【課題】被洗浄物の種類や大きさ或いは洗浄槽の運転条件等が変更された場合にも対応可能な洗浄評価器具を提供する。
【解決手段】被洗浄物と一緒に洗浄液によって洗浄され、前記被洗浄物に付着した汚れ落ちの程度を評価する洗浄評価器具Ｈにおいて、該汚れ落ち程度を評価する擬似汚れが塗布された洗浄インジケータ２０を、その擬似汚れ塗布面が洗浄液と接触できるように保持する保持部材と、洗浄インジケータ２０の汚れ塗布面上に配設され、前記保持部材によって保持された洗浄インジケータ２０の擬似汚れ塗布面と接触する洗浄液量を調整できるように、洗浄液が流入する複数個の開口部１０ａが形成された板状体１０と、板状体１０の開口部１０ａの開口面積が調整できるようにスライド可能に設けられたスライド板１４とが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 過硫酸イオンを用いた洗浄システムにおいて、洗浄の継続が可能な洗浄システムを得るとともに、スループットの改善を図る。
【解決手段】 過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材３０を洗浄する枚葉式洗浄装置１と、電解反応により、溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を再生する電解反応槽２０、２５と、洗浄槽１と電解反応槽２０、２５との間で、過硫酸溶液を循環させる循環ライン１０ａ、１０ｂ、１１ａ、１１ｂと、被洗浄材３０に紫外光を照射する紫外線照射手段５を備える。硫酸溶液を繰り返し利用して過硫酸溶液を電解反応装置によってオンサイトで再生して洗浄に使用できる。洗浄に際し、洗浄液に紫外線が照射された硫酸ラジカルの生成が促進されて洗浄効果が向上する。作業時間を短縮してスループットを改善することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の噴射によって被搬送物が停滞するようなことがなく、被搬送物を安定して搬送できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１は、水平姿勢の容器Ｗを搬送する水平搬送手段２と、傾斜姿勢の容器Ｗを傾斜姿勢に保持しながら搬送する傾斜搬送手段３とを備える。洗浄装置１は、水平搬送手段２から容器Ｗを受け取りこの受け取った容器Ｗを水平姿勢から傾斜姿勢に姿勢変更しつつ傾斜搬送手段３に向けて案内する姿勢変更案内手段４と、傾斜搬送手段３にて搬送中の傾斜姿勢の容器Ｗに向けて洗浄液を噴射する洗浄液噴射手段６とを備える。
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【課題】基板上のパーティクルを適切に除去することができるとともに、洗浄後の基板を十分に乾燥することができる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、チャンバー１０の内部に、半導体ウェハーＷを支持する支持部２１、支持部２１を回転させる回転駆動部２５、回転する半導体ウェハーＷに純水を吐出する吐出ノズル３１、回転する半導体ウェハーＷから飛散した液を回収するカップ２９、半導体ウェハーＷに向けてフラッシュランプ４９から閃光を照射する閃光照射部４０、および、石英窓５０を備える。支持部２１に半導体ウェハーＷを保持して水平面内にて回転させつつ吐出ノズル３１からその主面に純水を吐出する。このときにフラッシュランプ４９から１回目の閃光照射を行う。続いて、純水供給を停止し、半導体ウェハーＷの回転は継続した状態にてフラッシュランプ４９から２回目の閃光照射を行う。 （もっと読む）

【課題】 露光装置内の汚染を防止できる基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理システムを提供することである。
