【課題】設備の製造コスト及び設置面積を抑えると共に、製造タクトを抑え、さらに被試験体の耐食を高めた耐圧試験機を提供する。
【解決手段】供給ライン１３ｉと、供給制御弁５と、排出ライン１３ｏと、排出制御弁１０と、圧力計６とを備え、排出制御弁１０を遮断すると共に供給制御弁５を開放し、所定圧力となったとき供給制御弁５を遮断して、圧力計６で被試験体８内の圧力を検出してアルカリイオン水の漏れを試験するための耐圧試験機２０であって、供給ライン１３ｉの上流側にアルカリイオン水を貯留するタンク１２を設けると共に、排出ライン１３ｏをタンク１２に接続して循環ライン１３を構成し、供給制御弁５と排出制御弁１０とを開放することで、アルカリイオン水を循環ライン１３に循環させて被試験体８内の洗浄を行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】液中に微細バブルを効率的に生成し、その微細バブルを含有する液体を被洗浄物の表面に良好な洗浄が期待できるように吹付けることのできる流体噴出ノズルを提供することである。
【解決手段】気体導入口１６４ａと、気体噴出口１６４ｂの形成された気体噴出面１６３とを有するユニット本体１６０と、ユニット本体１６０に設けられ、液体が通る液体通路１６１ａの形成された液体導入部１６１とを有し、ユニット本体１６０には、気体通路１６４と、液体導入部１６１の液体通路１６１ａが結合するキャビティ１６２とが形成され、ユニット本体１６０の気体噴出面１６３は、気体噴出口１６４ｂの形成される面を底面部分１６３ａとしたすり鉢状に形成され、ユニット本体１６０には、気体噴出面１６３のすり鉢状の周面部分１６３ｂで開口し、キャビティ１６２から続く複数のノズル孔１６５が形成された構成となる。 （もっと読む）

【課題】水道水等を貯留する貯水槽の広大な面積の垂直なコンクリート壁面に対して、ウォータージェットによる研掃を効率良く行えるようにする表面研掃処理装置を提供する。
【解決手段】表面研掃処理装置１０は、ベースマシン１４と、縦方向スライドガイド部１６と、横方向スライドガイド部１９と、ウォータージェット噴射ノズル１１を備えるウォータージェット治具１３とを含んで構成される。ベースマシン１４は、基台部２３と走行部２２とからなる。縦方向スライドガイド部１６は、基台部２３上の支持架台２１に固定される縦方向固定ガイド部１７と、縦方向固定ガイド部１７に沿って昇降可能な昇降ガイド部１８とからなる。横方向スライドガイド部１９は、ウォータージェット治具１３の横巾の略３倍の長さを有し、昇降ガイド部１８に沿って昇降可能である。ウォータージェット治具１３は、横方向スライドガイド部１９に沿って横方向に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】めっきや化成処理などの被洗浄物品１となる表面処理部品に付着した薬液を除去する物品のすすぎ洗浄において、大量の洗浄液を使用せず、簡易な機構で洗浄と乾燥を同じ工程で行える洗浄乾燥方法及び洗浄乾燥装置を得る。
【解決手段】被洗浄物品１をなす表面処理部品に付着した汚れまたは薬液を除去する表面処理部品の洗浄において、洗浄液を大気圧下では沸点以上の状態となる加圧過加熱液の状態として、被洗浄物品１に噴射する。被洗浄物品１の表面に保液層８ｓが形成される隙間Ｇ１を介して保液部材７を配置している。噴射された洗浄液の蒸気が凝縮した凝縮液８を被洗浄物品１と保液部材７との間の隙間Ｇ１に保持しながら、噴射を継続する。隙間Ｇ１内の保液層８ｓでの凝縮熱により、洗浄液の噴射終了後に、凝縮液８を被洗浄物品１の表面において乾燥させることができる。 （もっと読む）

