【課題】基板を加熱することが可能であるとともに、基板を十分な回転数で回転させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スピンチャック２１により基板Ｗが保持される。スピンチャック２１は、回転駆動機構１３６により回転可能な回転軸２５の上端に固定されている。スピンチャック２１の内部には、円盤形状の発熱板１が設けられている。さらに、発熱板１の上面に密着するように電磁シールド板２が設けられている。スピンチャック２１の下方で近接するように、円環形状を有するコイルケーシング５Ｓが設けられている。コイルケーシング５Ｓの内部には、複数のコイル４が設けられている。これらの複数のコイル４は、ハウジング４１の外部に設けられたコイル電源装置５と電気的に接続されている。コイル電源装置５は複数のコイル４に所定の周波数で交流電流を供給する。 （もっと読む）

物品を汚染除去する方法であって次のステップが含まれる。すなわち、（ａ）既知温度の複数の物品を第１の通路に沿って移動させ、（ｂ）細長いプレナムを含む第２の通路に沿ってキャリヤガスを搬送し、第２の通路はプレナムより下流で第１の通路に交差し、（ｃ）キャリヤガスをプレナムの上流位置で少なくとも約１０５℃に加熱し、（ｄ）プレナムにおいてキャリヤガスに既知濃度の液体過酸化水素の噴霧ミストを注入し、（ｅ）（１）第２の通路に沿うキャリヤガスの容積流量と、（２）キャリヤガスに注入される過酸化水素の容積と、（３）第１の通路が第２の通路と交差する箇所のキャリヤガス中の蒸気過酸化水素の濃度が物品の既知温度より低い露点温度をもつようにプレナム内に注入されるキャリヤガスの温度とを制御するステップが含まれる。 （もっと読む）

【課題】
微細パターン面の洗浄において、超音波、ブラッシング、高圧液などの技術や装置を用いないで、クリーンで非接触の洗浄技術を提供する。
【解決手段】
本発明の洗浄方式は、まず初めに微細パターン面に蒸気ノズルから過熱水蒸気ガスを噴射して微細溝内部に蒸気を侵入させ、結露によってパーティクルを湿潤させる。次に微噴霧水シャワーからの微噴霧で薄膜状に覆い、この状態下で再び過熱蒸気を噴射して結露水と微噴霧膜を瞬時に水蒸気化爆発させ、パーティクルを溝部より排出し、周囲の水膜表面で捕捉させ、水の表面張力と粘性効果によって再び微細溝に侵入させずに洗浄水で排出搬送させる。 （もっと読む）

【課題】小型軽量で取り扱いが容易であって効率的な洗浄作業を可能とする有効適切な蒸気洗浄機を提供する。
【解決手段】蒸気ボイラーユニット、燃料装置ユニット、制御ユニット、外装ユニットからなる。制御ユニットは、制御装置とバッテリー装置からなる。制御装置は、燃焼装置をオンオフ制御する蒸気圧力調整器と、蒸気圧が予め設定した最適蒸気使用圧以下に低下した際に警報を発する最適蒸気使用圧制御器とを備える。 （もっと読む）

【課題】人手による清掃作業を頻繁に行わなくても、レンジフードの隅々まで十分に洗浄することができて、レンジフードの清掃作業の手間を大幅に削減することができるミスト洗浄装置付きレンジフードを提供する。
【解決手段】径が０．１〜５０μｍ程度のミストを発生させるミスト洗浄装置５を備え、このミスト洗浄装置５で発生されたミストがレンジフード３内に吐出されるように構成されている。この場合、ミスト洗浄装置５はミスト発生器８を有し、このミスト発生器８はレンジフード３内に配置された換気扇４に連動してミストを発生する。 （もっと読む）

【課題】機械的な裁断や研磨処理などを行った後のガラス基板の端面などに付着した異物を効果的に除去する。
【解決手段】液体と気体とをスプレーノズルに供給し、上記スプレーノズルで上記液体と上記気体とを混合した流体を基板に噴射することにより上記基板を洗浄する基板洗浄装置において、スプレーノズルに供給する液体を加熱して上記液体の温度を制御する液体加熱手段を有し、上記スプレーノズル入口における上記液体の温度を４０〜１００℃に制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】 小型で取り扱いやすく、しかもコストが安価でありながら、連続的に蒸気を発生させることができる蒸気発生装置を提供する。
【解決手段】 水を加熱して蒸気化する蒸気発生装置において、全体が金属材よりなる蒸気発生器本体１０と、蒸気発生器本体１０を加熱する加熱手段２０とを含み、蒸気発生器本体１０内に、所定容積の蒸発室１１と、蒸発室１１よりも小径であって給水ポンプから送水される水を蒸発室１１内に供給する給水孔１２と、蒸発室１１よりも小径であって蒸発室１１で生成された蒸気を外部に放出する蒸気噴射孔１３とを一体に形成する。 （もっと読む）