【解決手段】 基板処理システム５００は、基板処理装置３００および洗浄／乾燥装置４００を含む。基板処理装置３００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、現像処理ブロック１２、レジストカバー膜用処理ブロック１３、レジストカバー膜除去ブロック１４および第１のインターフェースブロック１５を備える。洗浄／乾燥装置４００は、洗浄／乾燥処理ブロック１６および第２のインターフェースブロック１７を備える。第２のインターフェースブロック１７に隣接するように露光装置１８が配置される。洗浄／乾燥処理ブロック１６において露光処理前の基板Ｗの洗浄処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】成形金型の洗浄クォリティーを向上させる。
【解決手段】成形金型の洗浄方法は、成形金型１の表面に形成された堆積物２を溶剤によって膨潤させる工程と、膨潤した堆積物を成形金型１の表面をブラッシングすることによって除去する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】無菌室内で使用する殺菌、洗浄ノズルとこれらのノズルを使用して発生させた殺菌剤水溶液のバブルによる容器の殺菌方法、洗浄水のバブルによる洗浄方法及び装置において、殺菌剤の消費量の低減化およびノズル管路の詰まり防止が図れるものを提供する。
【解決手段】殺菌剤水溶液又は洗浄水の供給配管に連通し先端の通路が絞られて開口する液通路が設けられたノズル本体と、該ノズル本体の液通路に設けられた狭窄部（オリフィス）と、該狭窄部の下流に開口しノズル本体の外部に通じるエア通路と、該エア通路のエア流量を調整するエア流量調整手段と、により構成され、ノズル本体の液通路の狭窄部を流れるときの流速負圧によりノズル周囲のエアを吸い込み、前記エア流量調整手段によりエアの吸い込み量を調整して殺菌剤水溶液又は洗浄水とエアを混合したバブル状液体を、倒立容器に噴出して殺菌又は洗浄する容器の殺菌、洗浄ノズル、容器の殺菌方法、容器の洗浄方法及び容器の殺菌、洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】洗浄作業に要する時間を短縮できる洗浄装置及び洗浄方法を提供することにある。
【解決手段】洗浄治具１１２には、被洗浄物１１４の被洗浄部位を密閉空間に面するように、を取り付けられる。洗浄液タンク１２０Ａ，１２０Ｂに収容された洗浄液は、狭間隙の密閉空間内に一方の端の流入側配管から高速流として流入させる。洗浄液は、洗浄治具１１２と被洗浄物１１４によって形成された狭間隙の密閉空間内で被洗浄物の被洗浄部位を浸漬した状態で、高速流として流入させて、被洗浄部位の洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 ゴルフクラブのヘッド及びグリップに付着した汚れを、自動的に落として清掃、除菌、殺菌及び滅菌もできるようにしたゴルフクラブ洗浄装置を提供する。
【解決手段】 ゴルフクラブ洗浄装置１００は、洗浄温水供給置１と、送水ポンプと、ヘッド洗浄機構と、グリップ洗浄機構とを備え、ヘッド洗浄機構は、ゴルフクラブ２１のヘッド２１ａを載置する載置台３と、ヘッド２１ａに対して洗浄温水を吐出するヘッド洗浄ノズルと、ヘッド面に摺接しながら往復移動するヘッド洗浄ブラシと、ヘッド面が略水平となるようにゴルフクラブ２１のシャフト２１ｃを載置するシャフト保持部６と、紫外線ランプとを備えた構成を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 箱型の搬送用コンテナを効率的に清浄化するのに適した洗浄装置を提供する。
【解決手段】 略矩形状の底部とその周囲に形成された搬送物の脱落を防止する側部とからなる搬送用コンテナを洗浄する洗浄装置であって、搬送用コンテナの底部に対して洗浄液及び純水を射出することができる複数の射出口２を有する第１の液体射出手段３と、搬送用コンテナの側部に対して洗浄液及び純水を射出することができる複数の射出口４を有し、射出口が搬送用コンテナの側部の垂直断面形状に対して略相似の形状に整列して形成されている第２の液体射出手段５と、第１及び第２の液体射出手段を、搬送用コンテナの洗浄面に対して所定の距離を保持するように上下動させる高度調節手段と、を有する洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】 容器内部をまんべんなく適切に洗浄することができる容器の洗浄装置を課題とする。
