【課題】平面ディスプレイ用の面取り機及びその面取り加工方法を提供する。
【解決手段】本発明の平面ディスプレイ用の面取り機は、基板ローディングユニットと基板アンローディングユニットとの間に設けられて、基板のコーナー及び辺に対する面取り加工を進行する面取り加工ユニットを含み、面取り加工ユニットは、上面に基板が載置支持される少なくとも一つのステージと、基板の第１辺エッジに対する面取り加工を進行する第１面取り加工用のホイールと、第１面取り加工用のホイールに対して相互離隔配されて基板の第１面両側コーナーに対する面取り加工を進行する第２面取り加工用のホイールとを備えたグラインダーと、を含むことを特徴とする。本発明によれば、面取り加工作業時にかかるタクトタイムを従来よりさらに減少させることができて生産性を向上させうる。 （もっと読む）

【課題】トレンチ内をエピタキシャル層で埋め込んだ後、平坦化する際にＳｉＣ基板の表面に対して並行に平坦化が行うことができるようにする。
【解決手段】ＳｉＣ基板１０の裏面を基準面としつつ該ＳｉＣ基板１０の裏面を可変な状態で加圧することにより研磨部材３に押し当てると、突起状生成物１３を研磨にて除去することができる。このため、突起状生成物１３を除去した後のエピタキシャル層１２の表面を基準面としてＳｉＣ基板１０の裏面を研削することで、ＳｉＣ基板１０の裏面を平坦面にでき、この裏面を基準面とすれば、エピタキシャル層１２をＳｉＣ基板１０の表面に対して並行に平坦化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】大型の玉軸受の玉の軌道及びリニアガイドのレールにおける玉転動溝等を精度良く超仕上げ加工する研削装置を提供する。
【解決手段】研削装置は、２つの横ロッド５，６、２つの縦ロッド１４ａ，１４ｂ、砥石３０保持用ホルダ１５、及び縦ロッド、ホルダを横ロッドに揺動可能に連結する揺動軸３１ａ，…による平行リンク機構７を有し、１の縦ロッドは一端が外部で揺動伝達軸３９に固定され、他の縦ロッドは一端が揺動伝達軸側で揺動可能に従動軸３８に支持され、ホルダは、揺動伝達軸の側に砥石を保持可能で、そのときの砥石の揺動中心軸とホルダを各横ロッドに連結する各揺動軸との位置関係の全てが、揺動伝達軸と１の縦ロッドを各横ロッドに連結する各揺動軸との対応する各位置関係、及び従動軸と他の縦ロッドを各横ロッドに連結する各揺動軸との対応する各位置関係のいずれにも同一となっている。 （もっと読む）

【課題】枠入れ後の眼鏡枠をそのまま本装置にセットする事ができ、前記作業を左右両枠で自動で行い熟練が必要でかつ、時間を要していた作業工程を自動化することで、誰にでも簡単に確実なレンズ保持治具装着装置、その検出装置を備えた眼鏡枠形状測定装置を提供すること。
【解決手段】レンズ保持治具装着装置は、レンズ保持治具がブロックされた眼鏡レンズＭＬを玉型形状レンズに加工した後、加工した玉型形状レンズ（眼鏡レンズＬａ，Ｌｂ）をメガネフレームに装着した状態で測定手段（全体検出光学系１００，隠しマーク検出光学系２００，ＣＬ測定装置３００）により光学的な位置情報を検出し、その検出した位置情報と、治具取付手段（レンズ吸着機構６８）でブロックしたときの位置情報とを比較し、枠入れ後の玉型形状レンズの状態が所望する範囲に入っているのかを検査するための検査手段（演算制御回路１３０）を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な機構により、研磨荷重を効率良く掛けて、微小な研磨物品である微小レンズ、その微小レンズの金型などを研磨する方法および装置を提供する。
【解決手段】ワークをワーク保持手段で保持した状態で、ワークの研磨面の上方に研磨面と接触するようにツールを配置して、ワークを研磨する小型チルト研磨方法であって、ツールを揺動させる一方で、ワークを回転軸心のまわりで回転させつつ、ワークをワーク保持手段と一緒に傾動軸心のまわりで傾斜させることを特徴とする小型チルト研磨方法。 （もっと読む）

【課題】被加工物の研削や研磨加工において、被加工物等の損傷を生じることなく、加工前後の段取り作業や被加工物の着脱を効率よく容易に行う。
【解決手段】被加工レンズ２を保持する受けホルダー３の背面を、弾性体６を介して押えホルダー５に支持させるレンズ保持装置Ｈ１において、受けホルダー３の背面に突設され、軸方向にエアー導入路３ｄが貫通して穿設された突起軸３ｂと、この突起軸３ｂが挿入されるように押えホルダー５に設けられたエアー導入路５ｄと、突起軸３ｂの外周の縮径溝部３ｍと、エアー導入路５ｄの内周の拡径溝部５ｍに隙間Ｇをなすように装着されるＯリング８ａ等の連結部材８を設け、受けホルダー３と押えホルダー５が連結部材８を介して非拘束状態に連結されることで受けホルダー３の脱落を防止するとともに、必要に応じてエアー導入路３ｄを通じて真空吸引することで、被加工レンズ２が受けホルダー３に吸着固定されるようにした。 （もっと読む）