【課題】水道水等を貯留する貯水槽の広大な面積の垂直なコンクリート壁面に対して、ウォータージェットによる研掃を効率良く行えるようにする表面処理方法を提供する。
【解決手段】噴射ノズル１１がカバー体１２の内部に設けられたウォータージェット治具１３を壁面１０に沿ってスライド移動させてコンクリート壁面１０の研掃を行う表面処理方法であって、ウォータージェット治具１３は、横方向スライドガイド部１５に沿って左右方向にスライド移動する。横方向スライドガイド部１５は、ベースマシン１４に設けられた縦方向スライドガイド部１６に沿って上下方向にスライド移動する。ウォータージェット噴射ノズル１１をコンクリート壁面１０に対向させてベースマシン１４を据付た後に、ウォータージェット治具１３を一定速度で上下左右に移動させて、カバー体１２の３倍の研掃巾で、コンクリート壁面１０の下端部から上端部に至る領域の研掃を行なう。 （もっと読む）

【課題】洗浄力の低下が生じる頻度を少なくすることのできる洗浄機構を提供する。
【解決手段】流通管１２０から供給された流体を吐出する吐出部１１０を含む洗浄機構において、前記吐出部１１０から吐出される流体の吐出方向を周期的に変化させる流体素子１０が前記吐出部１１０に設けられる。蛇口１００には、流通管１２０から供給された水を吐出する吐出部１１０が設けられている。吐出部１１０内には、吐出される水の吐出方向を周期的に変化させる流体素子１０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】比重の軽い異物が大量に流入した場合であってもエレメントに付着した異物を除去することができる海水中異物除去装置を提供することができる。
【解決手段】海水中異物除去装置において、ポンプ１１から送水される海水又は洗浄水を導入する入口管４と、透過水を導出する出口管５と、異物を排出するブロー管６と、内部の海水又は洗浄水を排水するドレン管７とを備える円筒形状のストレーナ容器１と、ストレーナ容器１の上部の空間と下部の空間とを仕切る中央部に開口部２ａが形成された隔壁２と、ストレーナ容器１の内部の上部の空間には、複数の孔が形成された円筒形状のエレメント３と、出口管５及びドレン管７に接続された逆洗用のポンプ２０と、ポンプ１１，１２の停止及び稼動や、入口弁１０、出口弁１２、ブロー弁１３、ドレン弁１４及びガス抜き弁１５の開度を制御する制御装置９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】瞬間的な洗浄後に直ちに蒸発する高温高圧のスチーム特性を利用し、フラックスによって汚染されたフラックスツールやアタッチツールなどのフラックスによる汚染物を、瞬間的に早く、かつ正確に洗浄することによって、洗浄時間はもとより、乾燥時間及びクーリング時間を画期的に短縮させるフラックス洗浄装置を提供する。
【解決手段】本体と、前記本体に設置され、フラックスが付着した対象物が搭載される搭載台と、前記本体に設置され、前記フラックスが付着した対象物に残留するフラックスなどの異物を除去するために、前記搭載台に搭載されたフラックスが付着した対象物に向かってスチームを噴射する少なくとも一つのスチーム噴射ノズルと、前記本体に設置され、前記スチーム噴射ノズルにスチームを供給するスチーム供給装置とを有してなる。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象となる基板近傍にて光触媒反応を利用してＯＨラジカルを潤沢に発生させることによって、基板上に付着した有機物等のパーティクルを効果的に除去することのできる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】処理対象である基板Ｗ上の被処理面Ｗ１を洗浄する第１のノズル１１と、被処理面Ｗ１上に液を供給する第２のノズル１２と、を備え、第１のノズル１１は、被処理面Ｗ１に対向し液に接触する光触媒１１ａと、光触媒１１ａを保持する保持部材１１ｂと、保持部材１１ｂを透過して光触媒１１ａに光を照射する光源１１ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】 高密度で柱状部品を整列配列しても洗浄力が高く、一つの柱状部品で洗浄目的が部分的に異なる場合でも各々の目的に合致した洗浄を同時に行う。
【解決手段】 打錠機の臼や杵と呼ばれるような柱状部品Ｂ１，Ｂ２を多数個収納する装置本体３と、装置本体３に上方から蓋をする蓋体２を備え、前記蓋体２に回転可能に取り付けられた管７に多数個のノズルＮ１が取り付けられ、洗浄水供給手段から供給する洗浄水Ｗを管７を介して回転しながらノズルＮ１から噴射する。 （もっと読む）

