【課題】所望の微細な気泡を液体に内包させることのできる微細気泡発生機構を提供する。
【解決手段】液体Ｌと気体Ｇとを混合する気液混合通路１１と、この気液混合通路１１へ液体Ｌを導入する液体導入通路１３と、気液混合通路１１からの気液混合体Ｍを導出する気液混合体導出通路１５と、気液混合通路１１へ気体Ｇを導入する気体導入通路１７と、気液混合通路１１よりも下流に設けられ、気液混合体Ｍの流量と、気液混合体Ｍ内の気泡の直径とを調整する流量および気泡径調整部材２１とを備え、液体導入通路１３は、気液混合通路１１へ向かうにしたがって断面積が徐々に小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】貫通穴の内面に対する洗浄能力および洗浄効率の向上を共に図ることのできる貫通穴の洗浄方法を提供する。
【解決手段】外周に洗浄液を噴射するための噴射口１０を設けたノズル７を用いて、貫通穴５の内面を洗浄する。具体的には、ノズル７を貫通穴５に挿入して、貫通穴５の両端をシールすることにより、ノズル７の外面と貫通穴の内面との間に、噴射口１０から噴射した洗浄液の昇圧を可能とする昇圧空間２５を形成する。 （もっと読む）

【課題】 多目的な洗浄に対応するワーク洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本願発明では、ワークＷを洗浄するワーク洗浄装置において、洗浄液の噴射部と、複数のプレート４…４と、プレート移動部５とを備え、プレート移動部５は、少なくとも一部のプレート４を移動させて、洗浄するワークの周囲を各プレート４…４にて取り囲むことにより、洗浄液の液溜まりを形成することができ、且つ、移動させたプレート４…４を元の位置に後退させることができるものであり、 噴射部６は、洗浄するワークを、プレート４…４にて取り囲んだ状態と取り囲んでいない状態の何れにおいても、ワークに向け洗浄液を噴射することができるものである。 （もっと読む）

【課題】マイクロバブルを用いて洗浄効果を上げるとともに、節水弁を併用することで、被洗浄体に対応できる節水率で節水効果を達成できるマイクロバブルを用いた節水洗浄装置を提供する。
【解決手段】一端の流入口１aに給水源が接合され、他系統の流入口（気体流入口１b）に気体供給手段が接合され、他端に気液混合流体の流出口が配設されて成るマイクロバブル生成装置１において、前記流出口に節水弁２を接合し、該節水弁２の出水口に噴射ノズル３を接合して成る。前記節水弁２は、六角軸体の一端部の雌ネジと、他端部の雄ネジと、該雌ネジのネジ底の通水室と、該通水室と前記雄ネジ側の出水口の底面間の隔壁と、該隔壁の連通口とから成る弁本体と、通水室に内設される通水盤と該通水盤に重畳され、蝶羽根とネジ挿通孔を有する制水盤と、両者を接合するボルトとから成る。 （もっと読む）

【課題】 希少金属層が設けられている基板から希少金属を剥離処理して、当該希少金属を高い効率で回収できる金属回収機構を有する基板処理装置の提供。
【解決手段】 基板を載置するステージ部Ｆと、
水蒸気及び水を含む混相流体を前記基板に噴射して前記基板上の希少金属を剥離する、混相流体噴射部Ｅと、
槽壁１７１、前記混相廃物を排出する排出管１７２、を有するチャンバ部Ｉと、
前記排出管から送られる混相廃物を液相と気相とに分離する気液分離機構１８１、該気液分離機構により分離された液相から希少金属を回収する固液分離手段１８２を有する、混相廃物中の液相に存在する希少金属を回収する第一処理部Ｇと、
前記第一処理部の気液分離機構から送られる気相に含まれる希少金属を回収するサイクロン式分離機構１９１を有する、混相廃物中の気相に存在する希少金属を回収する第二処理部Ｈと、
を具備する基板処理装置１００。 （もっと読む）

