を効率よく洗浄する。
【解決手段】洗浄槽７内の空気を吸引している状態で洗浄媒体加速ノズル１１から高速気流を発生し、薄片の洗浄媒体６を飛翔させて洗浄対象物５の開口部２４に飛翔した洗浄媒体６の飛翔方向を洗浄媒体飛翔方向制御手段２５で切り替えて洗浄媒体６を洗浄対象物５の開口部２４側面に衝突させて洗浄し、洗浄対象物５の開口部２４内面を確実に洗浄する。この洗浄媒体飛翔方向制御手段２５に洗浄対象物５の開口部２４内面に向かう気流を噴射する噴射口２６を設けて飛翔した洗浄媒体６を開口部２４内面方向に加速する。 （もっと読む）

【課題】 水源等を確保する必要が無く、太陽熱発電設備の設置場所選択の自由度が向上する、太陽熱発電設備のコレクタをクリーニングする装置を提供する。
【解決手段】 自走式の走行台車２に、給気装置４とこの給気装置４から供給される空気を噴出するエアノズル１９とが搭載されており、前記エアノズル１９からの噴出空気をコレクタ５２の太陽光反射面５２ａに吹き付けて清掃することができるように構成されており、前記エアノズル１９が昇降可能に構成され、エアノズル１９によるエアブローの前後それぞれの太陽光反射面５２ａの汚れ度を測定する汚れ度測定装置２９をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】被処理物の表面処理に際し、被処理物上の異物等を確実に、かつ被処理物等を損傷することなく検知する。
【解決手段】表面処理装置１の処理部３を被処理物９と対向させ、被処理物９に対し平面ＰＬと平行な移動方向に相対移動させる。処理部３に表面状態検知手段１０の回転体１２を設ける。表面状態検知手段１０の回転体１２は、好ましくは円筒体であり、その回転軸１２ａが、平面ＰＬと平行で上記移動方向と交差している。支持部１３によって、回転体１２を回転軸１２ａのまわりに回転可能に支持し、かつ回転軸１２ａを平面ＰＬと交差する方向に変位可能にする。回転体１２の回転を回転センサ２１で検知する。 （もっと読む）

【課題】空気の噴射が停止した後の除塵結果の確認が容易な除塵装置を提供する。
【解決手段】放電針と、放電針に電圧を印加してイオンを発生させる電圧印加手段と、放電針の針先付近へ空気を供給してイオンを噴射する空気噴射手段と、光源と、少なくとも、空気噴射手段による空気の噴射が停止した後の期間（Ａ期間）、光源を点灯し、当該期間の終了時に光源を消灯する光源制御手段と、を備える。作業者は光源の点灯を自身で行わなくてもよいので、空気の噴射が停止した後の除塵結果の確認が容易である。 （もっと読む）

【課題】超音波洗浄中に洗浄対象品に照射された超音波の強度を測定できない従来の超音波用インジケータの課題を解決する。
【解決手段】洗浄対象品が収容されるバスケットに取り付けられて超音波洗浄に供され、照射された超音波の強度を表示する超音波洗浄用インジケータであって、前記超音波洗浄用インジケータには、照射された超音波の強度に応じて侵食されるアルミニウム箔１２と、照射された超音波をアルミニウム箔１２に伝達するプロピレングリコール１４とが、透明で且つ前記超音波を内部に伝達可能な樹脂フィルムから成り、一端部側に前記バスケットに取り付けることのできる取付部１６が設けられている袋体１０内に封入され、プロピレングリコール１４には、袋体１０の取付部が取り付けられたバスケットを超音波洗浄用の洗浄液に浸漬したとき、袋体１０の他端部側が洗浄液の液面方向に浮くように気泡１８が混入されている。 （もっと読む）

【課題】イオン化された空気を間欠的に放出する動作を実行しつつ圧力異常時に所定の異常時処理を実行できる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】放電針と、前記放電針に電圧を印加してイオンを発生させる電圧印加手段と、空気供給源からの空気を前記放電針の針先付近へ供給して前記イオンを除電除塵対象物へ吹き付ける空気供給流路部と、前記空気供給流路部を流れる空気流を間欠制御または強弱制御する空気流制御手段と、前記空気供給流路部内の空気の圧力であって前記空気流制御手段より上流側の空気の圧力を測定する圧力センサと、前記圧力センサで測定された圧力を監視し、圧力異常を検出すると所定の異常時処理を実行する異常処理制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】騒音を発生せず、弾性シートが損傷し難く、耐久性に優れ、粉塵を確実に、素早く、スムーズに、綺麗に除去でき、ダクト内の吸引圧力（静圧）にバラつきが生じ難く、構成簡素で、組立て、取扱い、メンテナンスが容易で、量産に適し、経済的な粉塵除去装置を提供する。
【解決手段】開口部５と、コーナー部内表面及び開口部５を覆う弾性シート１０と、開閉板６と、作動手段２０とを備え、弾性シート１０は、弾性変形可能に形成すると共に、基端縁部分及び左右側端縁部分をダクト１に固定し、空気が開口部５を経て弾性シート１０の外がわ表面とダクト１内表面との間を吸引方向下流がわに向って吸い込めるよう形成すると共に、弾性シート１０が膨出状に弾性変形するよう形成し、弾性シート１０の内がわ表面に付着・堆積した粉塵を除去するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で不所望な負荷によるエキシマランプの破損を防止すると共に、酸素濃度の変動した大気の対流による測定値変動を抑制した光センサおよびこれを備えたランプユニットを提供すること。
【解決手段】紫外線を放射するエキシマランプ５と、紫外線を受光する光センサ６と、少なくとも光センサ６を収納保持する筐体４と、からなるランプユニットにおいて、光センサ６は、可視光を検知する光検知体６１と、光検知体６１に付設された筒状の保持体６３と、保持体６３内に移動可能に保持されると共に、エキシマランプ５に当接可能に設けられた筒状または柱状の可動体６４とを備え、エキシマランプ５からの紫外線を透過する透過部材６４５と、透過部材６４５を透過した紫外線を可視光に変換する変換部材６４６とは、該光検知体と該保持体と該可動体とに取り囲まれるように設けられたことを特徴とするランプユニットである。 （もっと読む）

