【課題】ガラス基板の表裏面と端面とに連接される境界部の面性状を適切に規定して当該規定を満たさせることにより、強化処理が施されているか否かに拘わらず、ガラス基板の撓みや不当な温度分布に起因する破損の発生を確実に防止すると共に、ガラスパーティクルの問題をも解消する。
【解決手段】ガラス基板１の表面２ａおよび裏面２ｂと、その両面２ａ、２ｂの外周端相互間に存する端面３との間に存する少なくとも一方の境界部に、面取り面４を形成すると共に、その面取り面４における突出谷部深さＲｖｋを、０．９５以下とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表裏面と端面とに連接される境界面の面性状を適切に規定して当該規定を満たさせることにより、強化処理が施されているか否かに拘わらず、ガラス基板の撓みや不当な温度分布に起因する破損の発生を確実に防止すると共に、ガラスパーティクルの問題をも解消する。
【解決手段】ガラス基板１の表面２ａおよび裏面２ｂと、その両面２ａ、２ｂの外周端相互間に存する端面３との間に存する少なくとも一方の境界部に、面取り面４を形成すると共に、その面取り面４における粗さ曲線の二乗平均平方根傾斜ＲΔｑを、０．１０以下とする。 （もっと読む）

【課題】横軸型加工装置に竪型加工装置の利点を取り入れ、安定的に大容量加工が可能で、しかも精度がよく、キズの出ない加工装置を提供する。
【解決手段】円盤の一部に切り欠き部３を有し、片側にボールが転がる溝を同心円状に複数有する砥石が装着された固定盤１と、この盤の溝側に対向し、ボールが転がる同心円状溝を固定盤と同数有する砥石が装着された回転盤２からなるボール加工装置において、固定、回転盤砥石の装着面を水平方向より５乃至４５度傾斜せしめると共に、固定盤の切り欠き部３に固定盤と回転盤に挟まれたボールを取り出す機構８及びボールを供給する供給シュート５を設け、かつ更に両盤の横に回転コンベア４を設けて該コンベアに前記供給シュート５側か、取り出し機構８側にボールを移送するボール移送機構を付設した。 （もっと読む）

【課題】 加工具によるレンズ加工に関する較正を精度良く、効率的に行え、また、較正に必要なレンズの消費を抑える。
【解決手段】 レンズチャック軸に保持された眼鏡レンズの周縁を加工具により加工する眼鏡レンズ加工装置は、加工具によるレンズ加工を較正するための基準となる較正用玉型を記憶する記憶手段と、レンズチャック軸の保持されたレンズを較正用玉型に基づいて加工具により加工する加工手段と、レンズの周縁又はレンズ面に接触させる測定子を持ち、測定子の移動を検知してレンズの周縁又はレンズ面の加工形状を検知する加工形状検知手段と、加工手段を動作させてレンズの周縁を加工した後、加工形状検知手段を動作させて得られたレンズの加工形状と較正用玉型とに基づいて加工具によるレンズ加工の較正データを得る較正制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 環状凸部に発生する欠けを減少させるとともにエッチング液やレジスト液等の処理液を効率良くウエーハ外に排出可能なウエーハの加工方法を提供することである。
【解決手段】 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウエーハを加工するウエーハの加工方法であって、ウエーハのデバイス領域に相当する領域を研削して裏面に円形凹部を形成するとともに円形凹部を囲繞する環状凸部を形成するウエーハ研削ステップと、保持面と平行な回転軸を備えた切削ブレードを回転させつつウエーハを保持する保持手段を回転させるとともに、該保持手段と切削ブレードとを相対移動させて環状凸部を切削し、環状凸部の上面内周側から円形凹部のウエーハ中心方向に向かって傾斜する傾斜面を形成する環状凸部切削ステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】環状凸部に発生する欠けを減少させるとともに、エッチング液やレジスト液等の処理液を効率良くウエハ外に排出可能なウエハの加工方法を提供する。
【解決手段】複数のデバイスが形成されたデバイス領域と、デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウエハの加工方法であって、研削砥石をウエハ１１の裏面に当接させて裏面を研削し、裏面に円形凹部２８を形成するとともに、円形凹部を囲繞する環状凸部３０を形成する研削ステップを具備し、研削ステップは研削砥石をウエハに接近する方向へ研削送りする鉛直方向研削ステップと、研削砥石をウエハの中心方向へ所定距離移動させる水平方向移動ステップとを含み、鉛直方向と水平方向移動ステップとを複数回繰り返すことにより、環状凸部の上面内周側から円形凹部の中心方向に向かって階段状に傾斜する環状傾斜面３４を形成する。 （もっと読む）