【課題】簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる電子部品実装設備用の洗浄ツールおよび洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】部品実装装置に用いられる吸着ノズル１０などを洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツール２０を、作業者が把持して操作可能な本体部２１と、本体部２１の先端に設けられ２流体３１が噴射される噴射ノズル２５と、本体部２１に接続され噴射ノズル２５と切替バルブ２６を介して接続された液体タンク２８とを備え、洗浄水３０の粒子３０ａを圧縮空気２３ａに混合した２流体３１を被洗浄物である吸着ノズル１０に対して噴射する構成とする。これにより、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】基板に形成されたレジストを除去する際のレジストの残渣の発生を抑える一方で、基板を洗浄する際の洗浄能力の低下を図る。
【解決手段】被噴射体噴射装置は、回転軸４１を有し、回転軸４１の回転によって基板を回転させるスピンナー４０と、基板に相対する位置であってスピンナー４０の回転軸４１からずれて配置され、被噴射体を噴射するノズル２４及びノズル２５と、を備え、スピンナー４０の回転軸４１の方向に見て、ノズル２４の噴射口２４Ａがスピンナー４０の回転軸４１が回転する向きと向き合っており、ノズル２５の噴射口２５Ａが第一ノズル２４の噴射口２４Ａの向きとは逆向きである。 （もっと読む）

【課題】ガスタービンエンジンは高温度にて作動するため、高温のガスに曝される構成部材の壁に対し保護熱バリア被覆を施す。保護熱バリア被覆は、構成部材の壁に冷却通路が穿孔された後、被覆されるが、その際、被覆材が冷却通路を覆い、冷却通路を通る冷却空気の流れを制限し、構成部材の冷却を不十分にすることがあるため、冷却通路から不要被覆材を除去する方法を提供する。
【解決手段】冷却通路１６を液体中に浸漬させるステップと、浸漬液体内の供給源から付着物の少なくとも一部を除去するのに十分な速度にて液体ジェット３８を冷却通路１６に向けるステップとを備え、冷却通路１６から不要な被覆付着物３０を除去する。 （もっと読む）

【課題】化石燃料の使用量の削減を図ることができ、ランニングコストおよびＣＯ_２排出量を抑制することができ、且つ作業者の作業環境の改善を図ることが可能な洗浄システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる洗浄システムの構成は、湯を用いて被処理体（番重１０２）を洗浄する洗浄システム１００であって、被処理体を移動させる被処理体移動経路１０４と、被処理体移動経路の下方に配置され、湯を貯留する貯湯槽１１０ａおよび１１０ｂと、貯湯槽に接続され、貯留された湯を被処理体に散水する散水手段１２０ａおよび１２０ｂと、空気を熱源として貯湯槽に供給する湯を生成するヒートポンプ１３０と、ヒートポンプで冷却された空気を被処理体移動経路が設置される室内の所定位置に噴出する冷気噴出器１０８ａ〜１０８ｃと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する樹脂成形体に付着した付着物を有効に洗浄できるとともに、上記樹脂成形体を脱臭することができる樹脂成形体の洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】樹脂成形体が投入される投入口１１と、水平方向に長さを有し、一端側には上記投入口１１と連通し、内部には上記樹脂成形体が収容される収容空間を有してなり下面には複数の開口が形成された処理槽３１と、この処理槽３１内に配置され、駆動装置２１により回転駆動する回転軸７２と、基端が上記回転軸７２にそれぞれ固定され、先端は上記処理槽３１の内側に位置してなる複数の回転羽根と、上記処理槽３１の他端側に形成され、上記樹脂成形体が洗浄された後に排出される排出路６９と、上記処理槽内の上流側に洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズル７６と、この洗浄水噴射ノズル７６よりも下流側に殺菌水を噴射する殺菌水噴射ノズル７８と、がそれぞれ配置されてなる。 （もっと読む）