【課題】排気によるエネルギー損失をできる限り小さく抑えることのできる、ボトルあるいは容器用の洗浄機を提供すること。
【解決手段】処理中にアルミニウム、アルミニウム合金等の金属と化学反応して水素を発生する液状の洗浄媒体を用いてボトル等の容器２を洗浄する洗浄機であって、当該洗浄機の通気のため、及び水素を含む排気である空気を当該洗浄機から少なくとも１つの出口８．１を介して除去するための少なくとも１つの通気装置８を備えて成る前記洗浄機において、少なくとも前記排気に含まれる水素のエネルギーを利用するための装置を、少なくとも１つの前記出口８．１に接続した。
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【課題】洗浄対象物（パレット）を短時間で効率的に洗浄し、クリーンルーム内での塵埃による汚染を防止するとともに、精密機器の生産効率の向上を図ることができる自動パレット洗浄装置を提供する。
【解決手段】自動パレット洗浄装置１は、パレットＰを洗浄装置本体１０内に搬送する搬送コンベア１１と、搬送コンベア１１により搬送されたパレットＰに対してエアーを噴出し、エアーによりパレットＰに付着した塵埃を除去し洗浄するエアー噴出ノズル２１と、洗浄装置本体１０内を負圧状態とし、エアー噴出ノズル２１によってパレットＰから除去された塵埃を吸引するエアー吸引装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】携帯端末機器を、ユーザー個人で簡単かつ安全に洗浄できるシステムを提供する。
【解決手段】携帯端末機器用の洗浄システム１は、内部に携帯端末機器１２を収納して洗浄する小型の洗浄装置１０から構成され、洗浄部１１と、洗浄液供給部２０６と、乾燥用送風部２０７と、洗浄廃液排出部２０８とを含む。更に、洗浄操作開始を指示し、携帯端末機器の種類又は洗浄条件を入力できる入力部２０３と、携帯端末機器の種類に応じた複数の洗浄条件をあらかじめ記憶し、また入力部２０３から入力される洗浄条件を記憶できる記憶部と、記憶部に記憶された洗浄条件に基づいて、洗浄液供給部２０６、送風部２０７及び排出部２０８の機能を制御する制御部を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、複数のワークに塵埃が付着するのを抑制しつつこれを徐給材することができるマガジントレイ、浸漬処理装置のマガジンセット装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを処理溶液に浸漬することによりワークＷの表面処理を行う浸漬処理装置１に対し、ワークＷをセットしたワークマガジン１１を徐給材するためのマガジントレイ１２であって、ワークマガジン１１を位置決め状態で搭載するトレイベース５１と、トレイベース５１の両端部に設けた手持ち用の一対のハンドル５２，５２と、を備え、トレイベース５１は、ワークマガジン１１を支持する外枠部５４と、外枠部５４に設けた１以上の中間桟部５５と、を有している。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状の被洗浄物であっても効率よく洗浄及び乾燥が可能なロボット洗浄装置を提供する。
【解決手段】先端に高圧液体及び高圧気体を噴射する噴射装置１１１を有するロボットアームと、被洗浄物６１を支持する支持冶具１２Ｂと、支持冶具１２Ｂを回転させる支持冶具回転モータ１３と、噴射装置１１１及びロボットアーム１１及び支持冶具回転モータ１３の動作を制御する制御部１７と、を備え、制御部１７が入力されたプログラムに従ってロボットアーム１１と噴射装置１１１と支持冶具回転モータ１３の動作を制御して被洗浄物の洗浄と乾燥とを行う。 （もっと読む）

【課題】単純な構造でブラシを回転させることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】ブラシ２０は、ブラシホルダ４７およびホルダ取付部４８を介して、回転シャフト４５に一体回転可能に連結されている。また、ホルダ取付部４８の外周には、複数の羽根１０４からなる羽根車１０５が連結されている。ブラシ２０および羽根車１０５は一体回転可能に連結されている。ブラシ２０および羽根車１０５は、第１および第２ノズル１１５，１１６から吐出されたブラシ洗浄液が羽根１０４に当たることにより、一体的に回転させられる。 （もっと読む）