【課題】セラミックス製の軸受軌道輪における軌道面の表面粗さを小さくすることができるとともに、加工コストを安くすることができる軸受軌道面の鏡面仕上げ加工方法を提供する。
【解決手段】軸受軌道輪としての内輪４を軸線Ｌ回りに回転させつつ、当該内輪４の軌道面４ａに、所定の曲率半径を有し且つケイ素を含むセラミックスからなるボール６を、水酸基を有する加工液３中で摺接させることにより、軌道面４ａの表面を鏡面仕上げする。 （もっと読む）

【課題】研削時の研削盤の状態に応じて定寸制御の寸法測定間隔を切替えて制御できるポストプロセス定寸制御装置を提供する。
【解決手段】研削箇所の寸法を寸法測定装置１８により測定し、研削箇所の計算上の寸法と前記寸法測定装置により測定された寸法との差に応じた位置補正量だけ砥石台１９の原点位置の補正を行う原点位置補正手段と、該原点位置補正手段により砥石台１９の原点位置の補正が行われてから次に原点位置の補正が行われるまでの寸法測定間隔の間に研削される工作物の個数を設定する寸法測定間隔設定手段とを有するポストプロセス定寸制御装置にして、寸法測定間隔設定手段は、今回の寸法測定間隔における最後の工作物についての原点位置補正手段による位置補正量を、今回の寸法測定間隔における工作物の個数で除した１個当りの位置補正量に基づいて次回の寸法測定間隔における工作物の個数を設定する。 （もっと読む）

【課題】研削加工滓（かす）と水の良好な分離性能や研削加工粕（かす）の良好な処理作業性を維持すると共に、研削水の交換作業性，泡処理性能，メインテナンス作業性の向上を図ることができるレンズ研削加工装置の研削水処理方法及び装置を提供すること。
【解決手段】研削水タンク（一次槽３）、ろ過装置１３、レンズ研削加工装置本体１の順序で研削水をポンプ（給排水ポンプ２０）により循環させ、研削水タンク（一次槽３）の水位を検知することにより、循環内での研削加工粕の量を検知し、循環内の研削水の水量を制御するようになっている。 （もっと読む）

【課題】複雑な３次元曲面形状を有する加工物に対し、精度良く加工を行なうこと。
【解決手段】３次元ＣＡＤ装置１により生成された加工対象物８の３次元形状データ２を切削加工用ＮＣプログラム演算装置４に入力し、この切削加工用ＮＣプログラム演算装置４において工作機械による切削加工面に残るカッターマークの幅と深さが一定となるように切削加工用ＮＣプログラム３を生成する。前記切削加工用ＮＣプログラム演算装置４から出力された前記切削加工用ＮＣプログラム３を研削用ＮＣプログラム演算装置６に入力する。この研削用ＮＣプログラム演算装置６において、切削加工面のカッターマークに沿った研削軌跡に基づいて研削軌跡データを作成し、この研削軌跡データに基づいて、時間および研削距離のいずれかに対応させて砥石接触角度、研削送り速度、押付け力の少なくともいずれか１つを調整する研削加工用ＮＣプログラムを生成する。 （もっと読む）

【課題】 窒化物半導体結晶から裏面研削、外周研削（チャンファー）、表面研削・研磨してミラーウエハーとする際に、反りが少なく、クラックが発生せず、基板作製プロセス歩留まりが高く、デバイス面内歩留まりが高い加工方法を提案する。
【解決手段】 窒化物半導体ウエハー外周部を０〜４０重量％の酸化物砥粒を含むゴム砥石或いは発泡レジンボンド砥石でチャンファーし、外周部に加工変質層を０．５μｍ〜１０μｍの厚さで残すようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板の位置決め時に要求される滑り性を維持しつつ、ガラス基板を吸着保持した時のガラス基板の瑕発生を抑制することができるガラス基板吸着テーブル及びガラス基板加工方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板加工機のガラス基板吸着テーブルに貼着されるシート材１８として、ＪＩＳ Ｋ６２５３、又はＪＩＳ Ｋ７２１５に準拠する硬度が９０〜９５度であり、厚さが０．７ｍｍ以下であり、動摩擦係数が０．３以下とした。また、好ましいシート材１８は、すくなくともウレタンシート材３２とオレフィンシート材（又はニトフロンシート材）３４からなる複層構造とし、総厚を０．７ｍｍ以下とした。 （もっと読む）

【課題】コバ部分が薄いレンズや小径レンズ等の光学素子においても安定した研磨や研削加工を行うことが可能な保持具を提供する。
【解決手段】レンズ１の保持面２ａを、シート材３を介して保持する受け材４を外筒６で支持する構造の保持具Ｈ１０において、レンズ１のコバ部１ａを支持する外径環５を受け材４に嵌合させ、この外径環５の外側を外筒６にて保持する構造とするとともに、シート材３を介した受け材４とレンズ１の保持面２ａとの間の摩擦力を、滑り部材７を介した受け材４と外筒６との間の摩擦力よりも大きくしてレンズ１の受け材４に対する滑り（空転）を防止し、コバ部分が薄いレンズや小径レンズ等の光学素子においても安定した研磨や研削加工を行う。 （もっと読む）

