【課題】 外付エアブローを用いずにデバイス上のゴミを完全に吹き飛ばすことができ、スリーブによりデバイスに傷をつけることのない搬送ピックアップ装置を実現することを目的とする。
【解決手段】 ピックアップ内部の流路を介して空気圧を制御することによりデバイスを吸着及びリリースする搬送ピックアップ装置において、デバイスを吸着する直前に前記流路を介して前記ピックアップ内部から圧縮空気を吹き付けて、前記デバイス上のゴミを吹き飛ばすように構成した。 （もっと読む）

【課題】バキュームピックの使用頻度が高くても吸引物を傷つけることが無く、かつノズル先端および吸引物間の空間を確保して吸引力の低下を防ぐことができるバキュームピックを提供する。
【解決手段】負圧を導入して吸引物を管状のノズル９先端部に吸着して保持するバキュームピックにおいて、ノズル９先端部に、その開口部９ａを取り囲んで平坦かつ剛体からなる展開部分９ｂを設けたものである。具体的には、ノズル９は金属製パイプからなり、展開部分９ｂは円板状であって、金属製として、溶接または曲げ加工によってノズル本体に一体的に形成している。 （もっと読む）

【課題】空気通路のメンテナンスが容易で、ロボットに再ティーチングを行なわなくても、ウェハをチャックにセットできる薄形のウェハ搬送用ハンドを提供する。
【解決手段】上面にウェハ吸着面を持つ薄板状のハンド本体（１３）が、その後端部（３０５）にて、ロボットアーム（１９）上で支持される。ハンド本体（１３）は、ロボットアーム（１９）に対して、ウェハ吸着面に垂直な方向へ移動可能なように弾性的に支持される。ハンド本体（１３）内の空気通路（３０７）はハンド本体（１３）の下面から掘られた溝であり、そこに蓋（３２３）が被せてある。ハンド本体（１３）の下面の蓋（３２３）を覆う領域に樹脂テープ（３２５）が貼られ、樹脂テープ（３２５）が空気通路（３０７）の蓋（３２３）の周囲の隙間を封止する。樹脂テープ（３２５）を剥がし蓋（３２３）を外すと、空気通路（３０７）の掃除ができる。 （もっと読む）

【課題】 湾曲部や傾斜部等を有するワークを吸着保持する場合でも、ワークの表面に擦り傷等が発生するのを防止して確実に保持できるようにする。
【解決手段】 ピストン部材６が内装される円筒部２の下方に支持部材４を配設し、この支持部材４に、ピストンロッド８を挿通させるための小径孔１０と大径孔１１を設け、ピストンロッド８の先端にバキュームカップ１６を取付ける。支持部材４の側面から大径孔１１に向けて第１吸引孔１３を穿設し、ピストンロッド８の中心部に、バキュームカップ１６内に開口する第３吸引孔１７を設け、大径孔１１と第３吸引孔１７を連通する第２吸引孔１８を設ける。ピストン室５に連通する大径孔１１の連通面積に較べて、第３吸引孔１７に連通する第２吸引孔１８の連通面積を小さくする。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の表面に汚れが付着することなく、且つ、十分な吸着・保持力を持ってガラス板を吸着・保持し、引き上げできるガラス板引き上げ装置を提供する。
【解決手段】水平姿勢に載置された薄肉のガラス板１１を吸着・保持して引き上げるガラス板引き上げ装置であって、ガラス板１１が載置される載置部１６と、載置部１６の上方近接位置に配設されて、内部がガラス板１１の引き上げ通路１５となる上下開口のフード１２と、載置部１６の下方よりフード内にエアーを噴出する送風手段１４と、吸着手段９により、ガラス板１１を上面より吸着・保持して引き上げる吸着装置７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
吸着するフレームの外径サイズに応じて、吸着位置を素早く容易に調整することが出来るワーク搬送装置及びワーク搬送方法を提供すること。
【解決手段】
フレームＦを吸着する複数の吸着部３１と、フレームＦの径の大きさに応じて吸着部３１の位置を連動させて移動することにより吸着部３１の位置を調整する直動式の移動機構４とを備えたことにより、１つの動作で全ての吸着部３１を同時に調整することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの損傷を抑制し、パーティクルの発生を防ぐことのできる半導体ウェーハ用吸着パッドを提供する。
【解決手段】体積抵抗値が１Ｅ＋０〜１Ｅ＋１３（Ω・ｃｍ）の熱可塑性樹脂コンパウンドを用いて半導体ウェーハ用吸着パッドを射出成形する。半導体ウェーハ用吸着パッドを、板体１と、板体１上に突出形成される内側リブ１０と、板体１の周縁部に形成されて内側リブ１０を包囲する外側リブ２０と、板体１に穿孔され、内側リブ１０と外側リブ２０との間に連通する吸気孔２とから構成し、ロボットのバキューム装置に接続して半導体ウェーハＷの裏面を吸着保持させる。熱可塑性樹脂コンパウンドの射出により、半導体ウェーハ用吸着パッドにスキン層３０を形成し、このスキン層３０の被覆保護作用により、半導体ウェーハＷの損傷等を防止する。 （もっと読む）

