【課題】結晶質でクラックを有さず、高い硬さと優れた耐摩耗性とを兼ね備えた硬質皮膜層及びその形成方法を提供する。
【解決手段】基材２を被覆する結晶質の硬質皮膜層３は、ＰＶＤ法により形成され，ＳｉとＣとを必須成分とし、元素Ｍ［３Ａ族元素，４Ａ族元素，５Ａ族元素，６Ａ族元素，Ｂ，Ａｌ及びＲｕの中から選ばれた１種以上の元素］とＮとを選択成分とし、Ｓｉ_ｘＣ_{１−ｘ−ｙ−ｚ}Ｎ_ｙＭ_ｚ（０．４≦ｘ≦０．６、０≦ｙ≦０．１、０≦ｚ≦０．２）の組成を有する。 （もっと読む）

金属壁２６を有する真空チャンバに、スパッタターゲットを備えたマグネトロンが複数配されており、少なくともそのうちの一つは、ＨＰＰＭＳマグネトロンで、スイッチング素子５を介して容量素子６をＨＰＰＭＳマグネトロンのスパッタターゲットに接続することで、電気パルスが供給される。効率的な基板の前処理及びコーテイングを達成するために、スイッチング素子がチャンバ壁に配されている。電極対がもけられており、その第１電極はＨＰＰＭＳマグネトロンとなり、第１及び第２電極を適切に配することで、基板テーブル４に保持された物体１１は、電極対の両能動面の間に位置するか、あるいは両能動面の間の空間を通って移動する。エッチング工程で、負のバイアス電圧が物体に印加され、物体は金属イオン照射によってエッチングされ、その後バイアス電圧を連続的に下げることによって、スパッタターゲットからスパッタされた物質は物体に積もり層になる。
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本発明は、ＰＶＤ（物理的蒸着）によって、特に陰極アーク蒸着によって酸化物層を製造するための方法であって、粉末冶金ターゲットが蒸着され、その粉末冶金ターゲットは少なくとも２つの金属または半金属構成要素でできており、そのターゲットの金属または半金属構成要素の組成が、液相への転移における室温からの加熱の際に、少なくとも２つの金属または半金属成分の溶融混合物の状態図に関して純粋な固相のどの相境界もが横切られないように選択される方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、ＤＣスパッタリング法によって、超硬材料、サーメット、鋼、またはセラミックで構成される基材を少なくとも１つのＴｉ_１−ｘＡｌ_ｘＮ層で被覆する方法に関する。本発明はさらに、上記方法によって被覆された工作物または工具、ならびにその使用に関する。本発明の目的の１つは、スパッタリング法およびアーク法の利点を併せ持つ被膜の形成が可能となる方法、すなわち小さい粗さおよび好ましい（２００）組織を有する被膜を得ることが可能となる方法を提供することである。本発明のさらに別の目的は、上記性質を有する被膜を有する工作物を提供することである。本発明のさらに別の目的は、金属の機械加工に特に適した工具を使用することである。本発明の方法によって実現される目的は、プラズマ密度を増加させるためにイオン化促進が使用されることを特徴とする。
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【課題】耐熱合金の高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた潤滑性、耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層として、（Ａｌ_１−ＸＴｉ_Ｘ）Ｎあるいは（Ａｌ_{１−Ｘ−Ｚ}Ｔｉ_ＸＭ_Ｚ）層（但し、０．３≦Ｘ≦０．５、０．００１≦Ｚ≦０．１、かつ、Ｍは、Ｚｒ、Ｙ、Ｖ、Ｗ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｃｒ、ＳｉまたはＢから選ばれる１種または２種以上の元素）を形成し、上部層として、（Ｃｒ_１−ａＢ_ａ）Ｎ_ｂ相（但し、０．４≦ａ≦０．７、０．１５≦ｂ≦０．５５）素地に、下部層との界面から上部層最表面へ向かうにしたがって、ＢＮ相の分散分布面積割合が次第に増加するＢＮ分散ＣｒＢＮ層を形成する。 （もっと読む）