【課題】洗浄作業時の燃料消費量を低減すること。
【解決手段】水ポンプを回転駆動するエンジン３０、高圧水の流れを検出するフローセンサ３４、エンジン３０の回転数を設定するアクセルレバー３５、アクセルレバー３５の高圧水の噴射位置を検出する近接センサ３８、エンジン３０の回転数の通常モードとオートアクセルモードを切り換えるモード切換スイッチ３７、モード切換スイッチ３７がオートアクセルモードに切り換えられ、近接センサ３８によりアクセルレバー３５の高圧水の噴射位置が検出された状態で、フローセンサ３４により高圧水の流れを検出したときは、エンジン３０の回転数をアクセルレバー３５により設定された回転数とし、フローセンサ３４により高圧水の流れを検出しないとき、または近接センサ３８によりアクセルレバー３５の高圧水の噴射位置が検出されないときは、エンジン３０の回転数をアイドル回転数とするアクセル制御装置３３を有する。 （もっと読む）

【課題】便器の清掃の省力化に貢献し清掃の品質を均一化するためのトイレ洗浄装置を提供する。
【解決手段】トイレの男子用便器の清掃作業を補助する為のトイレ洗浄装置が、便器に対して移動可能に構成されたトイレ洗浄装置本体と、便器に付けるＩＣチップ等の無線発信機器とを有し、トイレ洗浄装置本体には、高圧水の発生装置と高圧水を射出する為のノズルが配設され、前記ノズルを便器の長さに合わせ上下させる駆動装置を備え、前記ＩＣチップ等の無線発信機器は便器近傍に付着され、該便器の情報やトイレ内の情報を記憶させ、トイレ洗浄装置本体には、無線機器からの情報を読み取る為の装置を備え、読み取った便器の情報に基づき前記ノズルを上下させるべく駆動装置を制御し、便器の大きさや形状に合わせた駆動範囲を変更し、読み取ったトイレ内の情報を隣の便器に移動する際に利用する。 （もっと読む）

【課題】無機配向膜が形成された基板を適正に再利用できる液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】対向基板に無機配向膜を形成する工程と、無機配向膜の欠陥を検査する工程と、検査工程において無機配向膜に欠陥が検出された場合に、無機配向膜をフッ素系の処理ガスを用いて除去する工程と、フッ素系成分を含む残渣を除去するべく対向基板を純水超音波洗浄する工程と、対向基板に再び無機配向膜を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】フィルムに傷などの物理的欠陥を起こさないフィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を供給する供給部材と、前記供給部材に形成され、走行するフィルム面に洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を設け、前記供給部材とフィルム面の間に洗浄液を流す洗浄部を構成したフィルム洗浄装置において、前記供給部材に、前記洗浄部を流れた洗浄液を回収する洗浄液回収口と、気体をフィルム面に供給する気体供給口を設け、前記洗浄液回収口付近の圧力がフィルムと前記供給部材が接触しない圧力以上に維持されるように、前記気体供給口からフィルム面に気体を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄液やすすぎ液を昇温するためのエネルギ使用量を大幅に削減し、しかも二酸化炭素排出量の削減にも寄与することができる、洗浄機を提供する。
【解決手段】少なくとも上部が開口された略箱状の洗浄機本体２内に、搬送手段を介して順次搬送されてくる容器８に対し、加温された洗浄液による洗浄と、加温されたすすぎ液によるすすぎとを行い、さらに洗浄に使用された洗浄液と、すすぎに使用されたすすぎ液とを、洗浄機本体２の下方に配置されたタンク１２内に戻すようにした洗浄機１０であって、洗浄機本体２の上部開口を覆うように天蓋９の内部に、排熱回収装置２０を設置し、箱状の洗浄機本体２内に充満する水蒸気を、排熱回収装置２０に導入し、導入された水蒸気から熱交換により回収した余剰熱量を供給水に蓄熱し、蓄熱され温水となった供給水を再使用することを特徴とする洗浄機。 （もっと読む）

