【課題】１〜１０ＭＰａ位までの高圧の液体や気体を高速かつ正確にパルス吐出できるとともに、従来の技術と比べて、より少ない純水使用量で洗浄能力を向上させることが可能な高圧高速制御噴射ガンを提供すること。
【解決手段】噴射ノズル（Ｂ３）に直結する開閉機構を持つシャッタ機構（Ｂ６）と、該シャッタ機構（Ｂ６）を直接開閉駆動するソレノイドなどの駆動源（Ｄ３、Ｄ９）とを一体化し、１〜１０ＭＰａ位までの液体や気体の高圧力媒体を高速に噴射する可能としたことを特徴とし、これにより１〜１０ＭＰａ位までの高圧の液体や気体を高速かつ正確にパルス吐出可能にするとともに従来の技術と比べてより少ない純水使用量で洗浄能力を向上させ、更に、シャッタ開閉確認センサ（Ｓ３）、漏水センサ（Ｓ１）、温度センサ（Ｓ２）などを内蔵し高圧高速制御機構の動作及び内部の異常を検知することを可能とした。 （もっと読む）

【課題】ＶＯＣの輸送に使用するタンクコンテナの洗浄において、タンク内に残留せる気化したＶＯＣガスを安全に簡便な方法で排出、捕集回収するとともに回収工程にて排出される微量の残余ＶＯＣを無害化処理する方法を提供する。
【解決手段】タンクコンテナの洗浄にあたりタンクコンテナ内に不活性ガスを導入し、タンク内に残留する揮発性有機化合物（ＶＯＣと言う）をパージし、冷媒を循環閉回路となした凝縮器に導き冷却液化せしめ、然る後、気液分離器に導き液化した該ＶＯＣを回収するとともに気液分離器から排出される未凝縮の微量ＶＯＣガスを触媒燃焼器にて燃焼処理することを特徴とするタンクコンテナ内に残留するＶＯＣの排出、回収、処理する方法。 （もっと読む）

【課題】単純な構造を有する高所清掃具を提供する。
【解決手段】高所清掃具は、第１端部１２および第２端部１４を有し長さを調節可能な操作棒１０と、操作棒１０の第１端部１２又はその付近に固定された噴射ノズル２０と、操作棒１０の第２端部１４又はその付近に固定されたエアホースリール３０とを備える。エアホースリール３０から伸びるエアホース４０のカプラ４２が噴射ノズル２０に接続される。 （もっと読む）

【課題】水平に搬送しながらガラス基板上の洗浄液をエアーナイフで除去する際、ガラス基板上の洗浄液の液切れ性を良くし、乾燥ムラを発生させないガラス基板洗浄液除去ユニットを具備するガラス基板洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のガラス基板洗浄装置は、ガラス基板６１を薬液、純水等の洗浄液で洗浄するガラス基板洗浄ユニット８０と、基板洗浄液除去ユニット１００と、からなり、ガラス基板洗浄液除去ユニット１００は、少なくともガラス基板搬送機構１０と、薬液、純水等の洗浄液をエアーで除去するためのエアーナイフ２０と、前記エアーナイフ２０の一方の側に連結された駆動機構３０ａと、前記エアーナイフ２０の他方の側に連結された移動機構３０ｂと、前記ガラス基板６１の位置を検出する位置検出機構４０ａ、４０ｂと、エアーナイフ２０の移動制御及び全体の制御を行う制御手段５０と、から構成されている。 （もっと読む）

