【課題】 大型基板洗浄工程における高圧水噴射ノズルの使用において、ミストを基板近傍点で回収し、装置全体に拡散しないクリーンな作業環境にできるミスト回収装置を提供することにある。
【解決手段】 高圧水ノズル２では本来の高圧ジェット微粒子３が高速噴射されるが、微粒子外縁部では周囲気流の巻き込みによるミスト４が拡散状に大量発生する。この拡張現象を利用し、密度の小さなミスト４はおわん型の内周カップ５と外周カップ６で形成される段差状の開口部よりリング状空間に自己誘導され、ミスト吸引管６ｂで外部に放出される。吸引に大きなエネルギーを要する基板上の洗浄拡散流水３ａは外周カップ６と基板７とのスキマＳｏより自己放出される。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の上部からの洗浄液が漏れ出るのを抑制あるいは防止した、基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】略垂直姿勢の基板Ｗを上方から洗浄槽１内に収容し、基板Ｗの表面および裏面にそれぞれ対向しかつ略水平方向に延在して配置された管状部材２ａ１〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６から、基板Ｗの両面にそれぞれ洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置Ｓである。基板Ｗの両面にそれぞれ対向する洗浄槽１の側壁１１ａと、側壁１１ａ側に配置された管状部材２ａ１〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６との間に形成される通気路Ｆ１に、邪魔板Ｃ１〜Ｃ３，Ｃ４〜Ｃ６を配設した。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理において、基板への不必要なダメージや回路パターン倒れを防ぎつつ、特定箇所の異物を除去できる洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】洗浄処理に用いるための処理流体を基板５に噴出する処理流体ノズル７と、基板５から処理流体を回収する回収装置８とを具備している。基板５を処理流体ノズル７からの処理流体により局所的に洗浄処理することができるため、基板５に対して不必要なダメージ、回路パターン倒れを防ぎつつ、特定箇所の異物を除去できる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス・シリコン薄膜・フイルム等の大面積基板の薬液反応において、薬液との接液を面状態とし、さらに節液状態で行える超音波薬液反応装置を提供することにある。
【解決手段】 薬液供給口２１，３２より薬液６０を上下薬液槽２０，３０に送り、上部薬液槽２０の液吸引パイプ２３からの流量バランスで、基板出入り口になる上下槽間の空隙部１２に薬液６０を保持する。薬液６０には下部槽３０より超音波定在波１３が付加され、振動波の最大振幅位置と一致させた空隙レベルに基板５０をローラー４０で搬送し、キャビテーション効果で基板表裏の薬液反応を促進化させる。液吸引パイプ２３の位置を振動波の最小振幅位置と一致させ液面レベルを反射面として機能させる。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなくパーティクルやミストの再付着を抑制するフォトマスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】処理槽１２の内側において、壁部２１の周方向に複数の第一案内翼２４を設ける。この第一案内翼２４は、その上端と下端とを周方向にずらしつつ、中央部を周方向に湾曲した曲面状に形成する。これにより、フォトマスク１９の洗浄時に供給され、フォトマスク１９の回転により壁部２１方向に移動したクリーンエアおよび処理液を、第一案内翼２４により下方に導く。また、第一案内翼２４の下方において、壁部２１の周方向に複数の第二案内翼２５を設ける。第二案内翼２５は、第一案内翼２４により導かれたクリーンエアを、処理槽１２の底部２２に接続さている排出管部１５に導く。これにより、パーティクルやミストなどを含むクリーンエアを処理槽１２から排出する。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに侵入した数μｍの研削屑も良好に除去することができ、かつ、チャックテーブル上に保持された被加工物の表面を良好に洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧エアー及び液体で構成される２流体洗浄水８２０ａを高圧噴射する構成とすることにより、数μｍほどの屑も洗浄できるようにして、ブラシ等を不要とする。また、飛散防止チャンバー８３と、飛散防止チャンバー８３においてチャックテーブル２の上面２ａ又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上で飛散するミスト８２０ｂを外部へ排出する排出手段８４とを備え、洗浄時は、飛散防止チャンバー８３の側壁８３０の下端がチャックテーブル２の上面２ａ又は上面２ａに保持された被加工物Ｗの表面Ｗａと所定の隙間Ｃ１をもち、チャックテーブル２の上面２ａ上又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上に形成された洗浄水層８７により隙間Ｃ１が封止されるようにすることにより、ミストが飛散しないようにする。 （もっと読む）