【課題】多孔質セラミックからなる保持テーブルの保持部の孔に詰まった研削屑を効果的に除去して保持部の吸引力を回復させることができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】研削加工したワークを保持テーブル２０の保持部２１上から搬出した後に保持部２１に水とエアとの混合流体を供給して保持部２１から吹き出させることにより、保持部２１内を洗浄し、保持部２１内の孔に詰まっている研削屑を除去する。 （もっと読む）

【課題】水分濃度が低い有機溶媒を処理部又は被処理体に供給して処理を行うことにより、被処理体や処理部の腐食を抑えること。
【解決手段】イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）の供給源３０からＩＰＡを貯留タンク３に供給し、貯留タンク３内のＩＰＡを、水分除去フィルタ４及び濃度測定部５を備えた循環路３２を介して循環供給する。ＩＰＡは、循環路３２内を循環させることにより、水分除去フィルタ４により徐々に水分が除去される。そして、濃度測定部５により測定された水分濃度が０．０１重量％以下であるときには、中間タンク６にＩＰＡを送液する。中間タンク６からは、処理チャンバ１１に水分濃度が０．０１重量％以下のＩＰＡが供給され、処理チャンバ１１では、当該ＩＰＡを高温、高圧状態として、ウエハＷの処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄方法、被洗浄物の洗浄装置を提供する。
【解決手段】浸漬時に空気１６を保持可能な穴部１４を表面に有する被洗浄物（多結晶シリコン１２）を洗浄槽１８に浸漬して前記洗浄槽１８を気密封止し、前記洗浄槽１８内の空気を排出することにより前記洗浄槽１８内を減圧する工程と、気体４４を前記洗浄槽１８内に導入することにより前記洗浄槽１８内を加圧する工程と、を繰り返すことにより、前記穴部１４に保持された空気１６を前記洗浄液２８と入れ替えて前記穴部１４の洗浄を行う被洗浄物の洗浄方法であって、前記気体４４として、空気より溶解度の低いものを前記洗浄槽１８に導入することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】残存物の除去を考慮する必要がなく且つ装置の大型化を招くことなく、シリンダボアの内周面に仕上処理を施すことが可能なシリンダボアの内周面処理装置を提供する。
【解決手段】回転制御部５５と移動制御部５６とは、シリンダボア１７の内周面１７ａから所定距離となる仮想円周面上で噴射ノズル１１を移動させ、噴射ノズル１１は、シリンダボア１７の内周面１７ａに向けて低圧の流体と高圧の流体とを同時に噴射してキャビテーション気泡を発生させ、シリンダボア１７の内周面１７ａに仕上処理を施す。 （もっと読む）

【課題】 重機と併用せずともコンクリート打継面を効率的に処理する。
【解決手段】本発明に係るコンクリートの打継面処理装置１は、コンクリート打継面３を覆うことが可能なケーシング４と、該ケーシングの底部に貫通配置されたジョイント部材５と、該ジョイント部材のケーシング側端部に連結された高圧水噴射ノズル機構６とを備える。高圧水噴射ノズル機構６は、シャフト８の先端から左右２方向に２本のアーム９ａ，９ｂを延設するとともに、シャフト８の基端側をジョイント部材５に設けられた軸受７に保持させることで、シャフト８の材軸Ａの廻りに全体が回転自在となるように構成してあり、アーム９ａ，９ｂにはそれぞれ噴射ノズル１０ａ，１０ｂを設けてある。噴射ノズル１０ａ，１０ｂは、それらの噴射方向が、材軸Ａの方向ではなく、その方向に対し、アーム９ａ，９ｂの材軸廻りに角度θだけ回転させた方向を向くように構成してある。 （もっと読む）