【課題】 取出しと搭載における電子部品への押し付け力を簡便に変えることができる吸着ノズル機構を得る。
【解決手段】 小さいばね定数ｋ１と自由長Ｌ１の圧縮コイルばね１０と、大きなばね定数ｋ２とＬ１より短い自由長Ｌ２を有する圧縮コイルばね１２の２種の圧縮コイルばねを、圧縮コイルばね１０を圧縮状態に収納すると共に、圧縮コイルばね１２を遊びを有するように収納時の長さＬｓがＬ２＜Ｌｓ＜Ｌ１となるように組み込む。押付け量が０から遊びがなくなるＬｓ−Ｌ２までの間は、小さいばね定数ｋ１の圧縮コイルばね１０のみの付勢力による押付け力をノズル１で電子部品に加えることができ、遊びがなくなってからのＬｓ−Ｌ２より大きい押付け量では、小さいばね定数ｋ１の圧縮コイルばね１０と大きいばね定数ｋ２の圧縮コイルばね１２との相加された付勢力によるより大きな押付け力をノズル１で電子部品に加えることができる。 （もっと読む）

【課題】 フィンガ等の保持部を小型化できると共に、平板状搬送物への接触をより少なく抑えながら自重による平板状搬送物の撓みをより小さく抑えてより的確な搬送を可能にする。
【解決手段】 平板状搬送物１７は、パッド１８及び吸着部１９からなる保持部により保持される。パッド１８は、平板状搬送物１７の下面に当接してこれを支持する。吸着部１９は、パッド１８の間に配置されると共に、吸着状態にあるとき、パッド１８より高さを低く設定され、平板状搬送物１７の下面を真空吸着する。これにより平板状搬送物１７は強制的に湾曲され、湾曲の山又は／及び谷に沿う方向における撓み量が減少する。 （もっと読む）

【課題】 半導体素子等の硬く脆い被搬送物を非接触状態で搬送するとき被搬送物の破損を防止する。
【解決手段】 椀状体１２の開口部１２ａ中央に邪魔板部材１５を設け、開口部１２ａを被搬送物２０に対面させて邪魔板部材１５の背部から気体ａを椀状体１２内に供給し、該気体が被搬送物２０の表面に沿って流れることで邪魔板部材１５と被搬送物２０との間の空間Ｘに発生する相対負圧を利用して被搬送物２０を椀状体１２に非接触で保持させる非接触型搬送装置において、邪魔板部材１５を椀状体１２内部に設けると共に開口部１２ａを被搬送物２０より大面積とし、椀状体１２の周壁部に前記表面に沿う気体流を排出する排気孔１２ｂを設ける。 （もっと読む）

【課題】 チップの小型化に伴う吸着穴の小径化に対応することができるチップ吸着部構造を提供する。
【解決手段】 発光素子１２下部に接続部１３を介してファイバセンサ１４を設ける。ファイバセンサ１４は、発光素子１２からの光２３をヘッド２１で集光して光ファイバ２２の先端に導く。ヘッド２１より延出した光ファイバ２２をボールスプライン３４の軸部３５に挿通し、コレットホルダ４１に取り付けられたコレット５１に接続する。これにより、コレットホルダ４１に供給された負圧をコレット５１の吸着穴に供給してチップを吸着できるように構成するとともに、光ファイバ２２によって導かれた光を吸着穴を介して外部に投光できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】表面に長穴形状の凹部を有する電子部品がトレイやエンボステープなどで回転したとしても、電子部品にダメージを与えることなく吸着用のノズルを挿入して電子部品をピックアップできるようにする。
【解決手段】電子部品の表面に形成された長穴形状の凹部に挿入して該電子部品を吸着するノズル１１であって、該ノズル１１の先端部を大略長方形断面に形成するとともに、先端部の長辺側の両側面１２を中央部から両端方向へ厚みが漸減するような曲面に形成する。 （もっと読む）

