【課題】本発明は、基板の高速移送時に生じる風によって、基板表面に塗布された塗膜に発生する塗膜の変形、波打ち等の塗膜欠陥や、さらには塗膜表面への異物付着を低減する手段を備えた基板移載装置を提供することを課題とするものである。
【解決手段】基板を積載保持するハンド部を有する基板移載装置であって、ハンド部に積載した基板を上から覆う風拡散板を有し、該風拡散板は一端部がハンド部の付け根部分に固定されていることを特徴とする基板移載装置。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハなどの被保持体の絶縁破壊を抑制し、かつパーティクルの付着を特に抑制できる保持用治具および吸着装置を提供すること。
【解決手段】 半導電性を有するセラミックスからなる支持体１６に吸気路２を形成した保持用治具２０であって、吸気路２の表面４は支持体１６における他の表面６より表面抵抗値が小さい領域を有している保持用治具２０とする。また、この保持用治具２０を備え、この保持用治具２０の吸気路２の吸気により、支持体１６の外表面６に対して表面抵抗値が小さい被保持体を吸着可能とした吸着装置とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの強度の低下を抑えることができ、ワークを健全な状態なまま搬送先に搬送することができる吸着式の搬送装置を提供する。
【解決手段】負圧吸着作用でウェーハ１を吸着する多孔質材からなる吸着パッド１１０をフッ素樹脂製とする。 （もっと読む）

【課題】異物の周囲への拡散を抑えて被搬送物である配線基板への異物の付着を防止することにより、配線基板の歩留まりを向上することができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部２０を備える。吸引部２０は、吸引面２１に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口するエア吹出穴８１が設けられる。非接触搬送装置は、エア吹出穴８１から凹部７３の内周面に沿って噴出したエアにより発生する負圧によって、配線基板１１０の基板主面１２０を吸引面２１に吸引保持して搬送する。また、吸引部２０には、基板主面１２０上の異物を回収する集塵穴４２が、吸引面２１における凹部７３の外側領域にて開口するように配設される。 （もっと読む）

【課題】電子部品を位置決めされた状態で吸引保持することができる吸引保持ハンドおよびこれを備えた検査装置を提供すること。
【解決手段】旋回流発生室１１１に発生させた気体の旋回流の中心部に生じた負圧と、旋回流発生室１１１の端から側方に流出する気体とにより、ＩＣデバイス１を非接触で吸引保持するベルヌーイチャック５２と、ベルヌーイチャック５２に併設され、ベルヌーイチャック５２により吸引されるＩＣデバイス１を平面内の所定の吸引保持位置に向かってガイドするガイド斜面１３４を形成した部品ガイド６２と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 軽量で、強度が大きく、破損や発塵が少なく、且つ電導性を有する吸引体を提供する。
【解決手段】 吸着パッドＸはポーラスカーボン板１を主体に構成され、ポーラスカーボン板１は基台７上に装着されている。ポーラスカーボン板１の表面は対象物を吸着する吸着面２になっており、裏面は吸引面３になっている。空隙５に連通して、吸引口６が形成され、この吸引口６にポンプを接続して、吸引を行う。ポーラスカーボン板１の側端面２０と表面及び裏面の縁部には封孔処理部４が形成され、不通気になっている。封孔処理部４は、熱硬化性樹脂をハケ等で塗布、または布等に染み込ませて塗布し、硬化処理をさせ、コーティングすることにより形成する。また、硬化処理後、700℃以上で炭化処理を行っても良い。 （もっと読む）

【課題】ロボットを備えた物品整列システムにおいて、表裏の区別を有する複数の物品を姿勢及び表裏を揃えて整列させるためのシステム構成を、簡素化する。
【解決手段】第１ロボット３０は、第１及び第２表面Ｓ１、Ｓ２のいずれか一方を上向きにした不規則配置で供給された物品Ｗを、物品供給部１２から取り上げて、物品仮置部１４の第１及び第２仮置領域２０、２４の仮置箇所１８、２２に、第１表面Ｓ１を上向きにした第１姿勢の物品Ｗと、第２表面Ｓ２を上向きにした第２姿勢（第１姿勢の鏡像）の物品Ｗとの、二列に振り分けて配置する。第２ロボット３２は、第１姿勢の物品Ｗと第２姿勢の物品Ｗとを物品仮置部１４から取り上げて、互いに反対の第１及び第２方向α、βへ回転させることで、それら物品Ｗを、互いに同一姿勢でそれぞれの第１表面Ｓ１及び第２表面Ｓ２を互いに同一方向に向けた状態（すなわち規則的配置）に整列させる。 （もっと読む）

