【課題】パーティクルの発生、部品の故障等を抑制することができるガス供給装置、ガス供給方法、薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成方法及び薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置１の制御部１００は、熱処理装置１の内部に付着した付着物を除去するために、ガス供給部２０の少なくとも、フッ化水素の流量を制御するＭＦＣより上流側の温度及び圧力を、フッ化水素における準単分子領域内の温度及び圧力に設定し、フッ化水素を含むクリーニングガスを反応管２内に供給する。 （もっと読む）

【課題】従来のエアーシャワー装置では、吹出風で人体に付着した花粉及び塵埃を除去する手段が一般的であるが、静電気により付着しているものは吹出風のみでは吹き飛びにくいため、すべて取りきれないという課題がある。また除電を実施する手段としてコロナ放電を行うものがあるが、人体に有害なオゾンが発生するため、人体の健康上に悪影響を及ぼすという課題がある。
【解決手段】微細な水滴を噴霧させる微細水噴霧手段４と、吹出風により人体に付着した花粉や粉塵を吹き飛ばす花粉分離手段５を備えたことで、人体に有害なオゾンを発生させずにムラ無く除電でき、確実に花粉や塵埃を吹き飛ばすことができる花粉除去装置１を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄室内の洗浄流体の急激な密度変化を防止することができ、洗浄後の被洗浄物がダメージを受けることがない洗浄システムを提供する。
【解決手段】洗浄システム１０では、洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄した後、制御装置１８がマスフローコントローラを介して流体圧力逓減手段を実行するとともに、第１温度制御手段、流入量制御手段、第２温度制御手段を実行し、洗浄室内の洗浄流体の温度を略一定に保持しつつ、洗浄室内の洗浄流体の密度を略一定の下り勾配で低下させる。 （もっと読む）

【課題】
ボア等の円筒穴複数を同時清掃することができ、エアブロワのピッチ変更が可能で他の部品の円筒穴の清掃もできる円筒穴清掃用エアブロアの位置決め方法およびエアブロア機構を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、複数のエアブロワを移動可能に保持するガイドレールと、ガイドレール上のエアブロワの位置決めをする位置決めプレートとの組み合わせによりエアブロア機構を構成してエアブロワの位置を位置決め固定するものであり、エアブロワの位置決めは、部品の複数個の円筒穴の中心に対応する位置決めプレートの雄形成部と雌形成部のいずれか一方とエアブロワ側に設けた雄形成部と雌形成部のいずれか他方との係合によりなされる。 （もっと読む）

【解決手段】 充填システム１は、回転式フィラ４と加圧タンク７およびサージタンク１１とを備えている。サージタンク１１と加圧タンク７は導管８によって連通可能となっており、その導管８にはロータリーポンプ２４を設けている。
圧縮空気供給源２２からサージタンク１１内に圧縮空気を供給しながら高温の純水２８（洗浄液）をサージタンク１１内に噴出させるとともに、ロータリーポンプ２４も作動させる。
サージタンク１１内に噴出される純水は圧縮空気とともに導管８内を流通するので、導管８内が充分に洗浄される。
【効果】 液体としての洗浄液をポンプで配管内に流通させていた従来と比較して導管８内を確実かつ充分に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コンパクトな構造でホッパも洗浄することができ、更に、ピグでは除去困難な糖分であっても完全に除去可能な空気圧輸送配管の洗浄方法及びその洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ホッパ１０内で噴射された洗浄水を、ロータリーフィーダー２２の回転羽根の送出作用によって空気圧輸送配管１４に供給する。この洗浄水は、ブロア１８からの圧縮空気により空気輸送され、空気圧輸送配管１４を通過する。これにより、空気圧輸送配管１４が洗浄される。このように洗浄水の輸送手段として既存のブロア１８を使用することにより、ポンプを別途必要とする従来の洗浄水供給装置と比較してコンパクトな構造となる。また、ホッパ１０も洗浄することができ、更に、洗浄水による洗浄なので、ピグでは除去困難な糖分であっても完全に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置の搬送アームに付着したパーティクルを除去できる処理システム，搬送アームのクリーニング方法，及び，記録媒体を提供する。
【解決手段】基板Ｗを処理する処理システムにおいて，基板Ｗを搬送アーム３５によって保持して搬送する基板搬送装置３０と，搬送アーム３５が進入させられる進入部Ｓ１とを備え，搬送アーム３５を進入部Ｓ１に対して進入させるための入口１３１を設けた。この入口１３１における搬送アーム３５の移動領域の上方に，下方に向かってクリーニング用ガスを吐出するガス吐出口１８３を設けた。かかる構成によれば，搬送アーム３５に付着したパーティクルをクリーニング用ガスによって吹き飛ばして除去できる。 （もっと読む）