本発明は、海中の表面を洗浄するためのツール４であって、洗浄される表面に対して当てて、かつ好ましくは、洗浄される表面３に沿って移動するクリーニング面１１を有する本体と、ツールが動作中に、および／または、開口部またはチャネルが、周囲の水がクリーニング面の中心に向かって流れ込むことができるように構成されている場合、面と洗浄される表面との間に間隙が提供されるように、本体のクリーニング面の距離制御をするための手段とを備える。さらに、クリーニング面は、水、堆積物および汚染物のための吸引排水口を備え、動作中、排水口１３は吸引装置１７に連結されて、水、堆積物および汚染物が、さらなる処理へと運ばれるための排水口へと引き込まれる。 （もっと読む）

【課題】
設置型洗浄機を置けない狭い厨房や、床面に洗浄液を流せない厨房内での配膳車に移動し、配膳車の側面や、扉、及び食品庫内を洗浄液で洗浄し、その排水を排水溝又は、排水層に流し込んで床面に洗浄液を飛散させないようにし、さらに、各部品を整理して収納できることにより、狭い厨房や、洗浄できない床面の厨房で使用出来る配膳車洗浄機。
【解決手段】
土台２の下に自在輪３と回転して開く自在輪を有する土台補助板５があり、配膳車保護板２０に密着できる水受け板１５とカーテン水受け板８が、水受け固定台１６に接続しており、カーテン水受け板８のワイヤー１２を固定するワイヤー固定金具１４と、スプリング１８を固定する第一固定板１７がそれぞれの側面支柱１３に固定されていて、側面支柱１３の上部には、カーテンを取り付けて回転及び上下して移動できるカーテン取り付けユニット２５と、上部支柱２４を備えていることを特徴とした配膳車洗浄機。 （もっと読む）

【課題】薬液処理後の基板を水洗処理する場合に、純水の使用量を節減し、排液量を少なくし、処理時間を短縮することができる装置を提供する。
【解決手段】基板搬送方向における長さが基板Ｗの寸法より短くされた置換水洗室１０、置換水洗室内において基板を一方向へ連続して搬送する搬送ローラ、置換水洗室内の入口付近に配設された入口ノズル１６、入口ノズルより基板搬送方向における前方側に配設された高圧ノズル１８、および、置換水洗室内の出口側に配設されたエアーノズル２２を備えて置換水洗部２を構成した。置換水洗室１０内へ基板Ｗが搬入される前に入口ノズル１６および高圧ノズル１８からの洗浄水の吐出を開始し、置換水洗室内から基板が搬出された後に入口ノズルおよび高圧ノズルからの洗浄水の吐出を停止するように制御する。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドに詰まったスラッジを確実に排出する。
【解決手段】支持部材（５３ａ）に支持されていて被加工物（２０）を吸着する吸着パッド（５１ａ）を洗浄する吸着パッド洗浄装置は、吸着パッドの内部から吸着パッドの吸着面（５２ａ）に向かって洗浄液を供給する洗浄液供給手段（５８）と、吸着パッドの吸着面において吸着パッドの内側領域を該内側領域周りの外側領域から封止可能に被覆する内側領域被覆部（３０）とを含む。また、チャックテーブル（１２ａ）は、被加工物を吸着する吸着パッドと、吸着パッドを支持する支持部材（５３ａ、５７）と、支持部材に形成されていて吸着パッドの内側領域周りに在る外側領域まで延びる外側領域通路（７１）と、洗浄液を外側領域通路に通して吸着パッドの吸着面に向かって供給する洗浄液供給手段と、を含む。 （もっと読む）