【課題】第１位置において、複数のワークの位置と姿勢がランダムである場合でも、複数のワークを同時または集中して搬送することができ、第２位置において、ワークの向きを整列させることができ、ワークに吸着しにくい箇所があっても、効率よくワークを移載することができるデパレタイズ装置および方法を提供する。
【解決手段】１又は２以上の第１位置２にランダムに位置する複数の同一ワーク１を１又は２以上の第２位置４に移載するデパレタイズ装置１０。第１位置において複数のワークを上方から撮像する撮像装置１２と、撮像した画像から各ワークの上面位置と向きを検出する画像処理装置１４と、ワークの上面を吊り上げ可能に吸着するロボットハンド２０を有する搬送ロボット１６と、搬送ロボットを制御する制御装置１８とを備える。ロボットハンド２０は、その下面に複数のワークを同時に吸着可能でありかつそれぞれ独立に吸着力を制御可能な複数の吸着部２１を有する。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を着脱自在に確実にかつ安定して吸着して保持する保持装置を提供する
こと。
【解決手段】基部に配置されて第１通路１１１Ａを有する継手部１１１と、第２通路１１
３Ａを有し第１通路１１１Ａと第２通路１１３Ａを通じて吸引することで被搬送物Ｄを保
持するノズル先端部１１３と、ノズル先端部１１３と継手部１１１を接続する伸縮自在な
胴体部１１４であり、第２通路１１３Ａと第１通路１１１Ａとを連絡する胴体部１１４と
、ノズル先端部１１３と継手部１１１の間に配置されてノズル先端部１１３を継手部１１
１から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、基部に対して固定されている受け
部１１６でありノズル先端部１１３が被搬送物Ｄを吸着する時にノズル先端部１１３を付
勢部材１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向に移動する際にノズル先端部１１
３を案内する案内孔を有する受け部１１６を備える。 （もっと読む）

【課題】小型で騒音の小さい吸着装置を提供する。
【解決手段】モータ２００と、モータ２００に入力端が連結されたクランク機構３００と、シリンダ４００と、吸気室５０５に通じる吸気路５０４が形成されており、吸気路５０４の端部に、吸気室５０５内の負圧が作用すると開放され、正圧が作用すると閉鎖される吸気用チェック弁５０２を有するシリンダヘッド５００と、クランク機構３００の出力端に連結されてシリンダ４００内を上下動するピストン６０３によってシリンダヘッド５００の吸気室５０５内の圧力を変化させる構成とされており、ピストン６０３に形成された排気路６１３の端部に、吸気室５０５内の負圧が作用すると閉鎖され、正圧が作用すると開放される排気用チェック弁６０２を有するダイヤフラムポンプ６００と、シリンダヘッド５００に設けられたバキュームパット７００と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でもってチャックのフローティングを可能としコンパクト化を図ることができるフローティングチャック装置及びフローティングチャックユニットを提供する。
【解決手段】 上下方向に延びる軸部２１を有し、その先端の吸着部にワークを吸着させて該ワークＷを保持するチャック２０が、該チャック２０を移動させる移動基板３に対してフローティング可能に支持されるフローティングチャック装置１０又はこれが複数並設されたフローティングチャックユニット１において、チャック２０にフランジ部２２を設け、軸部２１を挿通させるチャック挿通孔１１ｃを有しフランジ部２２を支持する第一ガイドブロック１１と、該第一ガイドブロック１１と対をなしフランジ部２２を上方から挟み込む第二ガイドブロック１２とを設け、第一ガイドブロック１１とフランジ２２との間、及びチャック挿通孔１１ｃと軸部２１との間にクリアランスｎ１、ｎ２を形成する （もっと読む）

【課題】自動分析装置のような高速処理が求められる装置に使用される吸着ヘッドを駆動方法において、吸着の成功率を高めることを目的とする。
【解決手段】負圧により反応容器３１を吸着する容器ピックアップ装置２１の駆動方法であって、反応容器３１に対する吸引力を発生し得ると推定される吸引推定領域に設定された予備位置に容器ピックアップ装置２１を配置した状態で、容器ピックアップ装置２１に負圧を加える第１のステップと、該第１のステップにおいて容器ピックアップ装置２１により反応容器３１を吸着できなかった場合には、容器ピックアップ装置２１に負圧を加えた状態で、前記吸引推定領域において容器ピックアップ装置２１を移動させる第２のステップと、を有することを特徴とする容器ピックアップ装置２１の駆動方法。 （もっと読む）

【課題】サイズの異なるワークであっても安定して確実に吸着することができ、効率の良い作業を行うこと。
【解決手段】ワークの表面Ｗ１を吸着して該ワークＷをピックアップするハンドであって、ワークの表面に対向する吸着面２ａに吸着孔４ａが形成されたメインノズル２と、該メインノズルの周囲を囲んだ状態で該メインノズルに対して相対的に移動可能とされ、ワークの表面に対向する先端面３ｂにメイン通気孔５が形成されたエンドノズル３と、を備え、メイン通気孔が流体を外部に吐出又は外部から吸引を行う通気孔として機能する吸着ハンド１を提供する。 （もっと読む）