【課題】吸気装置が運転され続けたためにタンク内に徐々に水が吸い込まれてフィルタが水に浸ってしまうという不具合を解消することができる集塵機を提供すること。
【解決手段】水を含んだ粉塵を吸引する吸気装置７と、
該吸気装置７によって吸込口３から吸引される塵埃を収納するタンク２と、
該タンク２内の水位を検出する水面検出手段（電極２７ａ，２７ｂ）とを有し、
前記タンク２内の水位が予め定めた閾値を超えたときに、運転状態にある前記吸気装置７を停止状態にする集塵機１において、
前記タンク２内の水位が予め定めた閾値を超えた状態で、前記吸気装置７が運転状態とならないようにする制御手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】エアーナイフから気体を基板に吹き付けた際に、基板上の処理液がミスト状のパーティクル等が基板に付着することなく、且つ、基板がヒーター等の他の乾燥装置や乾燥工程を必要することなく乾燥できる基板処理装置を提供することである。
【解決手段】
チャンバー内に基板を搬送する複数の搬送ローラーとその搬送ローラーで搬送されてきた基板の表面または裏面に付着しているミストまたは異物を飛ばすエアーナイフが基板の上方または下方あるいは両方に設けられ、異物やミスト状のパーティクルを排気する複数の排気口がチャンバーの下方に設けられている基板処理装置であって、
前記エアーナイフの前方近傍にエアーナイフで飛ばされた異物やミスト状のパーティクルを吸引し、排気する吸引スリットを有する排気ユニットが設けられていることを特徴とする基板処理装置である。 （もっと読む）

【課題】ディスク・ドライブ装置内の塵埃を効果的に除去する。
【解決手段】本発明の一実施形態は、ディスク・ドライブ装置の製造において使用する塵埃除去装置である。塵埃除去の対照であるディスク・ドライブ装置の好適な例は、ハードディスク・ドライブ装置である。塵埃除去装置は、ノズル１３内の気体吸引口とノズル内を移動する気体噴き出し口１５２ａ、１５２ｂとを有する。ディスク・ドライブ装置の製造において発生した塵埃は、ノズル内の気体吸引口から吸引されて除去される。移動する気体噴き出し口からの気流によりノズル内に定常流が発生することを抑制し、塵埃除去対象部分から効果的に塵埃を除去することができる。また、移動する気体噴き出し口が塵埃除去対象部分に対して気体を噴き当てることで、塵埃除去対象部分近傍での定常流の発生を抑制し、より効果的な塵埃除去を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】基板を適切に洗浄可能な基板洗浄装置の提供。
【解決手段】基板洗浄装置２００のヘッド部２１０に、水Ｗを洗浄面１０２Ａに対して鋭角に噴出する状態で配置された第２の水噴出ノズル２２０と、クリーンエアＣを洗浄面１０２Ａに対して略垂直に噴出する状態で配置された第２のエア噴出ノズル２１６と、を設けている。このため、水Ｗの水圧で除去された被洗浄物を、クリーンエアＣの圧力によりミストＭにすることができる。さらに、クリーンエアＣでエアカーテンを形成することで、このエアカーテンよりも吸引口２１１Ａと反対側へのミストＭの飛散を防止できる。したがって、洗浄面１０２Ａに、洗浄領域と、非洗浄領域と、を区画する境界を確保することができ、洗浄領域のみを洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】電極アセンブリのプレナムを洗浄する洗浄用取付具及び洗浄方法
【解決手段】本発明の一実施形態にしたがって、電極アセンブリの１つ又は２つ以上の流体プレナムを洗浄する方法が提供される。方法にしたがって、流体プレナムと連通している複数の流体ポートが隔離され、プレナム入力ポート及びプレナム出力ポートのそれぞれのセットに区別される。入力ポート及び出力ポートは、それぞれの洗浄流体継ぎ手と係合される。プレナム入力ポートとプレナム出力ポートとの間に流体圧力差ΔＰ＝Ｐ_IN−Ｐ_OUTを発生させることによって、洗浄流体は、流体プレナムを通るように仕向けられる。圧力差ΔＰは、洗浄流体を強制的に洗浄流体供給ダクトから流体プレナムを通って洗浄流体排出ダクトに向かわせるのに充分な大きさである。更なる実施形態が開示され、権利を要求される。 （もっと読む）

【課題】作業効率を向上させることができ、作業スペースの省スペース化を図ることが可能な塗布装置及び塗布装置のクリーニング方法を提供すること。
【解決手段】基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、当該基板搬送部によって搬送させつつ前記基板に液状体を塗布する塗布部とを備えた塗布装置であって、前記基板搬送部に複数設けられ、気体の噴出及び吸引が可能な孔部と、前記複数の孔部から気体を噴出する噴出モードと前記複数の孔部から吸引する吸引モードとを切り替えて行わせる制御手段とを備える。 （もっと読む）