【課題】簡単な構造で洗浄効果の高い洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】洗浄ノズル８は、被洗浄物に微細気泡を含む加圧水流を洗浄水として噴射するノズル本体８１と、ノズル本体８１の軸線から偏心した位置に配置され、微細気泡を含む加圧水流を導入して、ノズル本体８１の内周壁８１３の円周方向に沿って流す導水管８２１として機能する空間Ｓ３が形成された混合ホルダ部８２と、ノズル本体８１の噴射口８１２の縁部に吸引口８３１が配置され、回収した洗浄水を再利用するための液部吸引管８４２として機能する流路が形成されたヘッド部８３と、ノズル本体８１と同軸線上に配置されていると共に、噴射口８１２の中心部に吸引口８４１ａが配置され、回収した洗浄水を廃棄するための気泡部吸引管８４１とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】被処理体の一面側の洗浄領域に洗浄液を局所的に供給して、被処理体の側面や他面側への洗浄液の回り込みを防止できる洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】被処理体であるテンプレートＴの転写パターン（洗浄領域）を当該転写パターンが下方に向くように保持機構４により吸着保持する。前記転写パターンを含み、テンプレートＴの外縁よりも内方側の領域との間に洗浄液を満たして通流させるための通流空間を液収容部３１により形成し、前記通流空間に液収容部３１の底面に形成された第１の開口部３１ａからリンス液を供給し、前記転写パターンを囲むように液収容部３１と転写パターン２外側領域との間に形成された隙間３０を介して排液部３２に排液する。リンス液は液収容部３１内を通流するので、洗浄領域に局所的に供給され、テンプレートＴの側面や他面側への洗浄液の回り込みを抑えながら洗浄処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】光学部品の洗浄装置において、超音波洗浄による光学部品の洗浄ムラの発生を抑制することができるようにする。
【解決手段】洗浄装置１を、被洗浄物Ｗを洗浄する洗浄液３が貯留された洗浄槽２と、超音波振動子４ａおよび超音波振動子４ａによる超音波振動を伝達してホーン先端面４ｃから放射するホーン４ｂを有し、洗浄液３に挿入されたホーン先端面４ｃの前方に超音波振動によるキャビテーションを生成するキャビテーション生成部４と、を備え、キャビテーション生成部４によって生成されたキャビテーションを被洗浄物Ｗに当てて洗浄を行う構成とする。 （もっと読む）

【課題】 ガラス・シリコン薄膜・フイルム等の大面積基板の薬液反応において、薬液との接液を面状態とし、さらに節液状態で行える超音波薬液反応装置を提供することにある。
【解決手段】 薬液供給口２１，３２より薬液６０を上下薬液槽２０，３０に送り、上部薬液槽２０の液吸引パイプ２３からの流量バランスで、基板出入り口になる上下槽間の空隙部１２に薬液６０を保持する。薬液６０には下部槽３０より超音波定在波１３が付加され、振動波の最大振幅位置と一致させた空隙レベルに基板５０をローラー４０で搬送し、キャビテーション効果で基板表裏の薬液反応を促進化させる。液吸引パイプ２３の位置を振動波の最小振幅位置と一致させ液面レベルを反射面として機能させる。 （もっと読む）

【課題】ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を確実に除去できるようにする。
【解決手段】ノズル保持部３０により、ノズル本体５０の先端部を貯留槽２０内の液媒体に浸漬させ、ノズル本体５０の先端部が貯留槽２０の底面と所定の間隙を存して対向するようにノズル本体５０を保持する。そして、超音波振動子２１によってノズル本体５０を振動させている間に、吸引部４０によってノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引する。 （もっと読む）

【課題】
オゾンガス発生器の洗浄または乾燥を可能にし、長期間にわたり、高濃度なオゾン発生効率の維持または回復を行うことが可能なオゾン水生成器を提供するものである。
【解決手段】
オゾンガスを発生するオゾンガス発生器１０１と、前記オゾンガスと液体を混合する混合部１０２と、液体を貯液する貯液槽１０３とを備えたオゾン液生成器において、前記オゾン液生成器１００に液体を循環させる循環経路Ａとを備えていることで、オゾンガス発生器の洗浄を可能にする。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーの内部をクリーンな状態に保ち、且つメンテナンスの頻度を低減することが可能な真空チャンバーを提供する。
【解決手段】真空技術を用いる装置に設置される真空チャンバー１００は、真空チャンバー１００の内壁または真空チャンバー１００の内部に設置された構造物の、少なくとも１つの第一の部位１０１から液体を放出し、該液体を、真空チャンバー１００の内壁または真空チャンバー１００の内部に設置された構造物の、少なくとも１つの第二の部位１０２で回収する機構を有し、該液体の放出と回収が、真空雰囲気下で行われる。 （もっと読む）