【解決手段】 流体の噴射により容器内部５を洗浄する容器１の洗浄装置３０であって、容器口部１９から容器内部５に挿入され、容器内部５で流体を噴射する噴射体３２を備える。噴射体３２は、容器１の軸線に対して螺旋状に開口した噴射口１４３を有する。
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【課題】 基板の乾燥効率を向上させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 オートフラップ機構４００は、２つの支持部４３ａ、回転軸４３ｂおよび板状部材４３ｃを備える。２つの支持部４３ａは、外槽４３の内部で側壁から水平方向に突出するように形成されている。２つの支持部４３ａ間に回転軸４３ｂが取り付けられている。回転軸４３ｂには、外槽４３の側壁に沿うように、長手形状を有する板状部材４３ｃが回転可能に取り付けられている。外槽４３の底部には、処理液排出口４４Ｘが形成されている。内槽４０から溢れ出す処理液は、板状部材４３ｃと内槽４０の側壁との間の隙間Ｃおよび外槽４３の処理液排出口４４Ｘを通って処理液排出管４４に流れる。内槽４０から処理液が溢れ出す場合、オートフラップ機構４００の板状部材４３ｃは、処理液の流れに応じて回転軸４３ｂを中心として回転する。それにより、板状部材４３ｃの下端が外槽４３の側壁の内面に当接する。 （もっと読む）

【課題】 基板表面に付着又は形成した不要物を処理液で除去しながらリンス液で洗い流す際に液滴及びミストの飛散を防止して不要物を効率的に除去することが可能なコンパクト化された基板の処理装置及び処理方法を提供する。
【解決手段】 基板１１の表面の不要物を除去する基板の処理装置１０は、基板１１を保持して回転する回転駆動手段１２と、基板１１の上方に移動可能に設けられ、回転している基板１１の表面に不要物を除去する処理液を噴射する噴射ノズル１３と、回転している基板１１の表面を洗うリンス液を供給するリンスノズル１５と、基板１１の上方に移動可能に設けられ、回転している基板１１の表面を流れるリンス液を押し退け、リンス液が噴射ノズル１３から噴射された処理液に衝突するのを防止する気体を吹き付ける気体吐出ノズル１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】 角形基板に供給した薬液または洗浄液の再付着を低減させ、より面内均一性に優れた基板の回転処理装置を提供する。
【解決手段】 支持アーム１３は、角形基板１０の対角線に沿って伸長している。連結リング１４は、支持アーム１３を補強するために設けられ、角形基板１０の内接円と同等かそれより小さい外周１４１を有する。支持アーム１３の端部領域１３１には、基板保持ピン１５が設けられている。基板保持ピン１５は、角形基板１０の頂角を隔てた両辺側に各々配され、角形基板１０の端面の裏面側エッジ部分に接触して角形基板１０を略水平に支持すると共に、角形基板１０の端面の一部分に接触して角形基板１０の回転中の保持を達成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、洗浄能力の非常に高い基板洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】板状の基板と、円柱状の氷と、板状の基板に対し、基板の両面に円柱状の氷を一定の圧力で全面に押し当て、これら２つの円柱状の氷の回転軸と基板の中心軸の３者が一致するように保持する加圧手段と、円柱状の氷を互いに逆向きに回転させる回転手段とを有することを特徴とする基板洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】チューブはターンテーブル上のレールに対して常時的な接触となり、洗浄液が回り込まない。洗浄液に接触する部分と接触しない部分とではエッチングに相違が生じ、チューブの底面に凹凸が発生する。チューブを減圧装置に設置し、真空ポンプを用いて減圧状態にすると、底面の凹凸に起因してリークが発生し、所定の減圧ができなくなる。その結果、均一な成膜がむずかしくなる。