【課題】高速、無潤滑切削に用いられる切削工具に適した、耐酸化性、耐熱性に優れたZr-Al-Si-N系の皮膜をPVD処理により基板上に形成するために、製作工程における金属間化合物形成による脆化やジルコニウム粉末の酸化による発火や爆発の危険性を防止して容易にかつ低コストで製造したPVD処理用のZr-Al-Si系ターゲット材を提供する。
【解決手段】必要数のプラグ嵌合用の孔を加工したジルコニウム板材に、Al-Si合金で製作したプラグを嵌合し、ＰＶＤ処理用のZr-Al-Si系ターゲット材を製作する。 （もっと読む）

【課題】潤滑性かつ加工精度に優れたダイヤモンド被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体表面に、膜厚１〜１５μｍのダイヤモンド皮膜層と膜厚３〜５μｍの潤滑皮膜層が形成されたダイヤモンド被覆切削工具において、潤滑皮膜層は、六方晶窒化ホウ素、二硫化モリブデンまたは窒化クロムからなるマトリックス相中に、１５〜５０面積％のダイヤモンド粒子が表面に露出して存在する。 （もっと読む）

【課題】 耐摩耗性および潤滑性が高くかつ耐欠損性に優れた表面被覆工具を提供することにある。
【解決手段】 基体２の表面に、Ｍ_１−ａＡｌ_ａ（Ｃ_ｂＮ_１−ｂ）（ただし、Ｍは周期表第４、５、６族元素、Ｓｉ、Ｙ、Ｃｅのうちの一種以上の金属元素、０．２５≦ａ≦０．７５、０≦ｂ≦１）で表わされる被覆層６が形成され、被覆層６は層厚が１．０〜７．０μｍでビッカース硬度が２０〜６０ＧＰａであり、平均結晶幅が０．０２〜０．２μｍの結晶にて構成されているとともに、被覆層６の表面に厚みが０．０５〜０．５μｍでビッカース硬度が被覆層６の内部のビッカース硬度よりも小さいとともに、平均結晶幅が被覆層６の内部の平均結晶幅より大きい結晶にて構成された表面領域７が存在する表面被覆工具１である。 （もっと読む）

【課題】密着性の良い被膜を堆積させる方法を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、
アーク蒸発による前記被膜の堆積工程、および
デュアルマグネトロンスパッタリングによる前記被膜の堆積工程
を含んでなり、前記堆積が順次または同時に実施される。 （もっと読む）

【課題】 被覆層を有する切削工具において、耐摩耗性に優れるとともに境界損傷等の異常摩耗を抑制した切削工具を提供する。
【解決手段】 ノーズＲを有する工具形状の基体の表面に、膜厚３〜１２μｍの被覆層を被着形成するとともに、前記ノーズＲにホーニングを設けて、前記ノーズＲの頂部でのすくい面側から見たホーニング幅をＲｒｃ、該ノーズＲの頂部での逃げ面側から見たホーニング幅をＲｆｃとしたとき、０．０１ｍｍ≦Ｒｒｃ≦０．０４５ｍｍ、０．００５ｍｍ≦Ｒｆｃ≦０．０４５ｍｍであり、かつ前記ノーズＲの頂部から３ｍｍ離れた位置でのすくい面側および逃げ面側から見たホーニング幅をそれぞれＲｒｐ、Ｒｆｐとしたとき、Ｒｒｐ／Ｒｆｐ比が、前記ノーズＲの頂部におけるＲｒｃ／Ｒｆｃ比よりも大きい構成とした切削工具である。 （もっと読む）

