液晶基板に用いられるガラス基板の縁部を洗浄する際に、洗浄するガラス基板毎に洗浄度合を判定する。
液晶ディスプレイ用基板Ａの縁部を直線的に移動しつつ摺擦洗浄する洗浄ヘッドを備えた基板縁部洗浄機１００であって、前記洗浄ヘッドとともに移動し、基板に設けられたカラーフィルタの端縁近傍を撮像するカメラ１１７を備え、前記カメラ１１７は、洗浄後の基板Ａの被洗浄部の表面状態情報を取得し、基板縁部洗浄機１００はさらに、前記表面状態情報から洗浄度合を判定する洗浄度合判定手部３０６備える。
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【課題】 ノズルから加熱洗浄液を容器内に噴出して容器を洗浄する容器洗浄装置において、ノズルから容器に向けて噴出する洗浄液の噴出不良を、簡易な構成で且つ確実に検知できる容器洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明は、密閉した洗浄ボックス２内で、殺菌ノズル１１から加熱した洗浄液を容器９内に向けて噴出して容器９の殺菌を行ない、洗浄ボック２の外側に設けた温度検出器１５から洗浄ボックス２の窓１０を介して洗浄ボックス２内の容器表面温度を検出し、温度検出器１５による検出結果に基づいて殺菌ノズル１１から洗浄液の噴出不良を検知する容器洗浄装置１であって、洗浄ボックス２の窓１０に付着した結露水を除去する結露水除去手段２１を設けている。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成でテープ状清掃材の送りを正しく行え、洗浄剤を必要部分に確実に塗布することができるガラス基板のクリーニング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板の縁部の表面付着物をワイパテープ１０によって除去するガラス基板のクリーニング装置において、供給リール１１Ａからワイパテープ１０を回転駆動される送りローラ１５と従動ローラ１６を備えたテープ送り機構１２Ａによって引き出して楔形状の押圧子８Ａ，８Ｂを周回させ、ここでワイパテープ１０をガラス基板の縁部に押しつけてクリーニングを行う。押圧子８Ａ，８Ｂはチャック機構により開閉駆動され、チャック機構は板バネから成るチャック支持手段により所定の高さ位置に弾性的に支持される。 （もっと読む）

【課題】 水の循環路管内の付着堆積物を循環路を損傷することなく簡便に剥除し且噴出除去し、而も確実に殺菌処理のできる水の循環路の浄化殺菌方法の提供。
【解決手段】
水が供給され還流される循環路の一方側が低位置で且その端縁が閉塞されて注入部が設けられ、而も他方側に開口部を有する所要長の循環路を区画循環路とし、この注入部よりその注入圧力が１０ｋｇｆ／ｃｍ^２以下で且水に対して空気が１５乃至３５％容量の混気水を断続的に且常時満水状態に維持されるよう注入し、気泡を圧縮及び合泡させて圧縮限界となしたうえ開口部近傍で破裂させ、その破裂衝撃力と圧力波で付着堆積物を剥除且噴出除去させたうえ、殺菌水を注入充填して確実に殺菌する水の循環路の浄化殺菌方法。 （もっと読む）

【課題】 炉蓋の機能上最も重要な箇所であるガス道とナイフエッジの先端部分の付着物除去を好適に行う。
【解決手段】 本発明は、炉蓋の両側面と下面において、ガス道７とナイフエッジ４の先端部分に対しては、高圧水噴射力を利用した掃除を行うと共に、断熱材５に対しては、機械的切削力を利用した掃除を行う。一方、炉蓋の上面においては、両側面や下面に比べて断熱材５へのタール、カーボン等の付着物が少ないため、ガス道７とナイフエッジ４の先端部分に対して、高圧水噴射力を利用した掃除のみを行う。 （もっと読む）

【課題】 従来より確実に容器内から容器外に粒子を排出することができる粒子排出装置及び粒子排出方法を提供する。
【解決手段】 粒子排出装置１０は、開口部９０ａを有した容器９０の内壁に付着した粒子を容器９０内から開口部９０ａを介して容器９０外に排出するために容器９０に運動させるモータ１３、円盤１４、球面軸受１５、シャフト１６、ユニバーサルジョイント１７及び容器固定プレート１８を備え、モータ１３、円盤１４、球面軸受１５、シャフト１６、ユニバーサルジョイント１７及び容器固定プレート１８は、容器９０内から開口部９０ａに向かう矢印１０ａで示す第１の方向に容器９０に慣性力を加える第１の運動と、矢印１０ａで示す第１の方向と直交する矢印１０ｂで示す第２の方向に容器９０に慣性力を加える第２の運動とを同時に容器９０に行わせる。 （もっと読む）