【課題】 ローコストでスイミングプール、または、熱帯海と同様の色、透明度、および、清浄度の特徴を有するレクリエーションの使用のための１５，０００ｍ^３より大きい水体を得る（実現し、維持する）プロセスを提供することである。
【解決手段】 低コストで、優れた色、透明度、および、清浄度特性を有するレクリエーションの使用、例えば湖または人工のラグーンのための１５，０００ｍ^３より大きい水体を実施し、維持するプロセスは、１５，０００ｍ^３より大きい水体を含むことが可能なスキマーを有する構造を提供する工程と、１．５ｐｐｍより低い鉄、および、マンガンのレベルを有し、５ＮＴＵより低い混濁度を有するインレット水を前記工程（ａ）の構造に送る工程と、を具備することである。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな口径、例えば、７５ｍｍ〜１５０ｍｍの水道水配管に対し、十分な洗浄効果を得ることができる水道水配管の洗浄方法および装置を提供する。
【解決手段】水道水が流れている水道水配管１内に、炭酸ガスの注入と炭酸ガスの注入停止とを繰り返す炭酸ガスの間欠的な注入を行い、水道水配管１内に炭酸ガスの注入により炭酸ガス空間Ｓ１，Ｓ２を形成し、炭酸ガス空間Ｓ１，Ｓ２によって炭酸ガスの注入停止時に形成した水塊(Ｗｍａｓｓ)を挟むサンドイッチ構造を形成し、水塊(Ｗｍａｓｓ）が水道水配管１内を流れる際に配管の内壁面に付着および堆積した付着・堆積物に衝突して衝撃力を与え付着・堆積物を除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなくパーティクルやミストの再付着を抑制するフォトマスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】処理槽１２の内側において、壁部２１の周方向に複数の第一案内翼２４を設ける。この第一案内翼２４は、その上端と下端とを周方向にずらしつつ、中央部を周方向に湾曲した曲面状に形成する。これにより、フォトマスク１９の洗浄時に供給され、フォトマスク１９の回転により壁部２１方向に移動したクリーンエアおよび処理液を、第一案内翼２４により下方に導く。また、第一案内翼２４の下方において、壁部２１の周方向に複数の第二案内翼２５を設ける。第二案内翼２５は、第一案内翼２４により導かれたクリーンエアを、処理槽１２の底部２２に接続さている排出管部１５に導く。これにより、パーティクルやミストなどを含むクリーンエアを処理槽１２から排出する。 （もっと読む）

【課題】化学洗浄中に発生する微細な固形物を除去し、「洗浄中の酸の消費」，「腐食」、「洗浄後にボイラ本体の滞留部への固形物の残留」を低減し、洗浄後のボイラを清浄度の良い状態にすることができる酸素処理適用ボイラの洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】ボイラ１に対しライン２から洗浄液が供給される。ボイラ１から流出した洗浄液は、ライン３によって遠心分離機４に導入され、粗固形物が分離される。遠心分離機により粗固形物が分離された液の一部は、そのままライン５、ポンプ９を経てライン２に送られる。遠心分離機で処理された液の残部は、ライン６を経てフィルター又は膜７にて微固形物の除去処理が行われた後、ライン８、ポンプ９を経てライン２に送られる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄方法、被洗浄物の洗浄装置を提供する。
【解決手段】浸漬時に空気１６を保持可能な穴部１４を表面に有する被洗浄物（多結晶シリコン１２）を洗浄槽１８に浸漬して前記洗浄槽１８を気密封止し、前記洗浄槽１８内の空気を排出することにより前記洗浄槽１８内を減圧する工程と、気体４４を前記洗浄槽１８内に導入することにより前記洗浄槽１８内を加圧する工程と、を繰り返すことにより、前記穴部１４に保持された空気１６を前記洗浄液２８と入れ替えて前記穴部１４の洗浄を行う被洗浄物の洗浄方法であって、前記気体４４として、空気より溶解度の低いものを前記洗浄槽１８に導入することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、海中の表面を洗浄するためのツール４であって、洗浄される表面に対して当てて、かつ好ましくは、洗浄される表面３に沿って移動するクリーニング面１１を有する本体と、ツールが動作中に、および／または、開口部またはチャネルが、周囲の水がクリーニング面の中心に向かって流れ込むことができるように構成されている場合、面と洗浄される表面との間に間隙が提供されるように、本体のクリーニング面の距離制御をするための手段とを備える。さらに、クリーニング面は、水、堆積物および汚染物のための吸引排水口を備え、動作中、排水口１３は吸引装置１７に連結されて、水、堆積物および汚染物が、さらなる処理へと運ばれるための排水口へと引き込まれる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流路の洗浄システム、及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】筐体１２内に供給された流体１４、１６に浸漬した状態で原料液から所望の生成物を生成するマイクロ流路３４が形成されたチップ３２と、前記流体に浸漬した経路上に介装され、一方が前記マイクロ流路３４側に接続され、他方が前記流体側及び前記原料液の流通側との間で相互に切替可能に接続された切替弁２８、３８と、前記筐体１２内を減圧して前記マイクロ流路３４に気泡を発生させる真空ポンプ５０と、前記マイクロ流路３４に超音波を照射して前記マイクロ流路３４内を洗浄しつつ前記気泡を前記マイクロ流路３４外に放出させる超音波振動子５２と、前記マイクロ流路５４の洗浄時に前記切替弁２８、３８の接続を前記流体側に切替制御するとともに前記超音波振動子５２及び前記真空ポンプ５０を稼動させる制御手段と、を有し、前記マイクロ流路３４の定置洗浄を可能とする。 （もっと読む）