【課題】従来のアルミ酸化物ベースの酸化物皮膜よりも耐摩耗性に優れる酸化皮膜、酸化物皮膜被覆材および酸化物皮膜の形成方法を提供する。
【解決手段】[1] （Ｚｒ_1-a-b-c Ａｌ_a Ｍｇ_b Ｙ_c ）（Ｏ_1-x Ｎ_x ）からなる酸化物皮膜であって下記式(1) 〜(5) を満たすことを特徴とする酸化物皮膜。
０≦ａ≦０．７ --------- 式(1) ０≦ｂ≦０．１５ ------- 式(2)
０≦ｃ≦０．１５ ------- 式(3) ０＜ｂ＋ｃ --------- 式(4)
０≦ｘ≦０．５ --------- 式(5)
〔但し、上記において、ａはＡｌの原子比、ｂはＭｇの原子比、ｃはＹの原子比、１−ａ−ｂはＺｒの原子比を示し、ｘはＮの原子比、１−ｘはＯの原子比を示すものである。〕[2] 前記酸化物皮膜においてｘが０であるもの等。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性に優れる第１層と、耐熱性に優れる第２層との密着強度を改善して、第２層に緻密なアルミニウム系酸窒化皮膜を形成し、切削工具の寿命を改善した被覆切削工具を提供することである。
【解決手段】硬質皮膜を被覆した被覆切削工具において、該硬質皮膜は少なくとも２層の異なる組成を有した積層構造を有し、該硬質皮膜は基材から表層方向へ向かって第１層、第２層が積層され、該第１層は、少なくともＳｉを含有する窒化物、酸窒化物から選択される１種以上の化合物層であり、該第２層は、少なくともＡｌを含有する酸化物、酸窒化物から選択される１種以上の化合物層であること、を特徴とする被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、高温での被膜の安定性に特に優れた表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と該基材上に形成された被膜とを備えるものであって、該被膜は、１以上の層を含み、該層のうち少なくとも１の層は、希ガス元素を含む希ガス元素含有層であり、該希ガス元素含有層は、該層の厚み方向において希ガス元素の濃度分布を有しており、被膜表面側領域における金属元素成分の総数に対する希ガス元素濃度Ａと基材側領域における金属元素成分の総数に対する希ガス元素濃度Ｂの比Ｂ／Ａが０以上０．１以下であることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折による最強回折強度を制御して、皮膜の密着特性を犠牲にすることなく、硼化物皮膜の高硬度化への性能改善をすることである。
【解決手段】基体表面にＡｌ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｚｒから選択される１種以上の金属元素からなる硼化物皮膜を被覆した被覆工具において、該硼化物皮膜は六方晶の結晶構造を有し、Ｘ線回折において最強回折強度を（００１）面に有し、残留圧縮応力が０．１ＧＰａ以上であること、を特徴とする被覆工具である。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られる高寿命の硬質被膜を提供する。
【解決手段】ドリル１０のボディ１６に設けられた硬質被膜２６は、工具基材２２の表面にＤＬＣ層２６が設けられるとともに、窒素含有量が３〜４０at％のＣＮ層２８が外表面を構成するように最上層に設けられ、且つ、それ等の中間的な組成のＤＬＣ／ＣＮ傾斜層２７がそのＤＬＣ層２６とＣＮ層２８との間に設けられており、全体の膜厚Ｄが０．０１〜２μｍの範囲内とされているため、ＣＮ層２８により優れた耐熱性、耐摩耗性、耐溶着性が得られる一方、ＤＬＣ層２６により高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。しかも、ＤＬＣ／ＣＮ傾斜層２７が介在させられているため、ＣＮ層２８が高い付着強度でＤＬＣ層２６に付着され、硬質被膜２４全体の付着強度が高くなって耐剥離性が一層向上する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られる高寿命の硬質被膜を提供する。