【課題】付着物を確実に除去する。
【解決手段】付着物除去装置２は、付着物除去ノズル３を備える。付着物除去ノズル３には、小径オリフィス２１と大径オリフィス２２とが設けられている。液化二酸化炭素１１０は、小径オリフィス２１を通って粒子形成部３１に送られるとともに、大径オリフィス２２を通って粒子形成部３１に送られる。粒子形成部３１には、キャリアガス１００が送られる。粒子形成部３１では、小径オリフィス２１及び大径オリフィス２２からの液化二酸化炭素１１０とキャリアガス１００とから、二酸化炭素ガスと小径ドライアイス粒子１１１及び大径ドライアイス粒子１１２とを含む洗浄ガス１２０がつくられる。洗浄ガス噴出口１５から噴射された洗浄ガス１２０は、流延ドラム２１２の表面２１２ａに吹き付けられる。洗浄ガス１２０により、表面２１２ａに付着した液状付着物Ｘ１及び固形付着物Ｘ２が除去される。 （もっと読む）

【課題】貯蔵プールの水中で、狭隘部や障害物があっても、目的とする部位の各種作業を遠隔地点から行うことにある。
【解決手段】水中を航行する遠隔操縦式移動体であるＲＯＶ６，１７，２６に電動ウインチ８と空気袋６ｂに接続された吸着パッド６ａや、内視鏡カメラ２２やサンプリングヘッド２９を装備させ、それらを貯蔵プール１の外側から操作卓１３等で操縦して、容器２を吸着パッド６ａで吸着保持して検査個所から移動させる作業や、内視鏡カメラ２２を用いてその移動跡での観察作業を行ったり、サンプリングヘッドで貯蔵プール壁面に付着した物質の採取作業を行ったりする。 （もっと読む）

【課題】 紙の抄造に用いられるドライヤカンバス等の被洗浄物に洗浄媒体を吹き付けて洗浄する際に、被洗浄物で反射した洗浄媒体を吸引するための吸引フードの内壁面に該洗浄媒体が付着することがなく、したがって、洗浄媒体が被洗浄物に落下してしまうことのない洗浄装置を提供する。
【解決手段】 吸引フード２内に収容された洗浄ノズル８（図４）から高圧洗浄水をドライヤカンバスＣに向けて噴射し、反射した洗浄水を吸引フード２から吸引して回収する。吸引フード２の下端外周面にチャンバー部４を設け、このチャンバー部４の外壁の端部に吸引フード２の下端部と間隙Ｇを形成して該下端部を臨む位置まで伸張させた爪部10bを設け、該間隙Ｇから高圧空気を噴射する。吸引フード２の下端縁の形状を円弧状に形成して、噴射された高圧空気をコアンダ効果により吸引フード２の内壁面に沿って上昇させる。 （もっと読む）

【課題】 湿潤状態のまま投入される円柱状造粒品を球形とする球形整粒機は、整粒円板の上面の凹凸が、特に外周部において詰まり易い。そこで、整粒円板に付着した湿粉を、迅速かつ確実に除去する。
【解決手段】 洗浄装置３２は、回転する整粒円板１７の外周部の一部に被さるカバー３３を備える。このカバー３３には、ノズル３９が設けられており、このノズル３９は、カバー３３が被せられた洗浄対象面へ流体を噴射させる。カバー３３が洗浄対象面との間で形成する空間内の流体は、真空接続口３６から外部へ吸引排出される。 （もっと読む）