【課題】土や泥を効果的に除去する洗浄ブラシを提供する。
【解決手段】グリップ本体２に洗浄流体の導管３が接続され、洗浄流体を断続する操作装置４がグリップ本体２に取り付けられている形式のものであり、導管３の先端に噴射ノズル５が設けられているとともに、この噴射ノズル５の近傍にブラシ６が配置され、このブラシ６は少なくとも導管３とほぼ同方向に延びる一対の対向部を有し、この対向部の間に噴射ノズル５が開口している。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部に形成された処理膜を除去する基板処理装置において、基板単位の処理時間を短縮し、処理膜形成のスループットを向上すると共に、歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】基板Ｇを基板搬送路に沿って平流しに搬送する基板搬送手段２１と、前記基板搬送手段により第一の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第一の除去手段５ｂと、前記第一の除去手段により前記両側縁部の処理膜が除去された基板の搬送方向を、前記第一の搬送方向に直交する第二の搬送方向に転換する搬送方向転換手段７と、前記基板搬送手段により第二の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第二の除去手段６ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】
設置型洗浄機を置けない狭い厨房や、床面に洗浄液を流せない厨房内での配膳車に移動し、配膳車の側面や、扉、及び食品庫内を洗浄液で洗浄し、その排水を排水溝又は、排水層に流し込んで床面に洗浄液を飛散させないようにし、さらに、各部品を整理して収納できることにより、狭い厨房や、洗浄できない床面の厨房で使用出来る配膳車洗浄機。
【解決手段】
土台２の下に自在輪３と回転して開く自在輪を有する土台補助板５があり、配膳車保護板２０に密着できる水受け板１５とカーテン水受け板８が、水受け固定台１６に接続しており、カーテン水受け板８のワイヤー１２を固定するワイヤー固定金具１４と、スプリング１８を固定する第一固定板１７がそれぞれの側面支柱１３に固定されていて、側面支柱１３の上部には、カーテンを取り付けて回転及び上下して移動できるカーテン取り付けユニット２５と、上部支柱２４を備えていることを特徴とした配膳車洗浄機。 （もっと読む）

【課題】洗浄すべき配管を効率的に洗浄することが出来る配管洗浄装置及び配管洗浄方法を提供する。
【解決手段】加圧した洗浄液３を供給する洗浄液供給配管４の下流端部に設けられる導入部と、該導入部内径より小さい内径の流路絞り部と、該流路絞り部の下流側に設けられ、該流路絞り部内径より大きい内径の拡径部と、該拡径部の下流側に設けられ、所定の径の孔又は所定の幅のスリットが所定の数だけ設けられた細開口板と、前記流路絞り部か、もしくはその上流側の流路４に連通して設けられ、洗浄液３内にガスを供給するガス供給路10を有する微細気泡発生ノズル６の前記細開口板の下流側に液密的且つ気密的に被洗浄配管11が接続され、洗浄液供給配管４により供給される洗浄液３を微細気泡発生ノズル６を流通させて微細気泡混合洗浄液とし、該微細気泡混合洗浄液を被洗浄配管11内を流通させて該被洗浄配管11内部を洗浄する構成とした。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の流水及び振動により洗浄部位を良好に洗浄することができると共に内部空間内の洗浄液を速やかに貯液タンクに戻して洗浄液の漏れを抑制することができる。
【解決手段】開口部Ｋが閉口して循環用ポンプ６の吸引圧により内部空間Ｒが負圧状態になったとき貯液タンク３内の洗浄液Ｗを給液管４を経て内部空間に供給すると共に内部空間内の洗浄液を排液管５を経て貯液タンク内に戻し、開口部が開口して内部空間の圧力が常圧に近い負圧又は常圧状態になったとき給液管から内部空間への洗浄液の供給を停止すると共に内部空間内の洗浄液を排液管を経て貯液タンク内に戻す液給排機構７を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの内部流路に介設したシールゴムに付着した機能液やその他の異物を効率的に除去することのできるシールゴムの洗浄方法等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１を分解して取り出したシールゴム４を、付着した機能液が乾燥する前に機能液の溶媒に浸漬する浸漬工程Ｓ１と、浸漬工程Ｓ１の後、シールゴム４を洗浄液で超音波洗浄する洗浄工程Ｓ２と、洗浄工程Ｓ２の後、シールゴム４をアルコールで洗浄するアルコール洗浄工程Ｓ３と、アルコール洗浄工程Ｓ３の後、シールゴム４を自然乾燥させる乾燥工程Ｓ４と、乾燥工程Ｓ４の後、シールゴム４の外観を顕微鏡で検査する検査工程Ｓ５と、から成り、洗浄工程Ｓ２では、洗浄液を循環させ且つフィルタリングしながら超音波洗浄を行う。 （もっと読む）