【課題】環状凸部に発生する欠けを減少させるとともにエッチング液やレジスト液等の処理液を効率良くウエーハ外に排出可能なウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】デバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウエーハ１１を加工する方法であって、ウエーハ１１のデバイス領域に相当する領域を研削して裏面に円形凹部５６を形成するとともに円形凹部５６を囲繞する環状凸部５８を形成するウエーハ研削ステップと、回転軸８６に対して直交する第１面と第２面とを有し、第１面の外周に、傾斜するテーパ面８９が形成された切削ブレード８８を回転させつつ環状凸部の内周縁にテーパ面８９を位置づけるとともに、切削ブレード８８と保持手段とを相対移動させて切削ブレード８８を環状凸部に切り込ませることにより、環状凸部の内周縁に切削ブレードのテーパ面８９に倣った傾斜面を形成する環状凸部切削ステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】環状凸部に発生する欠けを減少させるとともに、エッチング液やレジスト液等の処理液を効率良くウエハ外に排出可能なウエハの加工方法を提供する。
【解決手段】複数のデバイスが形成されたデバイス領域と、デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウエハ１１の加工方法であって、ホイール基台２４に環状に配設された研削砥石２５を、回転させつつウエハの裏面に当接させて、裏面に円形凹部５６を形成するとともに、円形凹部を囲繞する環状凸部５８を形成する研削ステップを具備し、研削砥石はウエハを研削する研削面と、研削面に対して垂直な回転軸を有するホイール基台に装着される装着面と、装着面から回転軸方向に向かって傾斜する外周側面２５ｃとを有しており、研削ステップでは、環状凸部の上面内周側から円形凹部のウエハ中心方向に向かって、研削砥石の傾斜する外周側面に倣って、傾斜する環状傾斜面が形成される。 （もっと読む）

【課題】厚さが数μｍ〜数百μｍであって、テラスフリーでかつデバイス形成面積が広いＳＯＩ層を有し、通常の表裏対称なウェーハと同様の取扱いが可能な、貼合せＳＯＩウェーハ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】支持用ウェーハの上に埋込み酸化膜を介してＳＯＩ層が形成された貼合せＳＯＩウェーハにおいて、ＳＯＩ層の端面及び支持用ウェーハの端面が断面方向に連続したラウンド端面又はテーパ付き端面に形成され、支持用ウェーハの裏面に酸化膜を有し、かつＳＯＩ層の端面及び支持用ウェーハの端面がそれぞれ加工歪みを有さず、それぞれの端面の表面粗さＲａが０．１μｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転砥石を使用して乾式加工を行っても、回転砥石に目詰まりが生じにくい加工方法、及び、該加工方法に適した加工装置を提供する。
【解決手段】加工方法は、砥石本体を、砥石本体の重心を通る第一軸周りに回転させると共に、第一軸とは軸方向が異なる第二軸周りに回転させながら、砥石本体を被加工体に押し込むものである。加工装置１は、砥石本体１０と、砥石本体の重心を通る第一軸Ｐ１を軸心とし、砥石本体と一体的に回転する回転支軸１１と、回転支軸を回転させる第一回転駆動装置１４と、回転支軸を砥石本体の両側で回転自在に挿通させる一対の支持体１２と、支持体を、第一軸とは軸方向が異なる第二軸Ｐ２周りに回転させる第二回転駆動装置１９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】熟練を必要としないで、ロック形状を狂わさずに刃部のエッジ部分に角を付ける研磨を行い得るアイススケート靴用刃研磨装置を提供する。
【解決手段】架台１２に、上端面１３ａ，１４ａがロック形状となっているテンプレート１３，１４と、刃部Ｂを上向きにしてかつテンプレート１３，１４に平行に並ばせて挟持しうる刃部挟持手段１５とを備えている。刃面高さ位置合わせ手段１６をテンプレート１３，１４上に載せて固定し、刃部挟持手段１５により挟持される刃部Ｂの刃面Ｂ１を下から当接してテンプレート１３，１４の上端面１３ａ，１４ａに対応する高さに位置合わせする。刃面高さ位置合わせ手段１６を外し、研磨手段１７をテンプレート１３，１４上にセットし、砥石１０，１１の高さ調整し必要な研磨代を設定する。研磨手段１７をテンプレート１３，１４の上端面１３ａ，１４ａに倣いつつ人力により移動し刃面Ｂ１を研磨する。 （もっと読む）