【課題】 対象物を搬送方向に直角な左右方向ほとんど振れずに、確実に向き換えができるようにする。
【解決手段】 左右方向Ｙで搬送速度が高速から、停止、逆向き搬送を含む低速へと異なる差速コンベア１によって搬送する対象物２に左右方向Ｙで異なった搬送速度またはおよび方向の搬送作用を及ぼして回転力Ｆ３を与えるのに併せ、対象物２の高速搬送側Ｙ１と、低速搬送側Ｙ２との双方に回転促進力Ｆ１、Ｆ２を側方から与えて、対象物２の向きを変えることにより、上記の目的を達成する。 （もっと読む）

窓ガラスの隅までキレイに清掃することができ、安価に製造でき、窓ガラスのガラス面をスムーズに走行させることができ、所望の方向に真っ直ぐ走行でき、窓ガラスに拭き残しが生じるのを防止できる窓拭き装置を提供する。
窓ガラスＷに吸着する吸着部１０と、この吸着部１０に取り付けられ、窓ガラスＷを清掃する清掃ユニット２０と、吸着部１０に取り付けられた走行部３０とから構成されており、吸着部１０に、走行部３０が旋回自在に取り付けられている。吸着部１０に走行部３０が旋回自在に取り付けられているので、走行部３０の走行方向を変えても、清掃ユニット２０の姿勢を変えないようにできる。このため、清掃ユニット２０の拭取り部２２を平面視で四角形状にすることにより、窓ガラスＷの隅までキレイに清掃することができる。
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【目的】 一戸建て住宅又はマンションの水道管の洗浄に極めた好適な水道管洗浄方法及びその装置の提供
【構成】 給水口１３を有した水タンク１とポンプ１０とコンプレッサー２と水タンクよりポンプの作動で供給される水とコンプレッサーより供給される空気とを混合して渦巻状気泡水を得ることができると共に弁体３を介して開閉する気泡水吐出口４を有した混合機５とを具備し、更に混合機とコンプレッサーとの間にコンプレッサーより供給される空気が混合機に供給される電磁弁体１４を介在すると共に該電磁弁体には所望時間内に所望時間のエアー注入及びエアー停止が断続して行われるようにした作動時間を設定する作動時間ハンドル体１５とエアー注入時間作動ハンドル体１６とエアー停止時間作動ハンドル体１７を設けたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 平判紙を積層させた紙山の側面に付着した紙粉を、未除去範囲を最小にして除去することにより、紙粉除去処理時間の短縮を図ることができ、抄紙工程に応じた生産性の向上に寄与することできる紙粉除去装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置２で搬送された紙山Ｌの側面のそれぞれに対応させて、該紙山Ｌの高さよりも短い軸方向長さの円柱状ブラシ71を備えた掃き取り装置40を設ける。掃き取り装置40を、円柱状ブラシ71が側面のそれぞれに接触する位置と紙山Ｌの搬送域から退避した位置とで移動自在とするとともに、円柱状ブラシ71を上下方向と水平方向とに移動可能とする。円柱状ブラシ71を紙山１の側面に接触させ、回動させながら上下方向と水平方向を交互に移動させれば、側面の全域に対して紙粉除去処理を行える。 （もっと読む）

【課題】 ワークに対するブラシの接触状態をチェックする機能を設けることにより、接触状態チェックの確実性を高め、また、必要なときにのみメンテナンスを行なうことで、洗浄能力低下による不良品を出さずに、効率的に洗浄精度を維持することが可能なスクラブ洗浄装置を提供する。
【解決手段】 ブラシ２０２の接触状態をチェックするためのチェック用ワーク１０５を洗浄対象ワーク１０１に換えてチャック部材２０１により把持し、洗浄液を供給することなく、かつ接触位置を相対移動させることなく、ブラシ２０２をチェック用ワーク１０５の表面に接触させることにより、チェック用ワーク１０５の表面に接触痕を形成する接触痕形成手段と、チェック用ワーク１０５表面の接触痕の面積及び／又は形状を検査する表面検査部１０７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 大型空調ダクトの内面を清掃する自走型のダクト清掃ロボットを提供する。
【解決手段】主要構成部は、ダクト底板１を自走する走行台車機構部１０と、その上部に搭載した昇降機構部２０と、その昇降機構部２０の上部に配置したリフターの上部構造体６０と、２つの回転ブラシ１０１、１０２を取り付けた清掃ヘッド機構部１００と、上部構造体６０に対して、清掃ヘッド機構部１００を３６０°回動可能にする回動機構部１７０で構成する。各機構部にはそれぞれテレビカメラ１５０、１５２、１５４、１５５と照明用ライト１６０、１６２、１６３、１６５を備えている。走行台車機構部１０でダクト内を走行させることと、昇降機構部２０で高さ方向の清掃範囲を広げることと、回動機構部１７０で回転ブラシ１０１、１０２をダクト横壁や天板をに向けて、清掃ヘッド機構部１００を回動させることから成る多層構造により、矩形ダクトの内面を確実に清掃できる。 （もっと読む）