【課題】 従来の電気装置における粉塵除去のやり方は、筐体のカバーを固定しているネジ等を外し、粉塵の除去終了後は筐体のカバーを固定しているネジ等を取り付けるといった分解と組立の作業が必要であり、また、作業スペースの確保も必要なため、粉塵除去の効率が非常に悪かった。
【解決手段】 筐体と、前記筐体内に設けられた部品と、少なくとも一部が前記筐体内にあり内部に流体を通すものであって前記部品に対して前記流体を噴き出す孔を有する管を備えることにより、電気装置内の部品等の粉塵を容易でかつ効率的に除去する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、紙葉類処理装置における紙葉類の搬送路上、特に給紙部及び検査部で飛散する紙葉類の異物を除去するための機構に関するものである。
【解決手段】 一定枚数に積層された紙葉類から１枚ずつ取り出す給紙手段を備えた給紙部と、その給紙部にて取り出した紙葉類の検査を行う光学式センサを備えた検査部を少なくとも有する紙葉類処理装置において、少なくとも一つの圧縮空気噴出手段と、それに対応するように異物吸引手段を備えたことを特徴とする紙葉類処理装置である。 （もっと読む）

【課題】 ディスク装置用サスペンションに付着したパーティクルを無害化することができるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】 ディスク装置用サスペンションの加工されたワークＷをクリーニングするための装置１０であって、ワークＷを所定の位置に支持するためのワーク支持部４０と、レーザ照射装置４１と、レーザビーム制御手段４２などを備えている。レーザ照射装置４１は、ワークＷの被クリーニング面に向けて、デフォーカス等によって単位照射領域当たりの加熱量が制御されたレーザビーム５０を照射する。レーザビーム制御手段４２は、レーザビーム５０が照射される領域の温度が、パーティクルまたはワークＷの少なくとも一部が溶融する温度以上でかつパーティクルおよびワークＷの一部が沸騰しない温度となるように、レーザ照射装置４１を制御する。 （もっと読む）

【課題】 輸送配管を解体する作業をすることなく、かつ、輸送配管の内部に洗浄液を充満させることなく、輸送配管を洗浄すること。
【解決手段】 圧送エアーまたは吸引エアーにより粉粒体を輸送する空気輸送装置１０の輸送配管１２内を洗浄する空気輸送装置の配管内洗浄方法であって、輸送配管１２内に空気と洗浄液とを同時に供給して前記空気と前記洗浄液とにより輸送配管１２内を洗浄する。空気輸送装置１０は、例えば、輸送配管１２内に空気を供給するか否かを切り換える空気用電動弁３６と、輸送配管１２内に洗浄液量を供給するか否かを切り換える洗浄液用電動弁４６と、空気用電動弁３６および洗浄液用電動弁４６を制御して、輸送配管１２内に空気と洗浄液とを同時に供給する制御部５０を備える。 （もっと読む）

【課題】ワーク保持テーブル１のワーク保持面１ａに載置されたワークｗを、ワーク保持面１ａに形成された吸着溝２を介して真空吸着するワーク保持装置において、吸着溝２の清掃処理を能率よく行うことができるようにする。
【解決手段】ワーク保持面１ａに載置した閉塞部材であるワークｗで吸着溝全体を閉塞した状態で、吸着溝２の第１連通口３から外気を流入させるとともに、吸着溝２の第２連通口４から吸引して吸着溝２を掃気清掃する。 （もっと読む）

【課題】洗浄区間Ｂ内で洗浄ノズル１６の詰まりを検出するようにして、使用する洗浄水を無駄にしないようにする。
【解決手段】回転体４の外周部に円周方向等間隔で複数の洗浄ノズル１６が設けられ、回転体４と一体回転する回転バルブ３６と固定側の固定バルブ３４とからなるロータリーバルブ１８を介して、容器１４に噴射する洗浄水が送られる。回転バルブ３６の内部には各洗浄ノズル１６に接続された複数の吐出通路３７が形成され、回転体４の回転に伴って固定バルブ３４に形成された２本の円弧状の洗浄水供給通路３８、４０に連通遮断される。短い方の第２洗浄水供給通路４０に洗浄水を送る第２分岐管４４Ｂに流量計５０を設け、洗浄ノズル１６が正常な場合との流量値の差を検出して、詰まっている洗浄ノズル１６を検出する。 （もっと読む）

