【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の消費量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０の最上部の基点Ｐから，回転方向Ｆに２７０°から３００°回転した位置に，第１のブロック１１０が設けられ，その後方側に第２のブロック１３０が設けられる。第１のブロック１１０により，回転ロール９０との間に狭小の隙間Ｄが形成され，その表面１１０ａに洗浄液吐出口１１１と吸引口１１２が形成される。第２のブロック１３０には，排気口１３１が形成される。回転ロール９０の下部側には，滞留部１４１と洗浄液誘導部１４２が形成された第３のブロック１４０が設けられる。洗浄時には，回転ロール９０を回転させた状態で，洗浄液吐出口１１１から隙間Ｄに洗浄液Ｈが吐出され，洗浄液Ｈが回転ロール９０の表面を伝って流れ，滞留部１４１で一旦滞留された後，洗浄液誘導部１４２を通って排出される。 （もっと読む）

【課題】容器を洗浄する装置において、洗浄対処の容器とそれに向けて洗浄液を噴射するノズルとの位置ずれによる洗浄不良の発生を防止する。
【解決手段】洗浄用コンベア２０は、容器１０の側面を把持して搬送する。スターホイール６０は、導入コンベア１１０から洗浄用コンベア２０に対して容器１０を渡す。洗浄ユニットは、洗浄用コンベア２０によって搬送される容器１０とともに移動しながら容器１０に向けて噴射ノズルから洗浄液を噴射する。センサは、洗浄用コンベア２０によって搬送される容器１０と噴射ノズルとの位置関係を検知する。スターホイール調整部７０は、センサによって検知された位置関係に基づいて、スターホイール６０を駆動する駆動機構６５を制御することによって洗浄用コンベア２０によって搬送される容器１０と噴射ノズルとの位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】濾布表面に強固に付着しているようなダストの場合でも十分な清掃効果を期待することのできる濾布の清掃装置を提供すること。
【解決手段】バグフィルタの濾布Ｆ外面に付着するダストを離脱せしめる濾布の清掃装置１であって、周部が弾性部材２１からなる円盤状の衝撃機構２と、該衝撃機構２に圧縮空気を供給する供給管４と、前記衝撃機構２内の圧縮空気を濾布の内面に吹き付けるノズル３と、前記各部材を袋状濾布Ｆ内に昇降せしめる昇降機構とからなり、前記供給管４と衝撃機構２との間及び、衝撃機構２とノズル３との間に配設した電磁弁Ｖ１、Ｖ２の開閉タイミングを制御する制御機構５を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の清浄化を容易に、かつ短時間で行うことができる。
【解決手段】処理液配管による処理液の供給を遮断し、供給部５を注入部に連通接続した状態で、開閉弁３９を開放すると、洗浄液タンク３内の洗浄液が供給部５から処理液配管に供給されるので、注入部よりも下流にある接液部材を洗浄液で洗浄できる。したがって、基板処理装置を分解することなく洗浄装置１により接液部材の汚染を解消することができるので、洗浄を容易にかつ短時間で行うことができる。しかも、通常の処理では純水しか流通させられない箇所であっても注入部より下流には洗浄液を流通させることができるので、清浄度高く洗浄が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
バッチ方式で複数のディスクを同時にスクラブ洗浄することが可能であり、洗浄処理のスループットを向上させることができ、装置の小型化に適したディスク洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】
この第１の発明は、回転ブラシを所定の長さの円筒状あるいは円板状のブラシとして回転ブラシが複数個挿着された回転軸を有し隣接する前後の回転ブラシのブラシ面の間にディスクが挿入されて保持され回転ブラシを回転させる回転ブラシユニットと、回転ブラシの回転による回転軸を中心とする保持したディスクの公転を阻止し自転を許容するためのディスク公転防止ストッパとを有するものである。第２の発明は、さらに回転軸側を３点チャックの１点とし、この回転軸に対向させて３点チャックの他の２点をそれぞれ設けて複数のディスクを回転可能にチャックするものである。 （もっと読む）

【課題】紫外線照射方式によりコインを効率的に洗浄することの可能な洗浄機を提供する。
【解決手段】横置状態にて駆動手段３により回転可能な外筒１０であって、その内面に複数のリブ１３を突設した前記外筒１０と、外筒内に平行に設置される紫外線透過可能な壁面で形成される内筒２０と、内筒内に挿入された円柱状の紫外線照射手段３０とを具備するコイン洗浄装置１。リブ１３は、外筒１０の回転方向へ傾斜させた状態にあるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 洗浄ローラの間隙の維持管理に手間をかけず、適切にメダルを洗浄できるようにする。
【解決手段】 メダルＭを搬送する洗浄コンベア２６の高端部の近傍に洗浄液ノズル７０が、高端部の下に３つのブラシローラ３１ａ〜３１ｃからなる洗浄ローラ３０が設けられ、洗浄コンベアの下に順次移送ローラ４０ａ、４０ｂ、洗浄液吸着ローラ５０ａ、５０ｂ等が配置される。ブラシローラ３１ａ、３１ｂの間とブラシローラ３１ｂ、３１ｃの間を順次メダルの通過経路とするので、洗浄液に濡れたメダルの両面は、通過経路の曲折にそった方向転換時の姿勢変化によって、各ブラシローラに押し付けられる。これにより、各ブラシローラ間の間隙を厳しく管理しなくても、確実にメダルが洗浄される。 （もっと読む）