【解決手段】半導体製造装置の部材であって洗浄対象となる被洗浄部材（チューブ）ｍを支持した状態で、洗浄液を噴射する洗浄装置であって、被洗浄部材を支持する複数の支持点５ａ…有する第１の支持具５Ａと、第１の支持具の複数の支持点とは別の部位で被洗浄部材を支持する複数の支持点６ａ…有する第２の支持具６Ａと、第１の支持具５Ａと第２の支持具６Ｂを交代的に作用状態と非作用状態とに切り替える支持具切替機構７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 少量の洗浄液で再汚染を防止する。
【解決手段】 洗浄システム１００は、装置本体２、ワークＷが載置される基板テーブル３、汚染物質Ｐに対して洗浄液を供給する洗浄液供給ユニット１２、洗浄液に超音波を付与するホーン超音波発振器１３、洗浄液を吸引する吸引ユニット１４、位置検出ユニット１５、および制御手段１６で構成されている。ワークＷを洗浄する際には、ワークＷに存在する汚染物質Ｐに対して洗浄液供給ユニット１２から液滴を供給し、この液滴にホーン超音波発振器１３から超音波振動を付与して汚染物質Ｐを被洗浄物から脱離させる。また、吸引ユニット１４を用いてワークＷから脱離した汚染物質Ｐを液滴とともに吸引して除去する。 （もっと読む）

【課題】
ワーク内部を洗浄することができ、洗浄後のワーク内部に残留する有機溶剤洗浄液を効率的に乾燥させる洗浄装置を提供する。
【解決手段】
ワーク１を洗浄液の流液により洗浄する洗浄装置１００であって、前記洗浄液を揮発性機溶剤とするとともに、前記洗浄液を強制的に液送する循環経路２０中に前記ワーク1を接続させて前記ワークを把持するワーク把持手段１０と、前記ワーク１を出し入れする開口３３を有するとともに前記ワーク把持手段１０を収容してワーク洗浄作動を実行する洗浄実行部３０とを備え、前記開口３３には、その開口面積を狭めるように冷却部４０を設けた。 （もっと読む）

【課題】 傷がなく、表面光沢の優れる研削加工基板を与える円盤状ポ−ラスセラミック製チャックの洗浄方法の提供。
【解決手段】 研削加工された基板を除去するたびに円盤状ポ−ラスセラミック製チャック１２を洗浄する方法において、この円盤状ポ−ラスセラミック製チャック上でブラシ洗浄された研削加工基板の枚数に応じて始めはセラミック製竿３２のみで１回チャック洗浄し、次ぎのチャック洗浄からｒ回（ｒは１〜１００の整数である。）はブラシ３１のみでチャック洗浄し、以降、研削加工された基板が取り去られた円盤状ポ−ラスセラミック製チャックをセラミック製竿３１のみで１回、続いてブラシのみでｒ回規則正しく円盤状ポ−ラスセラミック製チャック表面をチャック洗浄することを繰り返す。従来のセラミック製竿３１のみでチャック洗浄する方法と比較し、ブラシ洗浄を塀用することでチャックの磨耗量が減少し、傷がなく、表面光沢の優れる研削加工基板を与える。 （もっと読む）

【課題】
内蔵してある電装部品を取り外すことなく吹出しパネルが洗浄できるようにした、天井取付型空気調和機用部品の洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】
洗浄する部品を収容する洗浄装置本体１と、洗浄装置本体１内に洗浄液を送液するポンプ３と、ポンプ３によって送液された洗浄液を噴射する噴射ノズル８０と、洗浄装置本体１内に吹出しパネル９が水平または実質的に水平な状態で設置できるようにするパネル載置部材６０４，６０４とを備えており、上記パネル載置部材６０４，６０４は、吹出しパネル９が室内側設置面を上側に向けて、天井側設置面を下側に向けた状態で設置できるよう構成してあり、噴射ノズル８０から噴射された洗浄液が吹出しパネル９の室内側設置面に所要の圧力で直接かかり、天井側設置面側にはかからないかまたは実質的にかからないようにしてある。 （もっと読む）