【課題】管内面の清掃を確実にかつ効率良く行うことができるようにする。
【解決手段】管内面の清掃装置である。管１１の内部において旋回可能な旋回体１３、６６、９９と、この旋回体１３、６６、９９の旋回端に設けられて管１１の内面を清掃可能な回転式清掃具１７とを有する。旋回体１３、６６、９９は、管１１の内面に支持された状態で管１１の内部において旋回可能な旋回フレームであることが好適である。回転式清掃具１７は、その回転軸心３９が管１１の軸心２２と平行な方向に対して傾斜した状態で設置されていることが好適である。旋回体１３、６６は、回転式清掃具１７と車輪２３、８７とによって管１１の内面に支持されており、車輪２３、８７は、その回転軸心が、管１１の軸心２２と平行な方向に対して傾斜した状態で設置されていることが好適である。 （もっと読む）

【課題】プローブ、ポンプ、およびプローブとポンプとの間に配される開閉弁等を備えてなるオートサンプラーにおいて、プローブの洗浄能力を向上させる。
【解決手段】配管２０ｂの先端に装着されたプローブ１２と、配管１９に接続され、洗浄液Ｆをプローブ１２に対して供給するポンプ１６と、プローブ１２とポンプ１６とを繋ぐ配管１９、２０ａ、２０ｂの途中に配された開閉弁１３等とを備えてなるオートサンプラー１において、プローブ１２の洗浄を行なう際にポンプ１６の洗浄液Ｆ供給動作開始後に開閉弁１３を開放させるようにする。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理における処理領域の周縁部に沿って処理済みガスを万遍なく吸引できるようにする。
【解決手段】プラズマ生成部１１の処理ガス噴出方向側にノズル部１２を設ける。ノズル部１２は、噴出方向に積層された複数のプレート３１〜３３，３５で構成する。噴出口３５ａを囲む吸引路５０として、互いに重なり合う２つのプレートの少なくとも一方の重なり面に幅広の凹溝部５１，５３を形成し、最先端側のプレート３５及び他のプレート３２，３３にスリット又は整列孔からなる狭隘な貫通部５２，５４，５５を形成する。凹溝部及び貫通部５１〜５５は、それぞれ処理領域１９に沿うように延在されている。プレート３５の貫通部５５が、吸引路５０の上流端の吸引口を構成するとともに処理領域１９の周縁部を画成する。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく基板搬送部材に付着した異物を完全に除去することができる基板搬送部材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０が備える基板搬送装置としてのトランスファモジュール１１は、チャンバ４１と、該チャンバ４１内に配置された基板搬送ユニット２９と、フォーク３１の斜め上方に配置された洗浄剤噴出ノズル４３とを備え、洗浄剤噴出ノズル４３は、フォーク３１の表面、特にテーパパッド３２の切頭円錐状部に向けて液相及び気相の２つの相状態を呈する洗浄物質、例えば、純水と、不活性ガス、例えば、窒素ガスとが混合された洗浄剤を噴出する。 （もっと読む）