【課題】より完全に洗浄液と油分とを分離させることができる油水分離回収機を提供する。
【解決手段】油分が付着したワークＷを洗浄室４０にセットして洗浄液を噴射することにより該ワークから油分を離脱させる洗浄装置において、洗浄室から排出された洗浄液を貯留するタンク１０を設け、該タンク内の洗浄液中に吸液管１０２を垂下させるとともに該洗浄液中に浮遊するフロート１０５を設けることにより該吸液管の吸液口が洗浄液面に従い上下動するようにし、該吸液管の上端部にエゼクタポンプ１０７を設け、該エゼクタポンプのスロート部１０８に空圧源から圧縮空気を供給し該吸液管内を負圧にすることによりタンク内の上層部分の液体が吸引されるようにし、該液体を該エゼクタポンプにより圧縮空気と混合させることにより霧状にしてサイクロン分離器１１０に導くことにより、サイクロン分離器の内面に洗浄液中の油分を付着させ回収する。 （もっと読む）

【課題】凹凸のある歯車のようなワークであっても、切屑、切粉等の異物および油分をきれいに除去することができ、また空圧源だけでも作動させることができる、装備および設置が容易な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留するタンク１０と、洗浄室４０内に回転軸を支持することにより回転自在に設けられたワーク保持具４６と、回転軸に設けられたフィン４８に対し圧縮空気を噴射することによりワーク保持具を回転動させる。ワークＷに相対するように洗浄室内に設けた対物ノズルと、洗浄液を吸引して対物ノズルに圧送する空圧作動式給液ポンプ２０と、圧縮空気を供給する空圧源とからなり、回転動用ノズルから圧縮空気を所定時間噴射することによりワークを回転させると同時に、空圧作動式給液ポンプを作動させて対物ノズルから洗浄液を所定時間噴射し、その後は対物ノズルの流入路が空圧源に切換えられて圧縮空気が所定時間噴射される。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の向上を図ることができる高圧洗浄機を提供する。
【解決手段】高圧洗浄機１０は、洗浄機本体１４をケース開口部７８から内部に収納して運搬、保管可能で、かつ、洗浄作業用の水９７を貯水可能なケース本体７１と、ケース本体の底部８４に設けられた一対の車輪９９と、一対の車輪の上方で、かつ、ケース本体の上部８５に設けられ、ケース本体を運搬可能な運搬用ハンドル１１２とを備えている。この高圧洗浄機は、ケース開口部がケース本体の上端部８５ａに形成され、ケース本体を運搬用ハンドルで牽引して運搬姿勢に傾斜させた状態においてケース開口部の開口縁部７８ａが略水平に形成されている。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の向上を図ることができる高圧洗浄機を提供する。
【解決手段】高圧洗浄機１０は、洗浄機本体１４がパイプフレーム１５で囲われ、パイプフレームで洗浄機本体を支えるように構成されている。パイプフレームは、洗浄機本体を横置き姿勢に支持可能な横置ベース部４２と、横置ベース部を載置させた状態において洗浄機本体の重心位置６７の上方に設けられた横置取手部５３と、洗浄機本体を縦置き姿勢に支持可能な縦置ベース部４６と、縦置ベース部を載置させた状態において洗浄機本体の重心位置の上方に設けられた縦置取手部６３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 外装体と洗浄治具本体の間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減し、洗浄での歩留まりを向上させることができる洗浄治具を提供する。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、洗浄治具を搬送するための搬送手段と、洗浄ノズル手段の内部流路と接続する複数の洗浄ノズル部と、洗浄ノズル手段が接続された噴出手段と、純水が蓄えられている純水槽と、純水槽から前記噴出手段へ純水を送る高圧ポンプ手段と、を備え、洗浄ノズル手段が円筒形の洗浄ノズル部とこの洗浄ノズル部とつながる内部流路とを備え、洗浄ノズル部が、前記搬送手段と平行となる平行線に対して、３０度〜６０度の角度で傾斜して円筒形の洗浄ノズル部の円筒の中心線が設けられていることを特徴とすることを特徴とするものである。 （もっと読む）