【課題】柔軟シート状部材を真空吸着して所定位置に保持する場合には、真空吸着により上記柔軟シート状部材に吸着痕が生じ、吸着力が高すぎると柔軟シート状部材に部分的な凹みや損傷をもたらせていた。本発明は、上記柔軟シート状部材を真空吸着する場合に、柔軟シート状部材に吸着痕や損傷をもたらすことを防止することを目的とする。
【解決手段】真空吸着装置１の基台２は、柔軟シート状部材であるフレキシブル回路基板２０を載置する載置面４と、載置面４に露出して形成されフレキシブル回路基板２０を載置面４に真空吸引する吸引孔６と、吸引孔６に連通する連通路７と、連通路７内の気体を吸引するように外部の真空ポンプに接続する真空ポンプ接続口８とを備え、外部気体を取り入れるとともに連通路７に連通する外部気体取入口１１を有する。 （もっと読む）

【課題】 電子部品の小型化に対応した搭載精度の高い吸着ノズルを提供する。
【解決手段】 板状のワークを吸引保持するための平面の吸着面３４と当該吸着面に形成された吸引エアーを流通させる吸引穴３５を有する吸着ノズルであって、前記吸引穴３５は、前記吸着面に対して複数の吸引穴３５１，３５２が一列状に配置されるとともに、前記吸引穴３５１，３５２の吸引力がほぼ同一で、前記両端部の吸引穴３５１，３５２の中央部に有底の溝３５３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】非接触の状態で半導体ウエハ等の板状部材を確実に保持することができ、しかも廉価に製造することのできる簡易型の保持装置及び保持方法を提供すること。
【解決手段】保護シートＳに支持された多数のチップＷに相対する保持体１３と、この保持体１３に気体を供給する気体供給手段１４とを備える。保持体１３は、複数の噴出孔２５を備えているとともに、当該噴出孔２５から噴出する気体を上方に排気する筒部２３を備えている。噴出孔２５から噴出する加熱された気体は、保護シートＳに反り等があってもこれを矯正するように作用し、ベルヌーイ効果によって前記チップＷを非接触の状態で保持することができる。 （もっと読む）

【課題】 搬送ロボットハンドにより、ガラス板をパレットへ積みつける際に、ガラス板のズレ現象を防止するため、合紙をガラス板間に挟むようにするが、その合紙もガラス板と同時にパレットへ搬送できるロボットハンドにする。しかし、その搬送の際に風圧による合紙のめくれと、パレット積載時の合紙の垂れ下がりとによるトラブルを防止し、効率的なガラス搬送ロボットハンドを提供する。
【解決手段】 二つの課題を解決するため、ガラス搬送ロボットハンド１０に吸着されたガラス板１面前に対向して合紙２を配置させると共にそれら面間にブローによるブローダウンする風を送り吸着させ、その風向をガラス面と合紙の４角の対向面方向に特に向け、搬送中のめくれ、と、積付け時の垂れ下がりを発生させないことを特徴とするガラス搬送ロボットハンド。 （もっと読む）

【課題】 ホルダとスライダ間の生じる真空リークを防止し、スライダの円滑なスライド動作を確実に行なうことができるワークの吸着装置を提供する。
【解決手段】 基端外周部にフランジ１１ｇを突設させたスライダ本体１１ｂに、段部１１ｃを介して小径部１１ｄを一体的に形成し、かつ真空吸引用の通路１１ａを上下に開口させたスライダ１１を形成し、スライダ本体１１ｂの外周部に、弾性を有する中空円筒状のシース１３を、隙間を存して嵌め込み、スライダ本体１１ｂの小径部１１ｄをホルダ１２に挿通させ、前記小径部１１ｄの先端部をホルダ１２の先端部から突出させた状態で、スライダ１１をホルダ１２に対してスライド可能に保持し、前記シース１３の先端面を、ホルダ１２の基端開口面に、基端面をスライダ１１のフランジ１１ｆ上面にそれぞれ密着係合さてワークの吸着装置とする。 （もっと読む）

【課題】ワークを変形させることなくワークをクランプすることのできるワーククランプ装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを保持する吸着パッド１と、吸着パッド１を先端に有し、ワークＷを保持した状態で該ワークＷを移動させるピストン２と、このピストン２をスライド自在に保持する筐体３と、ワークＷを保持する前は前記ピストン２が前記筐体３から所定量突出しており、前記ピストン２がワークＷに当接して該ワークＷを保持した後は前記ピストン２を前記筐体３内方向へと前記ワークＷと共に引き込む引込み手段４と、からなるワーククランプ手段を備える。引込み手段は、吸着パッド１とピストン２とに亘って貫通するエアー吸入孔１３と、吸着パッド１がワークＷを吸着したときに前記筐体内を負圧状態として前記ピストン２を当該筐体内方向へと引き込む真空発生器１４とからなる。 （もっと読む）

【課題】 静電気が被吸着物に悪影響を及ぼすことを防止できるようにする。また先端を重くして操作性を低下させたり、ピンセットの形成材料に制約を受けることなく、簡単、迅速、且つ低コストで被吸着物に帯電する静電気を除去できるようにする。
【解決手段】 被吸着物１を吸引して先端部２に吸着保持する真空ピンセットであって、ピンセット本体５の少なくとも把持する部分５ａを熱収縮チューブ６により被覆する。この熱収縮チューブ６を導電質に形成する。
（もっと読む）