少なくとも一つの処理ゾーン（１１，１２，１３，１４）で容器の少なくとも外面を洗浄液によって処理する、ボトル又はそれと同等の容器の処理方法において、ラベル、特に、自己粘着性のラベルを剥がすための処理の前の前処理フェーズ（１１，１２）で液体の処理媒体を用いて容器を温める。
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【課題】利便性に富み、かつ省スペースを実現できる食器洗い機を提供すること。
【解決手段】（イ）駆動装置と前記駆動装置に着脱可能に接続した洗浄部材とを有する１又は複数の洗浄装置本体と、（ロ）前記洗浄装置本体をシンクへ取り付ける本体設置器具とを有する食器洗い機であって、
前記本体設置器具が、
（ａ）前記洗浄装置本体を着脱可能に固定する本体設置プレート部と、
（ｂ）前記本体設置プレート部をスライドして着脱できる台座部と、前記台座部と垂直に接続した背もたれ部とを有するアーム部と、
（ｃ）前記アーム部の背もたれ部又は台座部をスライドして着脱可能に固定するアーム結合部を有するアーム受け台部と、
（ｄ）前記アーム受け台部を着脱できるアーム受け台接続部と、シンクに着脱可能に固定するシンク取付部を有するシンク設置部とを有する構成とすること。 （もっと読む）

【課題】粉砕設備の接続状態を維持したままで洗浄作業ができ、また、粉砕設備を停止することなく洗浄作業ができ、そして、極端な低温にすることなく、製造能力の低下や粒径品質のばらつきの原因を最小限とし、さらに、付着しやすい原料でも連続運転を行った状態で製品の回収が可能となる粉砕設備および粉砕方法を提供することを課題とする。
【解決手段】粉砕設備１は、原料供給機２と、粉砕機３と、出口側配管６と、前記原料供給機、前記粉砕機および前記出口側配管にわたって接続される径路配管ａ１と、径路配管内の気体を吸引する気体吸引機構９と、前記粉砕機の制御手段１０と、を備え、前記制御手段は、前記粉砕物を、当該粉砕粒の粒径より小さな所定粒径の粉粒体である製品粉粒体とする通常運転と、前記粉砕物を、前記製品粉粒体の粒径より大きい清掃用粉粒体とする清掃運転と、なるように前記粉砕機の運転を制御する。 （もっと読む）

【課題】
切換バルブ装置から合流点までの間に逆流防止弁を設けなくても洗浄時の逆流を確実に阻止して、洗浄不良や塗装不良を起こさないようにする。
【解決手段】
主剤側洗浄工程（Ａ_ｎ）と硬化剤側洗浄工程（Ｂ_ｎ）を交互に繰り返す際に、主剤側洗浄工程（Ａ_ｎ）終了後、硬化剤側洗浄工程（Ｂ_ｎ）開始前に、少なくとも主剤供給管（２Ａ）に主剤用洗浄液を充填する主剤用洗浄液充填工程（Ｃ_ｎ）を行い、硬化剤側洗浄工程（Ｂ_ｎ）終了後、主剤側洗浄工程（Ａ_ｎ＋１）開始前に、少なくとも硬化剤供給管（２Ｂ）に硬化剤用洗浄液を充填する硬化剤用洗浄液充填工程（Ｄ_ｎ）を行なうようにした。
するようにした。 （もっと読む）