【課題】液中洗浄と気中洗浄とを行うことができるタレット式洗浄装置を提供すること。
【解決手段】タレット式洗浄装置１は、クイル２１に固定されたセンターポスト２２と、センターポスト２２に軸支されたタレットヘッド４と、ワークＷを洗浄するための洗浄工具Ｔと、タレットヘッド４を旋回させるタレット駆動装置６と、タレットヘッド４が配置された洗浄室３と、洗浄液Ｃを貯溜する洗浄槽７と、ワークＷを回動させる回動ユニット８と、洗浄液Ｃを供給する第１洗浄液供給流路１４と、洗浄液Ｃを供給する第２洗浄液供給流路１５と、第１洗浄液供給流路１４及び第２洗浄液供給流路１５に洗浄液Ｃを供給する洗浄液供給源１６と、洗浄槽７内の洗浄液Ｃを排出する排出口７ａと、を備えている。タレット式洗浄装置１は、選択された洗浄工具ＴからワークＷに洗浄液Ｃを噴射することによって液中洗浄、半液中洗浄及び気中洗浄することが可能である。 （もっと読む）

【課題】各種の設備や機器に沈積されたスラッジを効率よく除去する方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、水、ＥＴＡ（ｍｏｎｏｅｔｈａｎｏｌａｍｉｎｅ）、ＮＨ_３、ＤＴＰＡ（Ｄｉｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｒｉａｍｉｎｅ ｐｅｎｔａａｃｅｔｉｃ ａｃｉｄ）、ＥＤＴＡ（ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉａｍｉｎｅｔｅｔｒａａｃｅｔｉｃ ａｃｉｄ）及びＮ_２Ｈ_２からなる群より選択される少なくとも一種を含む洗浄液に気体窒素、液体窒素、及びドライアイスからなる群より選択される少なくとも一種を注入してスラッジを除去する物理化学的洗浄方法を提供する。上記洗浄方法は、各種の設備や機器の母材の表面、構成品の表面、隙間に発生しまたは沈積されたスラッジを効率よく除去することができ、且つ原子力発電所において使用される蒸気発生器、ボイラー、熱交換器などの洗浄に活用可能である。 （もっと読む）

【課題】基板表面上に吐出された処理液の滞留を防止し基板全面における処理の均一化を有効に達成できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され処理液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備える基板処理装置において、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、水平姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の基板搬送方向Ｘに関して交差する方向における中央部付近から両端部付近にかけて、鉛直線に対して漸次大きくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の処理液の積極的な液流れを発生させる。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな口径、例えば、７５ｍｍ〜１５０ｍｍの水道水配管に対し、十分な洗浄効果を得ることができる水道水配管の洗浄方法および装置を提供する。
【解決手段】水道水が流れている水道水配管１内に、炭酸ガスの注入と炭酸ガスの注入停止とを繰り返す炭酸ガスの間欠的な注入を行い、水道水配管１内に炭酸ガスの注入により炭酸ガス空間Ｓ１，Ｓ２を形成し、炭酸ガス空間Ｓ１，Ｓ２によって炭酸ガスの注入停止時に形成した水塊(Ｗｍａｓｓ)を挟むサンドイッチ構造を形成し、水塊(Ｗｍａｓｓ）が水道水配管１内を流れる際に配管の内壁面に付着および堆積した付着・堆積物に衝突して衝撃力を与え付着・堆積物を除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄に好適な洗浄ノズル、洗浄装置、及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】内部が洗浄水の圧送通路２０とされ、圧送通路２０の基端部１０ａ側から圧送する洗浄水にキャビテーション気泡を発生させて先端開口部１０ｂから噴出させる洗浄ノズル８であって、圧送通路２０内には、その軸線方向に直交する方向に隣接配置された第１及び第２の絞り部材２１Ａ、２１Ｂを備え、第１の絞り部材２１Ａは、先端開口部１０ｂ側へ向けて圧送通路２０の断面積を漸次狭める第１の傾斜面２６Ａを有し、第２の絞り部材２１Ｂは、先端開口部１０ｂ側へ向けて圧送通路２０の断面積を漸次拡げる第２の傾斜面２６Ｂを有し、第１、第２の絞り部材２１Ａ、２１Ｂは、その側方から視たときに、第１、第２の傾斜面２６Ａ、２６Ｂがその中間部で交叉し、第１、第２の傾斜面上の圧送通路２０が前記交叉する部分の上方において連通していることを特徴とする。 （もっと読む）