【課題】導波路を成形する型の凸部の面の高精度な研磨を容易に行うことができる研磨治具を提供する。
【解決手段】凹部３２の各面が別々の部材に具備されるように研磨治具３０を分割可能にすることにより、凹部の各面を高精度に仕上げることができる。研磨治具３０が第１、第２及び第３の治具部材３４、３６及び３８に分割可能であり、第１治具部材３４が凹部３２の側面３２ａ、第２治具部材３６が凹部３２の底面３２ｂ、第３治具部材３８が凹部３２の側面３２ｃをそれぞれ備える。 （もっと読む）

【課題】キズ、カケを発生させず、バッチ処理が可能な半導体結晶ウェハの面取部の鏡面加工方法およびその方法で得られるウェハを提供する。
【解決手段】インゴットをスライスして得られたウェハの外周を砥石で面取加工した後、そのウェハを、複数枚同時にウェハにウエットエッチングを施して面取部の鏡面加工を行うものである。 （もっと読む）

【課題】ガラス板を一貫した流れ作業で供給することができ、連続して研削することができ、而して、生産量を向上させることができるガラス板の研削装置を提供すること。
【解決手段】ガラス板の研削装置１は、ガラス板２をＸ方向に直線搬送する直線搬送手段３と、直線搬送手段３により直線搬送されるガラス板２のＸ方向に伸びた両側縁４ａ及び４ｂを夫々研削する研削ヘッド５及び６を備えた第一の研削装置と、Ｘ方向において第一の研削装置に隣接していると共に、直線搬送手段３により直線搬送されるＸ方向に直交するＹ方向に伸びた前縁７及び後縁８を夫々研削する可動の研削ヘッド９及び１０を備えた第二の研削装置とを具備している。 （もっと読む）

【課題】バリの取り残しや削りすぎを防止し、かつティーチングを容易にするバリ取り工具をアーム先端に備えたロボットを提供する。
【解決手段】フローティング機構が、圧縮空気が供給された低摩擦シリンダ３によって構成され、低摩擦シリンダ３の出力シャフト１５の先端に電動工具２が支持され、通常状態で電動工具２の工具先端４の回転軸がロボットの先端軸２１と同軸になるよう構成した。 （もっと読む）

【課題】 大型光学素子を大型望遠鏡などへ組み込む場合は、加工機のワーク支持治具へ被研削物を載置している場合と支持状態や荷重分布が異なるため、加工機に取り付けられた状態で測定される面形状が、組み込んだ状態の面形状とは異なるため、自重で変形する光学素子の製造装置は存在しなかった。
【構成】 光学素子となる被研削物の研削面に対向する裏面と研削状態において密着する形状のワーク支持面を有するワーク支持治具であって、ワーク支持面に開放部を備え、中心軸が垂直方向に向いている、複数のピエゾアクチュエータ内蔵穴を所定の穴配置位置に設け、それぞれのピエゾアクチュエータ内蔵穴の中に、ピエゾアクチュエータ及びロードセルを昇降自在に内蔵したワーク支持治具を備えた、自重で変形する光学素子を製造するための研削装置である。 （もっと読む）

【課題】人工水晶をウェハ状に切断する時の切断角度を正確に求めることができる人工水晶の加工方法、この方法により製造された人工水晶及びこの方法を行うための人工水晶加工用の冶具を提供する。
【解決手段】人工水晶３の表面のＺ面が基準面となるように当該Ｚ面を研磨して、この人工水晶３の長さ方向であるＹ方向の端部に形成されたｒ面４が上を向き、且つこのｒ面４が水平となるように、Ｚ面の支持面の傾斜角度が設定された冶具を用いて、研磨したＺ面がこの冶具の傾斜面に沿うように人工水晶３を固定して、当該人工水晶の上面が水平となるように研磨する。 （もっと読む）

【課題】ＧａＮ結晶体およびＧａＡｓ基板の外周に形成される窒化物堆積物を効率よく除去して、窒化ガリウム独立基板を製造する方法を提供する。
【解決手段】窒化ガリウムと異なる材料から成る基板９上に気相成長法で成長された窒化ガリウム結晶体２４から窒化ガリウム独立基板を製造する方法であって、成長によって、基板９および窒化ガリウム結晶体２４の側面上に窒化物堆積物２６が形成される。この方法は、窒化物堆積物２６を外周加工により除去する工程と、この外周加工の後に、基板９を窒化ガリウム結晶体２４から剥離して、基板９および窒化ガリウム結晶体２４を互いに独立させる工程とを備える。基板９を窒化ガリウム結晶体２４から剥離するとき、窒化ガリウム結晶体２４と基板９との境界に力を加えて基板９を窒化ガリウム結晶体２４から剥離する。 （もっと読む）