【課題】 従来の超音波洗浄装置では、微細粒子を除去することができないという点であり、又、洗浄した後の乾燥に問題があるという点である。
【解決手段】 霧化部６は霧化液体供給装置７から霧化液体８が供給され、霧化液体８の中に超音波振動子９が装着されて、超音波振動子９に発振器１０から発振出力が供給されることにより霧化液体８が霧化されて霧化粒子１１が発生し、霧化部６の上部に搬送ガス供給装置１２が接続され、霧化部６内に仕切板１３が形成され、搬送ガス供給装置１２から供給された搬送ガスによって、超音波振動子９で発生した霧化粒子１１は仕切板１３で大径の霧化粒子が除去され、微小霧化粒子が霧化部６から搬送管１３を通ってデミスタ部１４に搬送され、デミスタ部１４にフィルタ１５が装着され、フィルタ１５を通過した搬送ガスと微細霧化粒子は搬送管１６、ノズル部１７を介して被洗浄体１８に吹き付けられる。 （もっと読む）

【課題】 汚れに対して浸透力を有した洗剤ミストを浴室領域の洗浄対象物の表面全体に均一に分散・拡散させるると共に、表面全体の汚れを洗剤ミストで浮かせることができ、これにより洗剤による洗浄効果を高めることができる。
【解決手段】 洗剤を溶解又は混合した洗剤液７を注入する洗剤液注入部４と、洗剤液注入部４から注入された洗剤液７を霧化して微粒子状の洗剤ミストＭを生成する霧化部５と、霧化部５にて生成した洗剤ミストＭを浴室領域に噴霧して浴室領域における浴室壁６ｃや浴槽壁６ａ等の洗浄対象物６の表面に飛散させるためのミストノズル１とを具備するミスト洗浄装置Ａである。 （もっと読む）

【課題】 高性能で省力化を実現した洗浄装置を提供する。
【解決手段】 バスケットＢＫに収容したワークを洗浄する洗浄槽１と、洗浄槽１に洗浄液を供給すると共に使用後の洗浄液を回収する回収塔２と、回収塔２から受けた洗浄液を蒸留再生する蒸留器３と、前記各部１〜３を適宜に減圧する真空ポンプ４と、バスケットＢＫを洗浄槽１に搬入及び搬出する昇降装置５と、装置全体の動作を制御する制御部６とを備えて構成される。昇降装置５は、上下動する可動ベース板２０と、可動ベース板２０から下方に延設される係止部２１，２１とを備えて構成される。可動ベース板２０は、洗浄槽１の密閉蓋を兼ねている。 （もっと読む）

【課題】 光学部品等は、油等の汚れを除去するためイソプロピルアルコール等の親水性溶剤を用いて洗浄するのが一般的である。しかし、洗浄後の部品に付着した親水性溶剤が乾燥するまでの間に、親水性溶剤が空気中の水分を吸収し、この水分が部品表面に水しみ（ウォーターマーク）となる問題がある。
【解決手段】 洗浄室内の上部に冷却装置を下部に加熱装置をそれぞれ配設し、加熱装置により親水性の洗浄溶剤を加熱して、その蒸気により被洗浄物の表面を洗浄する被洗浄物の洗浄方法において、洗浄溶剤の蒸気が濃い洗浄室の下方の位置において被洗浄物を所定時間洗浄した後、この位置の蒸気温度と、冷却装置の近傍の蒸気温度との略中間温度の位置において被洗浄物を乾燥させる。 （もっと読む）

(a) 第一の圧力で沸点を有する少なくとも一種の可燃性溶媒；(b) 前記可燃性溶媒の前記第一圧力沸点付近よりも低い前記第一の圧力で沸点を有する少なくとも一種の第一非可燃性溶媒；及び (c) 前記可燃性溶媒の該第一圧力沸点付近よりも高い前記第一圧力で沸点を有する少なくとも一種の第二非可燃性溶媒を含む共沸性組成物の提供に基づく汚染された物品を洗浄するための組成物及び方法を開示する。 （もっと読む）

【課題】被汚染物からＰＣＢを分離除去する洗浄方法は簡単ではない。そのためにさまざまな方法が研究されているが、まだ多くの問題点を有している。
【解決手段】低濃度のＰＣＢ汚染物に着目した場合、溶剤や洗剤を使用せずに水蒸気のみをＰＣＢ低濃度汚染物に直接接触させることによってＰＣＢを水蒸気中に蒸発分離することができることを確認した。そしてＰＣＢ汚染物の程度が低濃度の場合には十分に効果的な洗浄を行うことができることを見出した。さらに洗浄に使用した水蒸気の熱を効率的に回収して再利用する方法を考案することによって、従来法において膨大な量の水蒸気を必要としていた大きな欠点を克服することができた。 （もっと読む）