【課題】微小なプラズマを簡単な方法で発生させるプラズマ発生装置およびプラズマ発生方法を提供する。
【解決手段】絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材からなる第１の電極３０を第２の電極２０の上方に設置する。第１の電極３０には被覆が他の部分よりも薄くなっている発生ポイント１０が設けられている。第１の電極３０と第２の電極２０との間に電源４０から交流電圧あるいはパルス電圧を印加すると、電界が発生ポイント１０に集中し、その周辺にプラズマが発生する。 （もっと読む）

【課題】効果的にワーク表面を洗浄することができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波洗浄装置を、ワーク１００を保持する保持手段と、洗浄液が供給され、供給された洗浄液に対して超音波が発振可能な超音波洗浄槽２０とを備え、保持されたワーク１００の洗浄すべき被洗浄部分１０２における洗浄液Ｗへの浸漬部分１０４を変化させるようにワーク１００を動かすように構成する。 （もっと読む）

【課題】投影光学系と液体とを介して基板にパターンを投影して露光する際、不要な液体を除去して所望のデバイスパターンを基板上に形成可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、投影光学系と液体とを介して基板上に露光光を照射することによって、基板を露光する。露光装置は、投影光学系の像面側付近に配置される部品の表面状態を検出する検出装置を備えている。 （もっと読む）

【技術課題】 微細な固形物を排出する性能に優れ、ウェッジワイヤスクリーン面に固形物が付着して残らず、目詰りを効率的に防ぐことができると共に汚泥の濃縮装置に用いると特に有効な固液分離装置を提供する。
【解決手段】 スクレーパー１３の駆動チェン９、９ａは、スクレーパー１３が上昇する走行領域においてのみ、走行ガイド１８、１８ａ内を走行する。また、回転ブラシ２５は、回転ブラシ駆動チェン２３、２３ａ間に回転自在に保持されていると共に、回転ブラシ２５のブラシ軸２５ａには駆動ギャー２６、２６ａが取り付けられていて、この駆動ギャー２６、２６ａは、回転ブラシ２５が上昇又は下降するとき、ラック２７、２７ａの作用で回転し、スクリーン３をその背面側からブラッシングして目詰り物を除去する。また、スクレーパー１３のブレード１２がスクリーン２に圧接する力は調整自在とする。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンスの手間が掛からず、効果の高い排水口清浄装置を提供する。
【解決手段】 排水口１１の上部と微生物タンク２１とは微生物供給管２０によって繋がれており、微生物供給管２０にはポンプ２２が設けられている。微生物タンク２１内には、タンパク質を分解する酵素を生産する微生物が休眠状態で保存されている。微生物タンク２１から排水口１１内の排水中に供給された微生物は、排水口１１のヒーター１８で温められて増殖し、酵素を生産して毛髪等を分解する。 （もっと読む）

【課題】乾式洗浄媒体の運動速度と清浄度とを高めることによって洗浄品質と洗浄効率とを高めることができ、複雑な形状の部品であっても傷を付けたり洗浄残しを発生することなく洗浄することが可能な乾式洗浄装置を提供する。
【解決手段】付着物が付着した被洗浄体Ｗ及び被洗浄体Ｗから付着物を除去する洗浄媒体Ｍが入る空間を形成し流入口４ａを介してその内部に気体を導入し吸引口３ａを介してその内部から気体を排出する洗浄槽１０と、洗浄槽１０内に前記気体による気流を形成する気流形成手段３，４とを有し、洗浄媒体Ｍが気流により飛翔することで被洗浄体Ｗに衝突して付着物を除去する乾式洗浄装置において、洗浄槽１０と気流形成手段３，４との間に気体及び付着物の通過を許容し洗浄媒体Ｍの通過を不可とする開口を備えた分離手段２を設け、分離手段２に付着した洗浄媒体Ｍを再飛翔させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】 ノズル交換を行いながら実装作業を進める一方で、ノズルに異物が付着することに因る部品の吸着ミスや実装ミスを未然に防止する。
【解決手段】 実装用ヘッド２０に部品吸着用のノズルが交換可能に装着され、かつこのノズルに対してヘッド２０の内部通路を通じて負圧又はエアブロー（正圧）が択一的に供給可能とされた表面実装機の清掃方法であって、前記ヘッド２０に装着されているノズルを取り外して交換する直前、又は新たなノズルをヘッド２０に装着した直後に、エアブローを前記内部通路に供給しつつノズルから吐出させ、該内部通路およびノズルを清掃するようにした。 （もっと読む）