【課題】管の内径が異なっても、キャビテーション気泡の崩壊領域を制御することができる管内部の表面改質または洗浄方法及び該方法に使用される管内部の表面改質または洗浄装置を提供すること。
【解決手段】ノズルから高圧液体を管の内部に噴射して、高圧液体の噴流まわりにキャビテーションを発生させ，キャビテーション気泡の崩壊衝撃力により管内部の表面を改質または洗浄する方法において、前記管内径Ｄと前記ノズル口径ｄに応じて、前記高圧液体の噴射圧力ｐ１と前記管内部の圧力ｐ２を制御することにより前記管内部のキャビテーション気泡の崩壊領域ｘを制御することを特徴とする。この特徴によれば、所定の管内部のキャビテーション気泡の崩壊領域にキャビテーション気泡の崩壊衝撃力を作用させることができるので、効率が良い処理が可能となる。 （もっと読む）

【課題】超臨界流体または亜臨界流体から形成された高圧洗浄流体を利用して使用済みフィルタ全域の汚れを落とすことができるフィルタ洗浄容器を提供する。
【解決手段】フィルタ洗浄容器１９Ａでは、フィルタ１１の上面１２全域を覆う被覆材３９と被覆材から延びる管材４０とが洗浄室３２に設置され、被覆材３９がフィルタ１１の周縁部４４に位置する周縁部４５とフィルタ１１の上面１２から離間する中央部４６とを有し、超臨界流体と亜臨界流体との一方から形成された高圧洗浄流体の流路となるスペース４７がフィルタ１１の上面１２と被覆材３９の中央部４６との間に形成されている。この洗浄容器１９Ａは、洗浄流体が洗浄室３２に収容されたフィルタ１１の下面１３から上面１２に向かって通流する。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、プラズマの点灯状態を正確に反映した制御や表示を可能にする。
【解決手段】プラズマ発生部３０に複数個のプラズマ発生ノズル３１が設けられていることに対応して、このプラズマ発生部３０から離間し、ワークＷの搬送の邪魔にならず、かつ総てのプラズマ発生ノズル３１を見通し可能な固定位置に、プルームＰの発光光量だけを正確に測光できるようなスポット測光手段１０１を設け、全体制御部９０のＣＰＵ９０１は、このスポット測光手段１０１を、変位手段１０２によって首振り走査させ、読取った明るさに対応して、処理ガスの流量制御弁９２３を制御する。したがって、プラズマの点灯状態を反映した制御や表示を行うことができ、またプラズマの点灯状態を検出する検出手段を、複数のプラズマ発生ノズル間で共用することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面の汚染に起因するパターン不良を防止できる基板処理装置を提供することである。
【解決手段】基板処理装置５００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、現像処理ブロック１２、レジストカバー膜用処理ブロック１３、レジストカバー膜除去ブロック１４およびインターフェースブロック１５を備える。インターフェースブロック１５に隣接するように露光装置１６が配置される。インターフェースブロック１５は、裏面洗浄処理ユニットＲＳＷを含む。裏面洗浄処理ユニットＲＳＷにおいて、露光処理前に基板Ｗの裏面が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】管部材内を移動するピグの位置を比較的簡単に且つ容易に監視することができるピグの位置監視方法を提供すること。
【解決手段】管部材内を移動するピグによって発生する移動音を集音マイク６で集音し、集音した移動音の周波数のうち特定周波数範囲の音成分の単位時間当たりの発生回数を周波数測定装置２０でもってカウントし、単位時間当たりの発生回数のカウント値に基づいて管部材の曲折部を判定し、この曲折部情報を利用してピグの位置を監視する。移動音の特定周波数範囲は８００〜１２００Ｈｚ以下の周波数範囲であり、管部材の曲折部をピグが移動するときには、この曲折部に衝突して接触しながら移動するので、ピグの移動音には周波数の小さい成分が多く含まれるようになり、従って、周波数測定装置２０のカウント値も大きくなる。 （もっと読む）