【課題】ＨＣＦＣ1４1ｂ（ハイドロクロロフルオロカーボン１４１ｂ）の全ての溶媒とうしての用途で使用可能なフッ素化炭化水素と酸素化溶媒とを含む新規組成物。固体表面の処理、クリーニング、脱脂、フラックス除去または固体表面の乾燥処理等で使用される。
【解決手段】ベースフッ素化物と、ジアセトンアルコール（ＤＡＡ）と、ＤＭＳＯおよび／または第二級ブタノールとから成る組成物。 （もっと読む）

【課題】光学要素等の表層上に付着する有機物等による汚染物質を除去し、光学系における透過率等の良好な光学特性を維持することが可能となる光学系に付着する汚染物質の除去方法及び光学装置を提供する。
【解決手段】光学系（１６）に付着する有機物等による汚染物質を除去する光学系に付着する汚染物質の除去方法、または光源（１５）と、光学系を保持した光学系保持手段（１０）と、前記光学系に付着する汚染物質を除去する手段（３）と、を備えた光学装置において、前記光学系の雰囲気中に、オゾン水を気化して導入するように構成する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であり、加熱効率が高く電力消費量が少ない洗浄乾燥装置を提供する。
【解決手段】洗浄液の蒸気を発生させる装置であって、少なくとも、導電性底面を有し前記洗浄液を収容する蒸気発生槽と、該蒸気発生槽の導電性底面に誘導電流を発生させるためのコイルと、該コイルに交流電流を流すための交流電源とを具備し、前記交流電源により前記コイルに交流電流を流し、前記導電性底面に誘導電流を発生させて前記蒸気発生槽を加熱することにより、前記洗浄液を加熱して蒸気を発生させるものである蒸気発生装置、及び対象物の洗浄及び／又は乾燥を行なう装置であって、少なくとも、前記蒸気発生装置と、前記蒸気発生装置の蒸気発生槽内に前記対象物を保持するための保持治具とを具備し、前記蒸気発生装置により発生した蒸気により前記保持治具に保持された前記対象物を洗浄及び／又は乾燥するものである洗浄乾燥装置。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物を複数の洗浄槽間で移送を行う洗浄方法において、各洗浄槽から被洗浄物を取り出す際に乾燥状態にして洗浄液を確実に除去し、溶剤蒸気が外部に拡散して環境を汚染する事がなく、作業効率の良い洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄物の洗浄を行う複数の洗浄槽１、２、３を直列に配置する。この複数の洗浄槽１、２、３を順次移動させながら被洗浄物の洗浄を行う。この移動のために被洗浄物を洗浄槽１、２、３から取り出す際に、何れの洗浄槽１、２、３から取り出す場合も被洗浄物を乾燥状態にする。 （もっと読む）

【課題】冷蔵庫内の防汚効果が長期的に持続できる冷蔵庫を提供する。
【解決手段】冷蔵室１０２に備えた噴霧手段１１２より噴霧された微細なミストが、樹脂の細孔に入り込むことにより、壁面をミストでコーティングし、防汚を行う。ミストは貯留水１１８を噴霧させるので、貯水槽１１１に貯留水１１８がある限りは、防汚能力が低下することはなく、汚れがついた場合でも、噴霧手段１１２より、噴霧された微細なミストが、汚れと樹脂の隙間に入り込み、汚れをはがしやすくする事ができるので防汚効果が長期的に持続できる。 （もっと読む）

本発明は、（メタ）アクリル酸及び/又は（メタ）アクリル酸エステルの製造のための工場装置部用洗浄液組成物及びこれを利用した洗浄方法に関するものであって、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムからなる群より選択される１種以上のアルカリ金属水酸化物５乃至５０重量％、水溶性アミノ酸０.０１乃至１重量％、Ｎ,Ｎ´−メチレンビスアクリルアミド０.００１乃至０.０５重量％、並びにアゾビスイソブチロニトリル０.００１乃至０.０５重量％を含む水溶液の洗浄液組成物を使用して（メタ）アクリル酸及び/又は（メタ）アクリル酸エステルの製造のための工場装置部を洗浄することにより、装置内から完全除去が困難であった重合体及び粘着物を容易に除去することができる。 （もっと読む）

混合と、混合生成剤の協働作用とを利用して、蒸気で消毒薬を付与するための、また沈静ゾーンと、前記沈静ゾーンに蒸気を取込むための少なくとも一部分（１５）と、蒸気を送出し、その蒸気を付与ノズルへ導くための少なくとも一部分（７）とを含む蒸気によって表面作用薬品を付与するための混合チャンバであって、適当なタンク（３）から表面作用薬を吸入し、前記沈静ゾーンに加圧された表面作用薬品を取込むスプレー・ノズル（５）を含むことを特徴とする混合チャンバ。
（もっと読む）