【課題】 デジタル一眼レフカメラのローパスフィルターに付着した、ゴミや汚れを清掃する時に用いる、清掃棒に関するものである。
【解決手段】清掃棒本体に伸縮する機能を持たせ、一定の圧力を清掃面へ伝達する。切断して清掃面への長さ調整が可能である先端部は、余分なクリーニングペーパーが露出しないため、清掃時の微小なケバの落下を防止し、筒状の先靖に清掃部を差込交換できる機能を設ける。山形をした清掃部が圧力により押し広げられ、均一な圧力と清掃面を得ることを特徴とした、ローパスフィルター拭き圧調整清掃棒である。 （もっと読む）

本発明は、大気圧グロープラズマに基板表面を曝露することによって基板の表面から汚物を除去する方法及び配置に関する。プラズマは、プラズマ電流及び変位電流を発生する複数の電極に交流プラズマ活性電圧を印加することによって、複数の電極を具備する放電空間で生成される。プラズマは、基板表面の特性の改質が防がれるように、プラズマ生成の間に変位電流を制御することによって安定化される。変位電流を制御する段階は、プラズマ生成の間に変位電流の相対的な減少をもたらす。
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基板ｗを収容して洗浄するように適合されたタンク１０３と、該タンク内に配置されたスクラバーブラシ１０６ａ、１０６ｂの端部に結合するように適合された、該タンクの外部の支持体１０７、１０９と、該支持体の各々に取り付けられ、かつ該スクラバーブラシを回転させるように適合されたモータ１１１と、該支持体が、該スクラバーブラシのトーインを可能にするように適合された球面軸受１２７を介してそれに対して枢動的に取り付けられているベース１１３と、該スクラバーブラシが、該基板との接触または該接触の中断を実質的に同時に実現できるように、クランクおよびロッカー機構１１７を介して、該支持体を互いに向けてまたは互いに対して離して実質的に同時に枢動させるように適合されたブラシギャップと、該スクラバーブラシ間のトーイン角度を調整するために、２つの球面軸受を互いに向けてまたは互いに離して動かすように適合されたトーインアクチュエータとを含むスクラバーボックス１０１が提供される。 （もっと読む）

処理中にコンポーネント(200,300)の状態をモニタリングする方法およびシステム。本方法は、処理中にコンポーネントを反応ガス(エロージョン生成物発生のためコンポーネント材をエッチングできる)に曝露することと、コンポーネントの状態を判定するため処理中にエロージョン生成物の放出をモニタリングすることを含む。モニターできる処理はチャンバークリーニング、同コンディショニング、基板エッチングおよび薄膜形成処理を含む。コンポーネントは、チューブ(25)、シールド、リング、バッフル、インジェクター、基板ホルダー(35,12)、ライナー、ペデスタル、キャップカバー、電極およびヒーター(15,20,65,70,122)等消耗部品でもよく、それらは保護コーティングを有していてもよい。処理システム(1,100)は、処理チャンバー(10,102)内のコンポーネント、ガス噴射システム(94,102)、チャンバー保護システム(92,108)およびコントローラ(90,124)を含む。
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【課題】 （１）ユーティリティが電源を不要としエアーのみで作動すること、（２）防水性が高いこと、（３）最大３００往復／分の高速でブラシを駆動することができること、そして、（４）簡易、軽量な構造であり、メンテナンスが容易であること、以上の可能な往復運動式ブラシを提供することを目的とする。
【解決手段】 複動式両ロッドエアシリンダにより駆動される往復運動式ブラシの往復運動を、ブラシホルダーに取付けたストライカによってトグルを揺動させ、該揺動するトグルの他端でメカニカルバルブを切替操作し、制御すること。 （もっと読む）