【課題】基板との接触面積を増加させることなく、しかも吸着保持時の基板変形を抑制することができる吸着チャックを提供する。
【解決手段】吸着チャック１０の載置面３１上には基板の下面に当接する支持部３２が凸設されている。載置面３１上の支持部３２以外の領域は、支持部３２によって大気開放領域３３と減圧領域３４とに仕切られている。大気開放領域３３は支持部３２によって囲まれた４つの扇形領域であり、それぞれの大気開放領域３３にはチャック周辺雰囲気と連通する連通穴３５が穿設されている。減圧領域３４は、載置面３１の周縁部に沿って環状に周設した環状領域３４ａおよび載置面３１の中心部から環状領域３４ａに向けて連続して伸びる連通領域３４ｂを有しており、その中心部には真空吸引を行う吸引口３６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】対象物に対する高い真空吸着力を有し、また内部に引き回したケーブル類を安定して保持することが可能であり、更に比剛性が高く位置決め精度や時間を改善し、慣性モーメントの小さいロボットハンドを提供する。
【解決手段】繊維強化樹脂材料を母材１０とするロボットハンドであって、その基端部から先端部にかけて、母材よりも気密性の高い材料よりなる配管２０が母材と一体に埋め込み成形され、かつ先端部に、母材の外表面から配管に至る１個または複数個の通孔３１が穿設されていることを特徴とするロボットハンド。 （もっと読む）

【課題】 本体から被懸垂体の停止位置までの間隔を、装置規模を増大させることなく広くすることが可能な磁気懸垂支持装置を提供する。
【解決手段】 磁気懸垂支持装置１の本体３を構成する電磁石２１は、鉄心１３の一部に永久磁石１３ｃを含んでおり、電磁石２１を非駆動とした時に、吊下部５を吸引する磁界が本体３側からも形成される。これと共に、磁気センサ１４は、検出方向に沿った磁界の大きさを検出するホール素子１４ａ，１４ｂからなり、このホール素子１４ａ，１４ｂを、電磁石２１の非駆動時に可制御領域内で吊下部５を移動させたときに、吊下部５が本体３に接近するほど、本体３の鉄心１３を構成する磁気片１３ａから放射されホール素子１４ａ，１４ｂを貫通する磁束の向きが検出方向に近づくよう変化するような位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】 平置きもしくは平積みされたワークを確実に取り出し搬送することができる鋼材ハンドリング装置のマグネットハンド装置を提供する。
【解決手段】 一対の電磁石５ａ、５ｂと、各電磁石の吸着面５ｃ、５ｄが互いに相対する内向きの状態から下向きの状態まで回動するように各電磁石５ａ、５ｂを支持する開閉リンク機構６ａ、６ｂと、この開閉リンク機構６ａ、６ｂを駆動するシリンダ装置７とを本体フレーム１に設ける。 （もっと読む）

【課題】 種々の剛性を備えるワークに対してその変形を抑制しつつ吸着可能な吸着装置を提供する。
【解決手段】 負圧によってワークＷを吸着する吸着パッド２を備える吸着装置１であり、前記吸着パッド２で囲まれる負圧室４に、吸着される薄板のワークＷに当接し、ワークＷの負圧室４側への変形に追従して弾性変形されるワーク変形防止手段５としての弾性部材２０を配置した。 （もっと読む）

【課題】 被吸着物を吸着搬送する吸着パッドの寿命、交換時期を予知する。
【解決手段】
中心部に吸引口３、スカート部９、該スカート部の外周部にパッドリップ２、並びに、内面に複数の吸引溝５及び複数の吸着リブ８を有する概ね柱・錐形状の吸着パッドにおいて、複数個の該吸着リブのうち少なくとも一個以上の吸着低リブ４が他の吸着高リブ６より０．０５ｍｍ以上の背を低くする。 （もっと読む）

【課題】 ハンドに保持されたガラス基板の位置精度を高め、ガラス基板がマガジン等に接触して損傷するのを確実に防止する。
【解決手段】 マガジン１１に対して進退移動可能な搬送用ロボット１０のハンド２１に、ガラス基板１２を吸着保持する複数の吸着保持手段を設け、また搬送用ロボット１０の旋回台２０にガラス基板を収納方向と直交する方向に芯出し位置決めする芯出し位置決め手段５１を設け、該芯出し位置決め手段によってガラス基板を芯出し位置決めした状態で旋回台を旋回するようにした。 （もっと読む）

【課題】 被加工物（ウェハ）を非接触状態で吸着保持する際に，ウェハの横ずれを防いで，ウェハの着脱時にウェハを損傷させてしまうことがなく，かつ，構造が簡単でコストの低い，被加工物搬送装置を提供する。
【解決手段】 被加工物を保持する保持手段３０を備えた被加工物搬送装置２０であって，保持手段３０は，本体部３１と，本体部３１に装着され，被加工物を非接触状態で吸着して保持する複数の吸着パッド３２と，本体部３１の外周部に設けられ，吸着された被加工物の外周部と当接して，吸着された被加工物の水平方向への移動を制限する複数のピン４１と，被加工物を着脱するときに，各ピンを被加工物の水平方向への移動を制限する位置から退避させる複数の退避手段４０と，を備えることを特徴としている。 （もっと読む）