【解決手段】ドリル１０のボディ１６に設けられた硬質被膜２６は、工具基材２２の表面にＤＬＣ層２６が設けられるとともに、窒素含有量が３〜４０at％のＣＮ層２８がそのＤＬＣ層２６の上に直接設けられた２層構造を成しており、そのＣＮ層２８によって外表面が構成されており、且つ、全体の膜厚Ｄが０．０１〜２μｍの範囲内とされているため、ＣＮ層２８により優れた耐熱性、耐摩耗性、耐溶着性が得られる一方、工具基材２２の表面にはＤＬＣ層２６が設けられているため、高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られる高寿命の硬質被膜を提供する。
【解決手段】ドリル１０のボディ１６に設けられた硬質被膜２６は、工具基材２２の表面に設けられたＤＬＣ層２６と、そのＤＬＣ層２６の上に設けられた窒素含有量が３〜４０at％のＣＮ（窒化炭素）層２８とから成り、それ等のＤＬＣ層２６とＣＮ層２８とが交互に４層以上の偶数層積層され、そのＣＮ層２８によって外表面が構成されているとともに、全体の膜厚Ｄが０．０１〜２μｍの範囲内とされているため、最上層のＣＮ層２８により優れた耐熱性、耐摩耗性、耐溶着性が得られる一方、工具基材２２の表面にはＤＬＣ層２６が設けられているため、高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、高温での安定性に優れるとともに、刃先のチッピングを抑制することにより工具寿命を長期化させた表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と該基材の表面上に形成された被覆層とを含むものであって、該被覆層は、Ａ層とＢ層とが交互にそれぞれ１層以上積層された交互層を含み、該Ａ層は、ＡｌとＣｒとを含む窒化物からなり、該Ａ層を構成する金属原子の総数を１としたときのＣｒの原子数の比が０よりも大きく０．４以下であり、該Ｂ層は、ＴｉとＳｉとを含む窒化物からなり、該Ｂ層を構成する金属原子の総数を１としたときのＳｉの原子数の比が０．０５以上０．３以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、基材と被覆層との密着性および被覆層中の各層間の密着性に優れることにより長寿命が達成可能な表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】表面被覆切削工具において、基材上に形成される被覆膜は、１層以上のＡ層と１層以上のＢ層と２層以上のＣ層とを含み、基材と接する最下層はＣ層であり、かつＡ層とＢ層とはＣ層を挟んで交互に積層した構造を有し、該Ａ層は、化学式Ａｌ_aＴｉ_bＭ_c（０．４＜ａ＜０．７５、０≦ｂ＜０．６、０＜ｃ＜０．３、ａ＋ｂ＋ｃ＝１、Ｍは少なくとも１種の特定の元素を示す）で表わされる第１複合金属の窒化物、炭窒化物、窒酸化物または炭窒酸化物によって構成され、該Ｂ層は、化学式Ｔｉ_dＳｉ_e（０＜ｅ＜０．３、ｄ＋ｅ＝１）で表わされる第２複合金属の炭窒化物によって構成され、該Ｃ層は、ＴｉＮによって構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 耐摩耗性が高く、かつ高い耐欠損性を有する表面被覆工具を提供する。
【解決手段】 基体２の表面に、Ｔｉ_{１−ａ−ｂ}Ａｌ_ａＭ_ｂ（Ｃ_ｘＮ_１−ｘ）（ただし、ＭはＴｉを除く周期表第４、５、６族元素、希土類元素およびＳｉから選ばれる１種以上であり、０．４≦ａ≦０．６５、０≦ｂ≦０．３、０≦ｘ≦１である。）からなる被覆層３を被覆した表面被覆工具１であって、被覆層３が基体２の表面に対して垂直に伸びる柱状結晶５を主体とした組織からなるとともに、柱状結晶５は、被覆層３全体のＴｉ含有比率をＴｉ_ｔとしたとき、比Ｔｉ_ｒ／Ｔｉ_ｔが１．２〜５となるＴｉ含有比率がＴｉ_ｒの富Ｔｉ柱状結晶５ａが分散している構成からなることによって、耐摩耗性が高く、かつ高い耐欠損性を有する表面被覆工具となる。 （もっと読む）