【課題】靭性が高い銅薄板の如き金属板である場合でも、裏面側におけるバリの発生を回避乃至充分に抑制して、所定仕上がり厚さに低減し分割することができる、新規且つ改良された金属板の加工方法を提供する。
【解決手段】切削ブレード（１０）によって金属板（２）の片面（１６）に分割ラインに沿って所定仕上がり厚さ（Ｈ）より深い溝（１８）を形成する溝形成工程を行う。溝形成工程の後に、金属板（２）の片面（１６）に保護テープ（Ｔ）を貼着する保護テープ貼着工程を行う。その後、金属板（２）の他面（１４）を旋削工具（２２）によって旋削して金属板（２）を所定仕上がり厚さ（Ｈ）にする。 （もっと読む）

【課題】シャンクの軸線を傾けることなくアンダーカット形状の切削加工を行うことができるエンドミルの製造方法を提供すること。
【解決手段】ダイヤモンドチップ３を仮シャンクに仮固定して研磨部３０ｂを形成し、その後に仮シャンク５からダイヤモンドチップ３を取り外して加工用のシャンク２に固定する。よって、ダイヤモンドチップ３が仮シャンク５に取付けられる取付け面を変更できるので、ダイヤモンドチップ３の取付面を当て面３４から係合凸部３７に変更できる。このように取付面を変更するために、貫通穴３０ａを中心としてダイヤモンドチップ３を回転させるので、円弧状の研磨部３０ｂが凸となる向きを、仮シャンクの先端向きからシャンク２の一側向きに変更できる。これにより、円弧状の研磨部３０ｂをシャンク２の回転軌跡よりも外側へ突出させることができる。 （もっと読む）

【課題】加工形状の配置制限を緩和でき、かつ加工形状の形状精度および位置精度を向上させることができる加工装置を提供する。
【解決手段】直進駆動軸（Ｘ軸ステージ１２とＹ軸ステージ１３）により、被加工物１６上の加工形状の形成予定領域の中心を、回転駆動軸１１による加工工具（バイト２０）の回転に合わせて円弧状に移動させつつ、直線駆動軸（Ｚ軸ステージ１４）により加工工具を加工形状に沿うように移動させる。 （もっと読む）