【課題】 突起状の被洗浄物における根元部位の有効かつ十分な洗浄を行うとともに、ブラシへのゴミの付着を回避する。
【解決手段】 突起状の被洗浄物Ｍを内部に挿入可能なハウジング部２の挿入口２ｉに配してブラシ機構部３と一体に回転するとともに、上面に洗浄部８ｗを有し、かつ中央に被洗浄物Ｍが挿通する挿通孔８ｉを有する円盤状の洗浄部材８と、この洗浄部材８の上方に配した上噴射部５ｕ及び洗浄部材８の下方に配した下噴射部５ｄからなる噴射部５と、上噴射部５ｕ及び／又は下噴射部５ｄに洗浄液Ｌを供給する洗浄液供給手段６とを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】ウェハープロセスの過程でウェハーの周縁部に付着した不要物を効率的に除去する。
【解決手段】チャンバ３０内の基板ステージ３１上にウェハー２０を載置する。配管３８の供給口３８ａからヘリウムガスをチャンバ３０内に導入し、プラズマ発生手段によりヘリウムガスのプラズマＰ１を生成する。続いて処理ガス供給用のノズル３３から塩素ガスを導入して塩素ガスのプラズマＰ２を生成する。排気装置による排気速度を調節して、ウェハー２０の周縁部で塩素ガスの濃度を高く制御し、この塩素ガスのプラズマＰ２でウェハー２０の周縁部を包み込み、そこに付着した不要物をエッチング除去する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、浴室の洗い場近傍の汚れを効果的に洗浄し、ヌメリやピンク汚れなどの微生物汚れをも効果的に抑制することのできる浴室洗浄装置及び浴室ユニットを提供する。
【解決手段】浴室の洗い場床面の略全体に洗浄水を吐水して洗い場床面上に付着した石鹸カスや皮脂等の有機物汚れを除去する有機物除去工程と、浴室の洗い場床面に殺菌水を吐水して洗い場床面上に殺菌水を滞留させるための制菌工程と、を実行する制御装置を備え、前記制御装置は、前記有機物除去工程を実行した後、前記有機物除去工程において吐水された洗浄水の大半が前記洗い場床面上に形成された排水口に排出されるように予め設定された所定時間の経過後に、前記制菌工程を実行するようにしたことを特徴とする浴室洗浄装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、浴室の洗い場付近の汚れを強い水勢で確実に洗浄することができ、かつ、洗い場における入浴時の人体洗浄の際にも邪魔にならず、従来の洗浄では死角となっていたカウンター下方の床面の汚れをも効果的に洗浄することのできる浴室洗浄装置及び浴室ユニットを提供する。
【解決手段】浴槽と洗い場とを備えた浴室の洗い場床面を洗浄する浴室洗浄装置であって、前記洗い場床面の直上に配設され、シャワーホースが接続された水栓本体より下方に配置されたカウンターの下方に設けられ、前記洗い場床面の略全体に向けて吐水可能な吐水部を備えたこと、を特徴とする浴室洗浄装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】排水管内の洗浄効率を向上させると共に、作業者の負担を軽減し、ホースとの摩擦により管内の曲がり部にダメージを与える度合いを少なくすることができる管内洗浄用ノズルおよびこれを用いた排水管洗浄方法を提供すること。
【解決手段】立管２の上端部からノズルＮを挿入し、ノズルを横引き管３に至るまで引き下ろす。続いて送水ホースＨに高圧水を送ることでノズルに形成された斜め後方への噴射口より高圧水を噴射し、その推進力によりノズルＮを横引き管３内に進行させることで、横引き管内を洗浄する。高圧水の送水を停止し、再び送水を開始させることで前記ノズルに形成された斜め前方への噴射口より高圧水を噴射させつつ、前記ノズルを横引き管内から立管内に沿って引き上げ、噴射水により横引き管内および前記立管内を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】センサを取り付けることなく、吐出ノズル及び吸引ノズルの目詰まりを検知することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】ウェル１４Ａを有するマイクロプレート１４と、ウェル１４Ａを洗浄するためにウェル１４Ａ内に液体を吐出する吐出ノズル１２Ｂと、ウェル１４Ａ内の液体を吸引する吸引ノズル１２Ｃと、マイクロプレート１４を載せるプレート台１６と、を有する洗浄装置１０において、吸引ノズル１２Ｃ及びプレート台１６を、導電性材料を含ませて構成し、吸引ノズル１２Ｃとプレート台１６との間の静電容量を計測することで、ウェル１４Ａ内の液体の有無を検知して、吐出ノズル１２Ｂ及び吸引ノズル１２Ｃの目詰まりの有無を検知できるようにする。 （もっと読む）