【課題】１つのノズルを用いて、異なる大きさの円筒穴を清掃する。
【解決手段】ノズル３０は、柔軟性を有するチューブで構成され、円筒穴に挿入されて円筒穴の内側表面へ空気を吹き付ける。回転パイプ２５は、円筒穴の深さ方向に回転軸を有し、ノズル３０が挿入され、ノズル３０から円筒穴の内側表面へ吹き付けた空気の反作用でノズル３０と共に回転する。保持金具４０は、ノズル３０の先端３０ａを、回転軸から所定の距離に、かつ円筒穴の内側表面に対して所定の角度に保持する。保持金具４０により、円筒穴の大きさに応じて、ノズル３０の先端３０ａの回転軸からの距離を変更し、円筒穴の内側表面の近傍から円筒穴の内側表面へ所定の角度で斜めに空気を吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】高濃度の反応性水素化合物を生成し処理の高速化を図るとともに、被処理物への結露を防止する。
【解決手段】原料供給系２０の原料成分ＣＦ_４をプラズマ生成部１０の電極間空間１３に導入し、電極間に電界を印加してプラズマを生成する。その後、水蒸気供給系３０の水蒸気を上記ＣＦ_４と混合し、露点が被処理物Ｗの温度より高い処理ガスｇ１を得、電極間空間１３に導入する。これにより、反応性水素化合物として高濃度のＨＦを含む低露点のガスｇ２が吹出し口１４から吹き出され、被処理物Ｗのエッチング等の表面処理が実行される。処理終了後、先ず水蒸気導入を停止する。次に、プラズマ生成を停止し、ＣＦ_４導入を停止する。 （もっと読む）

【課題】細径かつ長尺のチューブ等を使用しながら洗浄ノズルに所要圧力の圧縮気体を供給可能とし、水深深く設置された検出器本体の洗浄対象部位に対しても十分な洗浄力を発揮する水質検出器用洗浄装置を提供する。
【解決手段】電極部等に付着した汚濁物質を洗浄ノズルから噴射する圧縮空気により除去する水質検出器用洗浄装置において、圧縮気体供給源としてのポンプ４０と、ポンプから圧縮空気を供給するためのチューブ２２と、チューブ２２に連結され、かつ試料水Ｗ中の検出器本体１０の近傍に配置されたタンク２０と、タンク２０に連結されて圧縮空気が供給されるバルブ３０と、バルブ３０の出口側に配置されて電極部１３等の洗浄対象部位に試料水Ｗを介して対向する洗浄ノズル３１と、を備える。バルブ３０は、タンク４０から供給される圧縮空気圧が所定の設定圧力を超えた時に開動作して圧縮空気を洗浄ノズル３１から噴射させる。 （もっと読む）

【課題】口部に付着した錆の除去に適した容器の口部洗浄装置を提供する。
【解決手段】壜１００をその壜軸線ＣＬ１の回りに回転駆動する壜回転機構１０と、壜回転機構１０にて回転駆動される壜１００の壜軸線ＣＬ１と平行なブラシ軸線ＣＬ２を有し、砥粒を含んだ外周部が壜１００の口部１０１と対向するように配置された円盤状のブラシ１１、１２と、ブラシ１１、１２をブラシ軸線ＣＬ２の回りに回転駆動するブラシ回転機構１３と、口部１０１に対してブラシ１１、１２の外周部を押し付けるブラシ押し付け機構１４とを口部洗浄装置１に設ける。 （もっと読む）