【課題】交換を要することなく洗浄範囲を変更することができ、洗浄強さの設定も容易な基板洗浄ブラシ、ならびにこれを用いた基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板洗浄ブラシ１０ａは、基板Ｗの端面８に押し当てられる端面洗浄面１５を含む端面洗浄部１６と、この端面洗浄部１６に結合され、基板Ｗの主面１７の周縁部９に押し当てられる周縁洗浄面１８を含む周縁洗浄部１９とを備える。周縁洗浄部１９は、端面洗浄面１５から第１の距離Ｄ１だけ張り出した第１周縁洗浄面２１を有する第１部分２２と、端面洗浄面１５から第１の距離Ｄ１とは異なる第２の距離Ｄ２だけ張り出した第２周縁洗浄面２３を有する第２部分２４とを含む。
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本発明は、例えば船舶のタンクなどのコンテナの内部空間を洗浄するための装置に関する。洗浄液（７）を供給するための少なくとも１つの洗浄液パイプ（８）が空間（２）中に設けられており、洗浄液パイプ（８）は、洗浄液を噴射（１０）するための少なくとも１つの洗浄ノズル（９）を有している。駆動又は作動装置（２２）は、洗浄液パイプ（８）を幾何学的回転軸（Ｒ１Ａ）に対して回転させると共に、洗浄ノズル（９）を他の幾何学的回転軸（Ｒ２Ａ）に対して回転させるように設定されている。駆動装置（２２）は、その回転方向を反転させることによって、互いに反対の回転方向（Ｒ１，Ｒ２）に回転する。駆動装置（２２）は、その駆動装置（２２）の回転方向（Ｒ１，Ｒ２）に従って、洗浄液パイプ（８）と洗浄ノズル（９）のいずれかを回転させる。制御装置（４８）は、互いに反対の回転方向（Ｒ１，Ｒ２）のいずれかの方向に駆動装置（２２）を回転させるように制御する。
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【課題】 棒状電極表面の皮膜や汚れ等を大気に触れること無く自動的に除去できるようにすると同時に、測定中に生じる恐れのある汚れなどの付着を防止し、棒状電極表面の安定化に要する時間の短縮を図り、メンテナンスを不要とすることで測定を長期にわたって連続的に行うことができるようにする。
【解決手段】 棒状電極１４が遊嵌する貫通穴３６を備えたボス部３８と、その周囲に固着された複数の羽根４０とを備え、全体が棒状電極を支軸として回転自在となっている電極表面洗浄器具３２と、それを保持する支持具３４とを具備し、測定液体の流動により前記電極表面洗浄器具が回転し、貫通穴内面が棒状電極外面と擦れ合うことで棒状電極表面の洗浄を行なう。 （もっと読む）

【課題】 容器内部を適切に且つ作業性良く処理することができる容器の洗浄装置および洗浄方法を課題とする。
【解決手段】 容器口部１９から容器内部５に挿入され、容器内部５で拭取り処理を行う処理体１１１を備えた容器の洗浄装置３０であって、処理体１１１は、容器口部１９の径より小さな径の構造体である第１状態と、容器口部１９の径より大きな径の構造体であって容器内部５で拭取り処理を行う第２状態と、の間で変形可能に構成されているものである。処理体１１１を他の処理を行う処理体に変更すれば、容器内面を洗浄する洗浄処理、容器内面を水切りするブロー処理、容器内を乾燥する乾燥処理、容器内面にガス透過抑制剤を噴霧する透過抑制処理、容器内の残留物を吸引する吸引処理を行うことができる。
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【課題】循環汚泥にカルシウム化合物を混合してフッ化物イオン含有排水に添加するフッ化物イオン含有排水の処理方法において、配管閉塞問題を解決し、長期間の安定した連続運転が出来る様に改良されたフッ化物イオン含有排水の処理方法を提供する。
【解決手段】反応槽（１）と、当該反応槽で生成した不溶物を含有する汚泥を沈降分離処理する沈殿槽（２）と、当該沈殿槽の底部に備えられた汚泥排出配管（２１）に接続する汚泥返送配管（２２）から抜き出された濃縮汚泥とカルシウム化合物とを混合し且つ得られた混合液を上記の反応槽に供給する混合槽（３）と、汚泥返送配管（２２）より上流側の汚泥排出配管（２１）に配置された汚泥抜出し用ポンプ（４）から主として構成される排水処理装置を使用し、且つ配管の洗浄操作を伴ったフッ化物イオン含有排水の処理方法であって、バルブ（Ｖ１）〜（Ｖ４）の操作により各配管の洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 洗浄力が高く、かつ、洗浄後のシート材にシート厚みやシート強度のムラを生じないシート材洗浄装置の提供。
【解決手段】 シート材洗浄装置は、洗浄槽１内に円筒状のバスケット４を回転自在に設け、バスケット４内にドラム体２をバスケット４よりも高速で同方向に回転するように設け、バスケット４の周壁外面に巻き付けられながら搬送されるシート材をバスケット４の周壁の通水孔から出し入れされる洗浄液によって洗浄する装置であって、回転駆動源２３とバスケット４とを、回転駆動源２３からバスケット４への回転力伝達を可能としバスケット４からの回転力伝達を止めるセルフロック機構３６を介して連結した構成にされている。 （もっと読む）