【課題】例えば半球面に近い深い凹球面を、高平滑かつ高精度な凹球面に高能率に加工することができる凹球面研削加工装置と方法を提供する。
【解決手段】表面が導電性砥石１３からなり所定の直径と真円度を有する球形工具１２と、球形工具の中心より下方部分を遊動可能に保持する工具保持具１４と、球形工具の中心より上方部分と接触する半球状の上凹穴を有するワークを保持するワーク保持具１８と、ワーク保持具又は工具保持具を移動し球形工具とワークの相対位置を調整する相対位置調整装置２０と、球形工具の表面を電解ドレッシングするＥＬＩＤ装置２２と、球形工具をその表面に沿ってランダムに駆動するランダム駆動装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】加工精度が高く、かつ信頼性の高い超音波加工機を提供する。
【解決手段】回転工具６に接合した円筒状の圧電セラミック１２に回転工具６に所望の振動モードの超音波振動を励起する電圧を印加し、回転工具６を超音波振動させる。この超音波振動を回転工具６以外に可能な限り伝播させないため、回転工具６を保持する工具ホルダ９が、回転工具６の超音波振動を伝播させないことである。そのために、工具ホルダ９に多数の穴を設け、この穴の効果により、回転工具６よりの超音波振動が反射または屈折して、チャック装置に伝播することが小さくなる。したがって、回転工具６に効率高く超音波振動を励起させることができる。 （もっと読む）

【課題】入力軸と出力軸との少なくとも一方が移動する場合であっても、回転体に巻き掛けられたベルト等の伝動体に動力の伝達ロスのない適切な張力を付与することができるとともに、装置自体のコンパクト化を図ることが可能な動力伝達装置及びこれを用いたベルト研磨機を提供する。
【解決手段】動力伝達装置１００を、出力軸１０２及びゴムロール（入力軸）３０と平行に配置される回動シャフト１１１と、該回動シャフト１１１からその径方向に沿って延びる支持アーム１１２と、該支持アーム１１２の先端部に回動可能に取り付けられタイミングベルト１０５を巻き掛けるとともにそのループ内側に向かって押圧するテンションプーリ１１３と、回動シャフト１１１を回転させることで支持アーム１１２を旋回させるシリンダ（駆動機構）１１４とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 研磨ヘッドの位置及び姿勢が同時に変化しても、研磨荷重を常に目標値に保つことができる研磨装置を実現する。
【解決手段】 研磨ヘッド１に取り付けられた加速度検出部１０は、研磨工具９が被研磨面１７を押し付ける方向（Ｚ方向）の加速度を検出する。検出される加速度は、重力加速度と研磨ヘッド１の移動に伴う加速度のＺ方向成分の和である。加速度検出部１０の検出値に基づいて、研磨ヘッド１の位置及び姿勢の変化による研磨荷重への影響を算出し、研磨工具９を押し付ける荷重を制御することで、研磨荷重を目標値に保つ。 （もっと読む）

【課題】 補助レンズの周縁加工及び各パーツの取り付け穴に関する加工条件の設定を熟練者でなくても容易に行え、適切に加工可能にする。
【解決手段】 眼鏡レンズの加工終了後に補助レンズを加工する段階に移行する補助レンズ加工モードを選択するモード選択手段と、玉型データ及び玉型間距離データを入力するデータ入力手段と、眼鏡レンズ側の穴データを設定する手段と、補助レンズ加工モードが選択されているときに、眼鏡レンズの玉型データに基づいて補助レンズ側の玉型データを設定し、眼鏡レンズの穴データに基づいて補助レンズ側の穴データを設定する加工条件設定手段と、玉型データに基づいて補助レンズの周縁を加工し、穴データに基づいて補助レンズに穴を加工する加工手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】レンズ面の創成を行う砥石の摩耗を低減するとともにコストを低減する。
【解決手段】本発明のレンズ研削工具１０は、レンズ表面の創成を行うためのレンズ研削工具であって、外周部に軸線周りに円環状に形成されたレンズ面２０ａの創成用の第１の砥石１２ｓを設けるとともに、内周部に前記第１の砥石１２ｓに対し軸線方向に移動可能に構成したレンズ面２０ａ外縁２０ｂの面取り加工用の第２の砥石１３ｓを設けたことを特徴とする。 （もっと読む）