【課題】基板面内により均一に処理を施すと共にスループットの向上を図る。
【解決手段】基板処理装置１は、基板２を水平搬送しながらその上面に現像液の液層Ｘを形成するための液ノズル１６と、基板２上に形成された液層Ｘを除去するための除去手段とを備える。この除去手段は、基板２を横断するように設けられて該基板２の上面に向かってエアを吐出するエアナイフ１８と、該エアナイフ１８によるエア吐出位置よりも基板２の後端側に隣接する位置に配置され、前記エアの吐出時に生じる液層Ｘの波打ちを抑える波消し部材２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】製品の洗浄及び乾燥工程において真空ポンプ装置を効率よく活用することでイニシャルコスト及びエネルギーコストを抑制することが可能な洗浄及び乾燥システムを提供すること。
【解決手段】主ステーション１１における洗浄工程ではまずシャワー装置１６によって製品を洗浄し、同じ主ステーション１１において第１の乾燥工程としてエアーブロー装置１５によるブロー処理で製品表面の水分を除去する。更に、水分はブロー処理では完全には除去しきれないため第２の乾燥工程を実行する真空ケース１２内で脱気して残余の水分を蒸発させる。この際に真空ポンプ装置２０を稼働させて吸引した空気に応じた排気を排気導出管２３から吐出させ、その排気をエアーブロー装置１５のブロー源とする。これによって真空ポンプ装置２０を効率よく活用することができる。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの再付着を防止できる洗浄装置を提供すること、また、洗浄ツールから噴射した液体の吸引ノズルを備える洗浄装置では、洗浄液の流量が多くなっても安定した運転が可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、ガラス基板２の表面のパーテクル５を離脱させるための洗浄ツール３と、該洗浄ツール３から供給された液体４を上下に分離する分離板６と、搬送ローラ２を備えている。 （もっと読む）

【課題】析出物の生成が防止された基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【解決手段】スプラッシュガード２４は、周壁部４０を有する。周壁部４０の上部には、内側上方に傾斜する傾斜部４１が設けられている。スプラッシュガード２４の上部には、周壁部４０、傾斜部４１および閉塞部材４８により囲まれた環状の排気通路４２が形成される。傾斜部４１の下方には、仕切部４６が設けられている。傾斜部４１と仕切部４６と間には、回収液空間４７が形成されている。
傾斜部４１には、排気通路４２と回収液空間４７とを連通させるように、複数の排気孔５２が形成されている。排気孔５２は、排気通路４２から回収液空間４７に向かって外側下方に傾斜している。周壁部４０の上端部近傍には、排気通路４２から外方に貫通する複数の接続口５３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】２個の開閉扉を有し、いずれの開閉扉からも搬入・搬出が可能で、装置が小型かつ設置スペースを節約でき、スペース的・コスト的に簡素なシステムを構築でき、かつワークが大きい場合にも、ワークの搬入・搬出時に溶剤蒸気が大気中に飛散することがない炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置を提供。
【解決手段】真空脱脂洗浄装置本体10は、それぞれ密閉された、両端に開閉扉 3を有する洗浄室 1と、洗浄室 1を取り囲む中空の清浄液タンク 4と、を有し、いずれの開閉扉 3からもワーク14の搬入・搬出を可能とし、洗浄室 1内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにした。両端の開閉扉 3上部に洗浄剤17の蒸気を吸入する排気フード 25、27を設けかつ各排気フード 25、27上端に排気ポンプである蒸気吸入装置28を配管29を介して接続した。 （もっと読む）

【課題】 樹脂フィルム（例えば偏光膜）が貼着されている表示パネルの接続リード端子から異物を洗浄により除去するにあたって、樹脂フィルムや電極の金属酸化皮膜に悪影響を与えることなく、液晶の残渣や人体分泌物までも確実に除去する。
【解決手段】 表示パネル１の端子部２に形成されている接続リード端子３を、表示パネル１の表示部４に偏光膜（樹脂フィルム）５が貼着されている状態で洗浄する接続リード端子の洗浄装置において、端子部２の接続リード端子３に対して高温の水蒸気を噴射するノズル１０と、端子部２と表示部４の間に配置され高温の水蒸気から偏光膜５を保護する遮蔽板２０とを備えた構成とする。 （もっと読む）